精準量測自動測試設備內部雜散電容的電路、系統與方法
2023-05-16 15:53:51
專利名稱：：精準量測自動測試設備內部雜散電容的電路、系統與方法
技術領域：
：本發明涉及一種量測雜散電容的電路、系統與方法，特別是涉及一種能精準量測自動測試設備內部的雜散電容的電路、系統與方法。
背景技術：
：自動測試設備(automatictestequipment,簡稱ATE)，是用於測試晶圓和集成電路晶片，所測得的各項數據結果即為用來判定該晶圓或集成電路品質的良劣，因此，測試設備本身應當具有可對各項量測性能的準確性與一致性。也就是說，由自動測試設備所測試出來的結果不能受到時間與外在環境的影響而有所不同。因此，同一型號的不同設備在對於同一晶圓或集成電路晶片所進行的測試結果應該為相同的數據結果。如此一來，才能確認待測元件的受測結果具有正確性的保證。一般而言，自動測試設備是由複雜的電子電路所組成的機臺，因此自動測試設備會隨著使用的時間增加而在其內部產生各種寄生電阻、電感及電容，這些寄生電阻、電感及電容即為所謂的雜散電阻、電感及電容。而這些各種雜散電阻、電感及電容存在於該自動測試設備中時，則會對該自動測試設備在測試時所量測出來的結果的正確性產生許多不良的影響，其中以雜散電容存在於自動測試設備中所造成的影響為最大。請參閱圖1所示，為使用不同的自動測試設備對同一待測元件的同一特性測試的測試結果示意圖，顯示同一待測元件以不同的自動測試設備對該待測元件的同一量測項目作測試所得出的測試結果。圖中有兩條曲線，分別為曲線A(虛線表示)與曲線B(實線表示)，其中曲線A為自動測試設備A測試一集成電路晶片X所得的毫電流-時間的分布圖，而曲線B為同一集成電路晶片X在自動測試設備B測試所得的毫電流-時間的分布圖。由圖1中可知，曲線A與曲線B並非為同一條曲線，即為同一集成電路晶片X的同一特性作測試，但在自動測試設備A與自動測試設備B所得出的測試結果卻不相同。然而，在正常的情況下，對同一待測元件的同一特性進行測試不應該會因為自動測試設備的不同而有不同的測試結果，即圖1中的曲線A與曲線B應當為重疊的曲線。然而，曲線A與曲線B不為重疊的曲線，必然是自動測試設備A或自動測試設備B中有一者或是兩者皆為測試結果不準確。探究其原因，會發現是由於自動測試設備的內部產生雜散電容，因而造成不同的自動測試設備在對同一待測元件進行同一特性的測試會得出不同的測試結果。在得知造成測試不準確的原因為自動測試設備內部產生雜散電容之後，要解決此一問題，則必須先將該雜散電容的大小測量出來，得到該雜散電容的數值後，即可藉由自動測試設備的處理單元，將該雜散電容的數值予以補償後再運算出對待測元件的測試所量測到的真正的數值。如此一來，只要將每臺自動測試設備中所產生的雜散電容找出，則可使不同的自動測試設備對同一待測元件進行同一特性的測試得出相同的測試結果。因此，只要可以有效地得出自動測試設備的雜散電容的數值，即可使自動測試設備具有能精準量測待測元件特性的能力。傳統上，自動測試設備的雜散電容的測量方法，有以網路分析儀或阻抗分析儀來對該自動測試設備進行量測的方法。<旦是，以此方式來進行雜散電容的測量必須是在該自動測試設備斷電或離線的情況下才能進行測量，而且以網路分析儀或阻抗分析儀來測得精確的電容值必須要先知道其所測量的^f寺測元件的內部電子電^各才^"。因此，在自動測試i殳備的內部電子電路實際為未知的情況下，以網路分析儀或阻抗分析儀所測得的雜散電容的數值通常是不正確的，且使用此種方式來測量既耗時又不方便。因此便出現了另一種測量自動測試設備的雜散電容的方法，此方法則為以自動測試設備本身即具有的充放電功能來對該自動測試設備進行充放電，並記錄其中放電所耗費的時間，如此，將所得的數據代入R-C放電模式的數學式中即可算出該自動測試設備的雜散電容的數值。