含雜環鎓鹽的製作方法
2023-08-04 11:36:46 1
專利名稱:含雜環鎓鹽的製作方法
技術領域:
本發明涉及適用於如陽離子性光聚合引發劑、化學放大型抗蝕劑用酸發生劑等的含雜環鎓鹽。
背景技術:
近幾年來,在光聚合領域,代替自由基聚合,關於不受氧的影響即使在空氣中也可容易進行聚合的陽離子聚合的研究正在不斷地進展。
陽離子光聚合,作為其光源,主要採用例如含g線(436nm)、i線(365nm)等的高壓水銀燈或金屬滷化物燈,與乙烯基單體相比,作為例如環氧化合物、乙烯基醚化合物等的聚合方法更廣為人知。
作為陽離子性光聚合引發劑,例如,已知有三烯丙基鋶六氟銻酸鹽(美國專利第4058401號公報)、4-(苯基硫代)苯基二苯基鋶鹽化合物(美國專利第4173476號公報)等的鋶鹽,例如二苯基碘鎓六氟磷酸鹽、二苯基碘鎓、六氟銻酸鹽(特開昭50-151996號、特開昭60-47029號公報等)等的碘鎓鹽等。
然而,由於這些化合物,例如,使用高壓水銀燈、金屬滷化物燈等作為光源時的酸發生效率低,所以,存在即使採用它們作為陽離子性光聚合引發劑,也難以生成具有高硬度的聚合物的問題。
人們還已知,這些鋶鹽及碘鎓鹽,當其對陰離子為例如六氟磷酸鹽(PF-6)等無機強酸時,與六氟銻酸鹽(SbF-6)相比,光固化顯著下降。然而,SbF-6毒性強,有今後可能無法再使用的可能性。
另外,在Polish J.Chem.,71,p.1236~1245(1997)中,記載了往碘鎓鹽的陽離子部導入呫噸酮基的2-(苯基碘鎓基)呫噸-9-酮四氟硼酸鹽(BF-4)及其合成例子,但是,關於該化合物是否可作為陽離子性光聚合引發劑使用,沒有任何記載,另外,即使將其作為陽離子性光聚合引發劑使用,也仍不能生成具有充分硬度的聚合物。
另一方面,高壓水銀燈或金屬滷化物燈,也經常用作如半導體用抗蝕劑、液晶用抗蝕劑、配線基板用阻焊劑、PS(PreSensitized)版、CTP(Computer ToPlate)版等的曝光用光源,但是,作為此時所用的酸發生劑,可以採用鋶鹽及碘鎓鹽。
然而,由於這些化合物,使用如高壓水銀燈、金屬滷化物燈等作為光源時的酸發生效率低,所以,存在不能充分提高抗蝕劑的感光度的問題。
在這裡,作為酸發生效率高的鋶鹽,已開發出具有硫代呫噸骨架的鋶鹽(例如,特開平8-165290號、特開平9-12614號、特開平9-12615號、特開平10-60098號、特開平10-67812號、特開平10-101718號、特開平10-120766號、特開平10-130363號、特開平10-152554號、特開平10-168160號、特開平10-182634號、特開平10-182711號、特開平10-279616號、特開平11-269169號、特開平11-322944號公報等)。然而,由於這些鋶鹽在400nm或400nm以上的可見光區域有吸收波長,所以呈黃色。因此,當使用它作為聚合引發劑時,所得到的聚合物受聚合引發劑本身色調的影響而著色,例如,在塗層劑、粘合劑、塗料等中使用時,具有所得到的聚合物的透明性變差,或者所得到的聚合物的色調與目的色調有差異等缺點。
在這種情況下,即使在使用例如高壓水銀燈、金屬滷化物燈等作為光源的情況下,研究具有酸發生效率高的新結構的陽離子部,希望開發出即使對陰離子為PF-6等仍具有充分的固化性,並且,對所得到的聚合物透明性也難以產生影響的鎓鹽。
發明內容
本發明以解決上述課題為目的,提供如下發明(1)用通式[1]表示的含雜環的鋶鹽 表示的基團或以通式[3]表示的基團 (式中,R3及R4分別獨立且表示滷原子、可具有滷原子或芳基作為取代基的烷基或者可具有滷原子或低級烷基作為取代基的芳基,X2表示氧原子或硫原子,i表示0~4的整數,j表示0~3的整數), (式中,R5及R6分別獨立且表示滷原子、可具有滷原子或芳基作為取代基的烷基或者可具有滷原子或低級烷基作為取代基的芳基,X3及X4互相獨立且表示氧原子或硫原子,p表示0~2的整數,q表示0~3的整數);R1及R2分別獨立且表示滷原子、可具有滷原子或芳基作為取代基的烷基或者可具有滷原子或低級烷基作為取代基的芳基,m及n分別獨立且表示0~5的整數;A表示滷原子,或來自無機強酸、有機酸或以下列通式[4]表示的化合物的陰離子,HM1(R7)4[4](式中,M1表示硼原子或鎵原子,R7表示可具有選自滷代低級烷基、滷原子、硝基及氰基的取代基的芳基)]。
(2)通式[35]表示的碘鎓鹽 [式中,R26及R27分別獨立且表示可具有滷原子或者低級烷基作為取代基的芳基、以上述通式[2]表示的基團或以通式[3]表示的基團;A3表示滷原子或來自無機強酸、有機酸或以通式[4]表示的化合物的陰離子。但是,R26及R27的至少一種是以通式[2]或[3]表示的基團,另外,當R26及R27的任意一種中僅有一種是以通式[2]或[3]表示的基團時,A3是以通式[36]表示的來自無機強酸、有機酸或以通式[4]表示的化合物的陰離子,HM3F6[36](式中,M3表示磷原子、砷原子或銻原子)]。
(3)含有以通式[8]表示的鋶鹽的陽離子性光聚合引發劑 (式中,A1表示來自無機強酸、磺酸或以通式[4]表示的化合物的陰離子,R、R1、R2、m及n的含義同上)。
(4)含有以通式[37]表示的碘鎓鹽的陽離子性光聚合引發劑 (式中,A4表示來自無機強酸、磺酸或以通式[4]表示的化合物的陰離子,R26及R27的含義同上。但是,R26及R27中的至少一種是以通式[2]或[3]表示的基團,另外,當R26及R27的任意一種中僅有一種是以通式[2]或[3]表示的基團時,無機強酸可用通式[36]表示)。
(5)一種環氧單體的聚合方法,其特徵在於採用上述(3)或(4)中記載的聚合引發劑。
(6)一種乙烯基醚單體的聚合方法,其特徵在於採用上述(3)或(4)中記載的聚合引發劑。
(7)含有以通式[9]表示的鋶鹽的抗蝕劑用酸發生劑
(式中,A2表示來自無機強酸、有機酸或以通式[4]表示的化合物的陰離子,R、R1、R2、m及n的含義同上);以及(8)含有以通式[38]表示的碘鎓鹽的抗蝕劑用酸發生劑 (式中,A5表示來自無機強酸、有機酸或以通式[4]表示的化合物的陰離子,R26及R27的含義同上。但是,R26及R27至少一種是以上述通式[2]或[3]表示的基團,另外,當R26及R27的任意一種中僅有一種是以通式[2]或[3]表示的基團時,無機強酸可用通式[36]表示)。
即,本發明人為了達到上述目的進行悉心研究的結果發現,以上述通式[1]、[8]、[9]、[35]、[37]及[38]表示的含雜環鎓鹽,例如,在高壓水銀燈、金屬滷化物燈等的波長區域,酸發生效率優良,並且,在可見光區域(400nm或400nm以上)具有良好的透明性(即,在可見光區域幾乎沒有吸收),因此,用它們作為陽離子光聚合引發劑時,可得到不存在上述諸多問題的有用的陽離子性光聚合引發劑或抗蝕劑用酸發生劑或它們的合成原料,從而完成本發明。
圖1表示實施例1~4涉及的紫外—可見吸收光譜的吸收曲線數據。
另外,—□—線表示實施例1的結果,—◇—線表示實施例2的結果,—△—線表示實施例3的結果,
—○—線表示實施例4的結果。
圖2表示比較例1~5及參考例1涉及的紫外—可見吸收光譜的吸收曲線數據。
另外,—◇—線表示比較例1的結果,—△—線表示比較例2的結果,—□—線表示比較例3的結果,…×…線表示比較例4的結果,…○…線表示比較例5的結果,—+—線表示參考例1的結果。
圖3表示實施例5~8、比較例6及參考例2涉及的紫外—可見吸收光譜的吸收曲線數據。
另外,—□—線表示實施例5的結果,—◇—線表示實施例6的結果,—△—線表示實施例7的結果,—○—線表示實施例8的結果,—×—線表示比較例6的結果,—+—線表示參考例2的結果。
圖4表示實施例4~5、8、比較例2及3涉及的紫外—可見吸收光譜的吸收曲線數據。
另外,—□—線表示實施例4的結果,—*—線表示實施例5的結果,—◇—線表示實施例6的結果,—○—線表示實施例8的結果,…+…線表示比較例2的結果,…△…線表示比較例3的結果。
具體實施例方式
在通式[1]~[3]、[8]及[9]中,作為以R1~R6表示的滷原子,例如,可以舉出氟原子、氯原子、溴原子、碘原子等,其中,氯原子是優選的。
作為用R1~R6表示的可具有滷原子或芳基作為取代基的烷基的烷基,可以是直鏈狀、支鏈狀或環狀的任何一種,通常可以舉出碳原子數為1~18、優選為1~12、更優選為1~4的基團,具體的可以舉出,例如甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、異戊基、仲戊基、叔戊基、新戊基、正己基、異己基、仲己基、叔己基、新己基、正庚基、異庚基、仲庚基、叔庚基、新庚基、正辛基、異辛基、仲辛基、叔辛基、新辛基、正壬基、異壬基、仲壬基、叔壬基、新壬基、正癸基、異癸基、仲癸基、叔癸基、新癸基、正十一烷基、異十一烷基、仲十一烷基、叔十一烷基、新十一烷基、正十二烷基、異十二烷基、仲十二烷基、叔十二烷基、新十二烷基、正十三烷基、異十三烷基、仲十三烷基、叔十三烷基、新十三烷基、正十四烷基、異十四烷基、仲十四烷基、叔十四烷基、新十四烷基、正十五烷基、異十五烷基、仲十五烷基、叔十五烷基、新十五烷基、正十六烷基、異十六烷基、仲十六烷基、叔十六烷基、新十六烷基、正十七烷基、異十七烷基、仲十七烷基、叔十七烷基、新十七烷基、正十八烷基、異十八烷基、仲十八烷基、叔十八烷基、新十八烷基、正環丙基、環丁基、環戊基、環己基、環庚基、環辛基、環壬基、環癸基、環十一烷基、環十二烷基、環十三烷基、環十四烷基、環十五烷基、環十六烷基、環十七烷基、環十八烷基等,其中,例如甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、仲丁基、叔丁基等是優選的,其中甲基、乙基等是最優選的。
作為上述烷基的取代基舉出的滷原子,例如,可以舉出氟原子、氯原子、溴原子、碘原子等,其中,氯原子是優選的。
作為上述烷基的取代基舉出的芳基,通常可以舉出碳原子為6~16、優選為6~14的芳基,具體的可以舉出,例如苯基、萘基、蒽基、菲基、芘基等,其中,例如苯基、萘基、蒽基、菲基等是優選的。
在通式[1]~[3]、[8]、[9]、[35]、[37]及[38]中,作為用R1~R6、R26及R27表示的可具有滷原子或低級烷基作為取代基的芳基的芳基,通常可以舉出碳原子數為6~16、優選為6~14的芳基,具體的可以舉出,例如苯基、萘基、蒽基、菲基、芘基等,其中,例如苯基、萘基、蒽基、菲基是優選的。
作為上述芳基的取代基舉出的滷原子,例如,可以舉出氟原子、氯原子、溴原子、碘原子等,其中,氯原子是優選的。
作為上述芳基的取代基舉出的低級烷基,可以是直鏈狀、支鏈狀或環狀的任何一種,通常可以舉出碳原子數為1~6、優選為1~4的烷基,具體的可以舉出,例如與用上述R1~R6表示的可具有滷原子或芳基作為取代基的烷基中碳原子數為1~6的烷基所例示同樣的烷基,其中,甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、仲丁基、叔丁基等是優選的,而最優選甲基、乙基。
在通式[2]及[3]中,X2~X4分別獨立且表示氧原子或硫原子,其中,氧原子是優選的。
在通式[1]、[8]及[9]中,m及n分別獨立,通常表示0~5,優選表示0~2的整數。
在通式[2]中,i通常表示0~4,優選表示0~2的整數,j通常表示0~3,優選表示0~2的整數。
在通式[3]中,p通常表示0~2,優選表示0~1的整數,q通常表示0~3,優選表示0~2的整數。
在通式[4]中,作為用R7表示的可具有選自滷代低級烷基、滷原子、硝基及氰基的取代基的芳基的芳基,通常可以舉出碳原子數為6~16、優選為6~14的芳基,具體的可以舉出,例如苯基、萘基、蒽基、菲基、芘基等,其中,苯基是優選的。
作為用上述R7表示的芳基的取代基所舉出的滷代低級烷基,可以是直鏈狀、支鏈狀或環狀的任何一種,通常可以舉出碳原子數為1~6、優選碳原子數為1~4的低級烷基中的一部分或全部氫原子被滷原子(例如氟原子、氯原子、溴原子、碘原子等)取代的基團,具體的可以舉出,例如氟甲基、氯甲基、溴甲基、碘甲基、二氟甲基、二氯甲基、二溴甲基、二碘甲基、三氟甲基、三氯甲基、三溴甲基、三碘甲基、三氟乙基、三氯乙基、三溴乙基、三碘乙基、五氟乙基、五溴乙基、五碘乙基、七氟丙基、七氯丙基、七溴丙基、七碘丙基、九氟丁基、九氯丁基、九溴丁基、九碘丁基、全氟戊基、全氯戊基、全溴戊基、全碘戊基、全氟己基、全氯己基、全溴己基、全碘己基、三氟環丁基、三氯環丁基、三溴環丁基、三碘環丁基、四氟環戊基、四氯環戊基、四溴環戊基、四碘環戊基、五氟環己基、五氯環己基、五溴環己基、五碘環己基等,其中,例如三氟甲基、三氯甲基、三溴甲基、三碘甲基是優選的,而最優選三氟甲基。
