一種切割研磨廢水處理裝置的製作方法
2023-07-27 21:36:06
專利名稱：一種切割研磨廢水處理裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及水處理領域，特別涉及一種切割研磨廢水處理裝置。
背景技術：
在電子製程相關產業，例如IC封裝產業的製程，包括晶圓切割(Wafer Saw)及晶圓研磨(Wafer Back Grinding)這些製程,均會使用超純水洗淨，因此產生了大量的切割研磨廢水。在這些電子相關產業中，晶片切割研磨廢水因為含有極細微的粉末顆粒，在處理上並不容易，同時廢水處理費也相當驚人，回收率也不高。目前，也有文獻報導採用超濾膜分離技術處理切割研磨廢水，但是上述工藝中採用的膜分離過濾為中空纖維膜分離或卷式膜分離，上述兩種膜分離都普遍存在著濃差極化和膜汙染現象，進而影響過濾速度和過濾效果，並且具有清洗困難，通量難以恢復等缺點。圓型平板膜組件作為新一代的膜分離過濾組件，與卷式膜和中空纖維膜相比，具有下述優點:膜片互鎖構造，膜片不洩漏；膜片間隙大，不會堵塞，容易清洗；圓型構造，可手動或自動旋轉；不需要前處理；可以正衝及反洗；可正壓操作或負壓操作；可採用UF、NF或RO膜；可以直立或橫臥操作。總之，圓型平板膜組件克服了傳統卷式過濾膜及中空纖維膜，容易堵塞損壞的缺點，使用膜過濾的操作成本大幅的降低。
發明內容針對上述問題，本實用新型的目的在於基於圓型平板膜分離技術，提供一種過濾效果好、成本低、不易堵塞、易於清洗的切割研磨廢水處理裝置。為達到上述目的，本實用新型所提出的技術方案為:一種切割研磨廢水處理裝置，其特徵在於:包括調節池、圓型平板膜分離裝置、反滲透膜分離裝置、汙泥濃縮裝置、汙泥脫水裝置，所述的圓型平板膜分離裝置包括一產水口和一汙泥排放口，所述的調節池、圓型平板膜分離裝置依次連接，所述的反滲透膜分離裝置與圓型平板膜分離裝置產水口相連，所述的汙泥濃縮裝置、汙泥脫水裝置依次與圓型平板膜分離裝置的濃水排放口相連。進一步，所述的反滲透膜分離裝置的濃縮液出口通過回流管道與圓型平板膜分離裝置相連。進一步，所述的圓型平板膜分離裝置的過濾孔徑為0.03um。採用上述技術方案，本實用新型所述的切割研磨廢水處理裝置，用於切割研磨廢水處理所具有的優點為:運行成本低、處理效果佳、汙泥少、佔地面積小、處理工藝短、膜性能優異等。
圖1為本實用新型所述的切割研磨廢水處理裝置結構示意圖。其中:101.調節池、102.圓型平板膜分離裝置、103.反滲透膜分離裝置、104.產水罐、105.汙泥濃縮裝置、106.汙泥脫水裝置、107.回流管道。
具體實施方式
以下結合附圖和具體實施方式
，對本實用新型做進一步說明。如圖1所示，一種切割研磨廢水處理裝置，包括調節池101、圓型平板膜分離裝置102、反滲透膜分離裝置103、汙泥濃縮裝置105、汙泥脫水裝置106，所述的圓型平板膜分離裝置102包括一產水口和一汙泥排放口，所述的調節池101、圓型平板膜分離裝置102依次連接，反滲透膜分離裝置103與圓型平板膜分離裝置102產水口相連，所述的汙泥濃縮裝置105、汙泥脫水裝置106依次與圓型平板膜分離裝置102的濃水排放口相連，反滲透膜分離裝置103的濃縮液出口通過回流管道107與圓型平板膜分離裝置102相連。優選的，所述的圓型平板膜分離裝置的過濾孔徑為0.03um。具體使用時，切割研磨廢水在調節池101收集後，進入圓型平板膜分離裝置102處理，圓型平板膜分離裝置102產水進入反滲透膜分離裝置103進一步處理，反滲透膜分離裝置103透析水進入產水罐104中進行回用，反滲透濃水經回流管道107回流至圓型平板膜分離裝置102循環處理，此外圓型平板膜分離裝置102中產生的汙泥進入汙泥濃縮裝置105進一步濃縮後經汙泥脫水裝置106脫水後外運。