還原爐進料小流量調節閥的製作方法

2023-04-26 19:30:06

專利名稱：還原爐進料小流量調節閥的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種調節閥，尤其是涉及一種還原爐進料小流量調節閥。
背景技術：
多晶矽，是單質矽的一種形態。熔融的單質矽在過冷條件下凝固時，矽原子以金剛石晶格形態排列成許多晶核，如這些晶核長成晶面取向不同的晶粒，則這些晶粒結合起來，就結晶成多晶矽。由於多晶矽在太陽電池領域具有重要的應用前景，因而近些年得到了廣泛的應用。目前，多晶矽的製備通過多晶矽還原爐進行，在多晶矽還原爐的進料工藝中，由於原料為易燃易爆介質，通常採用氣動調節閥來對進料流量進行控制調節；但是由於其並非是為還原爐進料專門設計的，在使用中發現由於常規的氣動控制閥閥體採用管形結構，閥座垂直安裝於閥體對其進行開閉操作，其有效流通面積受閥座孔、閥門全開時閥芯與閥座孔構成的側面(圓柱面或是圓錐面，我們稱他為面I)面積的限制。另外，閥座將閥腔分為兩大部分，其閥腔上部另一方向與管道過渡孔(我們稱他為面2)有效面積也限制著閥門的有效流通面積。後兩個限制是主要的。要增大面I的面積，閥芯必須遠離閥座孔，即增大其行程，這樣閥的垂直高度就大了。因而當需要獲得較大的閥腔流通截面時，需要使用更大尺寸的閥體，從而導致整個控制閥體型較大，加上執行機構，體型就更大了，導致控制閥在還原爐上安裝受限。普通切斷閥體型相對小，用其開關來控制流量，精度低，且流量不穩定，閥門頻繁啟閉，閥門壽命減少。同時，多晶矽還原爐所使用的原料多具有極強的腐蝕性，且有毒，一般閥門密封性能較差，在使用過程中容易造成原料的洩露，造成嚴重後果。
發明內容本實用新型的目的在於克服上述不足，閥的開啟方向與管道成小於90度的角度的Y形，其垂直行程就小了，而且面2也相應得到增大，體型就相應縮小。0形圈、波紋管、填料多道密封，密封性能好。閥芯等百分比設計，調節精度高。本實用新型的目的是這樣實現的一種還原爐進料小流量調節閥，所述調節閥包含有閥體和氣缸，所述閥體呈一 「Y」形結構，所述氣缸安裝於「Y」形閥體的頂部開口處，所述閥體上設置有閥蓋，且閥蓋設置於氣缸內，所述氣缸內套裝有一活塞組件，所述活塞組件斜向下連接有一閥杆，該閥杆穿過閥蓋的一端上通過小法蘭連接有一閥座，所述閥座上連接有一閥芯，所述閥芯流線的形狀為等百分比曲線，所述閥杆上套裝有波紋管組件，且波紋管組件一端與閥蓋相連，另一端與小法蘭相連，所述閥蓋和活塞組件之間設置有彈簧，所述氣缸的頂部設置有一支架，該支架上安裝有閥門定位器，所述活塞組件上斜向上連接有一指示杆，所述指示杆與閥門定位器的反饋裝置相連。本實用新型還原爐進料小流量調節閥，所述閥杆與閥蓋之間通過0形圈和填料進行密封。本實用新型還原爐進料小流量調節閥，所述閥蓋設置有一彈簧座，套裝於閥杆上的彈簧一端與閥蓋相連，另一端與活塞組件相連。與現有技術相比，本實用新型的有益效果是本實用新型採用閥門定位器後使得調節更為智能和方便，同時設置為等百分比的閥芯使得調節更為精確；同時「Y」形閥體的設計使得整個閥門體積更為小巧，波紋管的使用也使得密封性能更好，有利於提高閥門的使用壽命。

