噴砂機及噴砂生產線的製作方法

2023-05-22 01:02:41

本實用新型涉及半導體加工設備領域，更具體地說，涉及一種噴砂機，還涉及一種噴砂生產線。

背景技術：

噴砂機主要應用於電子製造業半導體大功率可控矽晶片加工用的一種專用設備。噴砂機是採用壓縮空氣為動力，以形成高速噴射束將噴料高速噴射到被需處理矽片表面，使矽片表面的外表面的機械性能發生變化的一種機器。其工作原理是以壓縮空氣為動力，通過氣流的高速運動在噴槍內形成的負壓，將磨料通過輸砂管吸入噴槍並經噴嘴噴出，噴射到被加工表面，達到預期的加工目的。

目前現有的噴砂機的噴嘴僅一個，經過噴嘴噴出的磨料流量少，一次僅能夠對一個矽片進行加工，其生產效率較低，且產品質量難以保證。

綜上所述，如何有效地解決噴砂機生產效率低、產品質量難以保證的問題，是目前本領域技術人員急需解決的問題。

技術實現要素：

有鑑於此，本實用新型的第一個目的在於提供一種噴砂機，以解決噴砂機生產效率低、產品質量難以保證的問題。本實用新型的第二個目的是提供一種包括噴砂機的生產線。

為了達到上述第一個目的，本實用新型提供如下技術方案：

一種噴砂機，包括機架和設置於所述機架上的噴砂室，所述噴砂室內設置有用於帶動工件旋轉的傳動裝置，所述機架上設置有噴嘴，所述噴嘴的個數至少為兩個，至少兩個所述噴嘴的噴射方向不同。

優選地，在上述噴砂機中，所述傳動裝置的個數為多個。

優選地，在上述噴砂機中，所述傳動裝置具體為聯軸器。

優選地，在上述噴砂機中，各個所述噴嘴的噴射方向可調。

優選地，在上述噴砂機中，還包括與所述噴砂室連接的砂箱振動裝置，所述砂箱振動裝置包括調壓過濾器。

本實用新型提供的噴砂機包括機架和噴砂室，噴砂室設置於機架上。其中，噴砂室內設置有用於帶動工件旋轉的傳動裝置，機架上設置有噴嘴，噴嘴的個數至少為兩個，至少兩個所述噴嘴的噴射方向不同。

應用本實用新型提供的噴砂機時，將工件放置在模座上，傳動裝置帶動工件進行旋轉，機架上的噴嘴的個數至少為兩個，至少兩個噴嘴的噴射方向不同。在作業時，可根據工件的位置調整好噴嘴的磨削角度，一個噴嘴磨削矽片邊緣，另一個噴嘴磨削矽片根部，使每批次矽片噴磨角度一致，有效地保證了產品質量，至少兩個噴嘴同時噴磨，縮短單片的噴磨時間，提高生產效率，提高產品質量。

為了達到上述第二個目的，本實用新型還提供了一種噴砂機的生產線，該生產線包括上述任一種噴砂機，由於上述的噴砂機具有上述技術效果，具有該噴砂機的噴砂生產線也應具有相應的技術效果。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對於本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實用新型實施例提供的噴砂機的主視結構示意圖；

圖2為本實用新型實施例提供的噴砂機的側視結構示意圖；

圖3為本實用新型實施例提供的噴砂機的俯視結構示意圖；

圖4為本實用新型實施例提供的噴砂機的噴砂振動裝置的結構示意圖。

附圖中標記如下：

調節裝置1、機架2、噴砂室3、傳動裝置4、砂箱振動裝置5。

具體實施方式

本實用新型實施例公開了一種噴砂機，以解決噴砂機生產效率低、產品質量難以保證的問題。

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基於本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬於本實用新型保護的範圍。

請參閱圖1-圖4，圖1為本實用新型實施例提供的噴砂機的主視結構示意圖；圖2為本實用新型實施例提供的噴砂機的側視結構示意圖；圖3為本實用新型實施例提供的噴砂機的俯視結構示意圖；圖4為本實用新型實施例提供的噴砂機的噴砂振動裝置的結構示意圖。

