一種前後電極石墨舟及化學氣相沉積設備的製造方法
2023-04-26 15:19:56 4
專利名稱:一種前後電極石墨舟及化學氣相沉積設備的製造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種前後電極石墨舟，包括：由均勻間隔設置的奇數石墨片和偶數石墨片構成的舟體，奇數石墨片和偶數石墨片通過石墨棒串接，舟體的前端底部設有至少一個前導電石墨塊，舟體的後端底部設有至少一個後導電石墨塊。本實用新型還提出了一種使用上述前後電極石墨舟的化學氣相沉積設備。本實用新型在舟體的前後兩端分別設有導電石墨，正負電極杆通過與導電石墨接觸，從舟體的前後兩端引入正負極，使舟體產生的電場均勻。
【專利說明】
一種前後電極石墨舟及化學氣相沉積設備
技術領域
[0001]本實用新型涉及光伏電池加工設備技術領域，尤其涉及一種前後電極石墨舟及使用該前後電極石墨舟的化學氣相沉積設備。
【背景技術】
[0002]在光伏電池加工行業中，石墨舟為化學氣相沉積設備中的矽片載體，化學氣相沉積設備的原理是藉助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，對插入太陽能矽片的平行板鍍膜石墨舟進行化學氣相沉澱，形成所期望的薄膜。
[0003]現有技術中已出現了多種石墨舟結構，如圖1、2所示，公布號為CN102534564A的實用新型專利，包括:與電極杆相連的石墨舟本體，石墨舟本體由奇電極板2、偶電極板3、上電極中間隔塊4、下電極中間隔塊5、對稱下電極中間隔塊6、電極隔塊8和石墨舟腳9組成，石墨舟本體兩端均開有兩個電極孔，且每一端的兩個電極孔中，位於上部的電極孔均設置在位於石墨舟本體兩端的上電極中間隔塊6上，下部電極孔分別設置在下電極中間隔塊5與對稱下電極中間隔塊6上，該下電極中間隔塊5與對稱下電極中間隔塊6分別設在石墨舟本體兩端，石墨舟本體兩端的兩個電極孔之間距離相等。
[0004]該實用新型在石墨舟的雙面設置電極孔，能滿足電極杆I可分別從兩端插入電極孔，石墨舟推車轉動180度可能順利操作，但這種石墨舟採用的是傳統技術中正負電極從舟體同一端引入的方式，這會導致石墨舟的電場分布不均，前端電場相比後端電池有所減弱或增加，矽片的膜厚均勻性較差，大大影響太陽能電池的生產質量。
【實用新型內容】
[0005]為解決上述技術問題，本實用新型提出一種前後電極石墨舟及化學氣相沉積設備，正負電極可分別從該前後電極石墨舟的前後兩端引入，使舟體產生的電場均勻，矽片的膜厚均勻性好。
[0006]本實用新型採用的技術方案是，設計一種前後電極石墨舟，包括:由均勻間隔設置的奇數石墨片和偶數石墨片構成的舟體，奇數石墨片和偶數石墨片通過石墨棒串接。奇數石墨片和偶數石墨片均排布有鏤空部，且奇數石墨片和偶數石墨片上的鏤空部水平對齊。
[0007]奇數石墨片的前端底部設有向前伸出的前端下耳片，相鄰的前端下耳片之間貼合設有前端下隔塊或前導電石墨塊，舟體的前端底部設有至少一個前導電石墨塊。奇數石墨片的後端中部設有向後伸出的後端上耳片，相鄰的後端上耳片之間貼合設有後端上隔塊。
[0008]偶數石墨片的後端底部設有向後伸出的後端下耳片，相鄰的後端下耳片之間貼合設有後端下隔塊或後導電石墨塊，舟體的後端底部設有至少一個後導電石墨塊。偶數石墨片的前端中部設有向前伸出的前端上耳片，相鄰的前端上耳片之間貼合設有前端上隔塊。
[0009]前導電石墨塊底部凸出奇數石墨片，後導電石墨塊底部凸出偶數石墨片，舟體的兩端底面設有四個支撐腳。
[0010]在一實施例中，舟體的兩側為奇數石墨片，舟體的後端兩側對稱設有兩個後導電石墨塊，舟體的前端兩側也對稱設有兩個前導電石墨塊。兩個後導電石墨塊分別位於舟體後端的兩最外側，兩個前導電石墨塊分別與舟體的兩最外側間隔一個前端下隔塊。
[0011]較優的，兩後導電石墨塊的底部外側面和兩前導電石墨塊的底部外側面均為圓弧面。
[0012]本實用新型還提出了一種使用上述前後電極石墨舟的化學氣相沉積設備，包括:爐管，設於該爐管內的石墨舟和電極裝置，該爐管由腔體、位於腔體兩端的前蓋和後蓋組成，電極裝置包括兩個分開設置並固定在前蓋和後蓋上的電極固定杆和正負電極杆，正負電極杆分別使用固定塊固定在電極固定杆上，並在整個石墨舟長度上延伸，石墨舟放置在正負電極杆頂面上，正負電極杆分別與前導電石墨塊和後導電石墨塊接觸通電。
