帶有具有一體旁通通道的多位置層流元件的流量傳感器的製造方法
2023-04-26 22:53:01
帶有具有一體旁通通道的多位置層流元件的流量傳感器的製造方法
【專利摘要】本發明涉及帶有具有一體旁通通道的多位置層流元件的流量傳感器。流量傳感器包括主流動本體、層流元件、和第一和第二旁通通道。第一旁通通道被形成在層流元件的外表面內並且至少部分地圍繞該外表面延伸，並且與主流動通道流體連通並限定了在層流元件和主流動本體之間的第一旁通流道。第二旁通通道被形成在層流元件的外表面內並且至少部分地圍繞該外表面延伸，並且與主流動通道流體連通並限定了在層流元件和主流動本體之間的第二旁通流道。
【專利說明】帶有具有一體旁通通道的多位置層流元件的流量傳感器
[0001]相關申請的交叉引用
本申請要求2011年10月20日提交的美國臨時申請61/549，628的權益。
【技術領域】
[0002]本發明概括地涉及流量傳感器，並且更具體地，涉及帶有具有一體旁通通道的多位置層流元件的流量傳感器。
【背景技術】
[0003]高流量傳感器通常使用旁通流動通道和主流動通道的組合。層流元件(LFE)可被包含在主流動通道內。典型的LFE可包括多個平行的流動通道，這些通道帶有相當小的橫截面面積，從而使主流動層流化並且建立壓力限制。旁通流動通道包括感測旁通流的裝置並且與通過與主流動通道垂直地設置的龍頭與主流動通道流體連通。該龍頭可包括第一龍頭和第二龍頭，其中第一龍頭被設置在LFE的上遊而第二龍頭被設置在LFE的下遊。
[0004]龍頭的垂直取向給出了在龍頭處的靜壓。在第一和第二龍頭之間的靜壓差驅動流動通過旁通流動通道。通過旁通流動通道的流動速度可通過旁通的特徵來控制，例如長度和直徑，或者小孔或管形的特徵可被用於限制旁通流動速度。
[0005]相當長的旁通流動通道是可取的，以減少由旁通通道的橫截面面積與層流元件中的分隔件之間的關係中的差別可能引起的小孔效應。還可取的是，以最小尺寸實施這種類型的流量傳感器。還可取的是，實施帶有可變長度旁通流動通道的流量傳感器。這三種期望彼此相互作用。
[0006]因此，需要一種流量傳感器，其解決了上述指出的提高。具體來說，是一種流量傳感器，其具有相當長的旁通流動通道和/或可變長度旁通流動通道和/或可以最小尺寸實施。本發明至少解決了這些需要。
【發明內容】
[0007]在一個實施例中，流量傳感器包括主流動本體、層流元件、第一旁通通道、和第二旁通通道。主流動本體具有第一主流動埠、第二主流動埠和在第一主流動埠和第二主流動埠之間的主流動通道。層流元件被設置在第一主流動埠和第二主流動埠之間的主流動通道內並且具有第一端、第二端和外表面。第一端面對第一主流動埠，第二端面對第二主流動埠。第一旁通通道被形成在層流元件的外表面內，並且至少部分地圍繞該外表面延伸。第一旁通通道與主流動通道流體連通並且限定了在層流元件和主流動本體之間的第一旁通流道。第二旁通通道被形成在層流元件的外表面內，並且至少部分地圍繞該外表面延伸。第二旁通通道與主流動通道流體連通並且限定了在層流元件和主流動本體之間的第二旁通流道。
