薄膜電晶體、其製造方法以及使用薄膜電晶體的平板顯示器的製作方法
2023-05-11 07:22:36
專利名稱：薄膜電晶體、其製造方法以及使用薄膜電晶體的平板顯示器的製作方法
要求優先權根據35 U.S.C.ζ119，本申請要求於2004年12月4日提交給韓國知識產權局的申請號為10-2004-0101523的韓國專利申請的優先權，其全部公開在此作為參考引入。
背景技術：
發明領域本發明涉及一種薄膜電晶體，一種製造薄膜電晶體的方法，以及一種包括薄膜電晶體的平板顯示器，並特別是，涉及一種包括具有精確圖案的導電薄膜的薄膜電晶體，一種用低成本、低溫滾動條式(roll-to-roll)連續工藝製造薄膜電晶體的方法，以及一種使用薄膜電晶體的平板顯示器。
相關技術的描述通常，發光器件，作為一種平板顯示器件，由於具有大的視角、高的對比度以及短的響應時間的優點成為下一代顯示器件。根據用於其發射層的材料，將這種發光器件分為無機發光器件器件和有機發光器件(OLED)。
有機發光器件是自發光顯示器件，當螢光有機合成物被電激發時其發光。有機發光器件可在低電壓下工作，可製成薄的，具有寬的視角和短的響應時間，並因此作為能夠克服例如液晶顯示器的傳統顯示器出現的問題的下一代顯示器而受到關注。
有機發光器件包括一個在陽極和陰極之間具有有機材料的發射層。在有機發光器件中，當在陽極和陰極之間施加電壓時，空穴通過空穴傳輸層從陽極遷移到發射層，而電子通過電子傳輸層從陰極遷移到發射層。空穴和電子在發射層重新結合併因此產生激子(exiton)。當激子從激發態轉變為基態時，發射層中的螢光分子發出光，由此形成圖像。全色有機發光器件包括多個象素，每個發出三色光，即，紅色、綠色和藍色光，並因此實現全色圖像。
例如有機發光器件、無機發光器件等的平板顯示器包括薄膜電晶體(TFT)，作為用於控制每個象素工作的開關器件以及用於驅動每個象素的器件。TFF包括一半導體層，其中源極和漏極區摻雜了很多雜質，且源極和漏極區之間限定了一溝道區，一柵極，形成在相應於溝道區的區域但與半導體層絕緣以及分別接觸源極區和漏極區的源極/漏電極。
近來，薄膜結構和柔韌性已經成為平板顯示器件的要求。為了實現柔韌性要求，平板顯示器件已經使用塑料襯底代替常規的玻璃襯底。然而，塑料襯底只能在低溫下使用。由於這個原因，包括有機半導體層的有機薄膜電晶體變得比其它多晶矽薄膜電晶體更加普遍。有機半導體層可僅使用低溫工藝形成，並可用於製成低成本薄膜電晶體。這種有機半導體層的例子在Kelley等人美國專利號6,433,359中公開。
有機薄膜電晶體中，導電層例如柵極、連接到柵極的柵極導電層、源極和漏極、連接到源極和漏極的源極導電層和漏極導電層等利用例如沉積法形成。然而，利用該沉積法製造有機薄膜電晶體是昂貴的。而且，襯底或有機半導體層會被沉積工藝期間產生的熱度損傷。因此，需要對有機薄膜電晶體改進結構和製成較少傾向於使襯底受熱的該有機薄膜電晶體的改進方法，其花費不多並且可用於滾動條式工藝。
發明概述因此本發明的一個目的是提供一種有機薄膜電晶體的改進結構。
本發明的另一個目的是提供一種製成適於柔韌性塑料襯底的有機薄膜電晶體的改進方法。
本發明的又一個目的是提供一種低成本、低溫滾動條式連續工藝製造薄膜電晶體的方法。
本發明的再一個目的是提供一種利用有機薄膜電晶體的改進的平板顯示器。
這些和其它目的可通過一種包括用導電納米顆粒(nano-particles)和固化樹脂製成的導電層的有機薄膜電晶體、一種製造薄膜電晶體的方法以及一種包括薄膜電晶體的平板顯示器來實現。
