用於加工圓倒角的磨輪的製作方法

2023-05-08 01:39:01

專利名稱：用於加工圓倒角的磨輪的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種加工工具，尤其是一種進行晶棒倒角加工時將倒角加工為具有圓弧特徵的圓角的磨輪。
背景技術：
常規的倒角磨輪是使用金剛石樹脂磨輪，對晶棒進行倒角加工，加工後晶棒C角面A和面B及面B和面C間夾角為尖角，如圖3所示，同時由於尖夾角間的應力集中會造成後續加工中出現切損、缺角、隱裂等損失。

實用新型內容本實用新型要解決的技術問題是提供一種將面A和面B及面B和面C間夾角由尖角轉換為具有圓弧口的C角，如圖4所示，以降低切損、缺角、隱裂等損失的磨輪。本實用新型解決其技術問題所採用的技術方案是一種用於加工圓倒角的磨輪，所述的磨輪為兩圈式，磨輪的外圈為金剛石樹脂磨頭，磨輪的內圈為柔性毛刷束，所述的柔性毛刷束高於金剛石樹脂磨頭設置在磨輪內圈。具體的說，本實用新型所述的柔性毛刷束為含金剛砂微粒的柔性毛刷束，柔性毛刷束的直接為10mm，所述的柔性毛刷束為6 12束均勻布置；柔性毛刷束的無膠長度為10 15mm。所述的柔性毛刷束高於金剛石樹脂磨頭I 3mm。本實用新型將原先單由金剛砂與矽塊接觸的硬磨擦改為外層使用金剛砂粗磨後使用內層的柔性毛刷對矽塊C角進行拋光，同時利用毛刷的柔性特徵將夾角由尖角轉變為圓弧形，通過改變金剛砂與毛刷的高度差可調整C角弧度的大小。本實用新型的有益效果是，解決了背景技術中存在的缺陷，能夠降低由於C角夾角應力集中造成的加工損失。
以下結合附圖
和實施例對本實用新型進一步說明。圖I是本實用新型的優選實施例的結構示意圖；圖2是圖I的橫向截面圖；圖3是現有技術晶棒C角形狀的不意圖；圖4是使用本實用新型後晶棒C角形狀的示意圖；圖中1、柔性毛刷束；2、磨頭。
具體實施方式
現在結合附圖和優選實施例對本實用新型作進一步詳細的說明。這些附圖均為簡化的示意圖，僅以示意方式說明本實用新型的基本結構，因此其僅顯示與本實用新型有關的構成。[0015]如圖I所示的一種用於加工圓倒角的磨輪，磨輪為兩圈式，磨輪的外圈為金剛石樹脂磨頭2，磨輪的內圈為柔性毛刷束I。柔性毛刷束I為含金剛砂微粒的柔性毛刷束，柔性毛刷束的直徑為10mm，所述的柔性毛刷束為8束均勻布置；柔性毛刷束的無膠長度為10mm。柔性毛刷束高於金剛石樹脂磨頭3_。在進行矽塊C角加工時圓倒角磨輪旋轉並由絲槓帶動作直線移動，與矽塊接觸時先由外層金剛石樹脂磨頭與矽塊接觸進行粗磨，後隨著磨輪的移動內層柔性毛刷對已粗磨的C角部分作拋光處理並將夾角由尖角磨削為圓弧角a，由於柔性毛刷與金剛砂磨頭間存在高度差因此圓倒角磨輪移動時完成圓倒角的部分不會再被後面的金剛砂磨頭再次磨削至IJ，從而實現整個圓倒角的加工。以上說明書中描述的只是本實用新型的具體實施方式
，各種舉例說明不對本實用新型的實質內容構成限制，所屬技術領域的普通技術人員在閱讀了說明書後可以對以前所述的具體實施方式
做修改或變形，而不背離實用新型的實質和範圍。權利要求1.一種用於加工圓倒角的磨輪，其特徵在於所述的磨輪為兩圈式，磨輪的外圈為金剛石樹脂磨頭，磨輪的內圈為柔性毛刷束，所述的柔性毛刷束高於磨頭設置在磨輪內圈。
2.如權利要求I所述的用於加工圓倒角的磨輪，其特徵在於所述的柔性毛刷束為含金剛砂微粒的柔性毛刷束，柔性毛刷束的直徑為10mm，所述的柔性毛刷束為6 12束均勻布置；柔性毛刷束的無膠長度為10 15mm。
3.如權利要求I所述的用於加工圓倒角的磨輪，其特徵在於所述的柔性毛刷束高於金剛石樹脂磨頭I 3mm。
專利摘要本實用新型涉及一種用於加工圓倒角的磨輪，所述的磨輪為兩圈式，磨輪的外圈為金剛石樹脂磨頭，磨輪的內圈為柔性毛刷束，所述的柔性毛刷束高於磨頭設置在磨輪內圈。採用本實用新型能夠降低由於C角夾角應力集中造成的加工損失。
文檔編號B24D7/00GK202491184SQ20122006001
公開日2012年10月17日 申請日期2012年2月23日 優先權日2012年2月23日
發明者丁國健, 施賢彪, 費敏 申請人:常州天合光能有限公司