用於單晶矽籽晶多線切割機的切割頭結構的製作方法
2023-04-26 01:33:31
專利名稱：用於單晶矽籽晶多線切割機的切割頭結構的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及ー種切割頭結構，特別是ー種用於單晶矽籽晶多線切割機的切割頭結構。
背景技術：
單晶矽籽晶多線切割機是利用鋼線高速運動，並噴淋碳化矽砂漿，由碳化矽砂漿中的碳化矽微粒對矽材料進行研磨切割。切割動作是由切割機立柱上的切割頭完成的，現有的切割頭的結構如下包括切割頭架，在切割頭 架上排列有多個導向輪、過輪和與過輪相對應的切割輪，鋼線在各導向輪、過輪和切割輪上纏繞，形成一定間距且縱、橫不同方向的鋼線網，切割頭架在立柱上向下運動時，對下方工作檯上的被切單晶矽鑄錠進行切割，使鑄錠形成多個長方體形狀。由於各過輪和切割輪安裝時相互之間有一定間距，纏繞後的鋼線間距較大，只能切割出塊狀的單晶矽體，無法切割出薄片狀的單晶矽。
發明內容本實用新型的目的是提供ー種整體結構簡單、鋼線纏繞後相互平行的鋼線間距小、適合於切割薄片狀單晶矽的用於單晶矽籽晶多線切割機的切割頭結構，克服現有技術的不足。本實用新型的用於單晶矽籽晶多線切割機的切割頭結構，包括切割頭架，在切割頭架上安裝有纏繞鋼線的多個過輪、切割輪、與切割輪相接的驅動機構及用於鋼線導向的導向輪；所述的各個過輪在切割頭架上方前側和後側對稱排列，所述的各個切割輪在切割頭架下方前側和後側對稱排列，每對前側和後側的過輪下方對應ー對切割輪，從而形成一組鋼線纏繞結構；所述的導向輪設在每組過輪側面的進入鋼線位置和拉出鋼線的位置；位於前側和後側排列的兩排切割輪分別通過相互平行的前切割輪軸和後切割輪軸安裝在切割頭架上並接驅動機構；所述的每個過輪和切割輪外圓周上有多個纏繞鋼線的線槽。本實用新型的用於單晶矽籽晶多線切割機的切割頭結構，其中所述的切割頭架由四個連接角和四個與連接角相接的四個橫梁組成，形成框架結構。本實用新型的用於單晶矽籽晶多線切割機的切割頭結構，與現有技術相比可以將鑄錠狀單晶矽切割成薄片狀，整體結構簡單，薄片厚度調整容易，滿足了薄片單晶矽生產的需要。也可選擇間隔纏繞的方式，使鋼線纏繞後間距增大，用於切割塊狀單晶矽材料。具有適用範圍廣、變換方便的優點。
圖I是本實用新型具體實施方式
的結構示意圖。
具體實施方式
如圖I所示23為連接角，四個連接角關於中心對稱設置，在相鄰的連接角之間固定連接有橫梁1，四個橫梁I與四個連接角形成框架結構的切割頭架。在切割頭架上安裝有纏繞鋼線25的多個過輪、切割輪、與切割輪相接的驅動機構及用於鋼線25導向的導向輪。在切割頭架上方前側通過支架安裝有第一前過輪9、第二前過輪7、第三前過輪5，第一前過輪9、第二前過輪7、第三前過輪5為同軸設置，排列成線。在切割頭架上方後側通過支架安裝有第一後過輪18、第二後過輪20、第三後過輪22,第一後過輪18、第二後過輪20、第三後過輪22為同軸設置,排列成線。第一前過輪9、第二前過輪7、第三前過輪5和第一後過輪18、第二後過輪20、第三後過輪22對稱設置。上述每個過輪的圓周上均有多個纏繞鋼線25的線槽。在切割頭架下方前側通過前切割輪軸24安裝有第一前切割輪8、第二前切割輪6、第三前切割輪4，在切割頭架的下方後側通過後切割輪軸安裝有第一後切割輪、第二後切割輪、第三後切割輪,第一前切割輪8、第二前切割輪6、第三前切割輪4與第一後切割輪、第二後切割輪、第三後切割輪對稱設置。上述每個切割輪的圓周上均有多個纏繞鋼線25的線槽。前切割輪軸24和後切割輪均與驅動機構相接。上述每個過輪的下方均對應ー個切割輪，第一前過輪9、第一前切割輪8、第一後過輪18和位於第一後過輪18下方的第一後切割輪組成左邊ー組繞鋼線機構；第二前過輪7、第二前切割輪6、第二後過輪20和位於第二後過輪20下方的第二後切割輪組成中間ー組繞鋼絲機構；第三前過輪5、第三切割輪4、第三後過輪22和位於第三後過輪22下方的第三後切割輪組成右邊ー組繞鋼線機構。