作為用上述R7表示的芳基的取代基所舉出的滷原子,例如,可以舉出氟原子、氯原子、溴原子、碘原子等,其中,氟原子是優選的。
在通式[1]及[35]中,作為用A及A3表示的滷原子,例如,可以舉出氟原子、氯原子、溴原子、碘原子等,其中,氯原子、溴原子是優選的。
在通式[1]、[8]、[9]、[35]、[37]及[38]中,作為用A及A1~A5表示的來自無機強酸的陰離子,可以舉出,例如來自硝酸、硫酸、滷代硫酸、高滷酸、通式[5]表示的無機強酸等的陰離子,HM2FK[5](式中,M2表示準金屬原子或金屬原子,k表示4或6的整數)。
但是,在通式[35]、[37]及[38]中,當R26及R27的任意一種中僅有一種是用通式[2]或[3]表示的基團時,作為用A3~A5表示的來自無機強酸的陰離子,可以舉出,例如來自用通式[36]表示的無機強酸的陰離子等,HM3F6[36](式中,M3表示磷原子、砷原子或銻原子)。
在通式[5]中,作為用M2表示的準金屬原子,例如,可以舉出硼原子、矽原子、磷原子、砷原子、銻原子等,其中,例如磷原子、砷原子、銻原子等是優選的。
作為用M2表示的金屬原子,例如,可以舉出鈦原子、鋯原子、鐵原子、鎳原子、鋁原子、鎵原子等,其中,鎵原子是優選的。
在通式[1]、[9]、[35]及[38]中,作為用A、A2、A3及A5表示的來自有機酸的陰離子,例如,可以舉出來自用通式[6]表示的磺酸、通式[7]表示的羧酸等的陰離子,R8-SO3H[6](式中,R8表示可具有滷原子的烷基、芳基或芳烷基);R9-COOH[7](式中,R9表示可具有滷原子的烷基、芳基或芳烷基)。
在通式[8]及[37]中,作為用A1及A4表示的來自磺酸的陰離子,可以舉出,例如來自用上述通式[6]表示的磺酸的陰離子等。
在通式[6]中,作為用R8表示的可具有滷原子的烷基的烷基,可以是直鏈狀、支鏈狀或環狀的任何一種,通常可以舉出碳原子數為1~29、優選為1~18、更優選為1~8的烷基,具體的可以舉出,例如甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、異戊基、仲戊基、叔戊基、新戊基、正己基、異己基、仲己基、叔己基、新己基、正庚基、異庚基、仲庚基、叔庚基、新庚基、正辛基、異辛基、仲辛基、叔辛基、新辛基、正壬基、異壬基、仲壬基、叔壬基、新壬基、正癸基、異癸基、仲癸基、叔癸基、新癸基、正十一烷基、異十一烷基、仲十一烷基、叔十一烷基、新十一烷基、正十二烷基、異十二烷基、仲十二烷基、叔十二烷基、新十二烷基、正十三烷基、異十三烷基、仲十三烷基、叔十三烷基、新十三烷基、正十四烷基、異十四烷基、仲十四烷基、叔十四烷基、新十四烷基、正十五烷基、異十五烷基、仲十五烷基、叔十五烷基、新十五烷基、正十六烷基、異十六烷基、仲十六烷基、叔十六烷基、新十六烷基、正十七烷基、異十七烷基、仲十七烷基、叔十七烷基、新十七烷基、正十八烷基、異十八烷基、仲十八烷基、叔十八烷基、新十八烷基、正十九烷基、異十九烷基、仲十九烷基、叔十九烷基、新十九烷基、正二十烷基、異二十烷基、仲二十烷基、叔二十烷基、新二十烷基、正二十一烷基、異二十一烷基、仲二十一烷基、叔二十一烷基、新二十一烷基、正二十二烷基、異二十二烷基、仲二十二烷基、叔二十二烷基、新二十二烷基、正二十三烷基、異二十三烷基、仲二十三烷基、叔二十三烷基、新二十三烷基、正二十四烷基、異二十四烷基、仲二十四烷基、叔二十四烷基、新二十四烷基、正二十五烷基、異二十五烷基、仲二十五烷基、叔二十五烷基、新二十五烷基、正二十六烷基、異二十六烷基、仲二十六烷基、叔二十六烷基、新二十六烷基、正二十七烷基、異二十七烷基、仲二十七烷基、叔二十七烷基、新二十七烷基、正二十八烷基、異二十八烷基、仲二十八烷基、叔二十八烷基、新二十八烷基、正二十九烷基、異二十九烷基、仲二十九烷基、叔二十九烷基、新二十九烷基、環丙基、環丁基、環戊基、環己基、環辛基、環壬基、環癸基、環十一烷基、環十二烷基、環十三烷基、環十四烷基、環十五烷基、環十六烷基、環十七烷基、環十八烷基、環十九烷基、環二十烷基、環二十一烷基、環二十二烷基、環二十三烷基、環二十四烷基、環二十五烷基、環二十六烷基、環二十七烷基、環二十八烷基、環二十九烷基等,其中,甲基、丁基、辛基等是優選的。
在通式[7]中,用R9表示的可具有滷原子的烷基的烷基,可以是直鏈狀、支鏈狀或環狀的任何一種,通常可以舉出碳原子數為1~29、優選為1~18、更優選為1~11的烷基,具體的可以舉出,例如與上述R8表示的可具有滷原子的烷基的烷基例示同樣的烷基,其中,甲基、丙基、庚基、十一烷基等是優選的。
在通式[6]及[7]中,作為用R8及R9表示的可具有滷原子的芳基的芳基,通常可以舉出碳原子數為6~16、優選碳原子數為6~14的芳基,具體的可以舉出,例如苯基、萘基、蒽基、菲基、芘基等,其中,苯基是優選的。
作為用R8及R9表示的可具有滷原子的芳烷基的芳烷基,通常可以舉出碳原子數為7~15、優選碳原子數為7~10的芳烷基,具體的可以舉出,例如苄基、苯乙基、苯丙基、苯丁基、1-甲基-3-苯丙基、苯戊基、苯己基、苯庚基、苯辛基、苯壬基等,其中,苄基、苯乙基是優選的。
所謂用R8及R9表示的具有滷原子的烷基、芳基及芳烷基,是指上述烷基、芳基及芳烷基中的一部分或全部氫原子被滷原子(例如氟原子、氯原子、溴原子、碘原子等)取代的化合物。
具體的可以舉出,在烷基中,全部氫原子被滷原子取代的化合物或通常1~30個、優選1~16個氫原子被滷原子取代的化合物,其中,全部氫原子被滷原子取代的化合物是優選的。
在芳基中,可以舉出其環中的1~5個、優選3~5個氫原子被滷原子取代的化合物,其中,環中的全部氫原子被滷原子取代的化合物是優選的。
在芳烷基中,可以舉出其烷基部分的氫原子及/或芳基部分的氫原子被滷原子取代的化合物,對於烷基部分包括全部或一部分氫原子被滷原子取代的化合物,對於芳基部分可以舉出環中的1~5個、優選5個氫原子被滷原子取代的化合物。
這些用R8及R9表示的可具有滷原子的烷基、芳基或者芳烷基,除滷原子以外,還可以進一步具有取代基,作為該取代基,可以舉出,例如甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、仲丁基、叔丁基等碳原子數為1~4的低級烷基、例如氟甲基、二氟甲基、三氟甲基、氯甲基、二氯甲基、三氯甲基、溴甲基、二溴甲基、三溴甲基、碘甲基、二碘甲基、三碘甲基、三氟乙基、三氯乙基、三溴乙基、五氟乙基、五氯乙基、五溴乙基、七氟丙基、七氯丙基、九氟丁基、九氯丁基、九溴丁基、九碘丁基等碳原子數為1~4的滷代低級烷基,例如甲氧基、乙氧基、正丙氧基、異丙氧基、正丁氧基、異丁氧基、仲丁氧基、叔丁氧基等碳原子數為1~4的低級烷氧基等。
作為用通式[4]表示的化合物具體例子,例如可以舉出四苯基硼酸、四[4-(三氟甲基)苯基]硼酸、四[4-(三氯甲基)苯基]硼酸、四[4-(三溴甲基)苯基]硼酸、四[4-(三碘甲基)苯基]硼酸、四[3,5-雙(三氟甲基)苯基]硼酸、四[3,5-雙(三氯甲基)苯基]硼酸、四[3,5-雙(三溴甲基)苯基]硼酸、四[3,5-雙(三碘甲基)苯基]硼酸、四(五氟苯基)硼酸、四(五氯苯基)硼酸、四(五溴苯基)硼酸、四(五碘苯基)硼酸、四苯基鎵酸、四[4-(三氟甲基)苯基]鎵酸、四[4-(三氯甲基)苯基]鎵酸、四[4-(三溴甲基)苯基]鎵酸、四[4-(三碘甲基)苯基]鎵酸、四[3,5-雙(三氟甲基)苯基]鎵酸、四[3,5-雙(三氯甲基)苯基]鎵酸、四[3,5-雙(三溴甲基)苯基]鎵酸、四[3,5-雙(三碘甲基)苯基]鎵酸、四(五氟苯基)鎵酸、四(五氯苯基)鎵酸、四(五溴苯基)鎵酸、四(五碘苯基)鎵酸等,其中,例如四苯基硼酸、四[4-(三氟甲基)苯基]硼酸、四[3,5-雙(三氟甲基)苯基]硼酸、四(五氟苯基)硼酸、四苯基鎵酸、四[4-(三氟甲基)苯基]鎵酸、四[3,5-雙(三氟甲基)苯基]鎵酸、四(五氟苯基)鎵酸等是優選的。
作為無機強酸舉出的滷代硫酸的具體例子,例如,可以舉出氟硫酸、氯硫酸、溴硫酸、碘硫酸等,其中,氯硫酸、溴硫酸是優選的。
作為無機強酸舉出的高滷酸的具體例子,例如,可以舉出高氟酸、高氯酸、高溴酸、高碘酸等,其中,高氯酸、高溴酸、高碘酸是優選的,而高氯酸是最優選的。
作為用通式[5]表示的無機強酸的具體例子,例如,可以舉出四氟硼酸、四氟鋁酸、四氟鐵酸、四氟鎵酸、六氟磷酸、六氟砷酸、六氟銻酸、六氟矽酸、六氟鎳酸、六氟鈦酸、六氟鋯酸等,其中,六氟磷酸、六氟砷酸、六氟銻酸是優選的。
作為用通式[36]表示的無機強酸的具體例子,例如,可以舉出六氟磷酸、六氟砷酸、六氟銻酸等。
作為用通式[6]表示的磺酸的具體例子,例如,可以舉出甲基磺酸、乙基磺酸、丙基磺酸、丁基磺酸、戊磺酸、己磺酸、庚磺酸、辛磺酸、壬磺酸、癸磺酸、十一烷基磺酸、十二烷基磺酸、十三烷基磺酸、十四烷基磺酸、十五烷基磺酸、十六烷基磺酸、十七烷基磺酸、十八烷基磺酸、十九烷基磺酸、二十烷基磺酸、二十一烷基磺酸、二十二烷基磺酸、二十三烷基磺酸、二十四烷基磺酸等的烷基磺酸;例如氟代甲基磺酸、二氟甲基磺酸、三氟甲基磺酸、氯代甲基磺酸、二氯甲基磺酸、三氯甲基磺酸、溴代甲基磺酸、二溴甲基磺酸、三溴甲基磺酸、碘代甲基磺酸、二碘甲基磺酸、三碘甲基磺酸、氟代乙基磺酸、二氟乙基磺酸、三氟乙基磺酸、五氟乙基磺酸、氯代乙基磺酸、二氯乙基磺酸、三氯乙基磺酸、五氯乙基磺酸、三溴乙基磺酸、五溴乙基磺酸、三碘乙基磺酸、五碘乙基磺酸、氟代丙基磺酸、三氟丙基磺酸、五氟丙基磺酸、氯代丙基磺酸、三氯丙基磺酸、七氯丙基磺酸、溴代丙基磺酸、三溴丙基磺酸、七溴丙基磺酸、三碘丙基磺酸、七碘丙基磺酸、三氟丁基磺酸、九氟丁基磺酸、三氯丁基磺酸、九氯丁基磺酸、三溴丁基磺酸、九溴丁基磺酸、三碘丁基磺酸、九碘丁基磺酸、三氟戊磺酸、全氟戊磺酸、三氯戊磺酸、全氯戊磺酸、三溴戊磺酸、全溴戊磺酸、三碘戊磺酸、全碘戊磺酸、三氟己磺酸、全氟己磺酸、三氯己磺酸、全氯己磺酸、全溴己磺酸、全碘己磺酸、三氟庚磺酸、全氟庚磺酸、三氯庚磺酸、全氯庚磺酸、全溴庚磺酸、全碘庚磺酸、三氟辛磺酸、全氟辛磺酸、三氯辛磺酸、全氯辛磺酸、全溴辛磺酸、全碘辛磺酸、三氟壬磺酸、全氟壬磺酸、三氯壬磺酸、全氯壬磺酸、全溴壬磺酸、全碘壬磺酸、三氟癸磺酸、全氟癸磺酸、三氯癸磺酸、全氯癸磺酸、全溴癸磺酸、全碘癸磺酸、三氟十一烷基磺酸、全氟十一烷基磺酸、三氯十一烷基磺酸、全氯十一烷基磺酸、全溴十一烷基磺酸、全碘十一烷基磺酸、三氟十二烷基磺酸、全氟十二烷基磺酸、三氯十二烷基磺酸、全氯十二烷基磺酸、全溴十二烷基磺酸、全碘十二烷基磺酸、三氟十三烷基磺酸、全氟十三烷基磺酸、三氯十三烷基磺酸、全氯十三烷基磺酸、全溴十三烷基磺酸、全碘十三烷基磺酸、三氟十四烷基磺酸、全氟十四烷基磺酸、三氯十四烷基磺酸、全氯十四烷基磺酸、全溴十四烷基磺酸、全碘十四烷基磺酸、三氟十五磺酸、全氟十五烷基磺酸、三氯十五烷基磺酸、全氯十五烷基磺酸、全溴十五烷基磺酸、全碘十五烷基磺酸、全氟十六烷基磺酸、全氯十六烷基磺酸、全溴十六烷基磺酸、全碘十六烷基磺酸、全氟十七烷基磺酸、全氯十七烷基磺酸、全溴十七烷基磺酸、全碘十七烷基磺酸、全氟十八烷基磺酸、全氯十八烷基磺酸、全溴十八烷基磺酸、全碘十八烷基磺酸、全氟十九烷基磺酸、全氯十九烷基磺酸、全溴十九烷基磺酸、全碘十九烷基磺酸、全氟二十烷基磺酸、全氯二十烷基磺酸、全溴二十烷基磺酸、全碘二十烷基磺酸、全氟二十一烷基磺酸、全氯二十一烷基磺酸、全溴二十一烷基磺酸、全碘二十一烷基磺酸、全氟二十二烷基磺酸、全氯二十二烷基磺酸、全溴二十二烷基磺酸、全碘二十二烷基磺酸、全氟二十三烷基磺酸、全氯二十三烷基磺酸、全溴二十三烷基磺酸、全碘二十三烷基磺酸、全氟二十四烷基磺酸、全氯二十四烷基磺酸、全溴二十四烷基磺酸、全碘二十四烷基磺酸等的滷代烷基磺酸,例如環戊磺酸、環己磺酸等環烷基磺酸,例如2-氟環戊磺酸、2-氯環戊磺酸、2-溴環戊磺酸、2-碘環戊磺酸、3-氟環戊磺酸、3-氯環戊磺酸、3-溴環戊磺酸、3-碘環戊磺酸、3,4-二氟環戊磺酸、3,4-二氯環戊磺酸、3,4-二溴環戊磺酸、3,4-二碘環戊磺酸、4-氟環己磺酸、4-氯環己磺酸、4-溴環己磺酸、4-碘環己磺酸、2,4-二氟環己磺酸、2,4-二氯環己磺酸、2,4-二溴環己磺酸、2,4-二碘環己磺酸、2,4,6-三氟環己磺酸、2,4,6-三氯環己磺酸、2,4,6-三溴環己磺酸、2,4,6-三碘環己磺酸、四氟環己磺酸、四氯環己磺酸、四溴環己磺酸、四碘環己磺酸等