一種製備多功能矽微納米結構材料的方法
2023-05-08 15:30:41
一種製備多功能矽微納米結構材料的方法
【專利摘要】本發明涉及一種製備多功能矽微納米結構材料的方法,屬於新材料與納米材料【技術領域】。本發明將金屬催化矽腐蝕技術與原電池腐蝕技術有效結合,直接利用溶解於氫氟酸溶液中的氧氣作為促進矽腐蝕的氧化劑,不需要添加其它氧化劑如雙氧水、硝酸鐵等。該技術簡單易行,可以實現多種形貌矽微納米結構材料的規模化製備。所製備的矽微納米結構材料在太陽能電池、鋰離子電池、熱電器件、氣敏元件以及活性表面增強拉曼光譜術襯底等領域具有廣泛的應用前景。
【專利說明】一種製備多功能矽微納米結構材料的方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種製備多功能矽微納米結構材料的方法,屬於新材料技術與納米材料領域。
【背景技術】
[0002]矽微納米結構材料由於其獨特的物理性能及其在納米光電子、生物【技術領域】的巨大應用潛力近年引起科學界的廣泛關注。目前國內外研究製備多孔矽、矽量子點、矽納米線陣列等微納米結構材料的方法多種多樣,主要有化學氣相沉積和氧化物輔助生長技術。然而這些方法由於製備機制的限制,往往需要較高的溫度,對實驗設備的要求也很高,從而造成較高的生產成本。如專利200610117576.1中在臥式石英管式爐中製備矽納米線,要求反應在溫度1050-1250°C下,保持腔內壓強4500Pa[參見:中國專利200610117576.1,
【發明者】彭奎慶, 胡雅 申請人:北京師範大學