晶圓機臺調節器的製作方法

2023-07-27 15:50:51

專利名稱：晶圓機臺調節器的製作方法
技術領域：
本實用新型為提供一種晶圓機臺調節器，尤指一種藉由第三支點體與數個承載體達成一平面，並可藉由承載體作精確的調節晶圓機臺，如此可迅速調整晶圓機臺至平衡定位，無須花費大量時間於調整上，進而加速製程時間，並且平衡度準確度極高，更有效降低因調整過度而發生螺帽損壞問題，另外，也可藉由紀錄握持體上面的刻度，讓使用者可直接於下次調整時直接旋轉調整至得以讓晶圓薄膜達平衡最佳狀態的位置處，大大減少了調整時間的晶圓機臺調節器。
背景技術：
目前，晶圓製程的技術已相當的純熟，也造就現今的晶圓王國，而晶圓在製造的過程中亦採用了一些機臺進行製造，而以晶圓成形的部分來說，將晶圓基板放於反應室內，且於高溫下於表面產生薄膜，其內包括特殊的氣體，但因薄膜受限各種因素，使其成長的速度不同，因此導致薄膜的厚度不一致，而常超出公差範圍，藉此，必須再做第二次的晶圓面平衡調整設定，以達晶圓基板上的薄膜於公差範圍內，其中調整晶圓基板承載體各點的高度的技術多採用螺帽進行旋轉調整高低，且因調整高低的精密度非常高，因此相關技術人員於調整螺帽時大多依靠個人經驗法則採大約值範圍內即算完成調整工作，亦也造成不易調至完全平衡狀態，瑕疵因而產生，再一問題即相關技術人員若因經驗不足則時有將螺帽鎖固過緊問題，使螺帽損壞，再者，抵持平衡板的彈簧產生疲乏現象時，亦會導致平衡板失去彈簧推力的問題。

實用新型內容本實用新型的主要目的在於提供一種晶圓機臺調節器，通過第三支點體及數個承載體經由平衡板對反應室內的晶圓進行平衡。本實用新型主要結構包括一設於預定處的平面，該平面上設有一供收容抵持柱的縱向穿孔，再該縱向穿孔與一收容抵持塊的容置空間相連通，此容置空間又與一設於承載體一側的橫向穿孔相連通，並橫向穿孔穿設一桿體，其杆體一端與抵持塊相互組接，以提供抵持塊進行前、後活動，承載體一側設有一旋轉調整組，其旋轉調整組與該杆體背離組設該杆體的端處相接設，以提供杆體進行旋轉，並且旋轉調整組包括有一與該承載體相鎖固的底座，並該底座被杆體所穿設，而該底座環設有一旋轉開關，另該底座上設有一齒盤座，該齒盤座頂面周圍形成有齒部，齒部與一設於齒盤座上、並被其設有嚙合部的齒盤相互嚙合， 且於齒盤上設有一彈片；再者，該底座、齒盤座、齒盤及彈片被一旋轉套體所套設，且旋轉套體套接一握持體；藉此，當欲對晶圓基板進行平衡時，置放於第三支點體及承載體上的平衡板，即可藉由第三支點體為支撐基準，予以轉動旋轉調整組進行調整，於調整過程中使用者即可手握握持體，此後即可轉動旋轉調整組，並於此同時杆體即被轉動而使抵持塊因螺紋作動使其位移，並頂推抵持柱使其上升或抵持塊退位使抵持柱下降，並進而帶動平衡板進行上升、下降，連帶使晶圓基板進行平衡調整。[0005]本實用新型通過機臺調節器經由平衡板對反應室內的晶圓做角度調整，具體包括數個承載體，該承載體一預定處設有一供承置上述平衡板預定位置處的平面，該平面上設有一縱向穿孔，再該縱向穿孔與一容置空間相連通，又該承載體一側設有一與容置空間連通的橫向穿孔；一穿設該縱向穿孔的抵持柱；一收容於該容置空間內、並與抵持柱相互牴觸的抵持塊，且該抵持塊上設有一螺孔；一穿設該橫向穿孔、並一端與螺孔相組接的杆體；一旋轉調整組，該旋轉調整組設於該承載體一側，且該旋轉調整組與該杆體背離組設該螺孔的端處相接設。