[0013]本實用新型在舟體的前端和後端分別設有導電石墨，正負電極杆通過與導電石墨接觸，從舟體的前後兩端引入，使舟體產生的電場均勻。舟體的前端和後端均對稱設有兩個導電石墨，使得舟體轉動180°後，仍然能與正負電極杆接觸通電，使用起來也非常方便。
【附圖說明】
[0014]下面結合實施例和附圖對本實用新型進行詳細說明，其中:
[0015]圖1是現有技術中石墨舟的正面示意圖；
[0016]圖2是現有技術中石墨舟的端部結構不意圖；
[0017]圖3是本實用新型中電極從舟體兩端接入的正面示意圖；
[0018]圖4是本實用新型中舟體的俯視結構示意圖；
[0019]圖5是本實用新型中奇數石墨片的正面示意圖；
[0020]圖6是本實用新型中偶數石墨片的正面示意圖；
[0021 ]圖7是較佳實施例中舟體的前端結構示意圖；
[0022]圖8是較佳實施例中舟體的後端結構示意圖；
[0023]圖9是本實用新型中化學氣相沉積設備的正面示意圖；
[0024]圖10是本實用新型中化學氣相沉積設備的俯視示意圖。
【具體實施方式】
[0025]如圖3、4所示，本實用新型提出的前後電極石墨舟，包括:舟體1，舟體I由間隔交錯設置的奇數石墨片11和偶數石墨片12構成，奇數石墨片11和偶數石墨片12通過石墨棒串接，串接後奇數石墨片11和偶數石墨片12之間的間隔距離一致。奇數石墨片11的高度、長度、厚度均與偶數石墨片12—致，奇數石墨片11和偶數石墨片12上都排布有鏤空部，且奇數石墨片11和偶數石墨片12上的鏤空部水平對齊。
[0026]如圖5、7、8所示，奇數石墨片11的前端底部設有向前伸出的前端下耳片110，相鄰的前端下耳片110之間貼合設有前端下隔塊13或前導電石墨塊14，至少有一對相鄰的前端下耳片110之間設有前導電石墨塊14，也就是說，也就是說舟體I的前端底部設有至少一個如導電石墨塊14。奇數石墨片11的後端中部設有向後伸出的後端上耳片111，相鄰的後端上耳片111之間貼合設有後端上隔塊15。
[0027]如圖6、7、8所示，偶數石墨片12的後端底部設有向後伸出的後端下耳片120，相鄰的後端下耳片120之間貼合設有後端下隔塊16或後導電石墨塊17，至少有一對相鄰的後端下耳片120之間設有後導電石墨塊17，也就是說，舟體I的後端底部設有至少一個後導電石墨塊17。偶數石墨片12的前端中部設有向前伸出的前端上耳片121，相鄰的前端上耳片121之間貼合設有前端上隔塊18。
[0028]如圖7、8所示，用隔塊分隔相鄰的奇數石墨片11和相鄰的偶數石墨片12後，石墨棒穿過隔塊和石墨片，在用螺母固定兩端石墨棒兩端。舟體I的兩端底面還設有用於支撐舟體I的四個支撐腳19，該四個支撐腳19與其上方對應的隔塊連接成一體。前導電石墨塊14底部凸出奇數石墨片11。後導電石墨塊17底部凸出偶數石墨片12。當石墨舟僅需完成單方向的行程時，舟體I的兩端只需分別設置一個前導電石墨塊14和一個後導電石墨塊17即可，正負電極杆分別與兩個導電石墨塊接觸通電，即可保證舟體I的兩端通電，使其兩端電場均勻，矽片的膜厚均勻性好。
[0029]在本實用新型的較佳實施例中，如圖7、8所示，舟體I的兩側為奇數石墨片11，使得整個舟體I的兩側形狀對稱，舟體I的後端兩側對稱設有兩個後導電石墨塊17，舟體I的前端兩側也對稱設有兩個前導電石墨塊14，將舟體I形狀、後導電石墨塊17、前導電石墨塊14設置成對稱，以方便舟體I旋轉180°後，依然能分別與正電極杆和負電極杆接觸通電。
[0030]其中，為了方便與正負電極杆接觸，該兩個後導電石墨塊17分別位於舟體I後端的兩最外側，該兩個前導電石墨塊14分別與舟體I的兩最外側間隔一個前端下隔塊13，進一步優化的，兩前導電石墨塊14的底部外側面為圓弧面，兩後導電石墨塊17的底部外側面也為圓弧面，圓弧面可增大導電石墨塊與電極杆的接觸面積，接觸更穩定、更能滿足導電需要。