但是，要代入該R-C放電模式的數學式中，必須要先知道該自動測試設備中的雜散電阻，而該雜散電阻同樣無法正確求得，因此，一般會以估計的方式來取得該電阻值代入數學式中計算，以此求出雜散電容的數值。然而，因為在所代入的電阻值並不精確的情況下，所獲得的雜散電容的數值同樣還是不精確。因此，亟需提出一種可以方便量測並能精確得出自動測試設備的雜散電容的數值的方法。由此可見，上述現有的自動測試設備與自動測試設備雜散電容的方法在產品結構、量測方法與使用上，顯然仍存在有不便與缺陷，而亟待加以進一步改進。為了解決上述存在的問題，相關廠商莫不費盡心思來謀求解決之道，但長久以來一直未見適用的設計被發展完成，而一般產品及方法又沒有適切的結構及方法能夠解決上述問題，此顯然是相關業者急欲解決的問題。因此如何能創設一種新的精準量測自動測試設備內部雜散電容的電路、系統與方法，實屬當前重要研發課題之一，亦成為當前業界極需改進的目標。有鑑於上述現有的自動測試設備與量測自動測試設備雜散電容的方法存在的缺陷，本發明人基於從事此類產品設計製造多年豐富的實務經驗及專業知識，並配合學理的運用，積極加以研究創新，以期創設一種新的精準量測自動測試設備內部雜散電容的電路、系統與方法，能夠改進一般現有的自動測試設備與量測自動測試設備雜散電容的方法，使其更具有實用性。經過不斷的研究、設計，並經反覆試作樣品及改進後，終於創設出確具實用價值的本發明。
發明內容本發明的目的在於，克服現有的自動測試設備內部存在雜散電容故導致所得的測試結果不準確的缺陷，而提供一種精準量測自動測試設備內部雜散電容的系統，所要解決的技術問題是使其可以解決以往現有進行自動測試設備內部雜散電容的量測或估計雜散電阻的方法存在的諸多操作不便及量測不準確的缺點，藉由本發明的系統可在不需停機即可對自動測試設備內部的雜散電容進行精準的量測，非常適於實用。本發明的另一目的在於，克服現有的自動測試設備存在的缺陷，而提供一種精準量測自動測試設備內部雜散電容的電路，所要解決的技術問題是使其可以利用本發明的所提供的電路精準的得出在該自動測試設備內部雜散電容，非常適於實用。本發明的另一目的在於，克服現有的量測自動測試設備雜散電容的方法存在的缺陷，而提供一種精準量測自動測試設備內部雜散電容的方法，所要解決的技術問題是使其可以解決以往進行自動測試設備內部雜散電容的量測或估計雜散電阻的方法所存在的諸多操作不便以及量測不準確的缺點，乂人而更加適於實用。本發明的目的及解決其技術問題是採用以下技術方案來實現的。依據本發明提出的一種精準量測自動測試設備內部雜散電容的系統，其包含一自動測試設備，用以提供待測的雜散電容；以及一輔助測試模組，可與該自動測試設備耦合以求得該自動測試設備內部的雜散電容。本發明的目的及解決其技術問題還可採用以下技術措施進一步實現。前述的精準量測自動測試設備內部雜散電容的系統，其中所述的自動測試設備更包含一內部電路。前述的精準量測自動測試設備內部雜散電容的系統，其中所述的內部電路更包含一電壓驅動單元，該電壓驅動單元可決定電壓的振幅大小及周期數目，以及可針對該內部電路進行周期性充放電。前述的精準量測自動測試設備內部雜散電容的系統，其中所述的自動測試設備更包含一信號(信號即訊號，本文均稱為信號)通道，為一信號輸出入端點。前述的精準量測自動測試設備內部雜散電容的系統，其中所述的輔助6測試模組更包含一充放電元件。前述的精準量測自動測試設備內部雜散電容的系統，其中所述的充放電元件包含為一電容以及該電容為一已知的常數。本發明的目的及解決其技術問題還採用以下技術方案來實現。