該旋轉調整組包括有一與該承載體相鎖固並被杆體所穿設的底座；一環設於該底座的旋轉開關；一設於該底座上、並被杆體所穿設的齒盤座，該齒盤座頂面周圍形成有齒部，而該齒盤座背面設有至少一與底座相抵固的抵固部；一設於該齒盤座上、並被杆體所穿設的齒盤，該齒盤底面設有與齒部相嚙合的嚙合部，且該齒盤上設有至少一孔洞；一設於齒盤上被杆體所穿設的彈片；一於表面設有刻度的旋轉套體，其內設有容置空間，用於套設該底座、齒盤座、齒盤及彈片；一套接於旋轉套體上，以供使用者握持的握持體。其中該旋轉開關內設有至少一可與該底座相牴觸的肋條，且該肋條一端處設有一第一斜面。其中該抵固部於一預定位置處設有一得以與旋轉開關互動的第二斜面。其中該旋轉套體內壁具有凸塊。其中該機臺調節器更包括有一第三支點體，該第三支點體牴觸於該平衡板的一端處，且該第三支點體與平衡板所接觸面處設有一接觸部，該接觸部為一牴觸面或牴觸點其中的一者。其中該抵持柱一側形成有滑槽，並該滑槽內滑有一柱體。其中該承載體於背離旋轉調整組的一側設有一擋板。其中於該橫向穿孔內容設有數個得以與該杆體相互作動的滾珠。其中該抵持塊與抵持柱所接觸處設有呈傾斜態樣的抵持面。本實用新型的優點在於一、通過第三支點體的牴觸點(和尚頭)或牴觸面(欲解決了彈簧疲乏後所衍生出的問題)、二個承載體的三點平衡，亦達到輕易調整晶圓平衡的狀態，並具一般無法調到的精確值，且進一步通過設於承載體上的抵持柱、抵持塊、杆體、及旋轉調整組，使得可輕易並準確的調整晶圓的平衡，因此，達到此種迅速調整至平衡定位，無須花費大量時間於調整上，進而加速製程時間，並且平衡度準確度極高，更有效降低因調整過度而發生損壞問題， 另外，解決了薄膜不平衡問題。二、更降低了成本，而提高了此機臺壽命的延長，所達及的優勢為一般已有技術所無法達到的。三、其旋轉套體上的握持體具有刻度，以供使用者方便記錄針對每個晶圓機臺所旋轉的刻度位置，以於下次使用時可直接旋轉調整至得以讓薄膜達平衡最佳狀態的位置處。

[0020]圖1為本實用新型較佳實施例的立體圖一。圖2為本實用新型較佳實施例的分解圖一。圖3為本實用新型較佳實施例的立體圖二。圖4為本實用新型較佳實施例的分解圖二。圖5為本實用新型較佳實施例的實施示意圖。圖6為本實用新型較佳實施例的實施剖視示意圖。圖7為本實用新型三點平衡的實施示意圖。圖8為本實用新型較佳實施例的動作示意圖一。圖9為本實用新型較佳實施例的動作示意圖二。圖10為本實用新型較佳實施例的動作示意圖三。圖11為本實用新型較佳實施例的動作示意圖四。圖12為本實用新型另一較佳實施例的實施示意圖一。圖13為本實用新型另一較佳實施例的實施示意圖二。
具體實施方式
如附圖1至附圖7所示，為本實用新型較佳實施例的立體圖、分解圖、實施示意圖、 實施剖視示意圖及三點平衡的實施示意圖，由圖中可清楚看出本實用新型通過機臺調節器經由平衡板10對反應室8內的晶圓基板81做角度調整，其機臺調節器主要結構包括有一第三支點體1，牴觸該平衡板10的一端處，且該第三支點體1與平衡板所接觸面處設有一接觸部11，該接觸部為一牴觸面或牴觸點其中的一者；數個承載體2，該承載體2 —預定處設有一供承置上述平衡板10預定位置處的平面21，且該平面21上設有一縱向穿孔22，再該縱向穿孔22與一容置空間23相連通，又該承載體2 —側設有一與容置空間23連通的橫向穿孔M ；一抵持柱3，穿設該縱向穿孔22，且該抵持柱3 —側形成有滑槽31，並該滑槽31內滑有一柱體32 ；—抵持塊4，收容於該容置空間23內、並與抵持柱3相互牴觸，並於與抵持柱3所接觸處設有呈傾斜態樣的抵持面41，再該抵持塊4上設有一螺孔42 ；一桿體5，穿設該橫向穿孔24、並一端與螺孔42相組接，且於橫向穿孔M內容設有數個得以與該杆體5相互作動的滾珠51 ；一旋轉調整組6，該旋轉調整組6設於該承載體2 —側，且該旋轉調整組6與該杆體5背離組設該螺孔42的端處相接設，其中該旋轉調整組6包括有一與該承載體2相鎖固的底座61，並該底座61被杆體5所穿設；一環設於該底座61的旋轉開關62，該旋轉開關 62內設有至少一可與該底座61相牴觸的肋條621，且該肋條621 —端處設有一第一斜面 622 ；一設於該底座61上、並被杆體5所穿設之齒盤座63，該齒盤座63頂面周圍形成有齒部631，而該齒盤座63背面設有至少一與底座61相抵固的抵固部632，該抵固部632於一預定位置處設有一得以與旋轉開關62互動的第二斜面633 ；—設於該齒盤座63上、並被杆體5所穿設的齒盤64，該齒盤64底面設有與齒部631相嚙合的嚙合部641，並且齒盤64上設有至少一與下述凸塊相嵌固的孔洞642 ；—設於齒盤64上的彈片65，該彈片65被杆體5 所穿設；一於表面設有刻度的旋轉套體66，其內設有容置空間661，用於套設該底座61、齒盤座63、齒盤64及彈片65，並該旋轉套體66內壁具有凸塊662 ；—握持體67，套接於旋轉套體66上，以供使用者握持。再者，該承載體2於背離旋轉調整組6的一側設有一擋板7。如附圖1至附圖11所示，為本實用新型較佳實施例的立體圖、分解圖、實施示意圖、三點平衡的實施示意圖、動作示意圖，由圖中可清楚看出，當欲對晶圓基板81進行平衡時，置放於第三支點體1及承載體2的間的平衡板10，即可以藉由第三支點體1為支撐基準，予以轉動旋轉調整組6進行調整，於調整過程中使用者即可手握握持體67，此後即可轉動旋轉調整組6 (亦可通過旋轉套體66上的刻度進行明確的調整，並記錄刻度位置，以便下次平衡調整時達更精準更快速的進步性)，此時即經由凸塊662抵持孔洞642側邊將齒盤 64帶動，並於此時齒盤64與齒盤座63即通過嚙合部641相互作動，以對杆體5進行微調旋轉，同時數個滾珠51相互嵌動，此後因杆體5旋轉使與杆體5螺接的抵持塊4即些微位移， 且因抵持塊4的抵持面41為傾斜態樣，因此使抵持面41緩慢將抵持柱3進行升降，以此實施例來說，當抵持塊4向內移動時，抵持柱3底部即被滑移到抵持塊4的斜面頂端，抵持柱 3即被往上頂推，反觀，若抵持柱3底部即被滑移到抵持塊4斜面的最底部，抵持柱3即被往下降位，而後當晶圓8達到平衡狀態時，即可將旋轉開關62轉至鎖固狀態(即關閉狀態)， 其鎖固狀態時，肋條621的第一斜面622即與第二斜面633相互牴觸並交錯使齒盤座63被頂推，同時彈片65產生形變，進而擠壓旋轉套體66使其產生固定效果，反之，若將旋轉開關 62轉至開啟狀態，肋條621的第一斜面622即與第二斜面633即相互分離，並且彈片65將齒盤64往一端頂推，使旋轉套體66得以進行旋轉活動者。再者，其平衡板10主要以第三支點體1為第三支立點，承載體2為兩側支點，以形成一三角形態的平面，並且第三支點體1因接觸部11為傾斜態樣，因此使平衡板具有更大的調整空間，使第三支點體1與承載體2達同一平衡高度；此後，由承載體2對平衡板10進行傾斜角度的調整，以物理特性來說，當以第三支點體1為支立點時，承載體2對平衡板10 作兩側高度調整即可使平衡板10達到所須的角度。如附圖12及附圖13所示，為本實用新型另一較佳實施例的實施示意圖一、二，由圖中可清楚看出，該第三支點體Ia進一步為一圓形樞接球體態樣(和尚頭)，使該第三支點體Ia亦與平衡板IOa相互樞接牴觸，並且如i^一圖可看到平衡板IOa形成三個支點的態樣，以達到一種萬向作動。本實用新型的晶圓機臺調節器改善已有技術關鍵在於通過第三支點體1、二個承載體2的三點平衡，亦達到輕易調整晶圓9平衡的狀態， 亦達到一般已有無法調到的精確值，且進一步通過設於承載體2上的抵持柱3、抵持塊4、杆體5、及旋轉調整組6，使得可輕易並準確的調整晶圓9的平衡，因此，達到此種迅速調整至水平定位，無須花費大量時間於調整上，進而加速製程時間，並且水平平衡度準確度極高， 更有效降低因調整過度而發生損壞問題，另外，同時因第三支點體1的接觸部11傾斜設計， 使其得以抵壓平衡板10，而解決了彈簧疲乏後所衍生出的問題的實用進步性者。