[0008]在另一個實施例中，流量傳感器包括主流動本體、層流元件、第一旁通通道、第二旁通通道、多個鍵連接特徵、和旁通流動元件。主流動本體具有第一主流動埠、第二主流動埠和在第一主流動埠和第二主流動埠之間的主流動通道。層流元件被設置在第一主流動埠和第二主流動埠之間的主流動通道內並且具有第一端、第二端和外表面。第一端面對第一主流動埠，第二端面對第二主流動埠。第一旁通通道被形成在層流元件的外表面內，並且至少部分地圍繞該外表面延伸。第一旁通通道與主流動通道流體連通並且限定了在層流元件和主流動本體之間的第一旁通流道。第二旁通通道被形成在層流元件的外表面內，並且至少部分地圍繞該外表面延伸。第二旁通通道與主流動通道流體連通並且限定了在層流元件和主流動本體之間的第二旁通流道。鍵連接特徵被形成在層流元件的外表面上，藉此層流元件可被旋轉到並被設置在主流動本體內的多個旋轉位置中。旁通流動元件被設置成鄰近主流動本體並具有旁通流動通道，該旁通流動通道與第一旁通流道和第二旁通流道流體連通。
[0009]在又一個實施例中，流量傳感器包括主流動本體、層流元件、第一旁通通道、第二旁通通道、第一旁通龍頭、第二旁通龍頭、多個鍵連接特徵、和旁通流動元件。主流動本體具有第一主流動埠、第二主流動埠和在第一主流動埠和第二主流動埠之間的主流動通道。層流元件被設置在第一主流動埠和第二主流動埠之間的主流動通道內並且具有第一端、第二端和外表面。第一端面對第一主流動埠，第二端面對第二主流動埠。第一旁通通道被形成在層流元件的外表面內，並且至少部分地圍繞該外表面延伸。第一旁通通道與主流動通道流體連通並且限定了在層流元件和主流動本體之間的第一旁通流道。第二旁通通道被形成在層流元件的外表面內，並且至少部分地圍繞該外表面延伸。第二旁通通道與主流動通道流體連通並且限定了在層流元件和主流動本體之間的第二旁通流道。第一旁通龍頭延伸通過層流元件並且將第一旁通通道與主流動通道流體連通。第二旁通龍頭延伸通過層流元件並且將第二旁通通道與主流動通道流體連通。鍵連接特徵被形成在層流元件的外表面上，藉此層流元件可被旋轉到並被設置在主流動本體內的多個旋轉位置中。旁通流動元件被聯接到主流動本體並具有旁通流動通道，該旁通流動通道與第一旁通流道和第二旁通流道流體連通。第一和第二旁通通道每一個都具有有效長度，並且改變層流元件的旋轉位置將改變第一和第二旁通通道的有效長度。
[0010]另外，流量傳感器的其它令人滿意的特徵和特點將從下面的具體描述和所附的權利要求並結合附圖以及前面的【背景技術】而變得易於理解。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0011]此後將結合下面的附圖描述實施例，其中相同的附圖標記表示相同的元件；並且附圖中:
圖1-4，每一個都描述了根據示例性實施例的流量傳感器的實施例的簡化橫截面視
圖；
圖5描述了可被用於實施圖1-4的流量傳感器的層流元件的一個實施例的平面圖；
圖6和7描述了可被用於實施圖1-4的流量傳感器的層流元件的另一個實施例的平面
圖；
圖8描繪了沿著圖4中的線8-8截取的圖1的流量傳感器的部分剖視圖；
圖9和10描述了可被用於實施圖1-4的流量傳感器的層流元件的另一個實施例的平面圖； 圖11和14描述了可被用於實施圖1-4的流量傳感器的層流元件的另一個實施例的平面圖；
圖15和16描述了可被用於實施圖1-4的流量傳感器的層流元件的另一個實施例的平面圖；以及
圖17描繪了流量傳感器的另一實施例的一部分的簡化剖視圖。
【具體實施方式】
[0012]下面的具體描述本質上僅僅是示例性的，並非用於限定本發明、其應用或使用。在本文使用時，詞語「示例性」表示「用作示例、例子或說明」。因此，本文描述的任何「示例性」實施例都不一定被理解為相比其它實施例是優選的或有利的。本文描述的所有實施例都是示例性實施例，它們被提供用於使本領域技術人員能夠製造或使用本發明，並且不是用於限制本發明的範圍，本發明的範圍由權利要求限定。而且，並不意在受在前面的【技術領域】、【背景技術】、
【發明內容】
