一種用於無蠟拋光設備的配液供液裝置及其使用方法
2023-05-22 02:41:26
一種用於無蠟拋光設備的配液供液裝置及其使用方法
【專利摘要】本發明提供一種用於無蠟拋光設備的配液供液裝置及其使用方法，是針對無蠟拋光設備粗拋過程的最後一步使用醋酸時的配液供液裝置，該裝置包括一號液桶、二號液桶、無蠟拋光設備和總控制系統。本發明創造不需要停機便可以按要求進行配液和供液，可以保持拋光設備連續運行較長時間，具有結構簡單，控制容易，製造成本低，維護費用少，安全性高，穩定性好的優點，可較好的應用於無蠟拋光設備的拋光過程中。
【專利說明】一種用於無蠟拋光設備的配液供液裝置及其使用方法
【技術領域】
[0001]本發明創造涉及設備配液、供液技術，特別涉及一種用於無蠟拋光設備的配液供液裝置及其使用方法。
【背景技術】
[0002]無蠟拋光是利用Peter Wolters FL12P拋光機用化學機械拋光(CMP)的方法進行拋光。其中粗拋過程的最後一步需要利用醋酸來中和掉一部分拋光液的鹼性，而原有的方法是將醋酸溶液按一定比例配好後，手動將其倒在拋光墊上。這種方法在操作上非常複雜，且醋酸溶液量無法有效控制，設備無法實現自動化，工作效率低，無法適應大批量生產的需要。
【發明內容】
[0003]本發明創造針對上述現有技術所存在的缺失，主要目的在於提供了一種用於無蠟拋光設備的配液供液裝置及其使用方法。其可以在不用停機的狀態下，按要求進行配液和供液。
[0004]為解決上述技術問題，本發明創造採用的技術方案是:
[0005]一種用於無蠟拋光設備的配液供液裝置，包括一號液桶(I)、二號液桶(2)、無蠟拋光設備(5)和總控制系統(3)，其中一號液桶(I)和二號液桶(2)的進液口通過分管道與總管道(13)的一端連接，一號液桶(I)和二號液桶(2)的出液口通過分管道與總管道(13)的另一端連接，無蠟拋光設備(5)也通過分管道與總管道(13)相連接，位於兩個液桶進液口處的分管道上分別設置有一個閥門，位於兩個液桶出液口處的分管道上都設置有泵和閥門，總控制系統(3)通過導線與裝置內的各個泵相連接，用於控制泵的開啟和關閉。
[0006]所述的一號液桶(I)和二號液桶(2)的底部均設置有低液位傳感器(6)，且所述低液位傳感器(6)通過導線與設置在總控制系統(3)上的低液位傳感報警器(4)相連接。
[0007]優選地，所述一號液桶(I)與二號液桶(2)的容量相同。
[0008]本發明的另一目的是提供一種所述的配液供液裝置的使用方法，所述方法是將兩個液桶中的一個始終作為配液桶，另一個作為供液桶為無蠟拋光設備供液。
[0009]本發明還包括另一種所述的配液供液裝置的使用方法，所述方法是採用兩液桶輪流供液或配液的方式為無蠟拋光設備進行供液。
[0010]本發明創造具有的優點和積極效果是:本發明創造提供的用於無蠟拋光設備的配液供液裝置及其使用方法，在進行無蠟拋光工序時，可以在不用停機的狀態下，按要求進行配液和供液，實現設備完全自動化，提高了工作效率。具有結構簡單，控制容易，製造成本低，維護費用少，安全性高，穩定性好的優點，可較好的應用於無蠟拋光設備的拋光過程中。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0011]圖1是本發明創造的結構示意圖[0012]圖中:
[0013]1、一號液桶2、二號液桶3、總控制系統4、低液位傳感報警器
[0014]5、無臘拋光設備6、低液位傳感器7、一號閥門8、二號閥門
[0015]9、三號閥門10、四號閥門11、一號泵12、二號泵
[0016]13、總管道
【具體實施方式】
[0017]本發明創造所公開的無蠟拋光設備的配液供液裝置，包括一號液桶1、二號液桶
2、無蠟拋光設備5和總控制系統3，其中一號液桶I和二號液桶2的進液口通過分管道與總管道13的一端連接，一號液桶I和二號液桶2的出液口通過分管道與總管道13的另一端連接，無蠟拋光設備5也通過分管道與總管道13相連接，位於兩個液桶進液口處的分管道上分別設置有一個閥門，位於兩個液桶出液口處的分管道上都設置有泵和閥門，總控制系統3通過導線與裝置內的各個泵相連接，用於控制泵的開啟和關閉。