根據本發明的一方面，提供一種薄膜電晶體，其包括柵極、源極和漏極、與柵極連接的第一導電層、與源極和漏極中之一連接的第二導電層、接觸源極和漏極的有機半導體層以及將源極和漏極以及有機半導體層與柵極絕緣的絕緣層，其中柵極、第一導電層、源極和漏極以及第二導電層中的至少一個包括導電納米顆粒和固化樹脂。
根據本發明的另一方面，提供一種製造薄膜電晶體的方法，該方法包括製備包括導電納米顆粒、可固化樹脂和載體(vehicle)的可固化糊狀組合物，將可固化糊狀組合物塗敷到襯底上，固化可固化糊狀組合物的一部分以限定柵極、與柵極連接的第一導電層、源極和漏極以及與源極和漏極中之一連接的第二導電層中至少一個的圖案，以及除去可固化糊狀組合物的未固化部分，以形成柵極、第一導電層、源極和漏極以及第二導電層中的至少一個。
根據本發明的另一方面，提供一種平板顯示器件，其在每個象素中包括上述的薄膜電晶體或使用上述方法製成的薄膜電晶體，其中象素電極與薄膜電晶體的源極或漏極連接。
根據本發明的薄膜電晶體中的導電層可具有精密圖案。具有精密的導電層圖案的這種薄膜電晶體可利用根據本發明的方法通過低成本、低溫滾動條式連續工藝製造。另外，薄膜電晶體的有機半導體層和襯底在製造工藝期間基本不會受到損傷。利用根據本發明的薄膜電晶體可製成具有改進的可靠性的平板顯示器。
附圖簡述根據下面的詳細描述在與附圖結合考慮時，本發明的更完整的評價，及其許多伴隨的優點將變得容易明白，和更容易理解，附圖中相同的參考符號表示相同或相似的元件，其中
圖1是根據本發明的實施方案的薄膜電晶體的平面圖；圖2是沿著圖1中I-I線的薄膜電晶體的剖面圖；圖3是根據本發明的實施方案的平板顯示器的剖視圖；以及圖4是根據本發明的薄膜電晶體中的第一導電層的電子透射顯微照片(TEM)。
發明詳述現在轉向附圖，圖1是根據本發明的實施方案的薄膜電晶體10的平面圖，以及圖2是沿著圖1中I-I線的薄膜電晶體的剖面圖。根據圖1和2的薄膜電晶體(TFT)10在襯底11上形成。該襯底11可以是由例如丙烯酸類樹脂(acryls)、環氧樹脂(epoxys)、聚醯胺、聚碳酸酯、聚醯亞胺、聚酮、聚降冰片烯、聚苯醚、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚對苯二甲酸乙二酯(PET)、聚苯硫醚(PPS)等製成的玻璃襯底或者塑料襯底。
柵極12以預定圖案在襯底11上形成。絕緣層13形成以例如覆蓋柵極12。源極和漏極14在絕緣層13上形成。儘管如圖1所示源極和漏極14重疊了部分柵極12，但是本發明並不局限於此。參考數字12a表示與柵極12連接的第一導電層以向那裡提供柵信號，而參考數字14a表示與源極和漏極14中之一連接的第二導電層。在本發明中，柵極12、第一導電層12a、源極和漏極14以及第二導電層14a中的至少之一包含導電納米顆粒和固化樹脂。導電納米顆粒可以是金、銀、銅、鎳、鉑、鈀、鋁納米顆粒或其組合，但是本發明並不以此為限。
導電納米顆粒的比表面積可以為2.0-10.0m2/g，例如3.0-9.0m2/g。另外，導電納米顆粒的平均粒徑可以為10-100nm，例如20-90nm。當導電納米顆粒的比表面積小於2.0m2/g或者當平均粒徑大於100nm時，柵極、第一導電層、源極和漏極或者第二導電層的線性度(linearity)降低，而電阻增加。另一方面，當導電納米顆粒的比表面積大於10.0m2/g或者當平均粒徑小於10nm時，包含納米顆粒的導電層不能具有足夠的導電性。