依據本發明提出的一種精準量測自動測試設備雜散電容的電路，其包含一電壓驅動單元，用以產生複數個周期性的高低電壓；以及一充放電元件，用以與該電壓驅動單元耦合；藉此，可以建立方程式以求得該自動測試設備的雜散電容。本發明的目的及解決其技術問題還可採用以下技術措施進一步實現。前述的精準量測自動測試設備內部雜散電容的電路，其中所述的方程式為一R-C放電方程式。本發明的目的及解決其技術問題另外還釆用以下技術方案來實現。依據本發明提出的一種精準量測自動測試設備內部雜散電容的方法，其包括以下步驟(a).由一自動測試設備本身進行數次充放電；(b).對該自動測試設備進行放電並同時測得一放電時間間隔；(c).將該放電時間間隔代入放電數學式則會得一第一R-C放電方程式；(d).將該自動測試設備與一輔助測試模組耦合；(e).重複步驟(a)~(c),以此得到一第二R-C放電方程式；以及(f).藉由該第一、第二R-C放電方程式以求得該自動測試設備的雜散電容。本發明的目的及解決其技術問題另外還採用以下技術方案來實現。依據本發明提出的一種精準量測自動測試設備內部雜散電容的方法，其包括以下的步驟提供一自動測試設備，是具有一內部電路以及一電壓驅動單元，其中該電壓驅動單元可對該內部電路進行數次充放電以使該內部電路的電性均一性；將該自動測試設備進行放電步驟，該放電步驟包含(a).由該電壓驅動單元對該內部電3各進行lt次充;j文電；(b).電壓值由VI遞減至V2;(c).求得放電時間間隔；以及(d).將時間間隔代入放電數學式以得到一第一R-C放電方程式；提供一輔助測試模組，是與該自動測試設備耦合；重複該放電步驟(a)~(d)，以得到一第二R-C放電方程式；以及藉由該第一、第二R-C方程式以求得該自動測試設備的雜散電容。本發明與現有技術相比具有明顯的優點和有益效果。由以上技術方案可知，本發明的主要技術內容如下為了達到上述目的，本發明提供了一種精準量測自動測試設備內部雜散電容的系統，其包含一自動測量設備，用以提供待測的雜散電容；以及一輔助測試模組，可與該自動測試設備耦合以求得自動測試設備內部的雜散電容。另夕卜，為了達到上述目的，本發明另提供一種精準量測自動測試設備內部雜散電容的方法，其包含以下的步驟首先，由一電壓驅動單元對一內部電路進行數次充放電；接著，使該內部電路自行放電，電壓值由VI遞減至V2;然後，測得放電時間間隔；再來，將時間間隔代入Tp二k口ln(RC)放電數學式，以得到一第一R-C放電方程式；接著，將自動測試設備與一輔助測試模組相耦合；然後，重複上述的放電步驟以得到一第二R-C放電方程式；以及聯立該第一、第二R-C放電方程式以求得雜散電阻及電容。如此，則可迅速、有效且正確的以簡易又節省成本的方式求得寄存於自動測試設備中的雜散電容。藉由上述技術方案，本發明精準量測自動測試設備內部雜散電容的電路、系統與方法至少具有下列優點及有益效果1、本發明的精準量測自動測試設備雜散電容的系統，可在不需停機的情況下即可對自動測試設備內部的雜散電容進行精準的量測。2、本發明的精準量測自動測試設備雜散電容的電路，可精準的量測出該自動測試設備內部的雜散電容。3、本發明的精準量測自動測試設備雜散電容的方法，可以解決以往進行自動測試設備內部雜散電容的量測或估計雜散電阻的方法存在的諸多操作不便及量測不準確的缺點。綜上所述，本發明精準量測自動測試設備內部雜散電容的電路、系統與方法，可以有效的解決以往進行自動測試設備內部雜散電容的量測或估計雜散電阻的方法存在的諸多搡作不便及量測不準確的缺點，能夠迅速、有效且正確的以簡易又節省成本的方式求得寄存於自動測試設備中的雜散電容，非常適於實用。