[0031]如圖9、10所示，本實用新型還提出了一種使用上述前後電極石墨舟的化學氣相沉積設備，包括:爐管，設於該爐管內的石墨舟和電極裝置，該爐管由腔體、位於腔體兩端的前蓋2和後蓋3組成，電極裝置包括兩個分開設置並固定在前蓋2和後蓋3之間的電極固定杆4、正電極杆5及負電極杆6，正電極杆5和負電極杆6分別使用固定塊固定在電極固定杆4上，並在整個石墨舟長度上延伸。舟體I放置在正負電極杆頂面上，正電極杆5和負電極杆6的位置分別與前導電石墨塊15和後導電石墨塊17配合，保證正負電極從舟體I的兩端接入即可。[0032 ]在圖1O中所示，正電極杆5與後導電石墨塊17的位置配合，正電極杆5從舟體I的後端導電，負電極杆6與前導電石墨塊14的位置配合，負電極杆6從舟體I的前端導電，當然也可以將正電極杆5的位置設置成與前導電石墨塊14配合，負電極杆6的位置設置成與後導電石墨塊17配合。由於舟體I上的兩個前導電石墨塊14對稱、兩個後導電石墨塊17也對稱，因此舟體I轉動180°後，仍然能與正負電極杆接觸通電，這樣電場從石墨舟前後兩端導入，使得石墨舟尾部電場與石墨舟前部電場差異減小，整個石墨舟電場更加均勻。
[0033]以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，並不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內所作的任何修改、等同替換和改進等，均應包含在本實用新型的保護範圍之內。
【主權項】
1.一種前後電極石墨舟，包括:由均勻間隔設置的奇數石墨片(11)和偶數石墨片(12)構成的舟體(I)，所述奇數石墨片(11)和偶數石墨片(12)通過石墨棒串接，其特徵在於， 所述奇數石墨片(11)的前端底部設有向前伸出的前端下耳片(110)，相鄰的前端下耳片(110)之間貼合設有前端下隔塊(13)或前導電石墨塊(14)，所述舟體(I)的前端底部設有至少一個前導電石墨塊(14)； 所述偶數石墨片(12)的後端底部設有向後伸出的後端下耳片(120)，相鄰的後端下耳片(120)之間貼合設有後端下隔塊(16)或後導電石墨塊(17)，所述舟體(I)的後端底部設有至少一個後導電石墨塊(17)。2.如權利要求1所述的前後電極石墨舟，其特徵在於，所述奇數石墨片(11)的後端中部設有向後伸出的後端上耳片(111)，相鄰的後端上耳片(111)之間貼合設有後端上隔塊(15)； 所述偶數石墨片(12)的前端中部設有向前伸出的前端上耳片(121)，相鄰的前端上耳片(121)之間貼合設有前端上隔塊(18)。3.如權利要求2所述的前後電極石墨舟，其特徵在於，所述前導電石墨塊(14)底部凸出奇數石墨片(11)，所述後導電石墨塊(17)底部凸出偶數石墨片(12)。4.如權利要求3所述的前後電極石墨舟，其特徵在於，所述舟體(I)的兩端底面設有四個支撐腳(19)。5.如權利要求1至4任一項所述的前後電極石墨舟，其特徵在於，所述舟體(I)的兩側為奇數石墨片(11)，所述舟體(I)的後端兩側對稱設有兩個後導電石墨塊(17)，所述舟體(I)的前端兩側也對稱設有兩個前導電石墨塊(14)。6.如權利要求5所述的前後電極石墨舟，其特徵在於，所述兩個後導電石墨塊(17)分別位於舟體(I)後端的兩最外側，所述兩個前導電石墨塊(14)分別與舟體(I)的兩最外側間隔一個前端下隔塊(13)。7.如權利要求6所述的前後電極石墨舟，其特徵在於，所述兩後導電石墨塊(17)的底部外側面和所述兩前導電石墨塊(14)的底部外側面均為圓弧面。8.如權利要求1、2、3、4、6、7任一項所述的前後電極石墨舟，其特徵在於，所述奇數石墨片(11)和偶數石墨片(12)均排布有鏤空部，且奇數石墨片(11)和偶數石墨片(12)上的鏤空部水平對齊。9.一種使用上述任一項前後電極石墨舟的化學氣相沉積設備，包括:爐管，設於該爐管內的石墨舟和電極裝置，該爐管由腔體、位於腔體兩端的前蓋(2)和後蓋(3)組成，所述的電極裝置包括兩個分開設置並固定在所述的前蓋(2)和後蓋(3)之間的電極固定杆(4)和正負電極杆，所述的正負電極杆分別使用固定塊固定在所述的電極固定杆上，並在整個石墨舟長度上延伸，其特徵在於，所述石墨舟放置在正負電極杆頂面上，正負電極杆分別與前導電石墨塊(14)和後導電石墨塊(17)接觸通電。
【文檔編號】C23C16/458GK205710906SQ201620162229
【公開日】2016年11月23日
【申請日】2016年3月3日
【發明人】楊寶立, 周湘源, 張勇
【申請人】深圳市捷佳偉創新能源裝備股份有限公司