一種單臺面直寫式曝光機的製作方法

2023-05-08 00:21:51

本發明涉及曝光機領域，特別是一種單臺面直寫式曝光機。

背景技術：

目前單臺面直寫光刻裝置的能量標定系統在布局上受限於整機設備不能太寬，水平橫向行程窄，工藝過程要求過於精密，無法低成本做到大行程等，必須使用兩個能量監測模塊，左邊模塊標定左半部分鏡頭，右邊模塊標定右半部分鏡頭，這樣來完成整個曝光鏡頭的能量標定，這樣在能量標定過程中，水平橫向軸就需要來回重複移動，既浪費了時間，又造成標定流程相對複雜，同時浪費了一套標定模塊，增加了成本。

技術實現要素：

針對上述問題，本發明提供了一種單臺面直寫式曝光機，該曝光機採用一套標定模塊完成標定，標定流程簡單，標定準確。

本發明採用的技術方案為：

一種單臺面直寫式曝光機，包括底座，底座上設有龍門立柱，龍門立柱上設有X軸向排列的曝光鏡頭，還包括工作檯，工作檯上設有底架、處於底架上的用於標定曝光鏡頭的標定模塊以及用於驅動標定模塊X軸方向滑動的標定模組，工作檯下方設有用於驅動工作檯X軸方向滑動的第一驅動模組，底座上設有用於驅動工作檯Y軸方向滑動的第二驅動模組，第一驅動模組設置在第二驅動模組上方；標定模組包括X軸方向設置在底架上的絲杆、驅動絲杆轉動的絲杆電機以及連接絲杆和絲杆電機的聯軸器，標定模塊套在絲杆上。優選地，標定模組還包括設置在底架上用於限制標定模塊移動位置的限位開關。

優選地，第一驅動模組包括X軸方向設置的第一基板、X軸方向設置在第一基板上的第一滑軌和沿著第一滑軌滑動的第一滑板，第一基板上設有第一定子組，第一滑板內設有用於驅動第一滑板滑動的第一動子組，第一動子組與第一定子組配合，工作檯設置在第一滑板上。

更優選地，第一基板上還設有用於限制第一滑板的滑動位置的第一限位開關。

更優選地，第一基板上還設有用於防止第一滑板自第一滑軌上脫落的第一限位塊。

優選地，第二驅動模組包括Y軸方向固定在底座上的第二基板、Y軸方向設置在第二基板上的第二滑軌和沿著第二滑軌滑動的第二滑板，第二基板上設有第二定子組，第二滑板內設有用於驅動第二滑板滑動的第二動子組，第二動子組與第二定子組配合，第二基板穿過龍門立柱，第一基板設置在第二滑板上。

更優選地，第二基板上還設有用於限制第二滑板的滑動位置的第二限位開關。

更優選地，第二基板上還設有用於防止第二滑板自第二滑軌上脫落的第二限位塊。

與現有技術相比，本發明的有益效果在於：本發明提供一種單臺面直寫式曝光機，該曝光機採用一套標定模塊完成標定，標定流程簡單，標定位置準確，第一驅動模組和第二驅動模組協同作用並結合標定模組使標定模塊的行程能夠一次性完成整個曝光鏡頭的能量標定。

附圖說明

圖1為本發明提供的一種單臺面直寫式曝光機的立體圖；

圖2為本發明提供的一種單臺面直寫式曝光機中標定模組的示意圖；

圖3為本發明提供的一種單臺面直寫式曝光機中第一驅動模組的示意圖；

圖4為本發明提供的一種單臺面直寫式曝光機中第二驅動模組的示意圖。

具體實施方式

根據附圖對本發明提供的優選實施方式做具體說明。

圖1至圖4，為本發明提供的一種單臺面直寫式曝光機的優選實施方式。如圖1至圖4所示，該單臺面直寫式曝光機包括底座10，底座10上設有龍門立柱11，龍門立柱11上設有X軸向排列的曝光鏡頭12，還包括工作檯20，工作檯20上設有底架21、處於底架21上的用於標定曝光鏡頭12的標定模塊22以及用於驅動標定模塊22X軸方向滑動的標定模組23，工作檯20下方設有用於驅動工作檯20X軸方向滑動的第一驅動模組30，底座10上設有用於驅動工作檯20Y軸方向滑動的第二驅動模組40，第一驅動模組30設置在第二驅動模組40上方，這樣結合第一驅動模組30、第二驅動模組40和驅動模組23使標定模塊22的行程足以一次完成整個曝光鏡頭12的能量標定。

如圖2所示，標定模組23包括X軸方向設置在底架21上的絲杆231、驅動絲杆231轉動的絲杆電機232以及連接絲杆231和絲杆電機232的聯軸器233，標定模塊22套在絲杆231上，絲杆電機232通過聯軸器233驅動絲杆231轉動，絲杆231轉動帶動絲杆231上的標定模塊22移動，這樣標定模塊22在工作檯20上的移動對曝光鏡頭12進行能量標定。

