滑鎖送氣系統的製作方法
2023-05-07 02:04:51
專利名稱：滑鎖送氣系統的製作方法
技術領域：
本發明總體上涉及送氣系統，且尤其涉及用於氣體部件連接的系統。
背景技術：
送氣系統用於分配製造半導體器件所用的氣體。製造半導體器件所使用的氣體常具有強的毒性或腐蝕性。許多這類材料以蒸汽形式被從液體源中抽取，且必須被加熱以防止蒸汽泠凝而返回液態。這些系統要求高度的模塊化和非常好的洩漏完整性，並且必須佔據非常小的覆蓋面積。達到這些要求的一般方法是通過表面安裝系統來實現。 表面安裝系統通常需要配件或檔塊(block)來將處理氣體從一個部件的出口傳送到該系統中的下一部件的入口。典型的系統是將兩個歧管檔塊聯接在一起，使這兩個檔塊形成同時用於入口密封和出口密封的公共平面。如(從下文)將會領會的那樣，這樣可能對部件的緊密度公差產生要求，以便確保歧管檔塊的端ロ與氣體部件的端ロ對準。現有的系統的製造是通過使用模板來構建合適的基底位置，將歧管基底向下安裝到金屬板。這樣做非常耗時，並且因為這些系統可能非常龐大，例如通常具有16個單獨的氣體線路，所以一般由鋁製造該下部金屬板。雖然鋁有助於保持較輕的重量，但是其還起到吸熱的作用，從而吸走需要加熱的部件的熱量。雖然目前市場上有出售許多這種系統的變型產品，但是這種系統通常需要非常嚴格的加工公差，組裝緩慢且/或困難，而且可能難以加熱。此外，這種系統一般價格昂貴。
發明內容
本發明提供一種供氣系統，這種系統容易組裝和/或安裝，並且這種系統包括初始可為柔性的夾緊系統，該夾緊系統使該供氣系統能夠適配於氣體部件。當氣體部件組裝完成時，夾緊系統變為剛性，從而將氣體部件固定到支撐軌道。該系統消除了對安裝板的非常精確和耗時的布設的要求，以容許一般製造公差。該滑鎖送氣系統使氣體系統部件底部表面能夠構成獨立地用於入口密封與出ロ密封的密封平面。而且，允許氣體部件安裝孔的側向間隔在組裝期間「浮動」，使得這些安裝孔不必具有緊密度公差，並且減少了不對準(錯位)的可能性，這樣能夠強化金屬與金屬的密封。根據本發明的ー個方案，ー種送氣系統包括軌道，用幹支撐至少ー個歧管檔塊(manifold block);第一歧管檔塊和第二歧管檔塊,姆個歧管檔塊均具有至少ー個用於連接到一氣體部件的端ロ ；氣體部件，該氣體部件可固定到第一歧管檔塊和第二歧管檔塊，並具有一安裝表面，該安裝表面設有第一端ロ和第二端ロ，用以在固定到第一歧管檔塊和第二歧管檔塊時與該第一歧管檔塊和該第二歧管檔塊的相應端ロ連通；以及滑鎖(slidelock)構件，用於將第一歧管檔塊和第二歧管檔塊固定到軌道。該滑鎖構件被配置為用以使第一歧管檔塊和第二歧管檔塊在第一級預載荷作用下固定到該軌道，以將氣體部件組裝到上述歧管檔塊，以及用以在氣體部件固定到這些歧管時，藉助比第一級預載荷更大的第二級預載荷將第一歧管檔塊和第二歧管檔塊固定到軌道。滑鎖構件也可起到隔離塊(定位塊，spacer block)的作用，以在第一歧管檔塊與第二歧管檔塊之間設置合適的、 近似的間隔。因此，滑鎖構件可包括用以與軌道接合的滑鎖夾部以及將歧管檔塊隔離的隔離塊部。隔離塊部可與滑鎖夾部分開形成或與其一體形成。滑鎖構件可包括ー組突出部，以與歧管檔塊中的一組對應的凹部配合，由此使滑鎖構件與歧管檔塊連結。在一個實施例中，隔離塊部在從滑鎖夾的中心朝向任一(滑鎖)夾端部的距離的大約1/3處以對稱方式支撐滑鎖夾部。