本發明具有上述諸多優點及實用價值，其不論在產品結構、量測方法或功能上皆有較大的改進，在技術上有顯著的進步，並產生了好用及實用的效果，且較現有的自動測試設備與量測自動測試設備雜散電容的方法具有增進的突出功效，從而更加適於實用，誠為一新穎、進步、實用的新設計。上述說明僅是本發明技術方案的概述，為了能夠更清楚了解本發明的技術手段，而可依照說明書的內容予以實施，並且為了讓本發明的上述和其他目的、特徵和優點能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實施例，並配合附圖，詳細"i兌明如下。圖1為使用不同的自動測試設備對同一待測元件的同一特性測試的測試結果示意圖。圖2為本發明中的自動測試設備系統的示意圖。圖3為本發明中的自動測試設備系統的等效電路圖。圖4為本發明中的電壓驅動單元的驅動模式示意圖。圖5為本發明的精準量測自動測試設備內部雜散電容的方法的流程圖。tableseeoriginaldocumentpage9501:對內容電路進行數次充放電502:使內部電路自行放電，電壓值由VI遞減至V2503:測4尋;故電時間間隔504:將時間間隔代入R-C放電數學式，以得第一R-C放電方程式505:將自動測試i殳備與輔助測試;漠組耦合506:重複步驟501~504，以得第二R-C放電方程式507:聯立兩方程式求得雜散電阻及電容具體實施例方式為了更進一步闡述本發明為達成預定發明目的所採取的技術手段及其功效，以下結合附圖及較佳實施例，對依據本發明提出的精準量測自動測試設備內部雜散電容的電路、系統與方法其具體實施方式、結構、方法、步驟、特徵及其功效，詳細說明如後。有關本發明的前述及其他技術內容、特點及功效，在以下配合參考圖式的較佳實施例的詳細說明中將可清楚呈現。通過具體實施方式的說明，當;了解，然而所附圖式僅是提:參考與說明之用，並非用來對本發明加以限制。請參閱圖2所示，為本發明中的自動測試設備系統的示意圖，其中包含一自動測試設備20以及一輔助測試才莫組22。上述的自動測試設備20，其內部包含有一內部電路21以及一信號通道201，其中該信號通道201與該內部電路21相連接，並作為該自動測試設備20與待測元件之間的信號輸出入的端點，也就是說，該自動測試設備20可藉由該信號通道201輸出一信號至待測元件，該待測元件所回傳的信號同樣可藉由該信號通道201傳回該自動測試設備20。更明確的說，該自動測試設備20可通過該信號通道201將測試信號傳送至待測元件的其中一腳位，該待測元件則會由該腳位讀入該測試信號，並進行對該待測元件的測試，測試後，該待測元件則會回傳一信號由該腳位傳出，同樣藉由該信號通道201將該信號傳回該自動測試設備20。該自動測試設備20的內部電3各21，更包含一電壓驅動單元210，該電壓驅動單元210為一可用以對該內部電路21進行電壓充放電的電壓驅動元件。該自動測試設備20更具有一處理單元(圖未示)，包含為一電腦程式(程序即程式，本文均稱為程序)運算單元，使用者可藉由該處理單元來決定該自動測試設備20的測試模式的選擇。因此，藉由該處理單元可使該電壓驅動單元210對該內部電路21進行不同模式的電壓充放電，該不同模式至少包含有模式一與模式二兩種。其中，模式一為在一設定時間內對該內部電路21進行周期性充放電，其作用為將寄存於自動測試設備內部電路21的雜散電容電性均一化，即為將在該自動測試設備20內的所有雜散電容的電性統一；模式二則為放電，此模式即為在在模式一的充放電過程後，將電壓在最高點時，使之自行放電，並測得放電的時間間隔，如此則可將該時間間隔代入》丈電悽t學式，以得到一R-C方程式。