在一種具體的實施方式中，噴砂機包括機架2和噴砂室3。其中，噴砂室3設置於機架2上，噴砂室3內設置有用於帶動矽片旋轉的傳動裝置4，機架2上可設置有調節裝置1，調節裝置1上設置有噴嘴，用於噴出磨料，噴嘴的個數至少為兩個，至少兩個所述噴嘴的噴射方向不同。應用本實用新型提供的噴砂機時，將工件放置在傳動裝置4的模座中並固定，啟動電源，傳動裝置4帶動工件進行旋轉，通過電動杆控制調節裝置1移動到與工件相適應的位置，調節裝置1上的噴嘴對工件進行噴磨，噴嘴的個數至少為兩個，如在設置時可優選為兩個，分別調整好兩個噴嘴的磨削角度，一個噴嘴磨削工件邊緣，另一個噴嘴磨削工件根部，使每批次產品噴磨角度是一致的，有效地保證了產品質量，在其他實施例中，也可以設置三個噴嘴，其中至少兩個噴嘴的噴射方向不同，如可以兩個噴嘴噴射工件的邊緣，一個噴嘴噴射工件的根部，以保證對矽片進行多角度全方位的研磨，至少兩個噴嘴同時研磨，縮短單片的噴磨時間，提高工作效率和生產質量。

具體的，傳動裝置4的個數為多個。為了更好地提高工作效率，傳動裝置4的個數可以為多個，在一種實施例中，可具體為四個。一次磨削四個矽片，相應的調節裝置1也為四個，傳動裝置4和調節裝置1配合使用，使得一次磨削 的工件增多，提高工作效率，在其他實施例中，也可以更具噴砂機的尺寸、動力裝置的功率自行進行設置傳動裝置4的個數。

更進一步地，傳動裝置4具體為聯軸器。聯軸器用來連接不同機構中的兩根軸使之共同選擇以傳遞扭矩的機械零件，分別與主動軸和從動軸連接。採用電機、聯軸器的直接傳動方式，降低運行噪音。在其他實施例中，也可以選擇其他類型的傳動裝置4，如鏈傳動或齒輪傳動等，均在本實用新型的保護範圍內。

在上述各實施例的基礎上，各個噴嘴的噴射方向可調。一般的，可根據實際的工件的待加工角度對噴嘴的噴射方向進行預先設置，然後再與機架連接，通過設置後對工件完成噴磨工藝。在其他實施例中，也可以設置控制裝置對各個噴嘴的噴射方向進行遠程控制，根據加工過程中工件的噴磨情況改變噴嘴的噴射方向進而完成對工件的噴磨，具體的，可根據實際的生成需要自行進行選擇。

具體的，還包括與噴砂室3連接的砂箱振動裝置5，砂箱振動裝置5包括調壓過濾器。通過增加混合砂箱，氣體進入砂箱筒後，使砂箱筒內的研磨粉劑進入混合砂箱，使高壓氣流與研磨粉劑有機混合，調壓過濾器由電磁閥進行控制。振動器對砂箱實施高頻振動，同時控制研磨粉的流量，使混合砂箱產生高壓研磨噴流均勻、有力的對工件實施有效的磨削。

一般的，幹潔的氣體經過氣源三聯體後，經電磁閥控制的砂箱經噴嘴噴出，完成對工件的磨削。

具體的工作過程為：接入220V交流電源，電源指示燈亮；設定噴砂時間，按動燈開關，工作室燈亮；選擇開關置手動模式，將待加工工件裝入模座內，按「向前」按鈕，電動杆向前移動到位，調節切削距離和切削角度；按「啟動」按鈕，電機帶動矽片旋轉，根據矽片大小調整電機轉速到指定轉速；將時間繼電器設定為工件所需加工的時間；調試完成，將選擇開關置自動模式，按「啟動」按鈕，自動完成噴砂，打開噴砂室3門，更換四個工件，關閉噴砂室3門，自動完成4個工件噴砂。該裝置降低工人的勞動強度，工作時噪聲小、無飛塵，符合工業環境衛生要求，由於採用了電器調節噴磨距離及角度和定位磨片，工件噴磨均勻，一致性好，一批工件噴磨角度是一致的，有效地保證了產品質量，提高工作效率。

基於上述實施例中提供的噴砂機，本實用新型還提供了一種噴砂生產線，該噴砂生產線包括上述實施例中任意一種噴砂機。由於該噴砂生產線採用了上述實施例中的噴砂機，所以該噴砂生產線的有益效果請參考上述實施例。

本說明書中各個實施例採用遞進的方式描述，每個實施例重點說明的都是與其他實施例的不同之處，各個實施例之間相同相似部分互相參見即可。

對所公開的實施例的上述說明，使本領域專業技術人員能夠實現或使用本實用新型。對這些實施例的多種修改對本領域的專業技術人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實用新型的精神或範圍的情況下，在其它實施例中實現。因此，本實用新型將不會被限制於本文所示的這些實施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點相一致的最寬的範圍。