在組裝時，滑鎖夾端部向下朝向軌道變形(撓曲)，直到該滑鎖夾與軌道接合。因為隔離塊部在偏離中心的兩個支點處支撐滑鎖夾，所以在將邊緣下壓以與軌道接合時，滑鎖夾的中心升高。這實質上等同於ー對在中心處引導的「簡單支撐的」懸臂梁。按這種方式支撐的懸臂梁提供相對小的保持力。在本發明的情況下，其結果是，當將氣體部件安裝到歧管檔塊時，滑鎖構件和氣體歧管檔塊能夠自調整它們的位置以跟隨(順應)氣體部件的位置。當氣體部件的組裝完成時，氣體部件向下朝向歧管檔塊的運動的最終增加量造成氣體部件底部表面接觸滑鎖夾的升高的中心部，並將其壓低與兩個支點齊平或低於兩個支點。現在，這個最終的滑鎖夾位置實質上等同於ー對具有固定支撐的懸臂梁。按這種方式支撐的懸臂梁實質上需要與初始時相比兩倍的力來維持變形的梁端部的位置。滑鎖夾可具有中心部和從該中心部延伸以接合軌道的各個腿部，由此使至少ー個歧管檔塊夾持在滑鎖構件與軌道之間。該中心部可包括在變形時使至少ー個腿部上的張カ増大的可變形部，由此使預載荷増大到第二級。滑鎖夾可大體呈C形，並且滑鎖夾的至少ー個遠端可包括與軌道的表面連結的連結機構。滑鎖夾和隔離塊可形成為單一部件。軌道可包括位於沿側向分隔開的歧管檔塊支撐表面之間的縱向延伸的通道以及設在該通道中用於向氣體部件提供熱量的加熱元件。根據另一方案，一種模塊化供氣歧管系統包括軌道，用於支撐至少ー個歧管檔塊；歧管檔塊，具有至少ー個用於連接到一氣體部件的端ロ ；以及滑鎖構件，用於將歧管檔塊固定到軌道。該滑鎖構件被配置為用以使歧管檔塊在第一級預載荷作用下固定到軌道，以便於將ー氣體部件固定到歧管檔塊，以及用以當氣體部件固定到歧管時，使歧管檔塊在大於第一級預載荷的第二級預載荷作用下固定到軌道。滑鎖構件可包括滑鎖夾和支撐滑鎖構件的隔離塊。隔離塊可在兩個支撐位置支撐滑鎖夾的中心部。這些支撐位置可從該軌道的縱軸線分隔開。滑鎖構件可具有中心部和從該中心部延伸的各個腿部，這些腿部用以與軌道接合，由此使至少ー個歧管檔塊夾持在滑鎖構件與軌道之間。中心部可包括可變形部，該可變形部在變形時使至少ー個腿部的張カ増大，由此使預載荷増大到第二級。滑鎖構件可與軌道或歧管檔塊中的至少ー者滑動接合，以允許在第一級預載荷作用下時它們之間具有相對運動。該系統還可包括隔離塊。該隔離塊被配置為用以使第一歧管檔塊和第二歧管檔塊在軌道上分隔開預定距離。該隔離塊可包括凹部或突出部，該凹部或突出部用以與第一歧管檔塊和第二歧管檔塊中的至少ー者上的對應凹部或突出部配合，由此使隔離塊與歧管檔塊連結。該隔離塊可靠近滑鎖構件的外邊緣支撐該滑鎖構件的中心部，以允許在氣體部件附接到歧管檔塊時該中心部發生變形。該隔離塊可以是可變形的，以允許在附接氣體部件的過程中第一歧管檔塊與第二歧管檔塊之間具有相對運動。滑鎖構件和隔離塊可形成為單一部件。滑鎖構件可大體呈C形，該滑鎖構件的至少ー個遠端可包括用以與軌道的表面連結的連結機構。軌道可包括位於沿側向分隔開的歧管檔塊支撐表面之間的縱向延伸的通道以及設於該通道中為氣體部件提供熱量的加熱條(heat strip)。根據另一方案，ー種用於將歧管檔塊固定到模塊化供氣歧管的滑鎖構件包括中心隔離件部，其使第一歧管檔塊和第二歧管檔塊在軌道上分隔開；以及從中心隔離件部延伸的腿部，其適於與供氣系統的軌道接合。滑鎖構件被配置為用以使歧管檔塊在第一級預載荷作用下固定到軌道，以便於將氣體部件固定到歧管檔塊，以及其中該滑 鎖構件被配置為當氣體部件固定到歧管時，使歧管檔塊在大於第一級預載荷的第二級預載荷作用下固定到軌道。