上述的輔助測試模組22，是為用於量測該自動測試設備20的雜散電容的一種輔助模組，該輔助測試模組22更包含一充放電元件，例如電容。當自動測試設備20在進行雜散電容的量測，需要進行輔助動作時，則將該輔助測試模組22中的該充放電元件的一端點與該信號通道201的一端點相連接，其中該充放電元件可為一電容220，且該電容220的電容值為一已知常數，如此，則可藉由該輔助測試才莫組22的輔助以測得該自動測試設備20的雜散電容，詳細的量測步驟將會在後續進行說明。然而，當自動測試設備20不需要該輔助測試模組22的輔助時，只需將該信號通道201與該輔助測試模組22的連接斷開即可。請參閱圖3所示，為本發明中的自動測試設備系統的等效電路圖，是圖2中所示的系統的等效電路圖，在圖3中與圖2中同樣的元件使用相同的編號。自動測試設備的內部電路21中的一電壓源31即為電壓驅動單元210的等效元件，電阻33則可視為存於該自動測試設備中的等效雜散電阻，而電容34則可視為存於該自動測試設備中的等效雜散電容。另外，自該電壓源31發出的電流所行經的路線上會設有一開關32,該開關32則為以電腦程式來控制該電壓驅動單元210對該內部電路21進行不同模式的等效元件。當開關32連結於4^點320時，則為該電壓源32對該內部電^各進^f亍充電動作，特別是對該電容34進行充電；反之，當該開關32連結於另一接點321時，則形成一R-C串聯的等效電路，此時，充過電的電容32Q則會自行放電。該輔助測試^^莫組22的等效元件則相當於一電容220，而端點35則可^L為該信號通道201的等敢元件，作為與該輔助測試模組22連接的端點，更為一信號輸出入端點。請參閱圖4所示，為本發明中的電壓驅動單元的驅動模式示意圖，是本發明一實施例的電壓驅動單元對自動測試設備內部電路進行電壓充放電的示意圖。初始狀態41為自動測試設備在時間Ti內驅動該電壓驅動單元210對內部電路21進行數次周期性充放電，其中該時間Ti可藉由自動測試設備的處理單元的程序來控制，且電壓的振幅Ai的大小以及周期的數目也同樣可由該程序來設定。在該內部電路21經過數次周期性的充放電後，即可將寄存於內部電路21的雜散電容極性重整為極性相同，如此，可有助於正確計算雜散電容的數值。然後，在經過多次充放電後，再進行充電使自動測試設備中的雜散電容充電使其電壓為高電壓點42。接著，進行放電，此放電的動作為該內部電路自行放電而非人為操作，如圖3所示可知，該自動測試設備可以等效為一R-C串聯電路，所以，所測得的該放電結果即會符合R-C串聯電路的放電數學式Tp二k.ln(RC)。在本實施例中，進行此一放電步驟即為要找出電壓由電壓值為VI的高電壓點42逐漸遞減至電壓值為V2的j氐電壓點43其間所經過的時間間隔44。請參閱圖5所示，為本發明的精準量測自動測試設備內部雜散電容的方法的流程圖。接著，為能將本發明的特徵及精神更明確表達，以下將以圖5中所述的本發明的量測自動測試設備雜散電容的方法的步驟，並配合一實施例，結合參閱圖2、圖3及圖4來逐一詳細說明。首先，步驟501為對內部電路21進行數次充放電。在本實施例中，即為將該自動測試設備內部電路21中的開關32是利用自動測試設備20的處理單元中的程序以進行切換，將該開關32與接點320連接，而且該程序更可控制該電壓驅動單元210所給予的電壓的振幅大小及在時間間隔Ti中的周期數目。待該開關32與該接點320連接後，則為該電壓驅動單元210充放電的模式一，並使該電壓源31在所設定的時間間隔Ti對內部電路21作複數次的充放電動作，即使該電壓驅動單元210在時間間隔Ti使內部電路21的電壓以周期性的在振幅Ai間作變化。這個步驟是為了使內部電路21中的雜散電容的電性均一化。