塗敷裝置的製作方法

2023-05-02 06:07:06 2

專利名稱：塗敷裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種對玻璃襯底等的襯底表面塗敷塗敷液的塗敷裝置。
背景技術：
在玻璃襯底上形成覆膜時，塗敷覆膜形成用的塗敷液，並^^塗敷液
乾燥(烘乾)而製成覆膜。已知在專利文獻1至6中公布了該用途的塗 敷裝置。
專利文獻l中公布的塗敷裝置，在臺座的兩側設置有軌道，在這些 軌道上安裝有移動臺，在該移動臺上通過升降汽缸安裝有狹縫噴嘴。
專利文獻2中公布的塗敷裝置，對放置玻璃襯底的載臺，以從下方
橫跨載臺的方式配置了 一個上方開放的3字形框架，在該3字形框架的 上端之間安裝有狹縫噴嘴。在該現有技術中未公開用於升降狹縫噴嘴的 機構。
專利文獻3中公布的塗敷裝置，在放置玻璃襯底的臺座的兩側設置 有軌道，在這些軌道上可移動地接合了呈門形的支柱，在該支柱的上部 中央設置的升降部上安裝有噴頭(狹縫噴嘴)。
專利文獻4中公布的塗敷裝置，與專利文獻3中的塗敷裝置的結構 相同，但是，狹縫噴嘴是通過固定部件安裝在呈門形的支撐部件上的， 其未公開用於升降狹縫噴嘴的機構。
專利文獻5中公布的塗敷裝置，在利用滾珠螺杆移動的栽臺的上方 設置有兩個狹縫噴嘴，通過在上述載臺的上表面有間隔地放置兩塊玻璃 襯底，並利用上述兩個狹縫噴嘴同時對兩個玻璃襯底分別進行塗敷，與 用一個狹縫噴嘴進行塗敷時相比，可以縮短時間。
專利文獻6中公布的塗敷裝置，在一對軌道間配置有襯底放置載臺， 並在一對軌道間架設有門形移動機構，在該門形移動機構上安裝有利用 Z軸(上下方向)馬達升降的狹縫噴嘴。
專利文獻1:日本特開2003 - 236435號7>孝艮
專利文獻2 專利文獻3 專利文獻4 專利文獻5 專利文獻6
日本特開平11 - 162815號公報 曰本特開2002 - 102771號公報 曰本特開2004 - 298775號公報 日本特開平10 - 216599號乂〉才艮 曰本特開2002 - 140982號/〉淨艮
在專利文獻1至6的現有文獻中，在具有升降狹縫噴嘴的機構的現 有文獻中，構成升降機構的馬達或汽缸的重心，都位於比狹縫噴嘴的重 心還靠上方的位置。因此，當狹縫噴嘴在水平方向移動時，門形移動機 構等的重心位置變高，出現起伏，使得塗敷變得不穩定，從而產生無法 得到均勻的膜厚的問題。

發明內容
為解決上述課題，本發明提供一種塗敷裝置，其設置有移動體，該 移動體設置成可沿襯底放置栽臺的兩側移動，在該移動體上以可升降的 方式保持有狹縫噴嘴，在上述移動體上安裝有使上述狹縫噴嘴升降的驅 動裝置，該驅動裝置的重心設置得比狹縫噴嘴的重心低。
上述移動體也可以為門形，但門形移動體的重量會變大，所以最好 採用在各個軌道上安裝移動體，在這些移動體之間以可升降的方式支撐 狹縫噴嘴的結構。此時，若只在一側的移動體上設置驅動裝置，則升降 時狹縫噴嘴容易發生歪斜，所以最好是在各移動體上分別設置由馬達或 汽缸組件構成的驅動裝置。
根據本發明，當狹縫噴嘴與移動體一起移動時，能將重心維持在較 低位置，所以能抑制起伏的發生，從而能進行穩定的塗敷。