中心隔離件部可包括與歧管檔塊連結的凹部或突出部。中心隔離件部可以是可變形的，以允許在附接氣體部件的過程中第一歧管檔塊與第二歧管檔塊之間發生相對運動。滑鎖構件可大體為C形形狀，該滑鎖構件的至少ー個遠端包括在安裝時與軌道的表面連結的連結機構。根據另一方案，一種組裝送氣系統的方法包括以下步驟利用滑鎖構件將第一歧管檔塊和第二歧管檔塊安裝到支撐軌道，第一歧管檔塊和第二歧管檔塊各自具有至少ー個用幹與一氣體部件的端ロ連通的端ロ，該滑鎖構件適於藉助第一量值的預載荷而將第一歧管檔塊和第二歧管檔塊固定到軌道；以及將氣體部件安裝到第一歧管檔塊和第二歧管檔塊。滑鎖構件被配置為用以使第一歧管檔塊和第二歧管檔塊在第一級預載荷作用下固定到軌道，以將氣體部件組裝到歧管檔塊，第一級預載荷允許相対，並且其中當氣體部件安裝到歧管時，該滑鎖構件藉助大於第一級預載荷的第二級預載荷將第一歧管檔塊和第二歧管檔塊固定到軌道。當結合附圖來考量時，通過下文的詳細描述將使本發明的其它特徵將變得顯而易見。
圖I是根據本發明的示例性滑鎖送氣系統，該系統具有固定到位於軌道上的第一歧管檔塊和第二歧管檔塊的氣體部件。圖2是氣體部件與歧管檔塊分開的圖I的滑鎖送氣系統。圖3是根據本發明的包括滑鎖構件的示例性滑鎖歧管的立體圖。圖4是圖3的滑鎖構件的剖視圖。圖5是安裝在軌道上的圖3的滑鎖構件的另ー剖視圖。圖6是示出當安裝氣體部件時，滑鎖構件的最終構造的剖視圖。圖7是處於第一狀態的示例性滑鎖夾的放大視圖。圖8是處於第二狀態的示例性滑鎖夾的放大視圖。圖9是根據本發明的、部分組裝的另ー示例性滑鎖送氣系統的立體圖。圖10是根據本發明的、部分組裝的示例性滑鎖送氣系統的另一立體圖。
圖11是具有固定的氣體部件的圖6和圖7的滑鎖送氣系統的立體圖。圖12是另ー示例性滑鎖送氣系統的立體圖。圖13是圖12的滑鎖送氣系統的放大的部分。
具體實施例方式現在參照附圖進行詳細描述，首先參照圖I和圖2，示例性滑鎖送氣系統總體上由附圖標記10標示。系統10包括軌道14，該軌道14用於支撐第一歧管檔塊18和第二歧管檔塊22。每個歧管檔塊18、22均具有至少ー個端ロ 26，適於連接到氣體部件34的安裝表面30上的相應端ロ。氣體部件34經由螺栓35或其它可延伸穿過孔38的合適的緊固件固定到第一歧管檔塊18和第二歧管檔塊22。包括隔離塊部36和滑鎖夾部44的滑鎖構件42將第一歧管檔塊18和第二歧管檔塊22固定到軌道14。如將被理解的那樣，根據本發明，在 軌道14上可設置多個歧管和氣體部件組件。如將在此更詳細地描述的那樣，滑鎖構件42被配置為用以使第一歧管檔塊18和第二歧管檔塊22在第一級預載荷作用下固定到軌道14，以將氣體部件34組裝並固定到歧管檔塊18、22，並用以在氣體部件34經由螺栓等固定到歧管時，藉助大於該第一級(預載荷)的第二級預載荷使第一歧管檔塊18和第二歧管檔塊22固定到軌道14。此外，通過將歧管檔塊18、22輕輕地夾持到軌道14，當氣體部件34被向下緊固到歧管檔塊18、22上吋，滑鎖構件42使歧管檔塊18、22的端ロ 26能夠與氣體部件34的端ロ自對準。參照圖3，其示出在移除了氣體部件34的情況下滑鎖系統10的氣體歧管組件，該組件總體上由附圖標記45標示。在所示的實施例中每個歧管檔塊18、22包括第一半部和第二半部，每個半部均具有端ロ 26。