一種化學品接頭結構的製作方法

2023-05-23 09:08:56 1

專利名稱:一種化學品接頭結構的製作方法
【專利摘要】本實用新型提供一種化學品接頭結構，包括：上接頭體，所述上接頭體的設定區域具有多個柱體結構；下接頭體，所述下結構體具有與所述柱體結構位置相對應的多個凹槽結構；其中，所述上接頭體被設定去除了若干個柱體結構，所述下接頭體被堵塞體堵住了與所述若干個柱體結構位置相對應的若干個凹槽結構。本實用新型可以使生產線中央供應系統換用桶裝化學品時只能換用對應正確的化學品，從根源上防止錯誤化學品上線的可能，避免了因生產線中央供應系統換用桶裝化學品時錯誤的化學品流入產線，造成生產線停線，產品報廢等風險。
【專利說明】一種化學品接頭結構

【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種半導體製造設備結構，特別是涉及一種化學品接頭結構。

【背景技術】
[0002]半導體器件製造是被用於製造晶片，一種日常使用的電氣和電子器件中集成電路的處理工藝。它是一系列照相和化學處理步驟，在其中電子電路逐漸形成在使用純半導體材料製作的晶片上。
[0003]半導體製造在很大程度上是一種與化學有關的工藝過程。高達20%工藝步驟是清洗和晶圓表面的處理。半導體工廠消耗大量的酸、鹼、溶劑和水，為達到精確和潔淨的工藝，部分成本是由於化學品需要非常高的純度和特殊反應機理，化學品使用的準確程度往往決定著半導體產品最終的成品率和電學性能，可見，化學品的一些特殊的屬性對於半導體工藝存在有非常重要的意義。
[0004]目前大多數桶裝化學品採取生產線上的中央供應系統輸出，必須嚴格確保生產線系統輸出正確對應的化學品，否則所有使用該化學品管路系統的所有器件都會受到影響，甚至可能造成產線大量停線或者報廢。
[0005]現行生產線上的桶裝化學品大多以標籤信息確認，甚至人工掃條形碼(BARCODE)的方式進行操作，但是人為操作仍然存在用錯化學品的風險，無法從根源進行杜絕。
[0006]為了解決上述的問題，現在，對於半導體生產線上換用桶裝化學品的時候，需要加強標籤信息的核對，確保掃條形碼(BARCODE)正確才可以上線使用，並要求供應廠商儘量對不同種類的化學品採用具有明顯辨識度的包裝區分，如不同的桶裝化學品採用不同的桶身顏色，或不同的標籤形狀等，但是，雖然在桶裝化學品上增加了辨別標識，在人工操作換桶時，仍然不能完全避免化學品的錯誤使用。
[0007]鑑於現有技術的以上缺陷，提供一種能夠避免因生產線中央供應系統換用桶裝化學品時錯誤的化學品流入產線，造成產線停線，產品報廢等風險的新型結構實屬必要。
實用新型內容
[0008]鑑於以上所述現有技術的缺點，本實用新型的目的在於提供一種化學品接頭結構，用於解決現有技術中桶裝化學品容易出現錯誤換用的問題。
[0009]為實現上述目的及其他相關目的，本實用新型提供一種化學品接頭結構，包括:
[0010]上接頭體，所述上接頭體的設定區域具有多個柱體結構；
[0011]下接頭體，所述下結構體具有與所述柱體結構位置相對應的多個凹槽結構；
[0012]其中，所述上接頭體被設定去除了若干個柱體結構，所述下接頭體被堵塞體堵住了與所述若干個柱體結構位置相對應的若干個凹槽結構。
[0013]作為本實用新型的化學品接頭結構的一種優選方案，所述上接頭體包括位於中部的螺紋凸起結構以及環繞所述螺紋凸起結構的上圓環結構，所述多個柱體結構設置於所述上圓環結構的預設位置。
[0014]進一步地，所述下接頭體包括位於中部的螺紋凹陷結構以及環繞所述螺紋凹陷結構的下圓環結構，所述多個凹槽結構設置於所述下圓環結構的預設位置，且所述螺旋凸起結構於螺旋凹陷結構可形成螺紋連接。
[0015]作為本實用新型的化學品接頭結構的一種優選方案，所述主體結構及凹槽結構的數量均為6?12個。
[0016]進一步地，所述上接頭體被去除的柱體結構的數量為I?11個。
[0017]作為本實用新型的化學品接頭結構的一種優選方案，所述上接頭體及下接頭體的材料包括高密度聚乙烯，所述柱體結構的材料包括聚丙烯。
[0018]作為本實用新型的化學品接頭結構的一種優選方案，所述上接頭體設置於化學品供應管道輸入埠，所述下接頭體設置於桶裝化學品的輸出埠。
[0019]如上所述，本實用新型提供一種化學品接頭結構，包括:上接頭體，所述上接頭體的設定區域具有多個柱體結構；下接頭體，所述下結構體具有與所述柱體結構位置相對應的多個凹槽結構；其中，所述上接頭體被設定去除了若干個柱體結構，所述下接頭體被堵塞體堵住了與所述若干個柱體結構位置相對應的若干個凹槽結構。本實用新型可以使生產線中央供應系統換用桶裝化學品時只能換用對應正確的化學品，從根源上防止錯誤化學品上線的可能，避免了因生產線中央供應系統換用桶裝化學品時錯誤的化學品流入產線，造成生產線停線，產品報廢等風險。