或者後面的【具體實施方式】中出現的任何明示或暗示的理論的約束。
[0013]在圖1-4中描繪了可被用於測量流體的流動速度的流量傳感器100的各種實施例的簡化剖視圖，並且該剖視圖包括主流動本體102、旁通元件104和層流元件(LFE) 106。在更具體地描述流量傳感器100之前，應指出，流量傳感器100可被用在多種系統的任一個中，這些系統中期望流動速度測量。一些非限定性示例包括通風機和呼吸器。
[0014]主流動本體102，其可使用一體結構或者多個部件來實施，包括內表面108，該內表面限定了主流動通道112，其具有第一主流動埠 114和第二主流動埠 116。取決於流量傳感器100被如何實施，流體可流入第一主流動埠 114，通過主流動通道112，並從第二主流動埠 116流出。替換地，流體可流進第二主流動埠 116，通過主流動通道112，從第一主流動埠 114流出。在任一情況中，主流動通道112優選地具有與數個流動系統中的任一個兼容的橫截面形狀和尺寸。主流動本體102還包括第一旁通龍頭122和第二旁通龍頭124，它們兩個都與主流動通道112流體連通並被優選地構造成與軸線110垂直。
[0015]旁通元件104被設置成鄰近主流動本體102並具有與第一旁通龍頭122和第二旁通龍頭124流體連通的旁通流動通道118。因此，流過主流動通道112的流體的一部分進入旁通流動通道118。如可意識到的,在旁通流動通道118中的流體流動速度通常是在主流動通道112中的流體流動速度的幾分之一。儘管所描述的流量傳感器100包括第一旁通龍頭122和第二旁通龍頭124，但是應該意識到，流量傳感器100可被實施為帶有其它數量的旁通龍頭。還可意識到，可使用將流動從主流動通道112傳輸到旁通流動通道118的其它方法。而且，旁通元件104可被與主流動本體102 —體地形成，如在圖1中描述的，其可與主流動本體102分開地形成並被聯接到主流動本體102，如在圖3和4中描述的，或者其可以是一體的和分開的部件的組合，如在圖2中描述的。
[0016]如圖1-4中還描述的，流量傳感器105被聯接到旁通元件104，並且被設置在旁通流動通道118內。流量傳感器105可被以各種方式實施，但是在描述的實施例中，其被使用微橋傳感器實施。流量傳感器105可以各種方式被聯接到旁通元件104。例如，在圖1、2和4中描述的，流量傳感器105可被聯接到或以其它方式被安裝在電路板或板107上，電路板或板107接著被聯接到旁通元件104。替換地，流量傳感器105可被聯接到或以其它方式被安裝到電路板或板107上，電路板或板107被聯接到單獨的部分109，該部分109被單獨地聯接到旁通元件104的其餘部分。在操作期間，當流體流動通過主流動通道112時，沿著第一方向126或第二方向128，流體的一部分流入並通過旁通流動通道118。流量傳感器105因此間接地通過測量通過旁通流動通道118的流體部分測量在主流動通道112內的流體的流動速度。
[0017]LFE106被設置在主流動通道112內並且包括第一端132和第二端134。如通常所知，LFE106引起了在第一和第二主流動本體傳感器龍頭122、124之間的壓差，其由此有利於流體流入旁通流動通道118。還如通查所知的，該壓差取決於LFE106的幾何形狀，並且隨著流動速度而增加。而且，在主流動通道112內流動的流體將在流動速度增加時湍流加劇。因此，LFE106，在建立了壓差之外，還使主流動通道112內的流體流動筆直化和層流化，由此減少了湍流。LFE106通過迫使流體流過多個流動通道136而減少湍流。跨過LFE106的壓降還可取決於這些流動通道136的尺寸和一致性。優選地，流動通道136是平行的，並且可以是圓環形的、柵格形的、蜂窩形的、或者是圓管形的。將意識到，LFE106可被集成在模製殼體內，或者其可以是單獨的部件，例如蜂窩或模製部分。