權利要求1.一種晶圓機臺調節器，其特徵在於包括複數個承載體，該承載體一預定處設有一供承置上述平衡板預定位置處的平面，該平面上設有一縱向穿孔，再該縱向穿孔與一容置空間相連通，又該承載體一側設有一與容置空間連通的橫向穿孔；一穿設該縱向穿孔的抵持柱；一收容於該容置空間內、並與抵持柱相互牴觸的抵持塊，且該抵持塊上設有一螺孔；一穿設該橫向穿孔、並一端與螺孔相組接的杆體；一旋轉調整組，該旋轉調整組設於該承載體一側，且該旋轉調整組與該杆體背離組設該螺孔的端處相接設。
2.根據權利要求1所述的晶圓機臺調節器，其特徵在於該旋轉調整組包括有一與該承載體相鎖固並被杆體所穿設的底座；一環設於該底座的旋轉開關；一設於該底座上、 並被杆體所穿設的齒盤座，該齒盤座頂面周圍形成有齒部，而該齒盤座背面設有至少一與底座相抵固的抵固部；一設於該齒盤座上、並被杆體所穿設的齒盤，該齒盤底面設有與齒部相嚙合的嚙合部，且該齒盤上設有至少一孔洞；一設於齒盤上被杆體所穿設的彈片；一於表面設有刻度的旋轉套體，其內設有容置空間，用於套設該底座、齒盤座、齒盤及彈片； 一套接於旋轉套體上，以供使用者握持的握持體。
3.根據權利要求2所述的晶圓機臺調節器，其特徵在於其中該旋轉開關內設有至少一可與該底座相牴觸的肋條，且該肋條一端處設有一第一斜面。
4.根據權利要求2所述的晶圓機臺調節器，其特徵在於其中該抵固部於一預定位置處設有一得以與旋轉開關互動的第二斜面。
5.根據權利要求2所述的晶圓機臺調節器，其特徵在於其中該旋轉套體內壁具有凸塊。
6.根據權利要求1所述的晶圓機臺調節器，其特徵在於其中該機臺調節器更包括有一第三支點體，該第三支點體牴觸於該平衡板的一端處，且該第三支點體與平衡板所接觸面處設有一接觸部，該接觸部為一牴觸面或牴觸點其中的一者。
7.根據權利要求1所述的晶圓機臺調節器，其特徵在於其中該抵持柱一側形成有滑槽，並該滑槽內滑有一柱體。
8.根據權利要求1所述的晶圓機臺調節器，其特徵在於其中該承載體於背離旋轉調整組的一側設有一擋板。
9.根據權利要求1所述的晶圓機臺調節器，其特徵在於其中於該橫向穿孔內容設有數個得以與該杆體相互作動的滾珠。
10.根據權利要求1所述的晶圓機臺調節器，其特徵在於其中該抵持塊與抵持柱所接觸處設有呈傾斜態樣的抵持面。
專利摘要本實用新型為有關一種晶圓機臺調節器，屬於機械類，主要包括一第三支點體及數個承載體經由平衡板對反應室內的晶圓進行平衡，其中承載體設一供承平衡板的平面，且該平衡板與一設於反應室內的晶圓基板相牴觸，另平面上設一收容有抵持柱的縱向穿孔，且縱向穿孔與一容置空間相通，而此容置空間內收容一得以與抵持柱相互作動的抵持塊，又容置空間與一橫向穿孔相通，其橫向穿孔穿設一與抵持塊組接的杆體，並杆體另一端接設一旋轉調整組，當旋轉調整組旋轉作動時，則帶動杆體旋轉並使抵持塊位移，進而支撐抵持柱予以進行升降活動，使平衡板得以帶動晶圓基板，使達到利用抵持柱將晶圓進行平衡者。
文檔編號H01L21/683GK202103034SQ20112013753
公開日2012年1月4日 申請日期2011年5月4日 優先權日2011年5月4日
發明者黃用九 申請人:黃用九