導電納米顆粒可具有層狀的、無定形的或者球形的形狀。例如，考慮到比表面積、填充比等，導電納米顆粒可具有球形的形狀。
固化樹脂通過經由加熱或曝光來固化可固化樹脂而獲得。固化樹脂應該能夠嚮導電層，例如柵極、第一導電層、源極和漏極、第二導電層等提供導電性，或者至少不會降低導電納米顆粒的導電性。
如上所述，固化樹脂可通過利用熱或光來固化樹脂而獲得。當利用加熱來固化可固化樹脂時，固化溫度可在100-2000℃，例如200-1000℃的範圍內。如果固化溫度是100℃或者更低，樹脂通過加熱而固化的程度低。如果固化溫度高於2000℃，有機半導體層和襯底會遭受損傷。另外，固化樹脂可通過由雷射照射曝光來固化可固化樹脂而獲得。當利用雷射來固化樹脂時，能夠形成固化樹脂的超精密圖案。
用於獲得固化樹脂的可固化樹脂的例子包括鄰苯二甲酸酯樹脂、環氧樹脂、尿素樹脂、三聚氰胺樹脂、乙炔樹脂、吡咯樹脂、噻吩樹脂、烯烴樹脂、醇樹脂、酚樹脂以及這些樹脂至少兩種的組合。可固化樹脂的特定例子包括聚鄰苯二甲酸乙二酯、聚鄰苯二甲酸丁二醇酯、聚鄰二羥基甲基環已基對苯二甲酸酯、脲甲醛樹脂、三聚氰胺(2，4，6-三氨基-1，3，5-三嗪)-甲醛樹脂、三聚氰胺尿素樹脂、三聚氰胺酚樹脂、聚乙炔、聚吡咯、聚(3-烷基噻吩)、聚亞苯基亞乙烯基(polyphenylene vinylidene)、聚乙烯亞乙烯基(polyethylene vinlidene)、聚乙烯醇以及光致抗蝕樹脂，但是，本發明決不局限於這些材料。
柵極12、第一導電層12a、源極和漏極14以及第二導電層14a中至少之一具有5-500，例如10-300的表面粗糙度。如果例如柵極12、第一導電層12a、源極和漏極14以及第二導電層14a的導電區域的表面粗糙度不在上述範圍內，可能在另一層間，例如在導電區域上形成的有機層和導電層區域發生接觸失敗。
有機半導體層15形成在源極和漏極14上。用於有機半導體層15的有機半導體材料的例子包括並五苯、並四苯、蒽、萘、α-6-噻吩、α-4-噻吩、苝及其衍生物、紅熒烯及其衍生物、蔻及其衍生物、苝四羧酸二醯亞胺(perylenetetracarboxylic diimide)及其衍生物、苝四羧酸二酐(perylene tetracarboxylicdianhydride)及其衍生物、聚噻吩及其衍生物、聚對亞苯基亞乙烯基(polyparaphenylene vinylene)及其衍生物、聚對亞苯基(polyparaphenylene)及其衍生物、聚芴及其衍生物、聚噻吩亞乙烯基(polythiophene vinylene)及其衍生物、聚噻吩-雜環芳烴共聚物(polythiophene-heterocyclic aromatic copolymer)及其衍生物、萘的寡並苯(oligoacene)及其衍生物、α-5-噻吩的低聚噻吩(oligothiophene)及其衍生物、具有或不具有金屬的酞菁及其衍生物、苯均四酸二酐及其衍生物、1，2，4，5-苯四甲醯二亞胺及其衍生物等。另外，前述材料的至少兩種的組合可用於有機半導體層15。
根據本發明的薄膜電晶體可具有如上所述的層疊結構，也可具有其它不同的層疊結構。例如，根據本發明的薄膜電晶體可具有其中襯底、柵極、絕緣層、有機半導體層以及源極和漏極順序層疊的層疊結構，或者其中襯底、源極和漏極、有機半導體層、絕緣層以及柵極順序層疊的層疊結構。