[0018]為了進一步使在主流動通道112內的流體流筆直化並對其進行控制，流量傳感器100可還包括在LFE106的任一側或兩側的一個或多個篩網138。在所描述的實施例中，流量傳感器100包括兩個篩網一第一篩網138-1和第二篩網138-2。但是，應該意識到，在其它實施例中，流量傳感器100可包括多於或少於這個數量的篩網138，如果需要或期望的話。
[0019]如圖1-4中還描述的，在一些實施例中，LFE106包括第一和第二旁通龍頭122和第二流動元件傳感器龍頭124。如下面將更具體地描述的，在這些實施例中，第一旁通龍頭122和第二旁通龍頭124延伸通過LFE106的外表面，並且將旁通流動通道118與LFE106的在第一端132和第二端134之間的LFE106的層流化區域流體連通。在這些實施例中，第一旁通龍頭122被設置為更接近LFE106的第一端132，第二旁通龍頭124被設置成更接近LFE106的第二端134。將第一旁通龍頭122和第二旁通龍頭124設置在這些位置確保了第一旁通龍頭122和第二旁通龍頭124被暴露給相對較低的雷諾數，並因此被暴露給更層流的流動。這種設置還輔助了在信號輸出中的噪音減少並減少了氣動非線性小孔效應，該效應可能由在LFE106中固有的進口和出口幾何形狀建立。而且，在第一旁通龍頭122和第二旁通龍頭124之間的距離與傳統的旁通龍頭位置相比更短，這由於更短的距離並通過消除了在LFE106的端部處的壓力損失而減少了在這些旁通龍頭122、124之間的壓差。這對高靈敏度、快速響應時間傳感器來說是有利的，例如微橋型傳感器。
[0020]如圖1-4中還描述的，在一些實施例中，主流動本體102可包括第一旁通流動埠 123和第二旁通流動埠 123。在這些實施例中，第一旁通流動埠 123將第一旁通龍頭122與旁通流動通道118流體連通，而第二旁通流動埠 125將第二旁通龍頭124與旁通流動通道118流體連通。
[0021]如在圖1-4中描述的實施例中所示，一個或多個限流器142 (示出了兩個)可被設置在旁通流動通道118內，或者如虛線所示，一些實施例可被實施為不帶有限流器142。限流器142，如果被包括，將進入旁通流動通道118的流體流限制到可接受的感測範圍並且可以不同方式被實施。例如，每個限流器142可被實施為狹長形的管或被實施為小孔。無論具體的實施方式如何，限流器142可被設置在流量傳感器105的上遊，在流量傳感器105的下遊，或者在上遊和下遊。[0022]現在參照圖5，描述了 LFE106的一個實施例。在這個實施例中，第一旁通龍頭122和第二旁通龍頭124的面積被擴大以減少提供給旁通流動通道118的流動速度。更具體地來說，第一旁通龍頭122和第二旁通龍頭124每一個具有橫截面面積，該橫截面面積大於旁通流動通道118的典型的橫截面面積。如在圖8中更清楚地所示，所提及的橫截面面積是垂直於在旁通流動通道118內的流動方向的橫截面面積。在所描述的實施例中，第一旁通龍頭122和第二旁通龍頭124的形狀使得其寬度相比其軸向長度是相對窄的。這種形狀有助於避免擾亂在主流動通道112內的流動。這種窄形狀還控制了第一旁通龍頭122和第二旁通龍頭124的水力直徑，這輔助對通過旁通流動通道118的流動的層流化。但是，所描述的LFE106還是圓柱形的，如在圖6和7中的示例性實施例所示，應該意識到，其還可以用各種不同的幾何形狀構造，如果需要或期望的話。