管狀部46將第一半部和第二半部連接在一起，並提供一通路以供流體在每個歧管檔塊的兩個端ロ 26之間流動。這種歧管檔塊18、22有時被稱為H檔塊，並且通常是通過將每個半部的短管(例如管狀部)焊接在一起而製成。歧管檔塊18、22擱置在軌道14的歧管支撐表面50、52上。所示的實施例中的歧管支撐表面50、52是軌道14的側向外邊緣。歧管支撐表面50、52之間為縱向延伸的通道56。通過以此方式支撐歧管檔塊18、22，形成圍繞歧管檔塊的氣隙，由此限制了可用於歧管檔塊與軌道14之間導熱的表面積。這些歧管檔塊通過滑鎖構件42固定到軌道14。該示例性實施例中的滑鎖構件42包括大體呈C形的滑鎖夾44，該滑鎖夾44具有中心部57和多個與軌道14接合的腿部58。每個腿部58均具有呈與軌道14的邊緣連鎖的垂片62(見圖4)的形式的接合機構，由此使滑鎖構件42固定到軌道14。如將被理解的那樣，通過使滑鎖夾部44的腿部58滑過軌道14的邊緣而將滑鎖構件42安裝在軌道14上，如在圖5中最佳顯示的。在這一點上，可將滑鎖夾部44的尺寸設計為使得腿58能被稍微壓縮以便使垂片62與軌道接合。一旦接合後，滑鎖構件42就向歧管檔塊18、22施加第一級預載荷，由此使歧管檔塊18、22固定到軌道14。如將被理解的那樣，第一級預載荷通常將足以使歧管檔塊18、22保持在軌道14上的適當位置，以便隨後將氣體部件34安裝到歧管檔塊18、22。並且，這ー級預載荷可以總體上允許歧管檔塊18、22和/或軌道14之間的相對運動，使得在聯接氣體部件34期間，能夠實現歧管檔塊18、22的端ロ 26與氣體部件34的端ロ的最終對準，由此極大地降低了製造歧管檔塊18、22和/或氣體部件34時所需的公差要求。
參照圖4，其示出滑鎖構件42的剖視圖。如將被理解的那樣，在本實施例中，滑鎖夾部44由隔離塊部36支撐在附圖中的兩個以S標記的位置。隔離塊部36在從滑鎖夾的中心朝向兩個夾端部的距離的大約1/3處以對稱方式支撐滑鎖夾部44。在圖5中，示出了安裝在軌道14上的滑鎖構件42。如將被理解的那樣，為了安裝滑鎖構件42，滑鎖夾部44的中心部57的端部向下朝向軌道14的組件變形，直到滑鎖夾部44接合軌道14。因為隔離塊部36在偏離中心的兩個支點支撐滑鎖夾部44，所以當將(滑鎖夾的)邊緣下壓以接合軌道14時，滑鎖夾的中心升高，從而在釋放時產生預載荷。該載荷對應於第一級預載荷。
例如，滑鎖夾44實質上等同於ー對在中心處引導的「簡單支撐的」懸臂梁。按這種方式支撐的懸臂梁提供相對小的保持力。在本發明的情況下，其結果是，當安裝氣體部件時，滑鎖構件42和氣體歧管檔塊能夠自調整它們的位置以跟隨(順應)氣體部件的位置。如將被理解的那樣，該支撐構造能夠依據期望的預載荷效果而改變。例如，可設置三個支撐位置，或者這些支撐位置可處於不同的平面。參照圖6,其示出在氣體部件固定到相鄰歧管檔塊(例如,如圖I所示)時所將展現的滑鎖構件42。圖6中為清楚起見而未示出氣體部件。當將氣體部件組裝到歧管檔塊的操作完成時，氣體部件向下朝向歧管檔塊的運動的最終增加量造成氣體部件底部表面(例如安裝表面)接觸滑鎖夾44的升高的中心部，並將其下壓與兩個支點S齊平或低於兩個支點S。現在，這個最終的滑鎖夾44的位置實質上等同於ー對具有固定支撐的懸臂梁。按這種方式支撐的懸臂梁實質上需要與初始時相比兩倍的力來保持變形的梁的端部的位置。