根據本發明的實施方案的薄膜電晶體的製造方法包括製備包含導電納米顆粒、可固化樹脂以及載體的可固化糊狀組合物，將可固化糊狀組合物塗敷到襯底上，固化可固化糊狀組合物的一部分以限定柵極、與柵極連接的第一導電層、源極和漏極以及與源極和漏極中之一連接的第二導電層中至少之一的圖案，然後除去可固化糊狀組合物的未固化部分以形成柵極、第一導電層、源極和漏極以及第二導電層中至少之一。
可固化糊狀組合物包含導電納米顆粒和可固化樹脂。導電納米顆粒與上述的相同。可固化樹脂的例子包括通過暴露於熱或光而固化的樹脂。
任選地，可固化糊狀組合物可進一步包含載體。載體控制可固化糊狀組合物的粘性、可印性等，並且載體在固化過程中可至少部分揮發。載體的例子包括，但不局限於TEOS、松油醇、丁基卡必醇(BC)、丁基卡必醇乙酸酯(BCA)、甲苯、texanol、至少兩種前述材料的組合等。
根據本發明的可固化糊狀組合物可具有10-100cps，例如20-90cps的粘度。如果可固化糊狀組合物的粘性不在這個範圍內，流動性和可印性變差，從而使其難以形成精確的圖案。
將上面製備好的可固化糊狀組合物塗敷到襯底上。襯底是指具有區域的支持體，柵極、與柵極連接的第一導電層、源極和漏極以及與源極和漏極中之一連接的第二導電層中至少之一將在該區域內形成。合適的襯底可根據形成的薄膜電晶體的結構來選擇。例如，當形成其中有柵極、有機半導體層以及源極和漏極順序層疊的薄膜電晶體時，將可固化糊狀組合物塗敷到玻璃或塑料襯底上以形成柵極。然後，將可固化糊狀組合物塗敷到具有柵極和有機半導體層的襯底上以形成源極和漏極。
在塗敷可固化糊狀組合物之後，將可固化糊狀組合物固化以確定目標圖案，例如，柵極、與柵極連接的第一導電層、源極和漏極以及與源極和漏極中之一連接的第二導電層中至少之一。
根據本發明的方法中，可使用各種各樣的方法來固化可固化糊狀組合物。例如，局部固化處理可利用雷射來實施。雷射器是一種具有高能量密度的光源，能夠沿著超精細圖案局部地放射熱或光。可用於本發明的雷射器包括UV雷射器、IR雷射器等。例如，可以使用具有635nm波長的半導體雷射器、具有514nm波長的氬氣雷射器。然而，本發明並不局限於此。
在固化處理之後，除去未固化的糊狀組合物。未固化的糊狀組合物可利用可以溶解上述的未固化樹脂的各種溶劑例如丙酮除去。當可固化樹脂包括例如羧基的親水性基團時，可改為使用水溶性的有機鹼性化合物，例如氫氧化四甲基銨、膽鹼、氫氧化三甲基2-羥乙基銨等。然而，可利用的溶劑並不局限於此。
如上所述，根據本發明的可固化糊狀組合物的圖案是通過局部固化處理而獲得。換句話說，根據本發明的薄膜電晶體的襯底和/或有機半導體層在薄膜電晶體的製造期間並未暴露在高溫條件下。因此，基本上防止了根據本發明的薄膜電晶體的襯底和有機半導體層的熱損傷。另外，根據本發明，由於利用了局部固化工藝，因此無需實施複雜的光致抗蝕工藝。可改為利用滾動條式連續工藝，從而提高生產率。
如上所述根據本發明的薄膜電晶體以及使用如上所述根據本發明的方法製造的薄膜電晶體可用於例如LCD、OLED等的平板顯示器件中。現在轉向圖3，圖3示出了包括根據本發明的TFT的示範的有機發光顯示器。圖3中，示出了有機發光顯示器的一個子象素。有機發光顯示器中的每個子象素包括一自發光器件，即，有機發光器件(下文中，「OLED」)以及至少一個薄膜電晶體。儘管未示出，每個子象素也包括電容器。