各導向輪均通過支架安裝在切割頭架上，具體位置如下第十導向輪17位於第一後過輪18的左內側；第四導向輪10位於第一前過輪9的右內側^一導向輪19位於第ニ後過輪20的左內側；第三導向輪12位於第二前過輪7的右內側；第十二導向輪21設在第三後過輪22的左內側；第二導向輪3設在第三前過輪5的右內側；第一導向輪2設在位於右前角處的連接角上；第五導向輪11設在左前角處的連接角上；在左后角處的連接角上通過緊架安裝有互成角度的第六導向輪13、第七導向輪14、第八導向輪15和第九導向輪16。鋼線25的纏繞順序如下自切割機放線裝置過來的鋼線25依次繞過第六導向輪13、第九導向輪16、第十導向輪17,然後依次繞過第一後過輪18、位於第一後過輪18下方的第一後切割輪、第一前切割輪8、第一前過輪9,在第一後過輪18、位於第一後過輪18下方的第一後切割輪、第一前切割輪8、第一前過輪9上纏繞多周後通過第四導向輪10、第十一導向輪19依次繞在第二後過輪20、位於第二後過輪20下方的第二後切割輪、第二前切割輪6、第二前過輪7上，同樣纏繞多周，再通過第三導向輪12、第十二導向輪21繞在第三後過輪22、位於第三後過輪22下方的第三後切割輪、第三前切割輪4上，纏繞多周，再通過第ニ導向輪3、第一導向輪2、第五導向輪11、第八導向輪15、第七導向輪14進入切割機的收線裝置。各切割輪的線槽數量多於各過輪的線槽數量，切片厚度是通過調整鋼線在切割輪上線槽的位置完成的，即切割輪上每個線槽均纏有鋼線，切片的厚度最小，如要増大切片的厚度，鋼線在切割輪上可空ー個線槽纏繞，或空多個線槽纏繞。[0018]本實用新型在切割頭架上形成了三組鋼線纏繞機構，根據需要可以製作成更多組鋼線纏繞機構。安裝時，切割頭架設置在切割機的立柱上，通過驅動機構帶動本切割頭整體上下移動，被切鑄錠置於工作檯上，切割頭下移並噴碳化矽砂漿，可通過鋼線的運動利用碳化矽微粒對鑄錠研磨切割成片。切割的動作是由運行在前、後切割輪之間的部分鋼線完成的。本實用新型可以將鑄錠狀單晶矽切割成薄片狀，整體結構簡單，薄片厚度調整容易，滿足了薄片單晶矽的生產。
權利要求1.一種用於單晶矽籽晶多線切割機的切割頭結構，包括切割頭架，在切割頭架上安裝有纏繞鋼線的多個過輪、切割輪、與切割輪相接的驅動機構及用於鋼線導向的導向輪；其特徵在於所述的各個過輪在切割頭架上方前側和後側對稱排列，所述的各個切割輪在切割頭架下方前側和後側對稱排列，每對前側和後側的過輪下方對應一對切割輪，從而形成一組鋼線纏繞結構；所述的導向輪設在每組過輪側面的進入鋼線位置和拉出鋼線的位置；位於前側和後側排列的兩排切割輪分別通過相互平行的前切割輪軸和後切割輪軸安裝在切割頭架上並接驅動機構；所述的每個過輪和切割輪外圓周上有多個纏繞鋼線的線槽。
2.根據權利要求I所述的用於單晶矽籽晶多線切割機的切割頭結構，其特徵在於所述的切割頭架由四個連接角和四個與連接角相接的四個橫梁組成，形成框架結構。
專利摘要用於單晶矽籽晶多線切割機的切割頭結構，在切割頭架上安裝有纏繞鋼線的多個過輪、切割輪、與切割輪相接的驅動機構及用於鋼線導向的導向輪；各個過輪在切割頭架上方前側和後側對稱排列，各個切割輪在切割頭架下方前側和後側對稱排列，每對前側和後側的過輪下方對應一對切割輪，從而形成一組鋼線纏繞結構；導向輪設在每組過輪側面的進入鋼線位置和拉出鋼線的位置；位於前側和後側排列的兩排切割輪分別通過相互平行的前切割輪軸和後切割輪軸安裝在切割頭架上並接驅動機構；每個過輪和切割輪外圓周上有多個纏繞鋼線的線槽。本實用新型可以將鑄錠狀單晶矽切割成薄片狀，整體結構簡單，薄片厚度調整容易，滿足了薄片單晶矽的生產。
文檔編號B28D5/04GK202572669SQ20122018259
公開日2012年12月5日 申請日期2012年4月26日 優先權日2012年4月26日
發明者劉麗娟, 楊真永, 侯賀, 唐學千 申請人:大連連城數控機器股份有限公司