光罩保護膜框體卸除裝置的製作方法
2023-05-17 23:16:26 1
專利名稱：光罩保護膜框體卸除裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型有關於一種光罩保護膜框體卸除裝置，特別是有關於一種具有加熱裝置的光罩保護膜框體卸除裝置。
背景技術：
近代半導體科技發展迅速，其中光學微影技術(Optical Lithography)扮演重要的角色，只要是關於圖形(pattem)定義，皆需仰賴光學微影技術。光學微影技術在半導體的應用上，是將設計好的線路製作成具有特定形狀可透光的光罩(photomask)。利用曝光原理，則光源通過光罩投影至矽晶圓(silicon wafer)可曝光顯示特定圖案。由於任何附著於光罩上的塵埃顆粒(如微粒、粉塵或有機物)都會造成投影成像的質量劣化，用於產生圖形的光罩必須保持絕對潔淨，因此在一般的晶圓製程中，都提供無塵室(clean room)的環境以避免空氣中的顆粒汙染。然而，目前的無塵室也無法達到絕對無塵狀態，因此目前光罩的使用是設置光罩保護裝置於光罩上方，使光罩保持潔淨，由於光線是依據光罩位置進行聚焦(focus)，即便有微粒沉積於光罩保護框體上，其形成的離焦(defocus)影像對於圖形成像質量的不良影響也較小。
如圖1所示，為一現有的光罩保護膜的卸除裝置1，是用以快速卸除光罩的保護膜12，其光罩保護膜的卸除裝置1是以把手固定元件13作為支點，扳動n字型把手11時由連動軸15將n字型把手11末端的插入元件16插進光罩保護膜12的框體的孔洞14，並由槓桿原理將光罩保護膜12的框體卸離光罩。然而，在利用槓桿原理將光罩保護膜的框體卸離光罩並出時，黏合於光罩與框體之間的黏著劑無法完全剝離其中一方，因此取出框體時會出現一部分黏著劑沾黏於框體上，而另一部分黏著劑仍沾黏於光罩上， 一經拉扯容易使得黏著劑彈回光罩表面上，而導致光罩汙染或圖形損壞。
實用新型內容
為解決先前技術的問題，本實用新型目的是提供一種具有加熱裝置的 光罩保護膜框體卸除裝置。此光罩保護膜框體卸除裝置用以卸除一光罩上 的光罩保護膜，其中光罩保護膜是以膠材黏合一框體與一保護膜，形成一 內部空間以保護該光罩上的圖形。此光罩保護膜框體卸除裝置包含底座元 件、卸除元件、承載元件、固定推桿、加熱裝置以及卸除元件等，承載元 件設置於底座元件上，是用以承載光罩，固定推桿則又設置於承載元件上， 用以固定承載於承載元件上的具有光罩保護膜的光罩，而具有至少一加熱 裝置，與該底座元件具有電性相接，用以加熱具有光罩保護膜的光罩至一 預定溫度，使得黏合框體與光罩的膠材遇熱融化並附著於框體上，而遇熱 融化並附著於該框體上的膠材可隨該框體一併取出，另有一卸除元件亦設 於底座元件上，用以將框體與光罩分離。
由於本實用新型光罩保護膜框體卸除裝置具有加熱裝置，加熱時可將 黏合框體與光罩的膠材融化並使其附著於框體上，而不會黏著附在光罩面
上，因此當取出框體時，不會發生膠材一部分沾黏於框體上，而另一部分 仍沾黏於光罩上的情形，由此可完全避免拉扯同時沾黏於框體與光罩間的 保護膜時，膠材彈回光罩上，而導致光罩汙染或圖形損壞的情形發生，亦 可減少後續處理成本及時間。
因此，本實用新型的主要目的在於提供一種光罩保護膜框體卸除裝 置，其具有較佳的卸除效果，可避免因人工的操作不當或施力不當，造成 卸除時刮傷或損壞光罩。
本實用新型的另一目的在於提供一種光罩保護膜框體卸除裝置，其具 有較佳的卸除效果，可節省卸除時所花費的時間以及人工成本。
本實用新型的又一目的在於提供一種光罩保護膜框體卸除裝置，其加 熱裝置可將黏合框體與光罩的膠材融化並使其附著於框體上，而不會黏著 附在光罩面上，以減少後續處理成本及時間。