由此，由滑鎖構件42施加到歧管檔塊至軌道14的保持カ將約為圖5的保持カ的兩倍，並且對應於第二級預載荷。參照圖7，其詳細示出當(將滑鎖夾部)固定到軌道14、但在將氣體部件安裝在歧管檔塊上之前時所可能展現的示例性滑鎖夾部44。如之前所提到的，滑鎖夾部大體呈C形，並包括中心部57和從中心部57延伸的腿部58。垂片62設置在腿部58上，用以如之前所述的那樣與軌道14接合。中心部57本身包括可變形部64，該可變形部在該示例性實施例中大體呈弓形，但也可使用其它形狀。這個可變形部64能夠在滑鎖構件42安裝到軌道14的過程中變形，由此能夠提供第一級預載荷以將歧管18、22固定到軌道14。如上文所指出的，當氣體部件34固定到歧管檔塊18、22時，該可變形部在隔離塊部36與氣體部件34的安裝表面30之間被壓縮，且預載荷的量増大至大於該第一級預載荷的第二級預載荷。參照圖8，其示出當氣體部件34固定到歧管檔塊18、22時所可能展現的滑鎖夾44。如箭頭A所標示，可變形部64被氣體部件向下壓。由於滑鎖夾44的形狀及其被隔離塊36支撐的方式，當氣體部件34被以螺栓連接到歧管檔塊18、22時，可變形部64的向下變形造成腿58沿箭頭B的方向向上拉，從而使由滑鎖構件42施加到歧管檔塊18、22上的預載荷増大。現在參照圖9至圖11，其示出在各種組裝階段下的滑鎖送氣系統的另ー實施例，首先參照圖9。在圖9中，歧管檔塊18和整體式隔離塊/滑鎖構件68支撐在軌道14上。一般而言，歧管檔塊18、22將會同時安置在軌道14上，然後將整體式的滑鎖構件68安裝到軌道14。然而，為了顯示整體式滑鎖構件68的細節，在圖9中移除了第二歧管檔塊22。整體式滑鎖構件68包括中心隔離塊部70和從中心隔離塊部70延伸的腿部72。中心隔離塊部70被配置為將歧管檔塊18、22分隔開,並具有定位柱(locating stud) 74,以與歧管檔塊18、22中的相應的凹部(圖中未示)接合，由此使歧管檔塊18、22與整體式的滑鎖構件68連結。腿部72依照與之前描述的實施例的滑鎖夾44類似的方式與軌道14接合。因此，在本實施例中，滑鎖夾和隔離塊可以形成為單一部件。如將被理解的那樣，本實施例的整體式滑鎖構件68配置為用以在氣體部件34固定到歧管檔塊18、22之前，當被安裝到軌道14時施加第一級預載荷。為此，腿部72被配置為柔性的，以便向下朝向軌道14彎曲，從而允許位於其遠端上的接合柄腳78與軌道14的表面(例如唇部80)接合。按這種方式，在柄腳78安裝到軌道14之後，將預載荷施加到歧管檔塊18、22。圖10示出了歧管檔塊18、22連同整體式滑鎖構件68支撐在軌道14上。在圖11中，氣體部件34經由螺栓82固定到歧管檔塊18、22。如同之前的實施例那樣，隨著氣體部件34固定到歧管檔塊18、22，整體式滑鎖構件68將歧管檔塊18、22緊固到軌道14。這是通過對插置在氣體部件與軌道14之間的整體式滑鎖構件68的中心部和/或腿部進行壓縮來實現。 如將被理解的那樣，本實施例中的軌道14包括多個可選的槽84，以在氣體部件34固定到歧管檔塊18、22時容置整體式滑鎖構件68的柄腳78。槽84位於軌道14的每側的唇部80之下。如還將被理解的那樣，腿72能夠在安裝氣體部件34的過程中向下彎曲，由此允許柄腳78與槽84接合，以便將歧管檔塊18、22固定到軌道14。當附接氣體系統部件吋，隨著滑鎖的移位，將同時進行從旁側抓握的動作。