有機發光顯示器根據由有機發光器件發出的光的顏色而具有各種象素圖案，例如，紅色(R)、綠色(G)和藍色(B)象素圖案。參考圖3，R、G和B子象素的每一個包括TFT結構和有機發光器件。在子象素的每一個中的TFT可以是在上面的實施方案中描述的TFT。然而，子象素的每一個中的TFT並不局限於上述的TFT，而可具有其它各種結構。
參考圖3，具有上述結構的TFT20在襯底21上形成。TFT20的柵極22以及源極和漏極24包括導電納米顆粒以及固化樹脂，如上所述。儘管圖3中未示出，與柵極22連接的第一導電層和/或與源極和漏極24中之一連接的第二導電層可包括導電納米顆粒和固化樹脂。TFT20的柵極22、絕緣層23以及有機半導體層25與上述的相同。因此，這裡將不再對其重複描述。
形成TFT20的有機半導體層25之後，形成鈍化層27以例如覆蓋TFT20。鈍化層27可以是單層或多層結構。鈍化層可由有機材料、無機材料或者有機和無機材料的複合材料形成。
有機發光器件30的第一電極31在鈍化層27上形成，以及象素限定層28在其上形成。預定開口28a在象素定義層28中形成，並形成有機發光器件30的有機發射層32。
有機發光器件30通過根據電流量而發出紅、綠和藍光來顯示預定圖像信息。有機發光器件30包括與TFT20的源極和漏極24中之一連接的第一電極31、完全覆蓋象素的第二電極33以及布置在第一電極31和第二電極33之間的有機發射層32。與TFT20的源極和漏極24中之一連接的第一電極31可以是象素電極。應理解的是本發明並不局限於這種結構。也應理解本發明也可應用於其它各種有機發光顯示器。
有機發射層32可以是小分子量或大分子量有機層。當使用小分子量有機層時，其結構可包括空穴注入層(HIL )、空穴傳輸層(HTL)、發射層(EML)、電子傳輸層(ETL)、電子注入層(EIL)等，並且可層疊為單層或多層。用於有機發射層32的可利用的有機材料包括銅酞菁(CuPc)、N，N』-二(萘-1-基)-N，N』-二苯基-聯苯胺(NPB)、三-8-羥基喹啉鋁(Alq3)等。小分子量有機層可用真空澱積方法形成。
當使用大分子量有機層時，有機發射層32可具有包括HTL和EML的結構。在這種情況下，HTL由PEDOT(聚3，4-亞乙二氧基噻吩)形成，而EML由例如聚亞苯基亞乙烯基(PPV)、聚芴等大分子量有機材料形成。大分子量有機層可用絲網印刷法或噴墨印刷法形成。應理解本發明決不局限於上述的，同樣可改為利用其它各種有機層。
第一電極31用作為陽極，而第二電極33用作為陰極。但是可將第一電極31和第二電極33的極性轉換，並且仍在本發明的範圍內。
如上所述，如圖3中所示根據本發明的薄膜電晶體可設置在每個子象素內，也可設置在不生成圖像的驅動電路(未示出)內。
下文中，關於下面的實施例將更詳細地描述本發明。下面的實施例是為了例證性的目的而並不打算限制本發明的範圍。
實施例1將作為可固化樹脂的光致抗蝕膠油墨(可從Clariant公司買到)以及包括作為導電納米顆粒的Ag顆粒的Ag油墨(可從Cabot公司買到，平均Ag粒徑30nm)以9∶1的重量比混合。將該混合物以900rpm在玻璃襯底的表面上旋轉塗敷30秒，並在110℃軟烘烤(soft-baked)2分30秒。將由此產生的結構根據第一導電層的圖案以25mJ/cm2的能量曝光5秒，並浸入顯影液60秒以顯影。將由此產生的結構在130℃硬烘烤3分鐘以獲得具有15μm寬度和1μm高度的圖案。從圖4的電子透射顯微(TEM)照片可見，形成了第一圖案。