本實用新型的再一 目的在於提供一種光罩保護膜框體卸除裝置，其加 熱裝置具有獨立設定時間與溫度的功能，可依室溫、溼度或膠材融化程度 等變化，而進行設定上的調整。
圖1為光罩保護膜的卸除裝置的示意圖(現有技術)。
圖2A為本實用新型光罩保護膜框體卸除裝置的一實施例示意圖。
圖2B為本實用新型具有光罩保護膜光罩的一實施例示意圖。
圖2C為本實用新型具有把手元件與把手固定元件的一實施例示意圖。
圖3、圖4和圖5A為本實用新型光罩保護膜框體卸除裝置操作的一 實施例示意圖。
圖5B為本實用新型具有光罩保護膜光罩的一實施例示意圖。 圖6A為本實用新型溫度設定裝置的一實施例示意圖。 圖6B為本實用新型時間設定裝置的一實施例示意圖。主要元件符號說明
1光罩保護膜的卸除裝置23固定推桿
11n字型把手24把手固定元件
12保護膜241連接構件
13把手固定元件242固定件
14孔洞25把手元件
15連動軸251轉動元件
16插入元件252連動軸
2光罩保護膜框體卸除裝置26彈性梢
卸除元件27叉取梢
21底座元件28加熱裝置
211滑動軸281控制面板
22承載元件282電源裝置
2831溫度設定鈕283溫度設置裝置
2832欄位選擇鈕2844單位時間設定鈕
2832a現在溫度顯示欄位2845重設鈕
2832b設定溫度顯示欄位285啟動裝置
2833溫度調整鈕3具有光罩保護膜的光罩
6284 時間設定裝置 31 框體
2841 時間顯示欄位 311 插槽
2842 單位時間調整鈕 32 保護膜
2843 單位時間指示燈 32a 膠材
33 光罩
具體實施方式
由於本實用新型是揭露一種具有加熱裝置的光罩保護膜框體卸除裝 置，其中所利用到的一些光罩或光罩盒的詳細製造或處理過程，是利用現 有技術來達成，故在下述說明中，並不作完整描述。而且下述內文中的圖 式，亦並未依據實際的相關尺寸完整繪製，其作用僅在表達與本實用新型 特徵有關的示意圖。
圖2A為本實用新型光罩保護膜框體卸除裝置一較佳實施例示意圖， 此光罩保護膜框體卸除裝置2是用以卸除一光罩33上的光罩保護膜32框 體31，其中光罩保護膜32框體31是以膠材32a黏合一光罩33與一框體 31，形成一內部空間以保護光罩33上的圖形，其中框體31的側邊上具有 多個貫穿框體31的插槽311，亦可為不貫穿框體31的插槽(未示於圖中)。 光罩保護膜框體卸除裝置2包含卸除元件2a、底座元件21 、承載元件22、 固定推桿23以及加熱裝置28等，承載元件22設置於底座元件21上，是 用以承載一具有光罩保護膜的光罩3的四個角，請參考圖2B，固定推桿 23則又設置於承載元件22上，用以固定承載於承載元件22上的具有光罩 保護膜的光罩3，而加熱裝置28是用以加熱具有光罩保護膜的光罩3至一 預定溫度，使得黏合框體31與光罩33的膠材32a遇熱融化並附著於框體 31上，另有一卸除元件2a亦設於底座元件21上，用以將框體31與光罩 33分離，而遇熱融化並附著於框體31上的膠材32a可隨框體31 —並取出。
其中，卸除元件2a包含至少一滑動軸211、把手固定元件24、固定 件242、把手元件25、彈性梢26、叉取梢27等，滑動軸211設於底座元 件21兩邊，又相對於底座元件21的兩邊各設有一個把手固定元件24，是 通過連接構件241而與滑動軸211相連接，並以固定件242將連接構件241 定位於滑動軸211上，另亦設有把手元件25，且此把手元件25大致呈n
7形，是通過轉動元件251與把手固定元件24相連接，請參考圖2C，而彈 性梢26與叉取梢27皆是通過連動軸252連接至把手元件25的一端，當 推動把手元件25至定位並鎖緊時，彈性梢26將定位於具有光罩保護膜的 光罩3的上方，叉取梢27則會伸入框體31的插槽311中，其中彈性梢26 與叉取梢27皆大致為一高分子材質或金屬材質所形成，以及具有加熱裝 置28，可用以加熱至一預定溫度，且此加熱裝置28是以電能提供並轉換 為熱能。