圖I為本實用新型還原爐進料小流量調節閥的結構示意圖。圖2為等百分比閥芯和常規線性閥芯的流量比較示意圖。其中閥體I、閥芯2、閥座3、小法蘭4、波紋管組件5、閥杆6、閥蓋7、0形圈8、填料9、彈簧座10、彈簧11、活塞組件12、氣缸13、指示杆14、支架15、閥門定位器16。
具體實施方式
參見圖f 2，本實用新型涉及的一種還原爐進料小流量調節閥，所述調節閥包含有閥體I和氣缸13，所述閥體I呈一 「Y」形結構，所述氣缸13安裝於「Y」形閥體I的頂部開口處，所述閥體I上設置有閥蓋7，且閥蓋7設置於氣缸13內，所述氣缸13內套裝有一活塞組件12，所述活塞組件12斜向下連接有一閥杆6，該閥杆6穿過閥蓋7的一端上通過小法蘭4連接有一閥座3，所述閥座3上連接有一閥芯2，所述閥芯2與閥體I配合實現對進料的通斷控制，所述閥芯2流線的形狀為等百分比曲線(即閥芯2橫截面的構成曲線為等百分比曲線)，所述閥杆6上套裝有波紋管組件5，且波紋管組件5 —端與閥蓋7相連，另一端與小法蘭4相連，所述閥杆6與閥蓋7之間通過0形圈8和填料9進行密封，由于波紋管組件5的存在，具有腐蝕性的原料不會與0形圈8和填料9相接觸對其進行腐蝕，從而保證了調節閥的密封性能；所述閥蓋7和活塞組件12之間設置有彈簧11，具體的，所述閥蓋7設置有一彈簧座10，套裝於閥杆6上的彈簧11 一端與閥蓋7相連，另一端與活塞組件12相連；所述氣缸13的頂部設置有一支架15，該支架15上安裝有閥門定位器16，所述閥門定位器16的出氣口與氣缸13的進氣口相連通，所述活塞組件12上斜向上連接有一指示杆14，所述指示杆14穿過氣缸13和支架15後與閥門定位器16的反饋裝置(或檢測裝置)相連。使用時，可對閥門定位器16輸入一指定量(410mA)的電流信號，從而調節閥門定位器16對氣缸13的控制氣體的氣壓，並通過指示杆14實時反饋得到閥門的開啟量，從而使得閥門的開啟量能夠穩定在一恆定值。
權利要求1.一種還原爐進料小流量調節閥，其特徵在於所述調節閥包含有閥體(I)和氣缸(13)，所述閥體(I)呈一「Y」形結構，所述氣缸(13)安裝於「Y」形閥體(I)的頂部開口處，所述閥體(I)上設置有閥蓋(7)，且閥蓋(7)設置於氣缸(13)內，所述氣缸(13)內套裝有一活塞組件(12)，所述活塞組件(12 )斜向下連接有一閥杆(6 )，該閥杆(6 )穿過閥蓋(7 )的一端上通過小法蘭(4 )連接有一閥座(3 )，所述閥座(3 )上連接有一閥芯(2 )，所述閥芯(2 )流線的形狀為等百分比曲線，所述閥杆(6)上套裝有波紋管組件(5)，且波紋管組件(5)—端與閥蓋(7)相連，另一端與小法蘭(4)相連，所述閥蓋(7)和活塞組件(12)之間設置有彈簧(11)，所述氣缸(13)的頂部設置有一支架(15)，該支架(15)上安裝有閥門定位器(16)，所述活塞組件(12)上 斜向上連接有一指示杆(14)，所述指示杆(14)與閥門定位器(16)的反饋裝置相連。
2.如權利要求I所述一種還原爐進料小流量調節閥，其特徵在於所述閥杆(6)與閥蓋(7)之間通過O形圈(8)和填料(9)進行密封。
3.如權利要求I或2所述一種還原爐進料小流量調節閥，其特徵在於所述閥蓋(7)設置有一彈簧座(10)，套裝於閥杆(6)上的彈簧(11)一端與閥蓋(7)相連，另一端與活塞組件(12)相連。
專利摘要本實用新型涉及一種還原爐進料小流量調節閥，所述調節閥包含有閥體(1)和氣缸(13)，所述閥體(1)上設置有閥蓋(7)，所述氣缸(13)內套裝有一活塞組件(12)，所述活塞組件(12)斜向下連接有一閥杆(6)，該閥杆(6)穿過閥蓋(7)的一端上通過小法蘭(4)連接有一閥座(3)，所述閥座(3)上連接有一閥芯(2)，所述閥芯(2)流線的形狀為等百分比曲線，所述氣缸(13)的頂部設置有一支架(15)，該支架(15)上安裝有閥門定位器(16)，所述活塞組件(12)上斜向上連接有一指示杆(14)，所述指示杆(14)與閥門定位器(16)的反饋裝置相連。本實用新型還原爐進料小流量調節閥，結構小巧、密封性能好且調節方便。
文檔編號F16K31/122GK202360850SQ201120527768
公開日2012年8月1日 申請日期2011年12月16日 優先權日2011年12月16日
發明者劉義平, 朱志雄, 李志兵 申請人:江陰市普泰隆閥業有限公司