【附圖說明】

[0020]圖1顯示為本實用新型的上接頭體的主視結構示意圖。
[0021]圖2顯示為本實用新型的上接頭體的下視結構示意圖。
[0022]圖3顯示為本實用新型的下接頭體的主視結構示意圖。
[0023]圖4顯示為本實用新型的下接頭體的上視結構示意圖。
[0024]元件標號說明
[0025]10上接頭體
[0026]101柱體結構
[0027]102被去除的柱體結構
[0028]103上圓環結構
[0029]104螺紋凸起結構
[0030]20下接頭體
[0031]201凹槽結構
[0032]202堵塞體
[0033]203下圓環結構
[0034]204螺紋凹陷結構

【具體實施方式】
[0035]以下通過特定的具體實例說明本實用新型的實施方式，本領域技術人員可由本說明書所揭露的內容輕易地了解本實用新型的其他優點與功效。本實用新型還可以通過另外不同的【具體實施方式】加以實施或應用，本說明書中的各項細節也可以基於不同觀點與應用，在沒有背離本實用新型的精神下進行各種修飾或改變。
[0036]請參閱圖1?圖4。需要說明的是，本實施例中所提供的圖示僅以示意方式說明本實用新型的基本構想，遂圖式中僅顯示與本實用新型中有關的組件而非按照實際實施時的組件數目、形狀及尺寸繪製，其實際實施時各組件的型態、數量及比例可為一種隨意的改變，且其組件布局型態也可能更為複雜。
[0037]如圖1?圖4所示，本實施例提供一種化學品接頭結構，包括:
[0038]上接頭體10，所述上接頭體10的設定區域具有多個柱體結構101 ;
[0039]下接頭體20，所述下結構體具有與所述柱體結構101位置相對應的多個凹槽結構201 ；
[0040]其中，所述上接頭體10被設定去除了若干個柱體結構102，所述下接頭體20被堵塞體202堵住了與所述若干個柱體結構102位置相對應的若干個凹槽結構201。
[0041]在本實施例中，所述上接頭體10設置於化學品供應管道輸入埠，所述下接頭體20設置於桶裝化學品的輸出埠。
[0042]作為示例，所述上接頭體10包括位於中部的螺紋凸起結構104以及環繞所述螺紋凸起結構104的上圓環結構103，所述多個柱體結構101設置於所述上圓環結構103的預設位置。進一步地，所述下接頭體20包括位於中部的螺紋凹陷結構204以及環繞所述螺紋凹陷結構204的下圓環結構203，所述多個凹槽結構201設置於所述下圓環結構203的預設位置，且所述螺旋凸起結構於螺旋凹陷結構可形成螺紋連接。
[0043]作為示例，所述主體結構及凹槽結構201的數量均為6?12個。進一步地，所述上接頭體10被去除的柱體結構102的數量為I?11個。
[0044]作為示例，所述上接頭體10及下接頭體20的材料包括高密度聚乙烯，所述柱體結構101的材料包括聚丙烯。
[0045]如圖1?4所示，一個更具體的實施方案如下:
[0046]如圖1所示，所述上接頭體10包括位於中部的螺紋凸起結構104以及環繞所述螺紋凸起結構104的上圓環結構103，所述螺紋凸起結構104以及所述上圓環結構103為可活動連接，當所述螺紋凸起結構104旋轉時，所述上圓環結構103可以保持不動。所述上圓環結構103的下表面上設置有9個柱體結構101，所述的9個柱體結構101分為3組，每組包括3個柱體結構101，其中，如圖2所示，位於左上角的第一組柱體結構101中去除了 2個柱體結構102，位於右方的第二組柱體結構101中去除了 I個柱體結構102。