參照圖9，這ー抓握動作的實現是由一個傾向於使腿部72的遠端向內朝向彼此旋轉的カ所導致的，該カ是當整體式滑鎖構件68在氣體部件與軌道之間被壓縮時產生的。如將被理解的那樣，處於未壓縮狀態的腿部72的上部延伸到歧管檔塊18、22的最上部表面之上。這樣，當將氣體部件固定到歧管檔塊時，每個腿部72均被向下推壓，由此造成對腿部72施加一力矩，從而產生抓握的動作。參照圖12和圖13，其示出滑鎖送氣系統90，該滑鎖送氣系統90具有用於向歧管檔塊18、22和/或氣體部件34的氣流通路供熱的加熱元件92 (例如電加熱元件)。加熱元件92設置在位於歧管檔塊18、22下側的軌道14的通道56中。通道56的其餘部分可使用絕緣材料94來填充。可使用柔性發泡絕緣材料來提供向上的載荷，以確保與歧管基底的緊密接觸。加熱元件92和/或隔離材料94可通過粘合劑96或者通過任何其它合適的方法固定到軌道14。根據本發明的滑鎖送氣系統能夠承受運輸時的晃動和震動而不發生洩漏。這是通過利用可變載荷懸臂梁的滑鎖設計來實現的。氣體系統基底與滑鎖系統的初始組裝將基底的入口和出口定位在大體合適的位置，並藉助大約141bs的軸向カ進行保持。可進行少量的側向調整以使基底與上部的氣體部件能夠對準。當完全安裝氣體部件之後，也就是緊固到歧管基底以形成密封時，通過對中心進行壓縮來改變懸臂梁的加載。這樣產生了更大的保持力(例如28磅)，使歧管基底有效地鎖定在最佳位置。儘管已經藉助某一優選實施例或多個實施例闡示並描述了本發明，但是在閱讀並理解本說明書和附圖時，等同的改變和變更將對本領域技術人員而言將是顯而易見的。具體而言，若非另有說明，對於上述元件(部件、組件、設備、組成物等)所執行的各種功能而言，用於描述這些元件的術語(包括所提及的「手段」)g在與執行所描述的元件的具體功能相對應(即功能上等同)，即使其在結構上不等同於所公開的、執行在此闡示的本發明的示例性實施例或多個實施例的功能的結構。另外，雖然以上藉助幾個所示的實施例中的僅ー個或多個實施例描述了本發明的具體特徵，但若對任何給定或具體的應用而言是期望的和有利的，則這些特徵可與其它實施例的ー個或多 個 特徵相結合。
權利要求
1.一種送氣系統，包括 軌道，用幹支撐至少ー個歧管檔塊； 第一歧管檔塊和第二歧管檔塊，所述第一歧管檔塊和第二歧管檔塊各具有至少ー個用於連接到一氣體部件的端ロ； 氣體部件，該氣體部件能固定到所述第一歧管檔塊和第二歧管檔塊，並具有一安裝表面，該安裝表面設有第一端ロ和第二端ロ，用以在固定到所述第一歧管檔塊和第二歧管檔塊時與所述第一歧管檔塊和第二歧管檔塊的相應端ロ連通；以及 滑鎖構件，用於將第一檔塊和第二檔塊固定到所述軌道； 其中，所述滑鎖構件被配置為用於使所述第一歧管檔塊和第二歧管檔塊在第一級預載荷作用下固定到所述軌道，以將所述氣體部件組裝到所述歧管檔塊，並且其中當所述氣體部件固定到所述歧管時，所述滑鎖構件藉助比所述第一級預載荷更大的第二級預載荷將所述第一歧管檔塊和第二歧管檔塊固定到所述軌道。
2.如權利要求I所述的送氣系統，其中，所述滑鎖構件包括滑鎖夾和隔離塊，所述隔離塊插置在所述第一歧管檔塊與第二歧管檔塊之間，並適於使所述第一歧管檔塊與第二歧管檔塊分隔開預定距離，以及支撐所述滑鎖構件。
3.如前述權利要求中任一項所述的送氣系統，其中，所述隔離塊在兩個支撐位置支撐所述滑鎖夾的中心部。
4.如前述權利要求中任一項所述的送氣系統，其中，所述支撐位置與所述軌道的縱軸線分隔開。