而轉動元件251設置於叉取梢27的下方，當轉動元件251的短軸(未 示於圖中)與叉取梢27接觸時，叉取梢27位於把手固定元件24的底端， 當轉動元件251的長軸(未示於圖中)與叉取梢27接觸時，叉取梢27位於 把手固定元件24的頂端，因此轉動此轉動元件251即可驅動叉取梢27進 行升降移動，其中轉動元件251另包含轉動杆(未示於圖中)，此轉動杆的 軸心與轉動元件251同軸，因此轉動杆在旋轉時可帶動轉動元件251同部 轉動。
上述的加熱裝置28具有一控制面板281，且此控制面板281上包含有 電源裝置282用以啟動控制面板281，溫度設置裝置283用以設定一預設 溫度，時間設定裝置284用以設定一預設時間，以及啟動裝置285用以啟 動控制面板281上的設定並加熱。請參考圖6A，溫度設置裝置283上包 含有溫度設定鈕2831，用以選擇欲開始設定溫度或重新設定溫度，欄位選 擇鈕2832可用以選擇欲調整的設定溫度顯示欄位2832b，溫度顯示欄位 2832a則顯示出目前的溫度，而當溫度設置裝置283中的現在溫度顯示字 段2832a與設定溫度顯示欄位2832b有差異時，加熱裝置28會自動加熱 或不加熱，以達到設定的溫度，以及可用以調整欲加熱的預設溫度的溫度 調整鈕2833，其中此溫度設置裝置283的預設溫度為大約8(TC 大約 15(TC。至於時間設定裝置284，請參考圖6B，包含有時間顯示欄位2841 ， 是用以顯示加熱時間，單位時間調整鈕2842是用以選擇欲設定的單位時 間為時(H)、分(M)或秒(S)，並於單位時間指示燈2843中顯示之，單位時 間設定鈕2844是用以調整預定的單位時間，以及重設鈕2845是用以清除 原有的設定值並可重新設定，其中此時間設定裝置284的預設時間為大約 30秒 大約600秒。此光罩保護膜框體卸除裝置2的操作過程，請參考圖2A,先將具有 光罩保護膜的光罩3放置於光罩保護膜框體卸除裝置2的承載元件22上， 並推動固定推桿23至具有光罩保護膜的光罩3時，承載元件22可用以固 定具有光罩保護膜的光罩3的四個角，請參考圖3，將把手元件25推動至 定位並利用固定件242鎖緊，此時彈性梢26將定位於具有光罩保護膜的 光罩3的上方，叉取梢27則會置於框體31的插槽311旁，並啟動加熱裝 置28加熱至一預定溫度，使得黏合框體31與光罩33的膠材32a遇熱融 化並附著於框體31上，而不會黏著附在光罩33上，請參考圖4，接著再 將把手元件25向下施壓，叉取梢27會伸入框體31的插槽311中，並且 穿過該插槽311，請參考圖5A，將把手元件25向上升起，叉取梢27由連 動軸252的轉動向上升起時，會連帶將框體31往上抬起，當框體31接觸 彈性梢26時，彈性梢26會內縮，當框體31經過併到達彈性梢26上方時， 彈性梢26會外彈並支撐住框體31，以將框體31與光罩33分離，光罩33 會置於承載元件22上，而遇熱融化並附著於框體31上的膠材32a即可隨 框體31—並取出，請參考圖5B，因此不會發生膠材32a—部分沾黏於框 體31上，而另一部分仍沾黏於光罩33上的情形，由此可完全避免拉扯同 時沾黏於框體31與光罩33間的膠材32a時，膠材32a彈回光罩33上， 而導致光罩33汙染或圖形損壞的情形發生，亦可減少後續處理成本及時 間。
本實用新型乃針對先前技術加以改良，本實用新型具有加熱裝置的光 罩保護膜框體卸除裝置，可於加熱時可將黏合框體與保護膜的膠材融化並 使其附著於框體上，因此當取出框體時，不會發生膠材一部分沾黏於框體 上，而另一部分仍沾黏於光罩上的情形，由此可完全避免拉扯同時沾黏於 框體與光罩間的膠材時，膠材彈回光罩上，而導致光罩汙染或圖形損壞的 情形發生。