的滷代環烷基磺酸,例如,苯磺酸、萘磺酸、蒽磺酸、菲磺酸、芘磺酸等的芳香族磺酸,例如,2-氟苯磺酸、3-氟苯磺酸、4-氟苯磺酸、2-氯苯磺酸、3-氯苯磺酸、4-氯苯磺酸、2-溴苯磺酸、3-溴苯磺酸、4-溴苯磺酸、2-碘苯磺酸、4-碘苯磺酸、2,4-二氟苯磺酸、2,6-二氟苯磺酸、2,4-二氯苯磺酸、2,6-二氯苯磺酸、2,4-二溴苯磺酸、2,6-二溴苯磺酸、2,4-二碘苯磺酸、2,6-二碘苯磺酸、2,4,6-三氟苯磺酸、3,4,5-三氟苯磺酸、2,4,6-三氯苯磺酸、3,4,5-三氯苯磺酸、2,4,6-三溴苯磺酸、3,4,5-三溴苯磺酸、2,4,6-三碘苯磺酸、3,4,5-三碘苯磺酸、五氟苯磺酸、五氯苯磺酸、五溴苯磺酸、五碘苯磺酸、氟代萘磺酸、氯代萘磺酸、溴代萘磺酸、碘代萘磺酸、氟代蒽磺酸、氯代蒽磺酸、溴代蒽磺酸、碘代蒽磺酸等的滷代芳香族磺酸,例如對甲苯磺酸、4-異丙基苯磺酸、3,5-雙(三甲基)苯磺酸、3,5-雙(異丙基)苯磺酸、2,4,6-三(三甲基)苯磺酸、2,4,6-三(異丙基)苯磺酸等的烷基芳香族磺酸,例如2-三氟甲基苯磺酸、2-三氯甲基苯磺酸、2-三溴甲基苯磺酸、2-三碘甲基苯磺酸、3-三氟甲基苯磺酸、3-三氯甲基苯磺酸、3-三溴甲基苯磺酸、3-三碘甲基苯磺酸、4-三氟甲基苯磺酸、4-三氯甲基苯磺酸、4-三溴甲基苯磺酸、4-三碘甲基苯磺酸、2,6-二(三氟甲基)苯磺酸、2,6-二(三氯甲基)苯磺酸、2,6-二(三溴甲基)苯磺酸、2,6-二(三碘甲基)苯磺酸、3,5-二(三氟甲基)苯磺酸、3,5-二(三氯甲基)苯磺酸、3,5-二(三溴甲基)苯磺酸、3,5-二(三碘甲基)苯磺酸等的滷代烷基芳香族磺酸,例如苄磺酸、苯基乙磺酸、苯基丙磺酸、苯基丁磺酸、苯基戊磺酸、苯基己磺酸、苯基庚磺酸、苯基辛磺酸、苯基壬磺酸等的芳香脂肪族磺酸,例如4-氟苯基甲磺酸、4-氯苯基甲磺酸、4-溴苯基甲磺酸、4-碘苯基甲磺酸、四氟苯基甲磺酸、四氯苯基甲磺酸、四溴苯基甲磺酸、四碘苯基甲磺酸、4-氟苯基乙磺酸、4-氯苯基乙磺酸、4-溴苯基乙磺酸、4-碘苯基乙磺酸、4-氟苯基丙磺酸、4-氯苯基丙磺酸、4-溴苯基丙磺酸、4-碘苯基丙磺酸、4-氟苯基丁磺酸、4-氯苯基丁磺酸、4-溴苯基丁磺酸、4-碘苯基丁磺酸等的滷代芳香脂肪族磺酸,例如樟腦磺酸、金剛烷羧酸等的脂環式磺酸等。
作為用通式[7]表示的羧酸的具體例子,例如,可以舉出甲酸、乙酸、丙酸、丁酸、異丁酸、戊酸、異戊酸、三甲基乙酸、己酸、庚酸、辛酸、壬酸、癸酸、十一烷酸、十二烷酸、十三烷酸、肉豆蔻酸、十五烷酸、棕櫚酸、十七烷酸、硬脂酸、十九烷酸、二十烷酸、二十一烷酸、二十二烷酸、二十三烷酸等的脂肪族飽和羧酸,例如氟醋酸、氯醋酸、溴醋酸、碘醋酸、二氟醋酸、二氯醋酸、二溴醋酸、二碘醋酸、三氟醋酸、三氯醋酸、三溴醋酸、三碘醋酸、2-氟丙酸、2-氯丙酸、2-溴丙酸、2-碘丙酸、三氟丙酸、三氯丙酸、五氟丙酸、五氯丙酸、五溴丙酸、五碘丙酸、2,2-二(三氟甲基)丙酸、2,2-二(三氯甲基)丙酸、2,2-二(三溴甲基)丙酸、2,2-二(三碘甲基)丙酸、三氟丁酸、三氯丁酸、五氟丁酸、七氯丁酸、七氟丁酸、七溴丁酸、七碘丁酸、七氟異丁酸、七氯異丁酸、七溴異丁酸、七碘異丁酸、三氟戊酸、5H-全氟戊酸、5H-全氯戊酸、5H-全溴戊酸、5H-全碘戊酸、九氟戊酸、九氯戊酸、九溴戊酸、九碘戊酸、三氟己酸、三氯己酸、全氟己酸、全氯己酸、全溴己酸、全碘己酸、7-氯十二氟庚酸、7-氯十二氯庚酸、7-氯十二溴庚酸、7-氯十二碘庚酸、三氟庚酸、三氯庚酸、7H-全氟庚酸、7H-全氯庚酸、7H-全溴庚酸、7H-全碘庚酸、三氟辛酸、三氯辛酸、十五氟辛酸、十五氯辛酸、十五溴辛酸、十五碘辛酸、三氟壬酸、三氯壬酸、9H-十六氟壬酸、9H-十六氯壬酸、9H-十六溴壬酸、9H-十六碘壬酸、全氟壬酸、全氯壬酸、全溴壬酸、全碘壬酸、三氟癸酸、三氯癸酸、十九氟癸酸、十九氯癸酸、十九溴癸酸、十九碘癸酸、三氟十一烷酸、三氯十一烷酸、全氟十一烷酸、全氯十一烷酸、全溴十一烷酸、全碘十一烷酸、三氟十二烷酸、三氯十二烷酸、全氟十二烷酸、全氯十二烷酸、全溴十二烷酸、全碘十二烷酸、三氟十三烷酸、三氯十三烷酸、全氟十三烷酸、全氯十三烷酸、全溴十三烷酸、全碘十三烷酸、三氟十四烷酸、三氯十四烷酸、全氟十四烷酸、全氯十四烷酸、全溴十四烷酸、全碘十四烷酸、三氟十五烷酸、三氯十五烷酸、全氟十五烷酸、全氯十五烷酸、全溴十五烷酸、全碘十五烷酸、全氟十六烷酸、全氯十六烷酸、全溴十六烷酸、全碘十六烷酸、全氟十七烷酸、全氯十七烷酸、全溴十七烷酸、全碘十七烷酸、全氟十八烷酸、全氯十八烷酸、全溴十八烷酸、全碘十八烷酸、全氟十九烷酸、全氯十九烷酸、全溴十九烷酸、全碘十九烷酸、全氟二十烷酸、全氯二十烷酸、全溴二十烷酸、全碘二十烷酸、全氟二十一烷酸、全氯二十一烷酸、全溴二十一烷酸、全碘二十一烷酸、全氟二十二烷酸、全氯二十二酸、全溴二十二酸、全碘二十二酸、全氟二十三烷酸、全氯二十三烷酸、全溴二十三烷酸、全碘二十三烷酸等的滷代飽和脂肪族羧酸,例如乙二醇、乳酸、丙三醇、3-羥基-2-甲基丙酸等的羥基脂肪族羧酸,例如3-羥基-2-(三氟甲基)丙酸、3-羥基-2-(三氯甲基)丙酸、3-羥基-2-(三溴甲基)丙酸、3-羥基-2-(三碘甲基)丙酸、2-羥基-2-(三氟甲基)丁酸、2-羥基-2-(三氯甲基)丁酸、2-羥基-2-(三溴甲基)丁酸、2-羥基-2-(三碘甲基)丁酸等的滷代羥基脂肪族羧酸,例如環己烷羧酸、樟腦酸、金剛烷酸等脂環式羧酸,例如4-氟環己烷羧酸、4-氯環己烷羧酸、4-溴環己烷羧酸、4-碘環己烷羧酸、五氟環己烷羧酸、五氯環己烷羧酸、五溴環己烷羧酸、五碘環己烷羧酸、4-(三氟甲基)環己烷羧酸、4-(三氯甲基)環己烷羧酸、4-(三溴甲基)環己烷羧酸、4-(三碘甲基)環己烷羧酸等的滷代脂環式羧酸,例如安息香酸、萘酸、蒽酸、芘酸、戊-1-烯-3-炔酸、戊芬酸等芳香族羧酸,例如氟代安息香酸、氯代安息香酸、溴代安息香酸、碘代安息香酸、二氟代安息香酸、二氯代安息香酸、二溴代安息香酸、二碘代安息香酸、三氟代安息香酸、三氯代安息香酸、三溴代安息香酸、三碘代安息香酸、四氟代安息香酸、四氯代安息香酸、四溴代安息香酸、四碘代安息香酸、五氟代安息香酸、五氯代安息香酸、五溴代安息香酸、五碘代安息香酸、氟代萘酸、氯代萘酸、溴代萘酸、碘代萘酸、全氟代萘酸、全氯代萘酸、全溴代萘酸、全碘代萘酸、氟代蒽酸、氯代蒽酸、溴代蒽酸、碘代蒽酸、全氟代蒽酸、全氯代蒽酸、全溴代蒽酸、全碘代蒽酸等滷代脂肪族羧酸,例如甲苯甲酸、2,4,6-三(異丙基)安息香酸等的烷基安息香酸,例如2-三氟甲基安息香酸、2-三氯甲基安息香酸、2-三溴甲基安息香酸、2-三碘甲基安息香酸、3-三氟甲基安息香酸、3-三氯甲基安息香酸、3-三溴甲基安息香酸、3-三碘甲基安息香酸、4-三氟甲基安息香酸、4-三氯甲基安息香酸、4-三溴甲基安息香酸、4-三碘甲基安息香酸、2-氟-4-(三氟甲基)安息香酸、2-氯-4-(三氯甲基)安息香酸、2-溴-4-(三溴甲基)安息香酸、2,3,4-三氟-6-(三氟甲基)安息香酸、2,3,4-三氯-6-(三氯甲基)安息香酸、2,3,4-三溴-6-(三溴甲基)安息香酸、2,3,4-三碘-6-(三碘甲基)安息香酸、2-碘-4-(三碘甲基)安息香酸、2,4-二(三氟甲基)安息香酸、2,4-二(三氯甲基)安息香酸、2,4-二(三溴甲基)安息香酸、2,4-二(三碘甲基)安息香酸、2,6-二(三氟甲基)安息香酸、2,6-二(三氯甲基)安息香酸、2,6-二(三溴甲基)安息香酸、2,6-二(三碘甲基)安息香酸、3,5-二(三氟甲基)安息香酸、3,5-二(三氯甲基)安息香酸、3,5-二(三溴甲基)安息香酸、3,5-二(三碘甲基)安息香酸、2,4,6-三(三氟甲基)安息香酸、2,4,6-三(三氯甲基)安息香酸、2,4,6-三(三溴甲基)安息香酸、2,4,6-三(三碘甲基)安息香酸、2-氯-6-氟-3-甲基安息香酸、三氟甲基萘酸、三氯甲基萘酸、三溴甲基萘酸、三碘甲基萘酸、二(三氟甲基)萘酸、二(三氯甲基)萘酸、二(三溴甲基)萘酸、二(三碘甲基)萘酸、三(三氟甲基)萘酸、三(三氯甲基)萘酸、三(三溴甲基)萘酸、三(三碘甲基)萘酸、三氟甲基蒽酸、三氯甲基蒽酸、三溴甲基蒽酸、三碘甲基蒽酸等滷代烷基芳香族羧酸,例如茴香酸、除蟲菊根酸、鄰-除蟲菊根酸等烷氧基芳香族羧酸,例如4-三氟甲氧基安息香酸、4-三氯甲氧基安息香酸、4-三溴甲氧基安息香酸、4-三碘甲氧基安息香酸、4-五氟甲氧基安息香酸、4-五氯甲氧基安息香酸、4-五溴甲氧基安息香酸、4-五碘甲氧基安息香酸、3,4-二(三氟甲氧基)安息香酸、3,4-二(三氯甲氧基)安息香酸、3,4-二(三溴甲氧基)安息香酸、3,4-二(三碘甲氧基)安息香酸、2,5-二(2,2,2-三氟乙氧基)安息香酸、2,5-二(2,2,2-三氯乙氧基)安息香酸、2,5-二(2,2,2-三溴乙氧基)安息香酸、2,5-二(2,2,2-三碘乙氧基)安息香酸等的滷代烷氧基芳香族羧酸,例如水楊酸、鄰-焦兒茶酸、β-二羥基苯甲酸、龍膽酸、γ-二羥基苯甲酸、原兒茶酸、α-二羥基苯甲酸、沒食子酸等羥基芳香族羧酸,例如香草酸、異香草酸等羥基烷氧基芳香族羧酸,例如三硝基安息香酸等硝基芳香族羧酸,例如氨茴酸等氨基芳香族羧酸,例如三硝基安息香酸等的硝基芳香族羧酸,例如鄰氨基苯甲酸等的氨基芳香族羧酸,例如α-甲苯甲酸、氫化肉桂酸、氫化阿託酸、3-苯基丙酸、4-苯基丁酸、5-苯基戊酸、6-苯基己酸、7-苯基庚酸、6-(2-萘基)己酸等芳香脂肪族羧酸,例如尿黑酸等羥基芳香脂肪族羧酸,例如扁桃酸、二苯基乙醇酸、阿卓乳酸、託品酸、阿卓甘油酸等芳香族羥基烷基羧酸,例如2-甲醯基乙酸、乙醯乙酸、3-苯甲醯基丙酸、等4-甲醯基丁酸、3-氧代戊酸、5-氧代戊酸、3,5-二氧代戊酸、6-甲醯基己酸、2-氧代-1-環己酸、4-(2-氧代丁基)安息香酸、對-(3-甲醯基丙基)安息香酸、4-甲醯基苯基乙酸、β-氧代環己烷丙酸、丙酮酸等氧代羧酸等。
作為用通式[2]表示的基團,例如,可以舉出以下列通式[10]及[12]表示的基團,其中優選由通式[10]表示的基團。
(式中,R3、R4、i及j的含義同上)。
作為用通式[10]表示的基團,具體的可以舉出,例如呫噸-9-酮-2-基、呫噸-9-酮-4-基等,其中,呫噸-9-酮-2-基是優選的。
作為用通式[12]表示的基團,具體的可以舉出,例如呫噸-9-酮-2-基、呫噸-9-酮-4-基等。
作為用通式[3]表示的基團,例如可以舉出用下列通式[14]及[15]表示的基團, (式中,R5、R6、p及q的含義同前),其中用通式[14]表示的基團是優選的。
作為用通式[14]表示的基團,具體的可以舉出,例如香豆素-7-基、香豆素-5-基、4-甲氧基香豆素-7-基、4-甲氧基香豆素-5-基、6-甲基香豆素-7-基、6-甲基香豆素-5-基等,其中,香豆素-7-基是優選的。
作為用通式[15]表示的基團,具體的可以舉出,例如香豆素-2-硫代-7-基、香豆素-2-硫代-5-基、4-甲氧基香豆素-2-硫代-7-基、4-甲氧基香豆素-2-硫代-5-基、6-甲基香豆素-2-硫代-7-基、6-甲基香豆素-2-硫代-5-基等。
作為用通式[1]表示的鋶鹽,例如,可以舉出用下列通式[16]、[18]、[20]及[21]表示的鋶鹽, (式中,R1~R6、A、i、j、m、n、p及q的含義同上);其中,用通式[16]、通式[20]表示鋶鹽是優選的。
作為用通式[35]表示的碘鎓鹽,例如,可以舉出用下列通式[39]~[43]表示的碘鎓鹽,
(式中,R28表示滷原子或低級烷基,u表示0~5的整數,R1~R6、X2~X4、A3、i、j、m、n、p及q的含義同上);其中,用通式[39]~[41]表示的是優選的,而用通式[39]及[40]表示的是更優選的。
在通式[42]及[43]中,作為用R28表示的滷原子,可以舉出氟原子、氯原子、溴原子、碘原子等。
作為用通式[28]表示的低級烷基,可以是直鏈狀、支鏈狀或環狀的任何一種,通常可以舉出碳原子數為1~6、優選為1~4的低級烷基,具體的可以舉出,例如用上述R1~R6表示的可具有滷原子或低級烷基作為取代基的芳基的取代基中所舉出的與低級烷基的例示相同的基團,其中,例如甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、仲丁基、叔丁基等是優選的,而甲基、乙基是更優選的。
u通常表示0~5、優選表示0~1的整數。