步驟502為使內部電路21自行放電，電壓由VI遞減至V2。在本實施例中，當該內部電路21經過複數次的充放電後，再次充電使其內部電路21的雜散電容則為充電的狀態，在此，將該開關32與接點321連接，為該電壓驅動單元210充放電的模式二，使該內部電路21自行放電。如圖4所示，該內部電路21的電壓由高電壓點42的電壓值VI自然放電至低電壓點43的電壓值V2。接著，步驟503為測得放電時間間隔。時間間隔的測量可令高電壓點42所對應的時間點為第一時間點，而低電壓點43所對應的時間點為第二時間點，由第二時間點的數值減去第一時間點的數值，即可得到內部電壓自然放電電壓值由VI至V2的時間間隔44。步驟504為將時間間隔代入R-C放電數學式，以得第一R-C放電方程式。可令在步驟503所得到的時間間隔44為第一時間間隔，將該第一時間間隔代入R-C放電數學式中，R-C電路自行放電的數學式以Tp=k.ln(RC)表示，其中Tp為時間間隔，k為一常數，ln為自然對數函數，R為內部電路21的雜散電阻，C為內部電路21的雜散電容。因此，將該第一時間間隔代入R-C放電數學式中，則會得到第一R-C放電方程式，Tpl=k'ln(RC)。步驟505為將自動測試設備20與輔助測試模組22耦合。在本實施例中，如圖2所示，則是以該自動測試設備20中的信號通道201與該輔助測試模組22中的電容220耦合。當該自動測試設備與輔助測試模組耦合，則如圖3所示的等效電路，該內部電路21與輔助測試模組22以接點35相連接，而內部電路中的雜散電容34則會與該輔助測試模組22中的電容220並聯。接著，步驟506為重複步驟501~504,以得第二R-C放電方程式。其中，該輔助測試模組22中的電容220是為一已知的電容220,以Cknow表示。由於外加了一電容後，當內部電路21自行放電時，由高電壓點42至低電壓點43的時間間隔44則會變長，則在此所測得的時間間隔則為第二時間間隔。因此，將第二時間間隔代入R-C放電方程式所得的第二R-C放電方程式則可表示為Tp2二k'ln[R(C+Ckn。)]，其中Tp2為所測得的第二時間間隔，k代表常數，ln為自然對數函數，R為內部電路的雜散電阻，C為內部電路的雜散電容，Ckn。w為輔助測試模組中的已知電容220。步驟507為聯立兩方程式求得雜散電阻及電容。在步驟504及步驟506共得到兩個R-C方程式，分別為第一R-C方程式與第二R-C方程式，其中內部電路的雜散電阻R及雜散電容C為未知數，兩個方程式與兩個未知數則可以聯立兩方程式而精確的求出該未知數的解。因此，由藉由該輔助測試模組的協助，則可將自動測試設備的內部電路的雜散電容精準的求出，再將求出的雜散電容利用該自動測試設備的處理單元運算補償則可使該自動測試設備的測試結果為精準可信的。更佳的是，本發明所提供的輔助測試模組，可以依使用者的需要自由的與該自動測試設備的信號通道連接或切斷，完全不會影響到該自動測試設備的正常功能，且在測量該自動測試設備的內部電路的雜散電容時不需要將該自動測試設備停機即可測得。因此，利用本發明所提供的系統及方法，可以迅速、正確且簡易又節省成本的量測出寄存於自動測試設備的內部雜散電容。以上所述，僅是本發明的較佳實施例而已，並非對本發明作任何形式上的限制，雖然本發明已以較佳實施例揭露如上，然而並非用以限定本發明，任何熟悉本專業的技術人員，在不脫離本發明技術方案範圍內，當可利用上述揭示的方法及技術內容作出些許的更動或修飾為等同變化的等效實施例，但凡是未脫離本發明技術方案的內容，依據本發明的技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬於本發明技術方案的範圍內。