[0023]還將意識到的是，在圖5中描述的第一旁通龍頭122和第二旁通龍頭124的構造僅是示例性的，並且第一旁通龍頭122和第二旁通龍頭124可以不同的方式被構造。例如，如在圖6和7中描述的實施例中所示，流動元件傳感器龍頭123、125可被構造成帶有各種不同的多邊形幾何形狀。如還將在下面描述的，第一旁通龍頭122和第二旁通龍頭124可被構造成帶有多個圓形、矩形、或其它幾何橫截面形狀。雖然旁通龍頭122、124的橫截面面積與LFE106和旁通流動通道118相比是不一致的，但是旁通龍頭122、124的水力直徑優選地等於(或近似等於)旁通流動通道118的水力直徑，這有助於減少非線性氣動效應。
[0024]現在參照圖9和10，描述了可用於實施流量傳感器100的LFE106的另一實施例。這個LFE106包括一體的旁通通道902(例如，902-1、902-1)。具體來說，旁通通道902被構造成為在LFE106的外表面904中的凹部，這些凹部圍繞LFE106的周長環繞並且將第一旁通龍頭122和第二旁通龍頭124與旁通流動通道118流體連通。利用這個構造，當LFE106被設置在主流動通道112內時，其實施了一對被捕獲的旁通通道902，這些旁通通道902可相對較長，同時最小化了空間。應該意識到，旁通通道902可代替在圖1-4中描述的旁通流動通道118的全部或一部分。
[0025]在圖9和10中描述的LFE106還被構造成包括鍵連接特徵906，其允許LFE106被旋轉到在主流動通道112內的多個不同的旋轉位置。改變LFE106的旋轉位置將改變旁通通道902的有效長度，並且由此改變通過旁通通道902的流體流動速度。例如，在高流量位置，旁通通道902的長度相對較長以限制旁通流動速度，這對於高流動速度產品是有用的。在低流量位置，旁通通道的長度相對較短，從而允許更多的流量通過旁通流動通道118，這對低流動速度產品是有用的。
[0026]在一個特定實施例中，當LFE106以高流量位置被設置在主流動通道112內時，流動通過LFE的流體的一部分將例如從第一旁通龍頭122流出，橫過第一旁通通道902-1的整個長度，並且此後進入旁通流動通道118。在旁通流動通道118內的流體將離開旁通流動通道118，橫過第二旁通通道902-2的整個長度，並且此後通過第二旁通龍頭124，返回到LFE106。相反，當LFE106以低流量位置被設置在主流動通道112內時，流動通過旁通流動通道118的流體的一部分例如將從第一旁通龍頭122流出，並且此後直接進入旁通流動通道118而不橫過第一旁通通道902-1。類似地，在旁通流動通道118內的流體將此後離開旁通流動通道118，流過第二旁通龍頭124，並且返回到LFE106，而不橫過第二旁通通道902-2。
[0027]在圖9和10中描述的以及上述的LFE106僅是示例性地給出了一個實施例的構造。還應該意識到LFE106可以不同方式被構造。例如，如在圖11-14中描述的，LFE106可被實施為使得旁通通道902中的一個或全部兩個可被實施為蛇形構造，由此提供了甚至更長的旁通流動通道902。應該意識到，所描述的蛇形構造僅是另一替換的旁通通道實施方式的示例。如圖11-14中還描述的，第一和第二旁通龍頭122、124中的一個或全部兩個可被設置在LFE106的的層流區域之外。