本實用新型所述的切割研磨廢水處理裝置，所具有的優點為:I)運行成本低 無需加任何藥品，也無需沉澱，可直接膜過濾；每噸水節約藥品費1-5元；無二次汙染，不需二次汙染治理費用(如LED切割液中的砷，原本是顆粒狀，但因中空纖維膜的堵塞後採用酸鹼藥洗，生產溶解性砷，每噸廢水的處理費用需要幾十元)；無砂濾/碳濾/中空纖維膜過濾，也無需錯流過濾，每噸廢水可節約1-2元；圓型平板膜分離裝置過濾後的水回收率> 99% ；圓型平板膜分離裝置過濾電耗< 0.lkffh/m3,噸水過濾成本約為0.1元；汙泥量僅原汙泥量的一半以下，回收大量高純度原料或節約大量的汙泥處置費；2)處理效果佳進水SS濃度可達上萬，出水SDI ( 3，濁度彡INTU ；不改變原水的pH值，不增加原水的電導率；可讓不容沉澱的汙泥經反洗成塊後迅速沉入池底；使脫水更容易；3) 汙泥少汙泥量僅為常規工藝的一半，大大減少危險固廢處置費用；對有用物質進行高純度回收，可產生良好的經濟效；4)佔地面積小佔地面積只有常規工藝的十分之一到三分之一左右；5) 處理工藝短流程短，設備少，自動化程度高，操作維護簡單，所需操作人員少；6)膜性能優異圓型平板結構，具有流道短，流道大，不容易堵塞，方便清洗；過濾精度為0.03um,其他大部分超濾膜過濾精度為0.1um左右；[0038]無紡布基體，改性PVDF膜，膨脹性能優異，膜表面抗汙染；耐餘氯值可達200ppm ；耐溫可達80°C ;pH值2-11 ；膜過濾能耗< 0.lkffh/T ;反洗水量僅45L/次，反洗壓力僅0.3kg ；採用無紡布為基材，不存在斷絲，破裂問題；安裝、操作、保養、維護簡單方便，清洗無需提出池體內；正常使用，壽命在6-10年。儘管結合優選實施方案具體展示和介紹了本實用新型，但所屬領域的技術人員應該明白，在不脫離所附權利要求書所限定的本實用新型的精神和範圍內，在形式上和細節上對本實用新型做出各種變·化，均為本實用新型的保護範圍。
權利要求1.一種切割研磨廢水處理裝置，其特徵在於:包括調節池、圓型平板膜分離裝置、反滲透膜分離裝置、汙泥濃縮裝置、汙泥脫水裝置，所述的圓型平板膜分離裝置包括一產水口和一汙泥排放口，所述的調節池、圓型平板膜分離裝置依次連接，所述的反滲透膜分離裝置與圓型平板膜分離裝置產水口相連，所述的汙泥濃縮裝置、汙泥脫水裝置依次與圓型平板膜分離裝置的濃水排放口相連。
2.根據權利要求1所述的一種切割研磨廢水處理裝置，其特徵在於:所述的反滲透膜分離裝置的濃縮液出口通過回流管道與圓型平板膜分離裝置相連。
3.根據權利要求1所述的一種切割研磨廢水處理裝置，其特徵在於:所述的圓型平板膜分離裝置的過 濾孔徑為0.03um。
專利摘要本實用新型公開了一種切割研磨廢水處理裝置，其特徵在於包括調節池、圓型平板膜分離裝置、反滲透膜分離裝置、汙泥濃縮裝置、汙泥脫水裝置，所述的圓型平板膜分離裝置包括一產水口和一汙泥排放口，所述的調節池、圓型平板膜分離裝置依次連接，所述的反滲透膜分離裝置與圓型平板膜分離裝置產水口相連，所述的汙泥濃縮裝置、汙泥脫水裝置依次與圓型平板膜分離裝置的濃水排放口相連。採用上述技術方案，本實用新型所述的切割研磨廢水處理裝置，用於切割研磨廢水處理所具有的優點為運行成本低、處理效果佳、汙泥少、佔地面積小、處理工藝短、膜性能優異等。
文檔編號C02F11/12GK203159357SQ20132017911
公開日2013年8月28日 申請日期2013年4月11日 優先權日2013年4月11日
發明者葉滿水 申請人:廈門中湛再生資源科技有限公司