以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，並非用以限定本實用新 型的權利要求；同時以上的描述，對於熟知本技術領域的專門人士應可明 了及實施，因此其它未脫離本實用新型所揭示的精神下所完成的等效改變 或修飾，均應包含在所述的權利要求範圍中。
權利要求1、一種光罩保護膜框體卸除裝置，用以卸除一光罩上的光罩保護膜框體，其中該光罩保護膜框體以膠材黏合一光罩與一框體，形成一內部空間以保護該光罩上的圖形，該光罩保護膜框體卸除裝置包含一底座元件；至少一承載元件，設置於該底座元件上，用以承載該光罩；至少一固定推桿，設置於該承載元件上，用以固定承載於該承載元件上的該具有光罩保護膜的光罩；至少一卸除元件，設於該底座元件上，用以將該框體與該光罩分離；其特徵在於，具有至少一加熱裝置，與該底座元件具有電性相接，用以加熱該具有光罩保護膜的光罩至一預定溫度，使得黏合該框體與該光罩的膠材會遇熱融化並附著於該框體上，而遇熱融化並附著於該框體上的膠材可隨該框體一併取出。
2、 如權利要求1所述的光罩保護膜框體卸除裝置，其特徵在於，該 框體具有至少一側邊，且該側邊上具有至少一插槽。
3、 如權利要求1所述的光罩保護膜框體卸除裝置，其特徵在於，當 推動該固定推桿至該具有光罩保護膜的光罩時，該承載元件用以固定該具 有光罩保護膜的光罩的四個角。
4、 如權利要求1所述的光罩保護膜框體卸除裝置，其特徵在於，該 卸除元件包含至少一滑動軸設於該底座元件上。
5、 如權利要求4所述的光罩保護膜框體卸除裝置，其特徵在於，該 卸除元件另包含至少一把手固定元件，由至少一連接構件與該滑動軸相連 接。
6、 如權利要求5所述的光罩保護膜框體卸除裝置，其特徵在於，該 卸除元件另包含至少一固定件，用以將該連接構件定位於該滑動軸上。
7、 如權利要求5所述的光罩保護膜框體卸除裝置，其特徵在於，該 卸除元件另包含至少一把手元件，由至少一轉動元件與該把手固定元件相 連接。
8、 如權利要求7所述的光罩保護膜框體卸除裝置，其特徵在於，該卸除元件另包含至少一彈性梢，由至少一連動軸連接至該把手元件的一"V山乂而。
9、 如權利要求8所述的光罩保護膜框體卸除裝置，其特徵在於，當 推動該把手元件至定位並鎖緊時，該彈性梢將定位於該具有光罩保護膜的 光罩的上方。
10、 如權利要求8所述的光罩保護膜框體卸除裝置，其特徵在於，該 卸除元件另包含至少一叉取梢，由該連動軸連接至該把手元件的該端。
11、 如權利要求2或10項所述的光罩保護膜框體卸除裝置，其特徵 在於，當推動該把手元件至定位並鎖緊時，該叉取梢會伸入該插槽中。
12、 如權利要求7所述的光罩保護膜框體卸除裝置，其特徵在於，該 轉動元件設置於該叉取梢的下方，當該轉動元件的短軸與該叉取梢接觸 時，該叉取梢位於該把手固定元件的底端，當該轉動元件的長軸與該叉取 梢接觸時，該叉取梢是位於該把手固定元件的頂端。
專利摘要本實用新型提供一種具有加熱裝置的光罩保護膜框體卸除裝置，用以卸除一光罩上的光罩保護膜。此光罩保護膜框體卸除裝置包含底座元件、卸除元件、承載元件、固定推桿、加熱裝置以及卸除元件等，承載元件設置於底座元件上，用以承載光罩，固定推桿則又設置於承載元件上，用以固定承載於承載元件上的具有光罩保護膜的光罩，而加熱裝置是用以加熱具有光罩保護膜的光罩至一預定溫度，使得黏合框體與光罩的膠材遇熱融化並附著於框體上，另有一卸除元件亦設於底座元件上，用以將框體與光罩分離，為此可避免因膠材的沾黏與拉扯而導致光罩汙染或圖形損壞。
文檔編號G03F7/20GK201262685SQ20082013363
公開日2009年6月24日 申請日期2008年9月4日 優先權日2008年9月4日
發明者楊家豪 申請人:家登精密工業股份有限公司