圖l是本發明的塗敷裝置的側視圖。 圖2是圖1的主要部分的俯視圖。
圖3是驅動裝置的放大圖。 圖4是圖3的A方向向視圖。 圖5是圖3的B方向向視圖。
圖中l...臺座，2...載臺，3…移動體，4…軌道，5…導向槽，6… 線性馬達(linear motor)的定子，7...線性馬達的動子，8...上下方向 的導軌，8a、 8b…限位開關，9...支撐體，10…狹縫噴嘴，ll...驅動裝 置，12...馬達，13...螺杆軸，14...螺母部件，14a…操作片，Gl…驅動 裝置的重心，G2…狹縫噴嘴的重心，W...襯底
具體實施例方式
以下參照附圖來說明本發明的實施方式。圖l是本發明的塗敷裝置 的側視圖、圖2是圖1的主要部分的俯視圖、圖3是驅動裝置的放大圖、 圖4是圖3的A方向向視圖、圖5是圖3的B方向向視圖。
對於塗敷裝置，在臺座1上固定有放置襯底W的載臺2，沿該栽臺 2的兩側配置有移動體3、 3，該移動體3在水平方向(與圖1的紙面垂 直的方向)是可移動的。
在本實施例中，移動體3利用線性馬達來移動。即，在栽臺2的側 面框架上設置有軌道4、 4,該軌道4與移動體3的導向槽5接合。並且， 將線性馬達的定子6與上述軌道4平行地配置，並將線性馬達的動子7 安裝在移動體3上，該動子7與該定子6維持規定的間隔。另外，上述 軌道4與導向槽5之間由於空氣墊而形成了一定間隙。
在移動體3的上部設置有上下方向的導軌8，支撐體9可自由升降 地接合在該導軌8上，在左右支撐體9、 9之間安裝有狹縫噴嘴10。
另外，在各移動體3上安裝有用於使支撐體9升降的驅動裝置11。 驅動裝置11具有固定於移動體3的側面的馬達12;利用該馬達12 使之轉動的螺杆軸13;以及與該螺杆軸13接合，並且隨著螺杆軸13 的轉動而上下旋進的螺母部件14。並且，上述螺母部件14的一部分安 裝在上述支撐體9上，支撐體9和狹縫噴嘴10因螺母部件14的上下旋 進而升降移動。
另外，支撐體9的升降移動的上限和下限，如圖4所示，由安裝在 螺母部件14上的操作片14a和安裝在左右導軌8中的一個導軌上的限 位開關8a、 8b來決定。
這裡，在構成驅動裝置11的部件中，重量最重的是馬達12，該馬 達12設置在比狹縫噴嘴10低的位置，其結果，驅動裝置11的重心G1 處於比狹縫噴嘴10 (準確地說是狹縫噴嘴10和支撐體9)的重心G2 低的位置。
在對放置於載臺2上的玻璃襯底W塗敷塗敷液時，利用驅動裝置 11，使狹縫噴嘴10下降，直到狹縫噴嘴10的下端與玻璃襯底W的上 表面之間的間隔達到規定值，然後從狹縫噴嘴10向襯底W表面噴出塗 敷液，同時利用線性馬達使左右的移動體3同步移動，由此，在襯底W 表面形成均勻厚度的塗膜。
這時，因為驅動裝置11的重心Gl位於比狹縫噴嘴10的重心G2 低的位置，所以能抑制移動體3沿著軌道4、 4在水平方向移動時產生 的起伏(上下動)。
在實施例中，在載臺2的兩側分別獨立地配置了移動體3、 3,但也 可以把移動體的形狀做成門形而成為一個移動體。不過，即使在這種情 況下，為了不使門形移動體發生歪斜，線性馬達也需要設置在兩側。
(產業可利用性)
本發明的塗敷裝置，可以用作以下這樣的塗敷裝置在要組裝到各 種顯示裝置中的玻璃襯底上形成塗膜。
權利要求
1.一種塗敷裝置，設置有移動體，該移動體被設置成可沿襯底放置載臺的兩側移動，在該移動體上以可升降的方式保持有狹縫噴嘴，其特徵在於在上述移動體上安裝有使上述狹縫噴嘴升降的驅動裝置，該驅動裝置的重心設置得比狹縫噴嘴的重心低。
2. 根據權利要求l所述的塗敷裝置，其特徵在於 上述移動體分別獨立地^:置在襯底放置栽臺的兩側，且對每個移動體都設置了驅動裝置。
全文摘要
本發明提供一種塗敷裝置，其具有當狹縫噴嘴進行塗敷而移動時能抑制起伏的構造。在為了對放置於載臺(2)上的玻璃襯底(W)塗敷塗敷液，而從狹縫噴嘴(10)向襯底(W)的表面噴出塗敷液，同時利用線性馬達使移動體(3)移動時，由於驅動裝置(11)的重心(G1)位於比狹縫噴嘴(10)的重心(G2)低的位置，所以能抑制移動體(3)沿著軌道(4、4)在水平方向移動時產生的起伏(上下動)，從而可以穩定地進行塗敷。
文檔編號B05C11/02GK101130184SQ200710142030
公開日2008年2月27日 申請日期2007年8月20日 優先權日2006年8月22日
發明者升芳明, 吉澤健司, 宮本英典, 曽根康博 申請人:東京應化工業株式會社;龍雲株式會社