標定模組23還包括設置在底架21上用於限制標定模塊22移動位置的限位開關234。具體說，在底架21上分別與絲杆231的左右兩端部對應的位置設有限位開關234，這樣在標定模塊22在絲杆231的驅動下移動至絲杆231的左右兩端部時限位。底架21上還設有用於對線路收納的標定託鏈211。

如圖3所示，第一驅動模組30包括X軸方向設置的第一基板31、X軸方向設置在第一基板31上的第一滑軌32和沿著第一滑軌32滑動的第一滑板33，第一基板31上設有第一定子組311，第一滑板33內設有用於驅動第一滑板33滑動的第一動子組331，第一動子組331與第一定子組311配合，工作檯20設置在第一滑板33上，在第一滑板33帶動工作檯20X軸向滑動時，工作檯20上標定模塊22同時X軸向滑動，在這裡，第一滑板33帶動通過工作檯20帶動標定模塊22在X軸向滑動，是在大行程上調整標定模塊22的X軸向距離，而驅動模組23驅動標定模塊22在X軸向滑動，是在小行程上調整標定模塊22的X軸向距離，這樣利用第一驅動模組30的大行程調整和驅動模組23的小行程調整可以準確對龍門立柱11上的曝光鏡頭12標定，一次完成整個曝光鏡頭12標定。

第一基板31上還設有用於限制第一滑板33的滑動位置的第一限位開關312。具體說，在第一基板31分別與第一滑軌32的左右兩端部對應的位置設有第一限位開關312，這樣在第一滑板33在第一滑軌32上滑動至第一滑軌32的左右兩端部時限位。第一基板31上還設有用於防止第一滑板33自第一滑軌32上脫落的第一限位塊313，在第一滑板33滑動至第一滑軌32的左右兩端部時防止第一滑板33從第一滑軌32上脫落。第一基板31上還設有用於收納線路的第一託鏈314，防止線路纏繞損壞。

如圖4所示，第二驅動模組40包括Y軸方向固定在底座10上的第二基板41、Y軸方向設置在第二基板41上的第二滑軌42和沿著第二滑軌42滑動的第二滑板43，第二基板41上設有第二定子組411，第二滑板43內設有用於驅動第二滑板43滑動的第二動子組431，第二動子組431與第二定子組411配合，第二基板41穿過龍門立柱11，第一基板31設置在第二滑板43上，在第二滑板43在第二滑軌42上滑動時，處於第二滑板43上的第一基板31沿第二滑軌42Y向滑動，以使工作檯20Y向滑動，帶動工作檯20上的標定模塊22處於曝光鏡頭12的正下方。

第二基板41上還設有用於限制第二滑板43的滑動位置的第二限位開關412。具體說，在第二基板41分別與第二滑軌42的左右兩端部對應的位置設有第二限位開關412，這樣在第二滑板43在第二滑軌42上滑動至第二滑軌42的左右兩端部時限位。第二基板41上還設有用於防止第二滑板43自第二滑軌42上脫落的第二限位塊413，在第二滑板43滑動至第二滑軌42的左右兩端部時防止第二滑板43從第二滑軌42上脫落。第二基板41上還設有用於收納線路的第二託鏈414，防止線路纏繞損壞。

該單臺面直寫式曝光機的工作過程：第二滑板43內的第二動子組431與第二基板41上第二定子組411配合，帶動第二滑板43在第二滑軌42上滑動，這樣處於第二滑板43上的第一基板31沿第二滑軌Y向滑動，以使工作檯20Y向滑動，帶動工作檯20上的標定模塊22處於曝光鏡頭12的正下方；第一滑板33內的第一動子組331與第一基板31上的第一定子組311配合，帶動第一滑板33沿第一滑軌32滑動，第一滑板33上的工作檯20X向滑動，工作檯20上的標定模塊22X向滑動；絲杆電機232通過聯軸器233驅動絲杆231轉動，絲杆231轉動帶動絲杆231上的標定模塊22移動，這時標定模塊22本身沿著絲杆231移動，以對龍門立柱11上曝光鏡頭12進行標定；該曝光機採用一套標定模塊完成標定，標定流程簡單，標定位置準確，第一驅動模組30和第二驅動模組40協同作用並結合標定模組23使標定模塊22的行程能夠一次性完成整個曝光鏡頭的能量標定。

綜上所述，本發明的技術方案可以充分有效的實現上述發明目的，且本發明的結構及功能原理都已經在實施例中得到充分的驗證，能達到預期的功效及目的，在不背離本發明的原理和實質的前提下，可以對發明的實施例做出多種變更或修改。因此，本發明包括一切在專利申請範圍中所提到範圍內的所有替換內容，任何在本發明申請專利範圍內所作的等效變化，皆屬本案申請的專利範圍之內。