5.如前述權利要求中任一項所述的送氣系統，其中，所述隔離塊包括凹部或突出部，用以與所述第一歧管檔塊和第二歧管檔塊中的至少ー者上的對應的凹部或突出部配合，由此使所述隔離塊與所述歧管檔塊連結。
6.如前述權利要求中任一項所述的送氣系統，其中，所述隔離塊靠近所述滑鎖夾的外邊緣支撐所述滑鎖夾的中心部，以允許在所述氣體部件附接到所述歧管檔塊時，所述中心部的可變形部彎曲。
7.如前述權利要求中任一項所述的送氣系統，其中，所述隔離塊是可變形的，以使得在附接所述氣體部件的過程中，所述第一歧管檔塊與第二歧管檔塊之間能夠具有相對運動。
8.如前述權利要求中任一項所述的送氣系統，其中，所述滑鎖夾具有中心部和從形成在中心的部分延伸的各個腿部，所述腿部用以與所述軌道接合，由此使至少ー個歧管檔塊夾持在所述滑鎖構件與所述軌道之間。
9.如前述權利要求中任一項所述的送氣系統，其中，所述中心部包括可變形部，該可變形部在變形時使至少ー個所述腿部的張カ増大，由此使所述預載荷増大到第二級。
10.如前述權利要求中任一項所述的送氣系統，其中，所述滑鎖夾大體呈C形，所述滑鎖夾的至少ー個遠端包括用以與所述軌道的表面連結的連結機構。
11.如前述權利要求中任一項所述的送氣系統，其中，所述軌道包括縱向延伸的通道，位於多個沿側向分隔開的歧管檔塊支撐表面之間；以及設於所述通道中的加熱元件，用於向所述氣體部件供熱。
12.如前述權利要求中任一項所述的送氣系統，其中，所述滑鎖夾和隔離塊形成為單ー部件。
13.一種模塊化供氣歧管系統，包括 軌道，用幹支撐至少ー個歧管檔塊； 歧管檔塊，該歧管檔塊具有至少ー個用於連接到一氣體部件的端ロ ；以及 滑鎖構件，用於將所述歧管檔塊固定到所述軌道； 其中，所述滑鎖構件被配置為用於使所述歧管檔塊在第一級預載荷作用下固定到所述軌道，以便將氣體部件固定到所述歧管檔塊，並且其中所述滑鎖構件被配置為用於當所述氣體部件固定到所述歧管時，使所述歧管檔塊在大於所述第一級預載荷的第二級預載荷作用下固定到所述軌道。
14.如權利要求13所述的模塊化供氣歧管系統，其中，所述滑鎖構件包括滑鎖夾和支撐所述滑鎖構件的隔離塊。
15.如權利要求13或14所述的模塊化供氣歧管系統，其中，所述隔離塊在兩個支撐位置支撐所述滑鎖夾的中心部。
16.如權利要求13至15中任一項所述的模塊化供氣歧管系統，其中，所述支撐位置與所述軌道的縱軸線分隔開。
17.如權利要求13至16中任一項所述的模塊化供氣歧管系統，其中，所述滑鎖夾具有中心部和從所述中心部延伸的各個腿部，所述腿部用以與所述軌道接合，由此使至少ー個歧管檔塊夾持在所述滑鎖構件與所述軌道之間。
18.如權利要求13至17中任一項所述的模塊化供氣歧管系統，其中，所述中心部包括可變形部，該可變形部在變形時使至少ー個所述腿部的張カ増大，由此使所述預載荷増大到第二級。
19.如權利要求13至18中任一項所述的模塊化供氣歧管系統，其中，所述滑鎖構件與所述軌道或所述歧管檔塊中的至少ー者滑動接合，以允許在所述第一級預載荷作用下時所述滑鎖構件與所述軌道或與所述歧管檔塊之間具有相對運動。
20.如權利要求13至19中任一項所述的模塊化供氣歧管系統，其中，所述隔離塊包括凹部或突出部，用以與所述第一歧管檔塊和第二歧管檔塊中的至少ー者上的對應的凹部或突出部配合，由此使所述隔離塊與所述歧管檔塊連結。