實施例2將5％重量比的作為可固化樹脂的聚乙烯醇(PVA)溶液以及包括作為導電納米顆粒的Ag顆粒的Ag油墨(可從Cabot公司買到，平均Ag粒徑30nm)以9∶1的重量比混合。將該混合物以1000rpm在具有用於第一導電層的光致抗蝕圖案的玻璃襯底的表面上旋轉塗敷30秒，並在室溫下乾燥10分鐘。將由此產生的結構根據第一導電層的圖案以600mJ/cm2的能量曝光120秒，並浸入顯影液60秒以顯影。將由此產生的結構在100℃硬烘烤20分鐘以獲得具有15μm寬度和1μm高度的圖案。
如上所述，根據本發明的TFT中的導電層可使用例如雷射器通過局部固化方法而形成。因此具有以精確圖案表示的導電層的TFT可以低成本，以及低溫滾動條式連續工藝製造，從而提高生產率。此外，使用根據本發明的TFT可製造出提高了可靠性的平板顯示器。
儘管已經參考其示範性的實施例特別地示出和描述了本發明，但是本領域技術人員應理解，在不偏離如下權利要求所限定的本發明的實質和範圍的情況下在形式和細節上可作出各種改變。
權利要求
1.一種薄膜電晶體，包括柵極、源極和漏極；與柵極連接的第一導電層；與源極和漏極中之一連接的第二導電層；接觸源極和漏極的有機半導體層；以及將源極和漏極以及有機半導體層與柵極絕緣的絕緣層，其中柵極、第一導電層、源極和漏極以及第二導電層中至少之一包括導電納米顆粒和固化樹脂。
2.權利要求1的薄膜電晶體，其中導電納米顆粒選自金、銀、銅、鎳、鉑、鈀和鋁納米顆粒。
3.權利要求1的薄膜電晶體，其中導電納米顆粒的比表面積為2.0-10.0m2/g。
4.權利要求1的薄膜電晶體，其中導電納米顆粒的平均粒徑為10-100nm的範圍內。
5.權利要求1的薄膜電晶體，其中固化樹脂是通過固化至少一種選自下列的材料而製得鄰苯二甲酸酯樹脂、環氧樹脂、尿素樹脂、三聚氰胺樹脂、乙炔樹脂、吡咯樹脂、噻吩樹脂、烯烴樹脂、醇樹脂和酚樹脂。
6.權利要求1的薄膜電晶體，其中固化樹脂是通過固化至少一種選自下列的可固化樹脂而製得聚鄰苯二甲酸乙二酯、聚鄰苯二甲酸丁二醇酯、聚二羥基甲基環己基對苯二甲酸酯、脲甲醛樹脂、三聚氰胺(2，4，6-三氨基-1，3，5-三嗪)-甲醛樹脂、三聚氰胺尿素樹脂、三聚氰胺酚樹脂、聚乙炔、聚吡咯、聚(3-烷基噻吩)、聚亞苯基亞乙烯基、聚乙烯亞乙烯基以及聚乙烯醇。
7.權利要求1的薄膜電晶體，其中柵極、第一導電層、源極和漏極以及第二導電層中至少之一具有5-500的表面粗糙度。
8.權利要求1的薄膜電晶體，其中有機半導體層由至少一種選自下列的材料製得並五苯、並四苯、蒽、萘、α-6-噻吩、α-4-噻吩、苝及其衍生物、紅熒烯及其衍生物、蔻及其衍生物、苝四羧酸二醯亞胺及其衍生物、苝四羧酸二酐及其衍生物、聚噻吩及其衍生物、聚對亞苯基亞乙烯基及其衍生物、聚對亞苯基及其衍生物、聚芴及其衍生物、聚噻吩亞乙烯基及其衍生物、聚噻吩-雜環芳烴共聚物及其衍生物、萘的寡並苯及其衍生物、α-5-噻吩的低聚噻吩及其衍生物、具有或不具有金屬的酞菁及其衍生物、苯均四酸二酐及其衍生物以及1，2，4，5-苯四甲醯二亞胺及其衍生物。
9.一種製造薄膜電晶體的方法，該方法包括製備包括導電納米顆粒、可固化樹脂和載體的可固化糊狀組合物；將可固化糊狀組合物塗敷到襯底上；固化可固化糊狀組合物的一部分以限定柵極、與柵極連接的第一導電層、源極和漏極以及與源極和漏極中之一連接的第二導電層中至少之一的圖案；以及固化之後，除去可固化糊狀組合物的未固化部分，以形成柵極、第一導電層、源極和漏極以及第二導電層中至少之一。