作為用通式[16]表示的化合物優選的具體例子,例如,可以舉出二苯基-(呫噸-9-酮-2-基)-鋶氯化物、二苯基-(呫噸-9-酮-2-基)-鋶氟化物、二苯基-(呫噸-9-酮-2-基)-鋶高氯酸鹽、二苯基-(呫噸-9-酮-2-基)-鋶四氟硼酸鹽、二苯基-(呫噸-9-酮-2-基)-鋶六氟磷酸鹽、二苯基-(呫噸-9-酮-2-基)-鋶六氟砷酸鹽、二苯基-(呫噸-9-酮-2-基)-鋶六氟銻酸鹽、二苯基-(呫噸-9-酮-2-基)-鋶四苯基硼酸鹽、二苯基-(呫噸-9-酮-2-基)-鋶四{3,5-二(三氟甲基)苯基}硼酸鹽、二苯基-(呫噸-9-酮-2-基)-鋶四(五氟苯基)硼酸鹽、二苯基-(呫噸-9-酮-2-基)-鋶四苯基鎵酸鹽、二苯基-(呫噸-9-酮-2-基)-鋶四(五氟苯基)鎵酸鹽、二苯基-(呫噸-9-酮-2-基)-鋶三氟甲磺酸鹽、二苯基-(呫噸-9-酮-2-基)-鋶九氟丁磺酸鹽、二苯基-(呫噸-9-酮-2-基)-鋶全氟辛磺酸鹽、二苯基-(呫噸-9-酮-2-基)-鋶苯磺酸鹽、二苯基-(呫噸-9-酮-2-基)-鋶對甲苯磺酸鹽、二苯基-(呫噸-9-酮-2-基)-鋶4-十二烷基苯磺酸鹽、二苯基-(呫噸-9-酮-2-基)-鋶4-氟苯磺酸鹽、二苯基-(呫噸-9-酮-2-基)-鋶2,4-二氟苯磺酸鹽、二苯基-(呫噸-9-酮-2-基)-鋶五氟苯磺酸鹽、二苯基-(呫噸-9-酮-2-基)-鋶4-三氟甲基苯磺酸鹽、二苯基-(呫噸-9-酮-2-基)-鋶3,5-二(三氟甲基)苯磺酸鹽、二苯基-(呫噸-9-酮-2-基)-鋶乙酸鹽、二苯基-(呫噸-9-酮-2-基)-鋶七氟丁酸鹽、二苯基-(呫噸-9-酮-2-基)-鋶全氟辛酸鹽、二苯基-(呫噸-9-酮-2-基)-鋶全氟十二酸鹽、二(4-甲基苯基)-(呫噸-9-酮-2-基)-鋶六氟磷酸鹽、二(4-甲基苯基)-(呫噸-9-酮-2-基)-鋶四苯基硼酸鹽、二(4-甲基苯基)-(呫噸-9-酮-2-基)-鋶三氟甲磺酸鹽、二(4-甲基苯基)-(呫噸-9-酮-2-基)-鋶九氟丁酸鹽、二(4-甲基苯基)-(呫噸-9-酮-2-基)-鋶對甲苯磺酸鹽、二苯基-(呫噸-9-酮-4-基)-鋶六氟磷酸鹽、二苯基-(呫噸-9-酮-4-基)-鋶四苯基硼酸鹽、二苯基-(呫噸-9-酮-4-基)-鋶三氟甲磺酸鹽、二苯基-(呫噸-9-酮-4-基)-鋶九氟丁磺酸鹽、二苯基-(呫噸-9-酮-4-基)-鋶對甲苯磺酸鹽,其中,例如二苯基-(呫噸-9-酮-2-基)-鋶六氟磷酸鹽、二苯基-(呫噸-9-酮-2-基)-鋶四苯基硼酸鹽、二苯基-(呫噸-9-酮-2-基)-鋶三氟甲磺酸鹽、二苯基-(呫噸-9-酮-2-基)-鋶九氟丁磺酸鹽、二苯基-(呫噸-9-酮-2-基)-鋶對甲苯磺酸鹽是優選的,而二苯基-(呫噸-9-酮-2-基)-鋶三氟甲磺酸鹽、二苯基-(呫噸-9-酮-2-基)-鋶六氟磷酸鹽等是更優選的。
作為用通式[18]表示的化合物的優選具體例子,例如,可以舉出二苯基-(呫噸-9-硫代-2-基)-鋶氯化物、二苯基-(呫噸-9-硫代-2-基)-鋶氟化物、二苯基-(呫噸-9-硫代-2-基)-鋶高氯酸鹽、二苯基-(呫噸-9-硫代-2-基)-鋶四氟硼酸鹽、二苯基-(呫噸-9-硫代-2-基)-鋶六氟磷酸鹽、二苯基-(呫噸-9-硫代-2-基)-鋶六氟砷酸鹽、二苯基-(呫噸-9-硫代-2-基)-鋶六氟銻酸鹽、二苯基-(呫噸-9-硫代-2-基)-鋶四苯基硼酸鹽、二苯基-(呫噸-9-硫代-2-基)-鋶四{3,5-二(三氟甲基)苯基}硼酸鹽、二苯基-(呫噸-9-硫代-2-基)-鋶四(五氟苯基)硼酸鹽、二苯基-(呫噸-9-硫代-2-基)-鋶四苯基鎵酸鹽、二苯基-(呫噸-9-硫代-2-基)-鋶三氟甲磺酸鹽、二苯基-(呫噸-9-硫代-2-基)-鋶九氟丁磺酸鹽、二苯基-(呫噸-9-硫代-2-基)-鋶全氟辛磺酸鹽、二苯基-(呫噸-9-硫代-2-基)-鋶苯磺酸鹽、二苯基-(呫噸-9-硫代-2-基)-鋶對甲苯磺酸鹽、二苯基-(呫噸-9-硫代-2-基)-鋶乙酸鹽、二苯基-(呫噸-9-硫代-2-基)-鋶七氟丁酸鹽、二苯基-(呫噸-9-硫代-2-基)-鋶全氟辛酸鹽、二(4-甲基苯基)-(呫噸-9-硫代-2-基)-鋶六氟磷酸鹽、二(4-甲基苯基)-(呫噸-9-硫代-2-基)-鋶四苯基硼酸鹽、二(4-甲基苯基)-(呫噸-9-硫代-2-基)-鋶三氟甲磺酸鹽、二(4-甲基苯基)-(呫噸-9-硫代-2-基)-鋶九氟丁酸鹽、二(4-甲基苯基)-(呫噸-9-硫代-2-基)-鋶對甲苯磺酸鹽、二苯基-(呫噸-9-硫代-4-基)-鋶六氟磺酸鹽、二苯基-(呫噸-9-硫代-4-基)-鋶四苯基硼酸鹽、二苯基-(呫噸-9-硫代-4-基)-鋶三氟甲磺酸鹽、二苯基-(呫噸-9-硫代-4-基)-鋶九氟丁磺酸鹽、二苯基-(呫噸-9-硫代-4-基)-鋶對甲苯磺酸鹽等,其中,例如二苯基-(呫噸-9-硫代-2-基)-鋶六氟磷酸鹽、二苯基-(呫噸-9-硫代-2-基)-鋶四苯基硼酸鹽、二苯基-(呫噸-9-硫代-2-基)-鋶三氟甲磺酸鹽、二苯基-(呫噸-9-硫代-2-基)-鋶九氟丁磺酸鹽、二苯基-(呫噸-9-硫代-2-基)-鋶對甲苯磺酸鹽是優選的。
作為用通式[20]表示的化合物的優選具體例子,例如,可以舉出二苯基-(香豆素-7-基)-鋶氯化物、二苯基-(香豆素-7-基)-鋶氟化物、二苯基-(香豆素-7-基)-鋶高氯酸鹽、二苯基-(香豆素-7-基)-鋶四氟硼酸鹽、二苯基-(香豆素-7-基)-鋶六氟磷酸鹽、二苯基-(香豆素-7-基)-鋶六氟砷酸鹽、二苯基-(香豆素-7-基)-鋶六氟銻酸鹽、二苯基-(香豆素-7-基)-鋶四苯基硼酸鹽、二苯基-(香豆素-7-基)-鋶四{3,5-二(三氟甲基)苯基}硼酸鹽、二苯基-(香豆素-7-基)-鋶四(五氟苯基)硼酸鹽、二苯基-(香豆素-7-基)-鋶四苯基鎵酸鹽、二苯基-(香豆素-7-基)-鋶四苯基鎵酸鹽、二苯基-(香豆素-7-基)-鋶四(五氟苯基)鎵酸鹽、二苯基-(香豆素-7-基)-鋶三氟甲磺酸鹽、二苯基-(香豆素-7-基)-鋶九氟丁磺酸鹽、二苯基-(香豆素-7-基)-鋶全氟辛磺酸鹽、二苯基-(香豆素-7-基)-鋶苯磺酸鹽、二苯基-(香豆素-7-基)-鋶對甲苯磺酸鹽、二苯基-(香豆素-7-基)-鋶4-十二烷基苯磺酸鹽、二苯基-(香豆素-7-基)-鋶4-氟苯磺酸鹽、二苯基-(香豆素-7-基)-鋶2,4-二氟苯磺酸鹽、二苯基-(香豆素-7-基)-鋶五氟苯磺酸鹽、二苯基-(香豆素-7-基)-鋶4-三氟甲基苯磺酸鹽、二苯基-(香豆素-7-基)-鋶3,5-二(三氟甲基)苯磺酸鹽、二苯基-(香豆素-7-基)-鋶乙酸鹽、二苯基-(香豆素-7-基)-鋶七氟丁酸鹽、二苯基-(香豆素-7-基)-鋶全氟辛酸鹽、二苯基-(香豆素-7-基)-鋶全氟十二酸鹽、二(4-甲基苯基)-(香豆素-7-基)-鋶六氟磷酸鹽、二(4-甲基苯基)-(香豆素-7-基)-鋶四苯基硼酸鹽、二(4-甲基苯基)-(香豆素-7-基)-鋶三氟甲磺酸鹽、二(4-甲基苯基)-(香豆素-7-基)-鋶九氟丁酸鹽、二(4-甲基苯基)-(香豆素-7-基)-鋶對甲苯磺酸鹽、二苯基-(4-甲氧基香豆素-7-基)-鋶六氟磷酸鹽、二苯基-(4-甲氧基香豆素-7-基)-鋶四苯基硼酸鹽、二苯基-(4-甲氧基香豆素-7-基)-鋶三氟甲磺酸鹽、二苯基-(4-甲氧基香豆素-7-基)-鋶九氟丁磺酸鹽、二苯基-(4-甲氧基香豆素-7-基)-鋶對甲苯磺酸鹽、二苯基-(6-甲基香豆素-7-基)-鋶六氟磷酸鹽、二苯基-(6-甲基香豆素-7-基)-鋶四苯基硼酸鹽、二苯基-(6-甲基香豆素-7-基)-鋶三氟甲苯磺酸鹽、二苯基-(6-甲基香豆素-7-基)-鋶九氟丁磺酸鹽、二苯基-(6-甲基香豆素-7-基)-鋶對甲苯磺酸鹽、二苯基-(香豆素-5-基)-鋶六氟磷酸鹽、二苯基-(香豆素-5-基)-鋶四苯基硼酸鹽、二苯基-(香豆素-5-基)-鋶三氟甲磺酸鹽、二苯基-(香豆素-5-基)-鋶九氟丁磺酸鹽、二苯基-(香豆素-5-基)-鋶對甲苯磺酸鹽等,其中,例如二苯基-(香豆素-7-基)-鋶六氟磷酸鹽、二苯基-(香豆素-7-基)-鋶四苯基硼酸鹽、二苯基-(香豆素-7-基基)-鋶三氟甲磺酸鹽、二苯基-(香豆素-7-基)-鋶九氟丁磺酸鹽、二苯基-(香豆素-7-基)-鋶對甲苯磺酸鹽是優選的,而(香豆素-6-基)-二苯基鋶三氟甲磺酸鹽、(香豆素-6-基)-二苯基鋶六氟磷酸鹽等是更優選的。
作為用通式[21]表示的化合物的優選具體例子,例如,可以舉出二苯基-(香豆素-2-硫代-7-基)-鋶氯化物、二苯基-(香豆素-2-硫代-7-基)-鋶氟化物、二苯基-(香豆素-2-硫代-7-基)-鋶高氯酸鹽、二苯基-(香豆素-2-硫代-7-基)-鋶四氟硼酸鹽、二苯基-(香豆素-2-硫代-7-基)-鋶六氟磷酸鹽、二苯基-(香豆素-2-硫代-7-基)-鋶六氟砷酸鹽、二苯基-(香豆素-2-硫代-7-基)-鋶六氟銻酸鹽、二苯基-(香豆素-2-硫代-7-基)-鋶四苯基硼酸鹽、二苯基-(香豆素-2-硫代-7-基)-鋶四{3,5-二(三氟甲基)苯基}硼酸鹽、二苯基-(香豆素-2-硫代-7-基)-鋶四(五氟苯基)硼酸鹽、二苯基-(香豆素-2-硫代-7-基)-鋶四氟鎵酸鹽、二苯基-(香豆素-2-硫代-7-基)-鋶三氟甲磺酸鹽、二苯基-(香豆素-2-硫代-7-基)-鋶九氟丁磺酸鹽、二苯基-(香豆素-2-硫代-7-基)-鋶全氟辛酸鹽、二苯基-(香豆素-2-硫代-7-基)-鋶苯磺酸鹽、二苯基-(香豆素-2-硫代-7-基)-鋶對甲苯磺酸鹽、二苯基-(香豆素-2-硫代-7-基)-鋶乙酸鹽、二苯基-(香豆素-2-硫代-7-基)-鋶五氟丁酸鹽、二苯基-(香豆素-2-硫代-7-基)-鋶全氟辛酸鹽、二(4-甲基苯基)-(香豆素-2-硫代-7-基)-鋶六氟磷酸鹽、二(4-甲基苯基)-(香豆素-2-硫代-7-基)-鋶四苯基硼酸鹽、二(4-甲基苯基)-(香豆素-2-硫代-7-基)-鋶三氟甲磺酸鹽、二(4-甲基苯基)-(香豆素-2-硫代-7-基)-鋶九氟丁磺酸鹽、二(4-甲基苯基)-(香豆素-2-硫代-7-基)-鋶對甲苯磺酸鹽、二苯基-(香豆素-2-硫代-5-基)-鋶六氟磷酸鹽、二苯基-(香豆素-2-硫代-5-基)-鋶四苯基硼酸鹽、二苯基-(香豆素-2-硫代-5-基)-鋶三氟甲磺酸鹽、二苯基-(香豆素-2-硫代-5-基)-鋶九氟丁磺酸鹽、二苯基-(香豆素-2-硫代-5-基)-鋶對甲苯磺酸鹽等,其中,例如二苯基-(香豆素-2-硫代-7-基)-鋶六氟磷酸鹽、二苯基-(香豆素-2-硫代-7-基)-鋶四苯基硼酸鹽、二苯基-(香豆素-2-硫代-7-基)-鋶三氟甲磺酸鹽、二苯基-(香豆素-2-硫代-7-基)-鋶九氟丁磺酸鹽、二苯基-(香豆素-2-硫代-7-基)-鋶對甲苯磺酸鹽等是優選的。
作為用通式[39]表示的化合物的優選具體例子,例如,可以舉出二(呫噸-9-酮-2-基)-碘鎓氟化物、二(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓氟化物、二(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓高氯酸鹽、二(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓四氟硼酸鹽、二(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓六氟磷酸鹽、二(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓六氟砷酸鹽、二(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓六氟銻酸鹽、二(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓四苯基硼酸鹽、二(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓四{3,5-二(三氟甲基)苯基}硼酸鹽、二(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓四(五氟苯基)硼酸鹽、二(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓四苯基鎵酸鹽、二(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓四(五氟苯基)鎵酸鹽、二(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓三氟甲磺酸鹽、二(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓九氟丁磺酸鹽、二(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓全氟辛磺酸鹽、二(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓苯磺酸鹽、二(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓對甲苯磺酸鹽、二(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓4-十二烷基苯磺酸鹽、二(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓4-氟苯磺酸鹽、二(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓2,4-二氟苯磺酸鹽、二(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓五氟苯磺酸鹽、二(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓4-三氟甲基苯磺酸鹽、二(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓3,5-二(三氟甲基)苯磺酸鹽、二(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓乙酸鹽、二(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓五氟丁酸鹽、二(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓全氟辛酸鹽、二(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓全氟十二酸鹽等,其中,例如二(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓六氟磷酸鹽、二(呫噸-9-酮-2-基)碘鋶四苯基硼酸鹽、二(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓三氟甲磺酸鹽、二(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓九氟丁磺酸鹽、二(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓對甲苯磺酸鹽等是優選的,而二(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓六氟磷酸鹽是更優選的。
作為用通式[40]表示的化合物的優選的具體例子,例如,可以舉出二(香豆素-7-基)碘鎓氯化物、二(香豆素-7-基)碘鎓氟化物、二(香豆素-7-基)碘鎓高氯酸鹽、二(香豆素-7-基)碘鎓四氟硼酸鹽、二(香豆素-7-基)碘鎓六氟磷酸鹽、二(香豆素-7-基)碘鎓六氟砷酸鹽、二(香豆素-7-基)碘鎓六氟銻酸鹽、二(香豆素-7-基)碘鎓四苯基硼酸鹽、二(香豆素-7-基)碘鎓四{3,5-二(三氟甲基)苯基}硼酸鹽、二(香豆素-7-基)碘鎓四(五氟苯基)硼酸鹽、二(香豆素-7-基)碘鎓四苯基鎵酸鹽、二(香豆素-7-基)碘鎓四(五氟苯基)鎵酸鹽、二(香豆素-7-基)碘鎓三氟甲磺酸鹽、二(香豆素-7-基)碘鎓九氟丁磺酸鹽、二(香豆素-7-基)碘鎓全氟辛磺酸鹽、二(香豆素-7-基)碘鎓苯磺酸鹽、二(香豆素-7-基)碘鎓對甲苯磺酸鹽、二(香豆素-7-基)碘鎓4-十二烷基苯磺酸鹽、二(香豆素-7-基)碘鎓4-氟苯磺酸鹽、二(香豆素-7-基)碘鎓2,4-二氟苯磺酸鹽、二(香豆素-7-基)碘鎓五氟苯磺酸鹽、二(香豆素-7-基)碘鎓4-三氟甲基苯磺酸鹽、二(香豆素-7-基)碘鎓3,5-二(三氟甲基)苯磺酸鹽、二(香豆素-7-基)碘鎓乙酸鹽、二(香豆素-7-基)碘鎓五氟丁酸鹽、二(香豆素-7-基)碘鎓全氟辛酸鹽、二(香豆素-7-基)碘鎓全氟十二酸鹽等,其中,例如二(香豆素-7-基)碘鎓六氟磷酸鹽、二(香豆素-7-基)碘鎓四苯基硼酸鹽、二(香豆素-7-基)碘鎓三氟甲磺酸鹽、二(香豆素-7-基)碘鎓九氟丁磺酸鹽、二(香豆素-7-基)碘鎓對甲苯磺酸鹽等是更優選的。
作為用通式[41]表示的化合物的優選具體例子,例如,可以舉出(香豆素-7-基)-(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓氯化物、(香豆素-7-基)-(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓氟化物、(香豆素-7-基)-(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓四氟硼酸鹽、(香豆素-7-基)-(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓六氟磷酸鹽、(香豆素-7-基)-(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓六氟砷酸鹽、(香豆素-7-基)-(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓六氟銻酸鹽、(香豆素-7-基)-(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓四氟鎵酸鹽、(香豆素-7-基)-(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓四苯基硼酸鹽、(香豆素-7-基)-(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓四{3,5-二(三氟甲基)苯基}硼酸鹽、(香豆素-7-基)-(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓四(五氟苯基)硼酸鹽、(香豆素-7-基)-(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓四苯基鎵酸鹽、(香豆素-7-基)-(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓四(五氟苯基)鎵酸鹽、(香豆素-7-基)-(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓三氟甲磺酸鹽、(香豆素-7-基)-(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓九氟丁磺酸鹽、(香豆素-7-基)-(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓全氟辛磺酸鹽、(香豆素-7-基)-(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓苯磺酸鹽、(香豆素-7-基)-(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓對甲苯磺酸鹽、(香豆素-7-基)-(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓4-十二烷基苯磺酸鹽、(香豆素-7-基)-(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓4-氟苯磺酸鹽、(香豆素-7-基)-(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓2,4-二氟苯磺酸鹽、(香豆素-7-基)-(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓五氟苯磺酸鹽、(香豆素-7-基)-(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓4-三氟甲基苯磺酸鹽、(香豆素-7-基)-(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓3,5-二(三氟甲基)苯磺酸鹽、(香豆素-7-基)-(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓乙酸鹽、(香豆素-7-基)-(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓五氟丁酸鹽、(香豆素-7-基)-(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓全氟辛酸鹽、(香豆素-7-基)-(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓全氟十二酸鹽等,其中,例如(香豆素-7-基)-(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓六氟磷酸鹽、(香豆素-7-基)-(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓四苯基硼酸鹽、(香豆素-7-基)-(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓三氟甲磺酸鹽、(香豆素-7-基)-(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓九氟丁磺酸鹽、(香豆素-7-基)-(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓對甲苯磺酸鹽等是優選的,而(香豆素-7-基)-(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓六氟磷酸鹽是更優選的。
作為用通式[42]表示的化合物的優選具體例子,例如,可以舉出2-(苯基碘鎓)呫噸-9-酮六氟磷酸鹽、2-(苯基碘鎓)呫噸-9-酮六氟砷酸鹽、2-(苯基碘鎓)呫噸-9-酮六氟銻酸鹽、2-(苯基碘鎓)呫噸-9-酮四氟硼酸鹽、2-(苯基碘鎓)呫噸-9-酮四{3,5-二(三甲基)苯基}硼酸鹽、2-(苯基碘鎓)呫噸-9-酮四(五氟苯基)硼酸鹽、2-(苯基碘鎓)呫噸-9-酮四苯基鎵酸鹽、2-(苯基碘鎓)呫噸-9-酮四(五氟苯基)硼酸鹽、2-(苯基碘鎓)呫噸-9-酮三氟甲磺酸鹽、2-(苯基碘鎓)呫噸-9-酮九氟丁磺酸鹽、2-(苯基碘鎓)呫噸-9-酮全氟辛磺酸鹽、2-(苯基碘鎓)呫噸-9-酮苯磺酸鹽、2-(苯基碘鎓)呫噸-9-酮對甲苯磺酸鹽、2-(苯基碘鎓)呫噸-9-酮對十二烷基苯磺酸鹽、2-(苯基碘鎓)呫噸-9-酮4-氟苯磺酸鹽、2-(苯基碘鎓)呫噸-9-酮2,4-二氟苯磺酸鹽、2-(苯基碘鎓)呫噸-9-酮五氟苯磺酸鹽、2-(苯基碘鎓)呫噸-9-酮乙酸鹽、2-(苯基碘鎓)呫噸-9-酮五氟丁磺酸鹽、2-(苯基碘鎓)呫噸-9-酮全氟辛酸鹽、2-(苯基碘鎓)呫噸-9-酮全氟十二酸鹽等,其中,例如2-(苯基碘鎓)呫噸-9-酮六氟磷酸鹽、2-(苯基碘鎓)呫噸-9-酮四苯基硼酸鹽、2-(苯基碘鎓)呫噸-9-酮三氟甲磺酸鹽、2-(苯基碘鎓)呫噸-9-酮九氟丁磺酸鹽、2-(苯基碘鎓)呫噸-9-酮對甲苯磺酸鹽是優選的,而2-(苯基碘鎓)呫噸-9-酮六氟磷酸鹽是更優選的。
作為用通式[43]表示的化合物的優選具體例子,例如,可以舉出7-(苯基碘鎓)香豆素六氟磷酸鹽、7-(苯基碘鎓)香豆素六氟砷酸鹽、7-(苯基碘鎓)香豆素六氟銻酸鹽、7-(苯基碘鎓)香豆素四苯基硼酸鹽、7-(苯基碘鎓)香豆素三氟甲磺酸鹽、7-(苯基碘鎓)香豆素九氟丁磺酸鹽、7-(苯基碘鎓)香豆素對甲苯磺酸鹽、7-(對-甲基苯基碘鎓)香豆素六氟磷酸鹽、7-(對-甲基苯基碘鎓)香豆素六氟砷酸鹽、7-(對-甲基苯基碘鎓)香豆素六氟銻酸鹽、7-(對-甲基苯基碘鎓)香豆素四苯基硼酸鹽、7-(對-甲基苯基碘鎓)香豆素三氟甲磺酸鹽、7-(對-甲基苯基碘鎓)香豆素九氟丁磺酸鹽、7-(對-甲基苯基碘鎓)香豆素對甲苯磺酸鹽等,其中,例如7-(苯基碘鎓)香豆素六氟磷酸鹽是優選的。
用通式[1]表示的鋶鹽,如可由下列[A]、[B]、[C]法合成得到。
(式中,M表示金屬原子,X及X』表示滷原子,R、R1、R2、A、m及n的含義同上)。
通式[35]表示的碘鎓鹽,如可由下列[D]、[E]、[F]法合成得到。