21.如權利要求13至20中任一項所述的模塊化供氣歧管系統，其中，所述隔離塊靠近所述滑鎖構件的外邊緣支撐所述滑鎖構件的中心部，以允許在所述氣體部件附接到所述歧管檔塊時所述中心部發生變形。
22.如權利要求13至21中任一項所述的模塊化供氣歧管系統，其中，所述隔離塊是可變形的，以允許所述歧管檔塊與滑鎖構件之間發生相對受限的運動。
23.如權利要求13至22中任一項所述的模塊化供氣歧管系統，其中，所述滑鎖構件和隔尚塊形成為單一部件。
24.如權利要求13至23中任一項所述的模塊化供氣歧管系統，還包括固定到所述歧管檔塊的所述氣體部件。
25.如權利要求13至24中任一項所述的模塊化供氣歧管系統，其中，所述滑鎖構件大體呈C形，所述滑鎖構件的至少ー個遠端包括用以與所述軌道的表面連結的連結機構。
26.如權利要求13至25中任一項所述的模塊化供氣歧管系統，其中，所述軌道包括縱向延伸的通道，位於多個沿側向分隔開的歧管檔塊支撐表面之間；以及設於所述通道中的加熱條，用於向所述氣體部件供熱。
27.ー種用於將歧管檔塊固定到模塊化供氣歧管的滑鎖構件，包括 中心隔離件部，其使第一歧管檔塊和第二歧管檔塊在軌道上分隔開；以及 從所述中心隔離件部延伸的腿部，其適於與供氣系統的所述軌道接合； 其中，所述滑鎖構件被配置為用以使所述歧管檔塊在第一級預載荷作用下固定到所述軌道，以便將氣體部件固定到歧管檔塊，以及其中所述滑鎖構件被配置為用以當氣體部件固定到所述歧管時，使所述歧管檔塊在大於所述第一級預載荷的第二級預載荷作用下固定到所述軌道。
28.如權利要求21所述的滑鎖構件，其中，所述中心隔離件部包括與歧管檔塊連結的凹部或突出部。
29.如權利要求26或27所述的滑鎖構件，其中，所述中心隔離件部是可變形的，以允許在附接氣體部件的過程中所述第一歧管檔塊與第二歧管檔塊之間發生相對運動。
30.如權利要求26至29中任一項所述的滑鎖構件，其中所述滑鎖構件包括具有大體C形形狀的滑鎖夾，所述滑鎖夾的至少ー個遠端包括在安裝時與所述軌道的表面連結的連結機構。
31.一種組裝送氣系統的方法，該方法包括以下步驟 利用滑鎖構件將第一歧管檔塊和第二歧管檔塊安裝到支撐軌道，所述第一歧管檔塊和第二歧管檔塊各自具有至少ー個用幹與一氣體部件的端ロ連通的端ロ，所述滑鎖構件適於藉助第一量值的預載荷而將所述第一歧管檔塊和第二歧管檔塊固定到所述軌道；以及 將氣體部件安裝到所述第一歧管檔塊和第二歧管檔塊； 其中，所述滑鎖構件被配置為用以使所述第一歧管檔塊和第二歧管檔塊在第一級預載荷作用下固定到所述軌道，以將所述氣體部件組裝到所述歧管檔塊，所述第一級預載荷允許相對，並且其中當所述氣體部件安裝到所述歧管時，所述滑鎖構件藉助大於第一級預載荷的第二級預載荷將所述第一歧管檔塊和第二歧管檔塊固定到所述軌道。
全文摘要
一種易於組裝和/或安裝的供氣系統，該供氣系統包括初始為柔性的夾緊系統，該夾緊系統使該供氣系統能夠適配於一氣體部件。當該氣體部件組裝完成時，夾緊系統變為剛性，從而將該氣體部件固定到支撐軌道。該滑鎖送氣系統使氣體系統部件底部表面能夠構成獨立地用於入口密封與出口密封的密封平面。氣體部件安裝孔的側向間隔在組裝期間浮動，以減少不對準的可能性。
文檔編號F16K27/00GK102667278SQ201080049245
公開日2012年9月12日 申請日期2010年10月29日 優先權日2009年10月29日
發明者丹尼爾·P·摩根 申請人:派克漢尼芬公司