10.權利要求9的方法，其中可固化糊狀組合物還包括至少一種選自下列的載體TEOS、松油醇、丁基卡必醇(BC)、丁基卡必醇乙酸酯(BCA)、甲苯以及texanol。
11.權利要求9的方法，其中可固化糊狀組合物具有10-100cps的粘度。
12.權利要求9的方法，其中利用紫外線雷射器或紅外線雷射器來進行可固化糊狀組合物的所述部分的固化。
13.一種平板顯示器，包括薄膜電晶體，其包括柵極、源極和漏極，與柵極連接的第一導電層，與源極和漏極中之一連接的第二導電層，接觸源極和漏極的有機半導體層，以及將源極和漏極以及有機半導體層與柵極絕緣的絕緣層，其中柵極、第一導電層、源極和漏極以及第二導電層中至少之一包括導電納米顆粒和固化樹脂；以及象素電極，其與薄膜電晶體的源極和漏極中之一電連接。
14.權利要求13的平板顯示器，其中薄膜電晶體的導電納米顆粒選自金、銀、銅、鎳、鉑、鈀和鋁納米顆粒。
15.權利要求13的平板顯示器，其中薄膜電晶體的導電納米顆粒的比表面積為2.0-10.0m2/g。
16.權利要求13的平板顯示器，其中薄膜電晶體的導電納米顆粒的平均粒徑為10-100nm。
17.權利要求13的平板顯示器，其中薄膜電晶體的固化樹脂是通過固化至少一種選自下列的材料而製得鄰苯二甲酸酯樹脂、環氧樹脂、尿素樹脂、三聚氰胺樹脂、乙炔樹脂、吡咯樹脂、噻吩樹脂、烯烴樹脂、醇樹脂和酚樹脂。
18.權利要求13的平板顯示器，其中薄膜電晶體的固化樹脂是通過固化至少一種選自下列的可固化樹脂而製得聚鄰苯二甲酸乙二酯、聚鄰苯二甲酸丁二醇酯、聚二羥基甲基環己基對苯二甲酸酯、脲甲醛樹脂、三聚氰胺(2，4，6-三氨基-1，3，5-三嗪)-甲醛樹脂、三聚氰胺尿素樹脂、三聚氰胺酚樹脂、聚乙炔、聚吡咯、聚(3-烷基噻吩)、聚亞苯基亞乙烯基、聚乙烯亞乙烯基以及聚乙烯醇。
19.權利要求13的平板顯示器，其中薄膜電晶體的柵極、第一導電層、源極和漏極以及第二導電層中至少之一具有5-500的表面粗糙度。
20.權利要求13的平板顯示器，其中薄膜電晶體的有機半導體層由至少一種選自下列的材料製得並五苯、並四苯、蒽、萘、α-6-噻吩、α-4-噻吩、苝及其衍生物、紅熒烯及其衍生物、蔻及其衍生物、苝四羧酸二醯亞胺及其衍生物、苝四羧酸二酐及其衍生物、聚噻吩及其衍生物、聚對亞苯基亞乙烯基及其衍生物、聚對亞苯基及其衍生物、聚芴及其衍生物、聚噻吩亞乙烯基及其衍生物、聚噻吩-雜環芳烴共聚物及其衍生物、萘的寡並苯及其衍生物、α-5-噻吩的低聚噻吩及其衍生物、具有或不具有金屬的酞菁及其衍生物、苯均四酸二酐及其衍生物以及1，2，4，5-苯四甲醯二亞胺及其衍生物。
全文摘要
一種薄膜電晶體，一種製造薄膜電晶體的方法以及一種包括薄膜電晶體的平板顯示器。薄膜電晶體包括柵極、源極和漏極、與柵極連接的第一導電層、與源極和漏極中之一連接的第二導電層、接觸源極和漏極的有機半導體層以及將源極和漏極以及有機半導體層與柵極絕緣的絕緣層，其中柵極、第一導電層、源極和漏極以及第二導電層中至少之一包括導電納米顆粒和固化樹脂。薄膜電晶體的導電層可具有精密圖案。薄膜電晶體可以低成本、低溫工藝來製造。
文檔編號H01L51/30GK1979910SQ200510121739
公開日2007年6月13日 申請日期2005年12月2日 優先權日2004年12月4日
發明者徐旼徹, 具在本, 牟然坤, 安澤, 鄭棕翰 申請人:三星Sdi株式會社