[0018]本發明創造的配液供液裝置主要由兩個液桶組成，兩個液桶的出液口處均有一個泵使得兩個液桶是相對獨立的，即單一設備即可完成醋酸的配液和供液。除此之外，兩個液桶彼此通過管道相連接形成配液迴路，使得一號液桶I內的醋酸溶液可以流至二號液桶2內，同理二號液桶2內的醋酸溶液也可以流至一號液桶I內。
[0019]除此之外，在兩個液桶上還裝配了低液位報警裝置，當液桶內的液位較低時，低液位傳感器處於打開狀態，此時連接在傳感器上的報警器便會發出報警信號，提示操作人員需要進行配液，有效控制了醋酸配液和供液的時間，給生產和操作帶來了很大的方便。
[0020]為了更清楚的理解本發明，下面結合具體實施例對本發明進行進一步詳細描述:
[0021]實施例1
[0022]使用時，首先根據工藝要求，按照醋酸的配液比例為醋酸:去離子水=1:1000配製酸液，盛放醋酸溶液的一號液桶I容積為35L，所加冰醋酸應為35mL。用帶刻度的量筒量取35mL的冰醋酸倒入配液桶內，將純水加入一號液桶I至35L。整個配液過程仍需要人手動完成配液。
[0023]打開一號液桶I進液口處的一號閥門7,出液口處的三號閥門9及一號泵11的開關，同時關閉二號液桶2進液口處的二號閥門8，出液口處的四號閥門10及二號泵12的開關，此時一號液桶I用來供液，二號液桶2米用相同配液方法進行配液。待一號液桶I內的液體用完時，再關閉一號液桶I的相應的閥門和泵的開關同時打開液桶2的泵和閥門的開關。此時液桶2供液，同理液桶I可以用來配液。
[0024]實施例2
[0025] 與實施例1中的配液方法相同，本實施中是採用固定一個液桶始終用於供液，另一個液桶則用來配液。具體方法為，打開一號液桶I的一號閥門7，三號閥門9及一號泵11的開關，同時打開二號液桶2的三號閥門8與四號閥門10的開關並關閉二號泵12的開關。使得兩液桶之間形成一個配液迴路。在一號液桶I供液時，由於一號泵11的作用，使得一號液桶與二號液桶內的液體存在壓力差，因此二號液桶2內的溶液會不斷的流向一號液桶I內。待二號液桶2內溶液完全消失且液桶I內的溶液剩餘不多時，關閉配液迴路上三號閥門8與四號閥門10，在二號液桶2內進行配液。配液完成後再打開三號閥門8與四號閥門10使得兩個液桶之間重新形成配液迴路。
[0026]以上對本發明創造的實施例進行了詳細說明，但所述內容僅為本發明創造的較佳實施例，不能被認為用於限定本發明創造的實施範圍。凡依本發明創造範圍所作的均等變化與改進等，均應仍歸屬於本專利涵蓋範圍之內。
【權利要求】
1.一種用於無蠟拋光設備的配液供液裝置，其特徵在於:包括一號液桶(I)、二號液桶(2)、無蠟拋光設備(5)和總控制系統(3)，其中一號液桶(I)和二號液桶(2)的進液口通過分管道與總管道(13)的一端連接，一號液桶(I)和二號液桶(2)的出液口通過分管道與總管道(13)的另一端連接，無蠟拋光設備(5)也通過分管道與總管道(13)相連接，位於兩個液桶進液口處的分管道上分別設置有一個閥門，位於兩個液桶出液口處的分管道上都設置有泵和閥門，總控制系統(3)通過導線與裝置內的各個泵相連接，用於控制泵的開啟和關閉。
2.根據權利要求1所述的配液供液裝置，其特徵在於:所述的一號液桶(I)和二號液桶(2)的底部均設置有低液位傳感器(6)，且所述低液位傳感器(6)通過導線與設置在總控制系統(3)上的低液位傳感報警器(4)相連接。
3.根據權利要求1所述的配液供液裝置，其特徵在於:所述一號液桶(I)與二號液桶(2)的容量相同。
4.一種如權利要求1-3任一項所述的配液供液裝置的使用方法，其特徵在於:所述方法是將兩個液桶中的一個始終作為配液桶，另一個作為供液桶為無蠟拋光設備供液。
5.—種如權利要求1-3任一項所述的配液供液裝置的使用方法,其特徵在於:所述方法是採用兩液桶輪流供液或配液的方式為無蠟拋光設備進行供液。
【文檔編號】B24B37/34GK103639889SQ201310659439
【公開日】2014年3月19日 申請日期:2013年12月5日 優先權日:2013年12月5日
【發明者】劉建偉, 秦焱澤, 嚴政先, 董建斌, 呂瑩 申請人:天津中環領先材料技術有限公司