(式中,R29及R30中的任意一種表示用通式[2]表示的基團,而另一種表示用通式[3]表示的基團,R31表示低級烷基或滷代低級烷基,R32表示低級烷基或滷代低級烷基,M』表示鹼金屬原子,A6表示滷原子、硫酸氫離子或來自全氟烷基羧酸的陰離子,A3『表示目的陰離子,R28、M及u的含義同上)。
作為用M表示的金屬原子,例如,可以舉出銀原子、鋰原子、鈉原子、鉀原子、銣原子、銫原子等,其中銀原子是優選的。
作為用X及X』表示的滷原子,例如,可以舉出氟原子、氯原子、溴原子、碘原子等。
作為用M』表示的鹼金屬原子,例如,可以舉出鋰原子、鈉原子、鉀原子、銣原子、銫原子等,其中,例如鋰原子、鈉原子、鉀原子等是優選的。
作為用R31及R32表示的低級烷基,可以是直鏈狀、支鏈狀或環狀的任何一種,通常可以舉出碳原子數為1~6、優選為1~4的烷基,具體的可以舉出,例如與上述R1~R6表示的可具有滷原子或芳基作為取代基的烷基中碳原子為1~6的烷基的例示相同的烷基,其中,例如甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、仲丁基、叔丁基等是優選的,而甲基、乙基是更優選的。
作為用R31及R32表示的滷代低級烷基,可以是直鏈狀、支鏈狀或環狀的任何一種,通常可以舉出碳原子數為1~6、優選為1~4的上述R31表示的低級烷基的一部分或全部氫原子被滷原子(例如氟原子、氯原子、溴原子、碘原子等)取代的烷基,具體的可以舉出,例如與用上述R7表示的、作為可具有選自滷代低級烷基、滷原子、硝基及氰基的取代基的芳基的取代基所列舉的滷代低級烷基的例示相同的烷基,其中,三氟甲基、五氟乙基是優選的。
作為用A6表示的滷原子,例如,可以舉出氟原子、氯原子、溴原子、碘原子等,其中,氯原子、溴原子是優選的。
作為用A6表示的來自全氟烷基羧酸的陰離子,例如,可以舉出來自三氟乙酸、五氟丙酸的陰離子。
作為用通式[46]表示的過酸,例如,可以舉出過乙酸、過丙酸、三氟過乙酸等,這些既可以使用市場銷售產品,也可以使用按照常規方法來進行適當的合成而製得的產品,所述常規方法如使過氧化氫與乙酸酐、丙酸酐、三氟乙酸酐等無水羧酸酐反應的方法等。
用通式[23]、[25]、[44]、[48]、[50]及[52]表示的化合物,既可以使用市場銷售產品,也可以使用按照常規方法,進行適當的合成而製得的產品。
即,本發明的鋶鹽的合成方法詳細說明如下。
在[A]法中,把用常規方法(參照Ber.,23,1844(1890),J.Chem.Soc.(C),2424(1969)等)合成的通式[22]表示的亞碸,溶解在乙醚、異丙醚、四氫呋喃、1,2-二甲氧基乙烷等醚類、例如己烷、庚烷等烴類、例如苯、硝基苯等芳香烴類,或者它們與如二氯甲烷、二溴甲烷、1,2-二氯乙烷、氯仿等的滷代烴類的混合溶劑中,再於-80~30℃,往其中添加相對於通式[22]表示的亞碸為1~10倍摩爾(下面在涉及[A]、[B]及[C]法的記載中,所謂「倍摩爾」意指相對於通式[22]表示的亞碸等原料化合物添加了多少倍的摩爾數)的通式[23]表示的化合物、1~3倍摩爾的三氟甲磺酸酐或1~3倍摩爾的三氟甲磺酸以及1~3倍摩爾的三氟乙酸酐,然後,在-80~30℃攪拌並反應0.5~10小時,得到通式[24]表示的化合物。然後,把得到的通式[24]表示的化合物溶解在甲醇、乙醇、異丙醇等醇溶液中,用陰離子交換樹脂處理後,往其中添加0.9~1.5倍摩爾的酸(HA),除去醇後,再次溶解在例如二氯甲烷、1,2-二氯乙烷、乙酸乙酯、乙酸丁酯、丙二醇單甲醚乙酸酯、甲基異丁酮、甲乙酮等的有機溶劑中,水洗後減壓濃縮,得到通式[1]表示的本發明的化合物。或者,把得到的通式[24]表示的化合物,溶解在例如二氯甲烷、1,2-二氯乙烷、乙酸乙酯、乙酸丁酯、丙二醇單甲醚乙酸酯、甲基異丁酮、甲乙酮等有機溶劑中,添加0.9~1.5倍摩爾的酸鹽(MA)的水溶液,於5~30℃攪拌0.5~10小時後,除去水層,水洗後減壓濃縮,得到通式[1]表示的化合物。
在[B]法中,把通式[22]表示的亞碸,溶解在例如乙醚、異丙醚、四氫呋喃、1,2-二甲醚等醚類,或它們與例如二氯甲烷、二溴甲烷、1,2-二氯乙烷、氯仿等滷代烴類、例如苯、甲苯、二甲苯等芳香烴類等溶劑的混合溶劑中,於-70~50℃,如果需要,在例如三甲基甲矽烷基三氟甲磺酸、三甲基甲矽烷基氯化物等催化劑存在下,再往其中添加0.5~3倍摩爾的通式[25]表示的格利雅(RMgX)試劑,於-70~50℃,攪拌並反應0.5~10小時。反應終止後,把反應液於0~30℃,用例如氫溴酸水溶液、鹽酸水溶液、氫碘酸水溶液等滷氫酸水溶液(HX』)處理,由此得到通式[26]表示的化合物。把得到的化合物,溶解在例如甲醇、乙醇、異丙醇等醇類中,用氧化銀處理後,往裡添加0.9~1.5倍摩爾的酸(HA),除去醇類,再溶於例如二氯甲烷、1,2-二氯乙烷、乙酸乙酯、乙酸丁酯、丙二醇單甲醚乙酸酯、甲基異丁酮、甲乙酮等有機溶劑中,水洗後減壓濃縮,得到通式[1]表示的本發明的化合物。或者,把得到的用通式[26]表示的化合物,溶解在例如二氯甲烷、1,2-二氯乙烷、乙酸乙酯、乙酸丁酯、丙二醇單甲醚乙酸酯、甲基異丁酮、甲乙酮等有機溶劑中,添加0.9~1.5倍摩爾的酸鹽(MA)的水溶液,於5~30℃攪拌0.5~10小時後,除去水層,水洗後減壓濃縮,得到用通式[1]表示的化合物。
在[C]法中,在用通式[22]表示的化合物中,使1~50倍摩爾的用通式[23]表示的化合物及1~10倍摩爾的例如滷化鋁(例如,氯化鋁、溴化鋁、碘化鋁等)、滷化硼(例如,三氟化硼、三溴化硼等)、三滷化金屬(例如,三氯化鐵、三溴化鐵、三溴化鈦、三氯化錫、三溴化錫等)等的路易斯酸,於-20~180℃攪拌並反應0.5~24小時,用如氫溴酸水溶液、鹽酸水溶液、氫碘酸水溶液等氫滷酸水溶液(HX)處理,由此,得到用通式[26]表示的化合物。然後,把得到的化合物,溶解在例如甲醇、乙醇、異丙醇等醇類中,用氧化銀處理後,往裡添加0.9~1.5倍摩爾的酸(HA),除去醇類,再溶於二氯甲烷、1,2-二氯乙烷、乙酸乙酯、乙酸丁酯、丙二醇單甲醚乙酸酯、甲基異丁酮、甲乙酮等有機溶劑中,水洗後減壓濃縮,得到用通式[1]表示的本發明的化合物。或者,把得到的用通式[26]表示的化合物,溶解在例如二氯甲烷、1,2-二氯乙烷、乙酸乙酯、乙酸丁酯、丙二醇單甲醚乙酸酯、甲基異丁酮、甲乙酮等有機溶劑中,添加0.9~1.5倍摩爾的酸鹽(MA)的水溶液,於5~30℃攪拌0.5~10小時後,除去水層,水洗後減壓濃縮,得到用通式[1]表示的本發明化合物。
還有,採用上述[A]、[B]及[C]法得到的用通式[24]及[26]表示的化合物,也包括在本發明的用通式[1]表示的鋶鹽中。
另外,本發明的碘鎓鹽合成方法詳細說明如下。
在[D]法中,把用通式[44]表示的含雜環的芳香族化合物,溶解在例如乙酸酐、丙酸酐等羧酸酐類,或它們與例如二氯甲烷、二溴甲烷、1,2-二氯乙烷、氯仿等滷代烴類的溶劑的混合溶劑中,再往其中於-70~30℃,添加相對於用通式[44]表示的化合物為0.4~0.6倍摩爾的(下面在[D]、[E]及[F]法涉及的記載中,所謂「倍摩爾」,意指相對於用通式[44]表示的化合物等原料化合物為多少倍的摩爾數)碘酸鹽(M`IO3)後,再於-70~30℃,用0.5~10小時的時間滴加1~10倍摩爾的例如濃硫酸等化合物(HA6)或它們與乙酸酐、丙酸酐、三氟乙酸酐等羧酸酐類的混合酸後,-70~30℃,攪拌反應0.5~10小時。反應終止後,把反應液於0~30℃注入到冰水中,然後用二氯甲烷、二溴乙烷、1,2-二氯乙烷、氯仿等滷代烴類萃取,濃縮,得到用通式[45]表示的化合物。然後,把得到的用通式[45]表示的化合物,溶解在例如二氯甲烷、二溴乙烷、1,2-二氯乙烷、氯仿等滷代烴類中,往裡注入1~10倍摩爾的化合物(MA3』)的水溶液,於0~30℃攪拌反應0.5~10小時後,得到具有目的對陰離子A3』的用通式[35-1]表示的碘鎓鹽。
在[E]法中,通過用通式[52]表示的碘化含雜環芳香族化合物和通式[46]表示的過酸反應,合成用通式[47]表示的化合物。然後,把得到的用通式[47]表示的化合物溶解在例如乙酸酐、丙酸酐等羧酸酐類中,或它們與例如二氯甲烷、二溴甲烷、1,2-二氯乙烷、氯仿等滷代烴類等的溶劑的混合溶劑中,再往其中於-80~30℃添加1~10倍摩爾的通式[48]表示的含雜環芳香烴化合物後,再於-80~30℃,用0.5~10小時的時間滴加1~10倍摩爾的化合物(HA6)後,於-80~30℃攪拌反應0.5~10小時,得到用通式[49]表示的化合物。然後,把得到用通式[49]表示的化合物溶解在例如二氯甲烷、二溴乙烷、1,2-二氯乙烷、氯仿等滷代烴類中,往裡注入1~10倍摩爾的化合物(MA3』)的溶液,於0~30℃攪拌反應0.5~10小時,得到具有目的對陰離子A3』的通式[35-2]表示的碘鎓鹽。
在[F]法中,通過用通式[50]表示的碘化芳香化合物和用通式[46]表示的過酸反應,合成用通式[51]表示的化合物。然後,把得到的用通式[44]表示的含雜環芳香族化合物溶解在例如乙酸酐、丙酸酐等羧酸酐類,或它們與例如二氯甲烷、二溴甲烷、1,2-二氯乙烷、氯仿等滷代烴類等溶劑的混合溶劑中,再往其中於-80~30℃添加1~10倍摩爾的通式[51]表示的化合物後,再於-80~30℃,用0.5~10小時的時間滴加1~10倍摩爾的化合物(HA6)後,於-80~30℃攪拌反應0.5~10小時,得到用通式[53]表示的化合物。然後,把得到用通式[53]表示的化合物溶解在例如二氯甲烷、二溴乙烷、1,2-二氯乙烷、氯仿等滷代烴類中,往裡注入1~10倍摩爾的化合物(MA3』)的溶液,於0~30℃攪拌反應0.5~10小時,得到具有目的對陰離子A3』的通式[35-3]表示的碘鎓鹽。
還有,採用上述[D]、[E]及[F]法得到的用通式[45]、[49]及[53]表示的化合物,也包括在本發明的用通式[35]表式的碘鎓鹽中。
用通式[1]表示的本發明的鋶鹽及用通式[35]表示的本發明的碘鎓鹽中,用A及A3表示的陰離子為滷原子的物質,作為合成各種本發明的陰離子鹽的原料是有用的,陰離子來為自無機強酸、磺酸及用上述通式[4]表示的化合物的物質,作為陽離子性光聚合引發劑是有用的,另外,陰離子為來自無機強酸、有機酸及用上述通式[4]表示的化合物的物質,作為液晶面板、各種半導體元件、配線基板的製造時使用的抗蝕劑組合物及構成PS版、CTP版等印刷材料的酸發生劑可發揮優良的效果。
1首先,對本發明的鋶鹽及碘鎓鹽用作陽離子性光聚合引發劑的情況加以說明。
作為適用於作陽離子性光聚合引發劑的本發明的鋶鹽,例如用下列通式[8]表示的鋶鹽是優選的,其中,A1為來自用通式[4]表示的化合物及用通式[5]表示的化合物是優選的, (式中,A1表示來自無機強酸、磺酸或用上述通式[4]表示的化合物的陰離子,R、R1、R3、m及n的含義同前)。
作為適用於陽離子性光聚合引發劑的本發明的碘鎓鹽,例如,可以舉出用通式[37]表示的碘鎓鹽,
(式中,A4表示來自無機強酸、磺酸或用通式[4]表示的化合物的陰離子,R26、R27及其他的定義同以上所述);其中,A4為來自用通式[4]表示的化合物及用通式[5]表示的化合物是優選的。
本發明的鋶鹽及碘鎓鹽(下面,兩者稱作鎓鹽)通過光照射產生酸。此時,如果反應體系內存在各種環氧單體或乙烯基醚單體,則迅速開始聚合。
若想將本發明的以通式[8]或[37]表示的鎓鹽用作聚合引發劑,使環氧單體或乙烯基醚單體聚合或共聚,則只要在適當的溶劑中或在無溶劑的條件下,如果需要在惰性氣體氛圍氣中,按照常規方法,使如本發明的通式[8]或[37]表示的鎓鹽和這些各種單體進行聚合反應即可。
作為環氧單體,例如,可以舉出用通式[27]或通式[29]表示的環氧單體 [式中,R10及R11分別獨立並表示氫原子、低級烷基、芳基或羧基,R12表示氫原子、烷基、滷代低級烷基、羥基低級烷基、芳基、低級烷氧基羰基、羧基、用通式[28]表示的基團-CH2-E-R13[28](式中,E表示氧原子或-OCO-基,R13表示烷基、低級鏈稀基或芳基)、環氧乙基或環氧環己基;另外,R10和R12結合,也可與相鄰的碳原子一起形成脂肪族環]; (式中,R14~R16分別獨立並表示低級亞烷基鏈,s表示0或1的整數)。
在通式[27]中,作為用R10及R11表示的低級烷基,可以是直鏈狀、支鏈狀或環狀的任何一種,通常可以舉出碳原子數為1~6、優選為1~3的低級烷基,具體的可以舉出,例如甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、異戊基、仲戊基、叔戊基、新戊基、正己基、異己基、仲己基、叔己基、新己基、環丙基、環丁基、環戊基、環己基等。