[0028]除了第一旁通龍頭122和第二旁通龍頭124的設置的變化之外，且如前面已指出的，第一旁通龍頭122和第二旁通龍頭124的構造也可被改變。例如，現在參照圖15和16，第一旁通龍頭122和第二旁通龍頭124可每一個都被實施為多個龍頭122-1、122-2、
122-3、......122-NU24 -1,124 -2,124 -3......124 -N。第一旁通龍頭 122 和第二旁通龍
頭124的數量、尺寸和形狀可改變，但是有效地被選擇為維持通過第一和第二旁通通道902的近似連續的水力直徑。儘管多個龍頭被描述為與具有蛇形旁通通道902的LFE106 —起實施，但是應該意識到，多個龍頭也可被實施在在圖5-7、9和10中描述的LFE106構造中。
[0029]現在參照圖17，描述了流量傳感器100的另一實施例的一部分的簡化橫截面視圖。在這個實施例中，LFE106被構造成帶有一種幾何形狀，該幾何形狀維持了在第一旁通龍頭122和第二旁通龍頭124處的基本上相等的流體速度。因此，流量傳感器100展示出在兩個流動方向126、128上的對稱的流動靈敏性。由於在旁通龍頭122、124處的相等流體速度，施加在這些龍頭處的靜壓與速度的加速度無關(見伯努利方程)。為了這樣實施，LFE106和/或主流動通道112被構造成使得在主流動通道112中的旁通龍頭122、124之間有在面積1702和1703之間的一致的橫截面。
[0030]本領域技術人員將意識到結合本文中公開的實施例被描述的各種說明性邏輯塊、模塊、電路、和算法步驟可被實施為電子硬體、計算機軟體、或它們兩者的組合。上面在功能和/或邏輯塊部件(或模塊)和各種處理步驟方面描述了實施例和實施方式中的一些。但是，應該意識到這些塊部件(或模塊)可以任何數量的構造成執行具體說明的功能的硬體、軟體和/或固件部件實現。為了清楚地說明硬體和軟體的這種可互換性，上面基本上都是在功能方面對各種說明性部件、塊、模塊、電路和步驟進行描述。這種功能是否被實施為硬體或軟體取決於加在整體系統上的特定的應用和設計約束。本領域技術人員可針對每個特定應用以各種方式實施所描述的功能，但是這種實施決定不應該被解釋為導致脫離本發明的範圍。例如，系統或部件的一個實施例可採用各種集成電路或軟體部件，例如內存元件、數位訊號處理元件、邏輯元件、查詢表、數學函數等，這可在一個或多個微處理器或其它控制設備的控制下執行多種功能。另外，本領域技術人員將意識到這裡描述的實施例僅僅是示例性的實施方式。
[0031]結合本文公開的實施例描述的各種說明性邏輯塊、模塊、電路可利用通用處理器、數位訊號處理器(DSP)、專用集成電路(ASIC)、現場可編程門陣列(FPGA)或其它可編程的邏輯設備、分離的門或電晶體邏輯、分離的硬體部件、終端用戶計算機或它們的設計成執行本文描述的功能的任意組合來實施或執行。通用處理器可以是微處理器，但是作為另一選擇，該處理器可以是任何傳統的處理器、控制器、微控制器或狀態機。處理器也可被實施為計算設備的組合，例如DSP和微處理器的組合、多個微處理器、與DSP芯聯合的一個或多個微處理器、或者任何其它的此類構造。在本文使用時，詞語「示例性」表示「用作示例、例子或說明」。因此，本文描述的任何示例性摂實施例都不一定被理解為相比其它實施例是優選的或有利的。
[0032]在本文中，關係術語例如第一和第二等可被單獨使用以區分一個實體或動作與另一個實體或動作，而不一定要求或暗示在這些實體或動作之間有任何實際的這種關係或順序。數字序數例如「第一」、「第二」、「第三」等僅指示多個中的不同的單個而不暗示任何的順序或次序，除非由權利要求語言明確定義。任何權利要求的文字中的次序都不暗示必須根據這種次序以暫時的或邏輯的順序執行過程步驟，除非在權利要求的語言中另有明確限定。過程步驟可以任意順序互換而不脫離本發明的範圍，只要這種互換不與權利要求的語言矛盾並且不是邏輯上無意義的。