[0047]如圖3所示，所述下接頭體20包括位於中部的螺紋凹陷結構204以及環繞所述螺紋凹陷結構204的下圓環結構203，所述螺旋凸起結構於螺旋凹陷結構可形成螺紋連接，所述下圓環結構203中設置有9個凹槽結構201，其位置與上圓環結構103中的9個柱體結構101--對應，其中，如圖4所示，與所述上圓環結構103中被去除的柱體結構102位置對應的凹陷結構中，設置有堵塞體202將其堵住，這樣，只有兩個對應的上接頭體10與下接頭體20才能完成對接。對應於其它的化學品，可以採用去除不同的柱體結構及堵塞不同的凹陷結構完成一一對應，從而避免了因生產線中央供應系統換用桶裝化學品時錯誤的化學品流入產線。
[0048]如上所述，本實用新型提供一種化學品接頭結構，包括:上接頭體10，所述上接頭體10的設定區域具有多個柱體結構101 ;下接頭體20，所述下結構體具有與所述柱體結構101位置相對應的多個凹槽結構201 ;其中，所述上接頭體10被設定去除了若干個柱體結構102，所述下接頭體20被堵塞體202堵住了與所述若干個柱體結構102位置相對應的若干個凹槽結構201。本實用新型可以使生產線中央供應系統換用桶裝化學品時只能換用對應正確的化學品，從根源上防止錯誤化學品上線的可能，避免了因生產線中央供應系統換用桶裝化學品時錯誤的化學品流入產線，造成生產線停線，產品報廢等風險。所以，本實用新型有效克服了現有技術中的種種缺點而具高度產業利用價值。
[0049]上述實施例僅例示性說明本實用新型的原理及其功效，而非用於限制本實用新型。任何熟悉此技術的人士皆可在不違背本實用新型的精神及範疇下，對上述實施例進行修飾或改變。因此，舉凡所屬【技術領域】中具有通常知識者在未脫離本實用新型所揭示的精神與技術思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應由本實用新型的權利要求所涵蓋。
【權利要求】
1.一種化學品接頭結構，其特徵在於，包括: 上接頭體，所述上接頭體的設定區域具有多個柱體結構； 下接頭體，所述下接頭體具有與所述柱體結構位置相對應的多個凹槽結構； 其中，所述上接頭體被設定去除了若干個柱體結構，所述下接頭體被堵塞體堵住了與所述若干個柱體結構位置相對應的若干個凹槽結構。2.根據權利要求1所述的化學品接頭結構，其特徵在於:所述上接頭體包括位於中部的螺紋凸起結構以及環繞所述螺紋凸起結構的上圓環結構，所述多個柱體結構設置於所述上圓環結構的預設位置。3.根據權利要求2所述的化學品接頭結構，其特徵在於:所述下接頭體包括位於中部的螺紋凹陷結構以及環繞所述螺紋凹陷結構的下圓環結構，所述多個凹槽結構設置於所述下圓環結構的預設位置，且所述螺紋凸起結構與螺紋凹陷結構可形成螺紋連接。4.根據權利要求1所述的化學品接頭結構，其特徵在於:所述柱體結構及凹槽結構的數量均為6?12個。5.根據權利要求4所述的化學品接頭結構，其特徵在於:所述上接頭體被去除的柱體結構的數量為I?11個。6.根據權利要求1所述的化學品接頭結構，其特徵在於:所述上接頭體及下接頭體的材料包括高密度聚乙烯，所述柱體結構的材料包括聚丙烯。7.根據權利要求1所述的化學品接頭結構，其特徵在於:所述上接頭體設置於化學品供應管道輸入埠，所述下接頭體設置於桶裝化學品的輸出埠。
【文檔編號】F16L23-032GK204300564SQ201420581402
【發明者】孫璐, 上官遨宇 [申請人]中芯國際集成電路製造(北京)有限公司