在通式[27]及[28]中,作為用R10~R13表示的芳基,通常可以舉出碳原子數為6~15、優選為6~10的芳基,具體的可以舉出,例如苯基、萘基、蒽基、菲基等。
作為用R12及R13表示的烷基,可以是直鏈狀、支鏈狀或環狀的任何一種,通常可以舉出碳原子數為1~18、優選為1~16的烷基,具體的可以舉出,例如與R10及R11表示的低級烷基的例示相同的基團、正庚基、異庚基、仲庚基、叔庚基、新庚基、正辛基、異辛基、仲辛基、叔辛基、新辛基、正壬基、異壬基、仲壬基、叔壬基、新壬基、正癸基、異癸基、仲癸基、叔癸基、新癸基、正十一烷基、異十一烷基、仲十一烷基、叔十一烷基、新十一烷基、正十二烷基、異十二烷基、仲十二烷基、叔十二烷基、新十二烷基、正十三烷基、異十三烷基、仲十三烷基、叔十三烷基、新十三烷基、正十四烷基、異十四烷基、仲十四烷基、叔十四烷基、新十四烷基、正十五烷基、異十五烷基、仲十五烷基、叔十五烷基、新十五烷基、正十六烷基、異十六烷基、仲十六烷基、叔十六烷基、新十六烷基、正十七烷基、異十七烷基、仲十七烷基、叔十七烷基、新十七烷基、正十八烷基、異十八烷基、仲十八烷基、叔十八烷基、新十八烷基、環庚基、環辛基、環壬基、環癸基等。
在通式[27]中,作為用R12表示的滷代低級烷基,例如,可以舉出上述R10及R11表示的低級烷基中的一部分或全部氫原子被滷化(例如,氟化、氯化、溴化、碘化等)的碳原子數為1~6、優選為1~3的基團,具體的可以舉出,例如氟甲基、氯甲基、溴甲基、碘甲基、二氟甲基、二氯甲基、二三氟甲基、三氯甲基、三溴甲基、三碘甲基、五氟乙基、五氯乙基、五溴乙基、五碘乙基、七氟丙基、七氯丙基、七溴丙基、七碘丙基、九氟丁基、九氯丁基、九溴丁基、九碘丁基、全氯戊基、全氟己基、全氯己基等。
作為用R12表示的羥基低級烷基,可以舉出,例如,上述R10及R11表示的低級烷基末端的氫原子被羥基取代的基團。
作為用R12表示的低級烷氧基羰基,可以是直鏈狀、支鏈狀或環狀的任用一種,通常可以舉出碳原子數為2~7、優選為2~4的基團,具體的可以舉出,例如甲氧基羰基、乙氧基羰基、正丙氧基羰基、異丙氧基羰基、正丁氧基羰基、異丁氧基羰基、仲丁氧基羰基、叔丁氧基羰基、正戊氧基羰基、異戊氧基羰基、仲戊氧基羰基、叔戊氧基羰基、新戊氧基羰基、正己氧基羰基、異己氧基羰基、仲己氧基羰基、叔己氧基羰基、新己氧基羰基、環丙氧基羰基、環丁氧基羰基、環戊氧基羰基、環己氧基羰基等。
在通式[28]中,用R13表示的低級鏈烯基,可以是直鏈狀、支鏈狀或環狀的任用一種,通常可以舉出碳原子數為2~6、優選為2~3的基團,具體的可以舉出,例如乙烯基、烯丙基、1-丙烯基、異丙烯基、1-丁烯基、2-丁烯基、3-丁烯基、2-甲基烯丙基、1-戊烯基、2-戊烯基、3-戊烯基、4-戊烯基、2-甲基-2-丁烯基、1-己烯基、2-己烯基、3-己烯基、4-己烯基、5-己烯基、2-甲基-2-戊烯基、1-環丁烯基、1-環戊烯基、1-環己烯基等。
R10和R12結合,與相鄰的碳原子一起形成脂肪族環時,可以舉出形成碳原子數為5~10的飽和脂肪族環的情況。作為這些環的具體例子,例如,可以舉出環戊環、環己環、環庚環、環辛環、環壬環、環癸環等。另外,這些脂肪族環還可以與苯環、荼環等芳香環縮合。
在通式[29]中,作為用R14~R16表示的低級亞烷基鏈,通常可以舉出碳原子數為1~6、優選為1~4的基團,具體的可以舉出,例如亞甲基、亞乙基、三亞乙基、四亞甲基、五亞甲基、六亞甲基等。
作為乙烯醚單體,可以舉出,例如用通式[31]表示的單體等, (式中,R19表示氫原子或低級烷基,R20表示烷基、式[32] 表示的基團或通式[33]表示的基團-(R21-O)t-R22[33](式中,R21表示亞烷基,R22表示氫原子或乙烯基,t表示1~3的整數)。
在通式[31]中,作為用R19表示的低級烷基,可以是直鏈狀、支鏈狀或環狀的任用一種,通常可以舉出碳原子數為1~6的基團,具體的可以舉出,例如甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、異戊基、仲戊基、叔戊基、新戊基、2-甲基丁基、1-乙基丙基、正己基、異己基、仲己基、叔己基、新己基、2-甲基戊基、3-甲基戊基、1,2-二甲基丁基、2,2-二甲基丁基、1-乙基丁基、2-乙基丁基、環丙基、環丁基、環戊基、環己基等。
作為用R20表示的烷基,可以是直鏈狀、支鏈狀或環狀的任用一種,通常可以舉出碳原子數為1~15、優選為1~12的基團,具體的可以舉出,例如甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、異戊基、仲戊基、叔戊基、新戊基、正己基、異己基、仲己基、叔己基、新己基、正庚基、異庚基、仲庚基、叔庚基、新庚基、正辛基、異辛基、仲辛基、叔辛基、新辛基、正壬基、異壬基、仲壬基、叔壬基、新壬基、正癸基、異癸基、仲癸基、叔癸基、新癸基、正十一烷基、異十一烷基、仲十一烷基、叔十一烷基、新十一烷基、正十二烷基、異十二烷基、仲十二烷基、叔十二烷基、新十二烷基、正十三烷基、異十三烷基、仲十三烷基、叔十三烷基、新十三烷基、正十四烷基、異十四烷基、仲十四基、叔十四烷基、新十四烷基、正十五烷基、異十五烷基、仲十五烷基、叔十五烷基、新十五烷基、環丙基、環丁基、環戊基、環己基、環庚基、環辛基、環壬基、環癸基等。
在通式[33]中,作為用R21表示的亞烷基,可以是直鏈狀、支鏈狀或環狀的任用一種,通常可以舉出碳原子數為2~10、優選為2~8的基團,具體的可以舉出,例如亞甲基、亞乙基、亞丙基、亞丁基、亞戊基、亞己基、亞庚基、亞辛基、亞壬基、亞癸基等直鏈狀亞烷基,例如乙叉、丙叉、異丙叉、1-甲基亞丙基、2-甲基亞丙基、1,1-二甲基亞乙基、1,2-二甲基亞乙基、乙基亞乙基、1-甲基亞丁基、1,1-二甲基亞丙基、2,2-二甲基亞丙基、2-乙基亞丙基、1-甲基亞戊基、2-甲基亞戊基、1,3-二甲基亞丁基、3-乙基亞丁基、1-甲基亞己基、1-甲基亞戊基、1,4-二乙基亞丁基、2,4-二甲基亞庚基、1-甲基亞辛基、1-甲基亞壬基等支鏈狀亞烷基,例如環亞丙基、1,3-環亞丁基、1,3-環亞戊基、1,4-環亞己基、1,5-環亞庚基、1,5-環亞辛基、1,5-環亞壬基、1,6-環亞癸基等支鏈狀亞烷基等。
作為用通式[27]表示的環氧單體的具體例子,例如,可以舉出環氧乙烷、1,2-環氧丙烷、1,2-環氧丁烷、2,3-環氧丁烷、1,2-環氧戊烷、2,3-環氧戊烷、1,2-環氧己烷、1,2-環氧庚烷、1,2-環氧辛烷、1,2-環氧壬烷、1,2-環氧癸烷、1,2-環氧十二烷、1,2-環氧十一烷、1,2-環氧十二烷、1,2-環氧十三烷、1,2-環氧十四烷、1,2-環氧十六烷、1,2-環氧十七烷、1,2-環氧十八烷等環氧烷烴類,例如2,3-環氧-1,1,1-三氟丙烷、2,3-環氧-1-氯丙烷等環氧滷代烷烴類,例如2,3-環氧丙醇等環氧醇類,例如甲基縮水甘油醚、乙基縮水甘油醚、丙基縮水甘油醚、丁基縮水甘油醚、戊基縮水甘油醚、己基縮水甘油醚、庚基縮水甘油醚、辛基縮水甘油醚、壬基縮水甘油醚、癸基縮水甘油醚、十一烷基縮水甘油醚、十二烷基縮水甘油醚等烷基縮水甘油醚類,例如苯基縮水甘油醚、萘基縮水甘油醚等芳基縮水甘油醚類,例如芳基縮水甘油基等鏈烯基縮水甘油醚類,例如甲基丙烯酸縮水甘油基等縮水甘油酯類,2,3-環氧乙基苯、α,α`-環氧聯苯、2,3-環氧-3-二氫-1,4-萘醌、環氧琥珀酸、乙基2,3-環氧-3-苯基丁酸鹽、1,2,3,4-二環氧丁烷、1,2-環氧-5-(環氧乙基)環己烷等。
作為用通式[29]表示的環氧單體的具體例子,例如二(3,4-環氧環己基)己二酸、3,4-環氧環己基-3,4-環氧環己羧酸等。
作為用通式[31]表示的乙烯基醚單體的具體例子,例如,可以舉出甲基乙烯基醚、乙基乙烯基醚、丙基乙烯基醚、異丁基乙烯基醚、2-乙基己基乙烯基醚、十八烷基乙烯基醚、十二烷基乙烯基醚、環己基乙烯基醚等烷基乙烯基醚類,例如羥乙基乙烯基醚、羥丁基乙烯基醚、二(己二醇)單乙烯基醚、1,4-環己烷二甲醇單乙烯基醚等羥基烷基乙烯基醚,例如,1,4-丁二醇二乙烯基醚、1,6-己二醇二乙烯基醚、1,4-環己二甲醇二乙烯基醚、二(乙二醇)二乙烯基醚、三(乙二醇)二乙烯基醚、二(丙二醇)二乙烯基醚、三(丙二醇)二乙烯基醚等二乙烯基醚類、碳酸丙二酯、丙烯基醚等。
它們既可以分別單獨使用,也可以2種以上適當組合後使用。
作為上述聚合方法,例如,可以舉出溶液聚合、本體聚合、懸浮聚合、乳液聚合等。
作為聚合溶劑,例如,可以舉出氯仿、二氯甲烷、1,2-二氯乙烷等滷代羥類,例如甲苯、苯、二甲苯等烴類,例如N,N-二甲基甲醯胺、二甲亞碸等。
這些溶劑既可以分別單獨使用,也可以2種以上適當組合後使用。
聚合最好是在惰性氣體的環境下進行。作為惰性氣體,例如,可以舉出氮氣、氬氣等。
本發明的用通式[8]或[37]表示的鎓鹽的用量,因所使用的單體種類而異,但對單體通常為0.1~200重量%,優選為1~50重量%。
聚合時的單體濃度,也因所使用的單體種類而異,但通常為1~100重量%(無溶劑)、優選為10~80重量%。聚合溫度通常為-78~120℃、優選為-20~50℃。
聚合時間,因反應溫度或反應的本發明鎓鹽及單體或它們的濃度等反應條件而異,但通常1~50小時。
反應後的後處理,按照該領域通常採用的後處理法進行即可。
2其次,對用本發明的鎓鹽作為化學放大型抗蝕劑組合物用的酸發生劑使用的情況進行說明。
作為酸發生劑使用的本發明的鋶鹽,例如,通式[9] (式中,A2表示來自無機強酸、有機酸或用上述通式[4]表示的化合物的陰離子,R、R1、R2、m及n的含義同上)表示的物質(用通式[1]表示的鋶鹽中,A表示的陰離子相當於來自無機強酸、有機酸或用上述通式[4]表示的化合物的陰離子)是優選的。
作為用作酸發生劑的本發明碘鎓鹽,例如,可以舉出用通式[38]表示的物質等。
(式中,A5表示來自無機強酸、有機酸或用上述通式[4]表示的化合物的陰離子,R26、R27及其他的定義同上述)。
本發明的用通式[9]及[38]表示的鎓鹽,也可以作為酸發生劑単獨使用,但與其他的酸發生劑組合使用,可期待更高的效果。特別是與作為產生弱酸的酸發生劑、烷基懸垂的例如重氮二磺化合物等組合使用時,本發明的鎓鹽作為酸發生劑可以發揮非常優秀的效果。
作為組合使用的重氮二磺化合物,例如,可以舉出用通式[30]表示的化合物等。
(式中,R17及R18分別獨立並表示烷基)。
在通式[30]中,作為用R17表示的烷基,可以是直鏈狀、支鏈狀或環狀的任何一種,通常可以舉出碳原子數為1~8、優選為3~8的烷基,其中,支鏈狀或環狀是優選的,具體的可以舉出,例如甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、異戊基、仲戊基、叔戊基、新戊基、正己基、異己基、仲己基、叔己基、新己基、3-甲基戊基、2-甲基戊基、1,2-二甲基丁基、正庚基、異庚基、仲庚基、叔庚基、新庚基、正辛基、異辛基、仲辛基、叔辛基、新辛基、環丙基、環丁基、環戊基、環己基、環庚基、環辛基等。
作為用R18表示的烷基,可以是直鏈狀、支鏈狀或環狀的任何一種,通常可以舉出碳原子數為3~8的烷基,其中,支鏈狀或環狀是優選的,具體的可以舉出異丙基、異丁基、仲丁基、叔丁基、異戊基、仲戊基、叔戊基、新戊基、異己基、仲己基、叔己基、新己基、3-甲基戊基、2-甲基戊基、1,2-二甲基丁基、異庚基、仲庚基、叔庚基、新庚基、異辛基、仲辛基、叔辛基、新辛基、環丙基、環丁基、環戊基、環己基、環庚基、環辛基等。
作為用通式[30]表示的重氮二磺化合物的具體例子,例如,可以舉出二(1-甲基乙基磺醯)重氮甲烷、二(1,1-二甲基乙基磺醯)重氮甲烷、二(環己基磺醯)重氮甲烷、甲基磺醯-1-甲基乙基磺醯重氮甲烷、甲基磺醯-1,1-二甲基乙基磺醯重氮甲烷、甲基磺醯環己磺醯重氮甲烷、乙基磺醯-1-甲基乙基磺醯重氮甲烷、乙基磺醯-1,1-二甲基乙基磺醯重氮甲烷、乙基磺醯環己磺醯重氮甲烷、二(辛基磺醯)重氮甲烷、甲基乙基磺醯-1,1-二甲基乙基磺醯重氮甲烷、1-甲基乙基磺醯環己磺醯重氮甲烷、1,1-二甲基乙基磺醯環己磺醯重氮甲烷等。
本發明的用通式[9]及[38]表示的鎓鹽用量,在單獨使用時,相對於化學放大型抗蝕劑組合物中的樹脂量通常為0.1~10重量%、優選為0.5~5重量%;與其他酸發生劑組合使用時,相對於樹脂量通常為0.05~5重量%、優選為0.1~3重量%。其他酸發生劑的用量,相對於樹脂量通常為1~10重量%、優選為3~7重量%。