[0033]而且，取決於上下文，用於描述不同元件之間關係的詞語例如「連接」或「聯接到」不暗示在這些元件之間必須進行直接物理連接。例如，兩個元件可物理地、電子地、邏輯地或以任何其它方式，通過一個或多個額外的元件彼此連接。
[0034]雖然已經在本發明的前面的具體描述中給出了至少一個示例性實施例，但應當意識到存在大量的變型。還應意識到，一個或多個示例性實施例僅為示例，並且決不是用來限制本發明的範圍、應用性、或構造。更確切地說，前面的具體描述將給本領域技術人員提供用於實施本發明的示例性實施例的方便的路線圖。應當理解的是，可在示例性實施例中描述的元件的功能和布置方面進行各種改變，而不超出由所附權利要求限定的本發明的範圍。
【權利要求】
1.一種流量傳感器,包括: 主流動本體，其具有第一主流動埠、第二主流動埠和在第一主流動埠和第二主流動埠之間的主流動通道； 層流元件，其在第一主流動埠和第二主流動埠之間被設置在主流動通道內，並且具有第一端、第二端、和外表面，第一端面對第一主流動埠，第二端面對第二主流動端Π ； 第一旁通通道，其形成在層流元件的外表面內並且至少部分地圍繞該外表面延伸，第一旁通通道與主流動通道流體連通並限定了在層流元件和主流動本體之間的第一旁通流道；以及 第二旁通通道，其形成在層流元件的外表面內並且至少部分地圍繞該外表面延伸，第二旁通通道與主流動通道流體連通並限定了在層流元件和主流動本體之間的第二旁通流道。
2.如權利要求1所述的流量傳感器，還包括: 多個鍵連接特徵，其被形成在層流元件的外表面上，藉此層流元件可被旋轉到並被設置在主流動本體內的多個旋轉位置中。
3.如權利要求2所述的流量傳感器，其中: 第一和第二旁通通道每一個都具有有效長度；以及 改變層流元件的旋轉位置改變了第一和第二旁通通道的有效長度。
4.如權利要求1所述的流量傳感器，其中，第一和第二旁通通道具有蛇形構造。
5.如權利要求1所述的流量傳感器，還包括: 第一流動元件傳感器龍頭，其延伸通過層流元件並且將第一旁通通道與主流動通道流體連通；以及 第二流動元件傳感器龍頭，其延伸通過層流元件並且將第二旁通通道與主流動通道流體連通。
6.如權利要求5所述的流量傳感器，其中: 主流動通道被圍繞著延伸在第一主流動埠和第二主流動埠之間的軸線取向； 第一旁通龍頭和第二旁通龍頭每一個都具有沿著平行於該軸線方向上的寬度和在垂直於該軸線方向上的長度；以及 寬度小於長度。
7.如權利要求1所述的流量傳感器，還包括: 多個第一旁通龍頭，每個第一旁通龍頭延伸通過層流元件並且將第一旁通通道與主流動通道流體連通；以及 多個第二旁通龍頭，每個第二旁通龍頭延伸通過層流元件並且將第二旁通通道與主流動通道流體連通。
8.如權利要求1所述的流量傳感器，還包括: 旁通元件，其被設置成鄰近主流動本體並具有旁通流動通道，該旁通流動通道與第一旁通流道和第二旁通流道流體連通。
9.如權利要求8所述的流量傳感器，還包括: 流量傳感器被聯接到旁通流動元件並且被設置在旁通流動通道內，流量傳感器被構造成感 測通過旁通流動通道的流體流動。
【文檔編號】G01F1/36GK103674128SQ201310377779
【公開日】2014年3月26日 申請日期:2013年8月27日 優先權日:2012年8月28日
【發明者】J.斯佩爾德裡奇, R.C.索倫森, A.J.米利, B.斯佩爾德裡奇 申請人:霍尼韋爾國際公司