權利要求1、一種精準量測自動測試設備內部雜散電容的系統，其特徵在於其包含一自動測試設備，用以提供待測的雜散電容；以及一輔助測試模組，可與該自動測試設備耦合以求得該自動測試設備內部的雜散電容。2、根據權利要求1所述的精準量測自動測試設備內部雜散電容的系統，其特徵在於其中所述的自動測試設備更包含一內部電路。3、根據權利要求2所述的精準量測自動測試設備內部雜散電容的系統，其特徵在於其中所述的內部電路更包含一電壓驅動單元，該電壓驅動單元可決定電壓的振幅大小及周期數目，以及可針對該內部電路進行周期性充放電。4、根據權利要求1所述的精準量測自動測試設備內部雜散電容的系統，其特徵在於其中所述的自動測試設備更包含一信號通道，為一信號輸出入端點。5、根據權利要求1所述的精準量測自動測試設備內部雜散電容的系統，其特徵在於其中所述的輔助測試模組更包含一充放電元件。6、根據權利要求5所述的精準量測自動測試設備內部雜散電容的系統，其特徵在於其中所述的充放電元件包含為一電容以及該電容為一已知的常數。7、一種精準量測自動測試設備內部雜散電容的電路，其特徵在於其包含一電壓驅動單元，用以產生複數個周期性的高低電壓；以及一充放電元件，用以與該電壓驅動單元耦合；藉此，可以建立方程式以求得該自動測試設備的雜散電容。8、根據權利要求7所述的精準量測自動測試設備內部雜散電容的電路，其特徵在於其中所述的方程式為一R-C放電方程式。9、一種精準量測自動測試設備內部雜散電容的方法，其特徵在於其包括以下步驟(a).由一自動測試設備本身進行數次充放電；(b).對該自動測試設備進行放電，並同時測得一放電時間間隔；(c).將該放電時間間隔代入放電數學式則會得一第一R-C放電方程式；(d).將該自動測試設備與一輔助測試模組耦合；(e).重複步驟(a)~(c),以此得到一第二R-C放電方程式；以及(f).藉由該第一、第二R-C放電方程式，以求得該自動測試設備的雜散電容。10、一種精準量測自動測試設備內部雜散電容的方法，其特徵在於其包括以下步驟提供一自動測試設備，其具有一內部電路以及一電壓驅動單元，其中該電壓驅動單元可對該內部電路進行數次充放電，以使該內部電路的電性均一性；將該自動測試設備進行放電步驟，該放電步驟包含(a).由該電壓驅動單元對該內部電路進行數次充放電；(b).電壓值由VI遞減至V2;(c).求得放電時間間隔；以及(d).將時間間隔代入放電數學式，以得到一第一R-C放電方程式；提供一輔助測試模組，是與該自動測試設備耦合；重複該放電步驟(a)~(d)，以得到一第二R-C放電方程式；以及藉由該第一、第二R-C方程式以求得該自動測試設備的雜散電容。全文摘要本發明是有關於一種精準量測自動測試設備內部雜散電容的電路、系統與方法。該方法具有複數個步驟，其包含首先，由一電壓驅動單元對一內部電路進行數次充放電；接著，使該內部電路自行放電，電壓值由V1遞減至V2；然後，測得放電時間間隔；再來，將時間間隔代入放電數學式，得到一第一R-C放電方程式；接著，將自動測試設備與一輔助測試模組耦合；然後，重複上述的放電步驟以得到一第二R-C放電方程式；以及聯立該第一、第二R-C放電方程式以求得雜散電阻及電容。本發明可有效解決以往進行自動測試設備內部雜散電容的量測或估計雜散電阻的方法存在的諸多操作不便及量測不準確缺點，能迅速、有效且正確的以簡易又節省成本的方式求得寄存於自動測試設備中的雜散電容，非常適於實用。文檔編號G01R27/26GK101430351SQ20071018821公開日2009年5月13日申請日期2007年11月9日優先權日2007年11月9日發明者倪建青申請人:京元電子股份有限公司