本發明的用通式[9]及[38]表示的鎓鹽,例如,用高壓水銀燈光、金屬滷化物燈光、遠紫外線光、KrF激發物雷射、ArF激發物雷射、F2激發物雷射(157nm)、電子束(EB)、軟X線等的照射也產生酸。因此,本發明的用通式[9]及[38]表示的鎓鹽,作為高壓水銀燈、金屬滷化物燈光、遠紫外線光、KrF激發物雷射、ArF激發物雷射、F2激發物雷射(157nm)、電子束(EB)或軟X線等的照射用,特別是高壓水銀燈、金屬滷化物燈光照射用的抗蝕劑的酸發生劑是有用的。
本發明的用通式[8]、[9]、[37]及[38]表示的鎓鹽,由於其陽離子部含雜環,與以往的鎓鹽相比,吸收波長區域高,通過如高壓水銀燈光、金屬滷化物燈光、遠紫外線、KrF激發物雷射、ArF激發物雷射、F2激發物雷射、電子束、X線、放射線等的照射可以提高酸的發生效率。特別是由於這些化合物,在例如高壓水銀燈光、金屬滷化物燈光等波長區域有吸收波長,所以,如用它們作光源,無需添加以往使用的增敏劑也可以有效的產生酸。
另外,本發明的鎓鹽,由於在400nm或400nm以上幾乎沒有吸收波長,所以,在可見光區域透明性好,因此,如果將其作為塗布劑、粘合劑、塗料等的陽離子光聚合引發劑使用時,可以達到對所得到的聚合物的透明性沒有影響的效果。
另外,在本發明的用通式[37]及[38]表示的碘鎓鹽中,陽離子部含有2個雜環的物質,在將高壓水銀燈或金屬滷化物燈作為光源使用時,由於光的吸收效率更加提高,所以,當將它們作為光源使用時,可更加高效的產生酸。
另外,本發明的用通式[8]、[9]、[37]及[38]表示的鎓鹽不會產生,以往鋶鹽及碘鎓鹽所具有的、當其對陰離子為PF6-等時,光固化顯著下降的問題,即使採用具有這些對陰離子的物質,仍可以得到具有高硬度的聚合物。
相對於此,雖然作為本發明的類似化合物的2-(苯基碘鎓)黃-9-酮四氟硼酸鹽(BF4-)是在陽離子部含有1個雜環的碘鎓鹽,但是,由於陰離子是來自無機強酸中的弱酸的BF-,所以,當將高壓水銀燈或金屬滷化物燈作為光源使用時,具有如酸的發生效率低,有必要添加增敏劑等的缺點。
因此,將上述通式[8]及[37]表示的鎓鹽作為陽離子性光聚合引發劑使用時,可以生成具有良好的透明性及高硬度的聚合物,而將通式[9]及[38]表示的鎓鹽作為抗蝕劑用酸發生劑使用時,可製得高敏感度的抗蝕劑組合物。
下面通過實施例,更具體的說明本發明,但本發明不受其限定。
實施例實施例1 (香豆素-7-基)-二苯基鋶三氟甲磺酸鹽的合成把二苯基亞碸20.2g(0.1mol)及香豆素17.5g(0.12mol)溶解在1,2-二氯甲烷160ml中,於-70~-60℃往裡滴加三氟甲磺酸酐,緩慢升至室溫,攪拌反應2小時。反應終止後,將其用160ml水清洗5次,減壓濃縮後,把得到的粗產物用柱色譜法進行精製,得到淡黃色玻璃狀物的目的物32.1g(收率67%)。
1H NMR(CDCl3)δppm6.53(1H,d,Ar-H),7.55(1H,d,Ar-H),7.71~7.79(11H,m,Ar-H),8.02(1H,d,Ar-H),8.49(1H,s,Ar-H),實施例2 (香豆素-7-基)-二苯基鋶六氟磷酸鹽的合成把實施例1中得到的(香豆素-7-基)-二苯基鋶三氟甲磺酸鹽24.0(0.05mol)溶於1,2-二氯甲烷200ml,往裡添加六氟磷酸鉀18.4g(0.1mol)及水200ml,於室溫攪拌2小時。然後進行分液,往得到的二氯甲烷層中再次添加六氟磷酸鉀9.2g(0.05mol)及水100ml,於室溫攪拌2小時。然後進行分液,把得到的二氯甲烷層用200ml水進行洗滌,減壓濃縮乾燥,得到淡黃色玻璃狀物的目的物23.8g(收率98%)。
1H NMR(CDCl3)δppm6.63(1H,d,Ar-H),7.55(1H,d,Ar-H),7.69~7.82(11H,m,Ar-H),7.92(1H,d,Ar-H),8.19(1H,s,Ar-H),實施例3 二苯基-(呫噸-9-酮-2-基)-鋶三氟甲磺酸鹽的合成把二苯基亞碸20.2g(0.1mol)及呫噸-9-酮19.6g(0.1mol)溶於1,2-二氯甲烷320ml,於-70~-60℃往裡滴加三氟甲磺酸酐28.2g(0.1mol),緩慢升至室溫,攪拌反應4小時。反應終止後,將其用160ml水清洗4次,減壓濃縮後,把得到的粗產物用柱色譜法進行精製,得到淡褐色玻璃狀物的目的物30.7g(收率58%)。
1H NMR(CDCl3)δppm7.49(1H,t,Ar-H),7.60(1H,d,Ar-H),7.72~7.86(11H,m,Ar-H),7.94(1H,d,Ar-H),8.25(1H,t,Ar-H),8.48(1H,d,Ar-H),實施例4 二苯基-(呫噸-9-酮-2-基)-鋶六氟磷酸鹽的合成代替實施例2中使用的二苯基-(香豆素-6-基)-鋶三氟甲磺酸鹽來使用二苯基-(呫噸-9-酮-2基)-鋶三氟甲磺酸鹽26.5g(0.05mol)以外,與實施例2進行同樣的操作,得到淡褐色玻璃狀物的目的物24.6g(收率94%)。
1H NMR(CDCl3)δppm7.27(1H,t,Ar-H),7.59(1H,d,Ar-H),7.72~7.89(11H,m,Ar-H),7.94(1H,d,Ar-H),8.25(1H,t,Ar-H),8.48(1H,d,Ar-H),實施例5 二(香豆素-7-基)-碘鎓-六氟磷酸鹽的合成把香豆素14.6g(0.1mol)溶於50ml乙酸酐,於0℃往裡添加碘酸鉀10.7g(0.05mol)。然後,於0~7℃用2小時往其中滴加濃硫酸25g(0.25mol)和乙酸酐30g的混合酸,緩慢升至室溫,攪拌反應5小時。反應終止後,把反應液注入200ml冰水中,添加六氟化磷酸鉀18.4g(0.1mol)。往裡注入100ml 1,2-二氯甲烷,於室溫攪拌2小時。濾取析出的結晶,得到淡黃色結晶8.0g。把得到的結晶溶於60ml丙酮,緩慢注入100ml乙酸乙酯,使結晶析出。濾取,於50℃真空乾燥2小時,得到淡黃色結晶的目的物6.5g(收率23%)。
熔點227~228℃(分解)1H NMR(CDCl3)δppm6.64(2H,d,Ar-H),7.56(2H,d,Ar-H),8.06(2H,d,Ar-H),8.42(2H,d,Ar-H),8.61(2H,s,Ar-H),實施倒6 二(呫噸-9-酮-2-基)-碘鎓六氟磷酸鹽的合成把呫噸-9-酮19.6g(0.1mol)懸浮在100ml乙酸酐中,於0℃往其中添加碘酸鉀10.7g(0.05mol)。然後,於0~7℃用2小時往其中滴加濃硫酸25g(0.25mol)和乙酸酐30g的混合酸,緩慢升至室溫,攪拌反應6小時。反應終止後,把反應液注入200ml冰水中,往裡注入100ml 1,2-二氯甲烷,使不溶物溶解。往其中添加六氟磷酸鉀18.4g(0.1mol),於室溫攪拌2小時。濾取析出的結晶,得到黃褐色結晶8.0g。把得到的結晶溶於100ml丙酮,緩慢注入100ml乙酸乙酯,使結晶析出。濾取,於50℃真空乾燥2小時,得到黃褐色結晶的目的物6.6g(收率20%)。
熔點223℃(分解)1H NMR(CDCl3)δppm7.53(2H,t,Ar-H),7.69(2H,d,Ar-H),7.85~7.94(4H,m,Ar-H),8.20(2H,d,Ar-H),8.75(2H,d,Ar-H),9.23(2H,s,Ar-H),實施例 7.7-(苯基碘鎓)香豆素六氟磷酸鹽的合成使香豆素7.3g(0.05mol)及碘苯二乙酸酯16.1g(0.05mol)懸浮在80ml乙酸酐中,於0~7℃用1小時往裡滴加濃硫酸10g(0.1mol),緩慢上升至室溫,攪拌反應8小時。反應終止後,把反應液注入200ml冰水中,往裡添加1,2-二氯甲烷150ml,使不溶物溶解。往其中添加六氟化磷酸鉀18.4g(0.1mol),於室溫攪拌2小時。然後,進行分液,把得到的二氯甲烷層用100ml水洗滌2次。把得到的二氯甲烷層通過減壓進行半濃縮,濾取析出的結晶,於50℃真空乾燥2小時,得到淡黃色結晶的目的物2.4g。(收率10%)。
熔點211℃(分解)1H NMR(CDCl3)δppm6.64(1H,d,Ar-H),7.57(3H,t,Ar-H),7.68(1H,t,Ar-H),8.05(1H,d,Ar-H),8.25(2H,d,Ar-H),8.41(1H,d,Ar-H),8.63(1H,s,Ar-H)實施例8. 2-(苯基碘鎓)呫噸-2-酮六氟磷酸鹽的合成使呫噸-9-酮9.8g(0.05mol)及碘苯二乙酸酯16.1g(0.05mol)懸浮在乙酸酐80ml中,於0~7℃用1小時往裡滴加濃硫酸10g(0.1mol),緩慢上升至室溫,攪拌反應8小時。反應終止後,把反應液注入200ml冰水中,添加150ml甲苯,使不溶物溶解,進行分液。往水層添加六氟化磷酸鉀18.4g(0.1mol),於室溫攪拌2小時。濾取析出的結晶,於50℃真空乾燥2小時,得到淡黃色結晶目的物16.1g(收率59%)。
熔點222℃(分解)
1H NMR(CDCl3)δppm7.51~7.58(3H,m,Ar-H),7.69(2H,t,Ar-H),7.83(1H,d,Ar-H),7.93(1H,t,Ar-H),8.20(1H,d,Ar-H),8.36(2H,d,Ar-H),8.62(1H,d,Ar-H),9.05(1H,s,Ar-H)比較例1 二苯基-(硫代呫噸-9-酮-2-基)-鋶三氟甲磺酸鹽的合成把二苯基亞碸20.2g(0.1mol)及硫代呫噸-9-酮21.2g(0.1mol)懸浮於1,2-二氯甲烷320ml,於-70~-60℃往裡滴加三氟甲磺酸酐28.2g(0.1mol),緩慢升至室溫,攪拌反應3小時。反應終止後,將其用320ml水清洗5次,把得到的二氯甲烷層通過減壓濃縮乾燥,把得到的粗產物用柱色譜法進行精製,得到黃色玻璃狀物的目的物18.6g(收率34%)。
1H NMR(CDCl3)δppm7.40~7.83(11H,m,Ar-H),7.93(1H,q,Ar-H),8.02(1H,d,Ar-H),8.27(1H,q,Ar-H),8.54(1H,d,Ar-H),8.60(1H,d,Ar-H),8.68(1H,s,Ar-H)比較例2 二苯基-(硫代呫噸-9-酮-2-基)-鋶六氟磷酸鹽的合成代替實施例2中使用的二苯基-(香豆素-6-基)-鋶三氟甲磺酸鹽來使用二苯基-(硫代呫噸-9-酮-2基)-鋶三氟甲磺酸鹽13.7g(0.025mol)以外,與實施例2進行同樣的操作,得到黃色玻璃狀物的目的物13.0g(收率96%)。
1H NMR(CDCl3)δppm7.45~7.85(11H,m,Ar-H),7.96(1H,q,Ar-H),7.98(1H,d,Ar-H),8.08(1H,q,Ar-H),8.52(1H,d,Ar-H),8.60(1H,d,Ar-H),8.73(1H,s,Ar-H)比較例3 二苯基-(7-氯硫代呫噸-9-酮-2-基)-鋶六氟磷酸鹽的合成把二苯基亞碸20.2g(0.1mol)及2-氯硫代呫噸-9-酮24.6g(0.1mol)懸浮在1,2-二氯甲烷320ml中,於-70~-60℃往其中滴加三氟甲磺酸酐28.2g(0.1mol),緩慢升至室溫,攪拌反應3小時。反應終止後,用320ml水洗滌5次,往得到的二氯甲烷層添加六氟磷酸鉀18.4g(0.1mol)及水200ml,於室溫攪拌2小時,然後進行分液,再往二氯甲烷層添加六氟磷酸鉀9.2g(0.05mol)及水100ml,於室溫攪拌2小時。然後,進行分液,把得到的二氯甲烷層用200ml水進行洗滌,減壓濃縮乾燥,把得到的粗產物用柱色譜法進行精製,得到淡黃色玻璃狀物目的物4.0g(收率7%)。
1H NMR(CDCl3)δppm7.79~7.95(11H,m,Ar-H),8.05(1H,q,Ar-H),8.14(1H,d,Ar-H),8.31(1H,d,Ar-H),8.37(1H,s,Ar-H),8.73(1H,s,Ar-H)比較例4 二苯基-(5,7-二乙基硫代呫噸-9-酮-2-基)-鋶三氟甲磺酸鹽的合成把二苯基亞碸20.2g(0.1mol)及2,4-二乙基呫噸-9-酮26.8g(0.1mol)溶解在1,2-二氯甲烷中,於-70~-60℃往裡滴加三氟甲磺酸酐28.2g(0.1mol),緩慢升至室溫,攪拌反應4小時。反應終止後,用160ml水清洗4次,減壓濃縮後,把得到的粗產物用柱色譜法精製,得到黃色玻璃狀物的目的物38.6g(收率64%)。
1H NMR(CDCl3)δppm1.28(3H,t,CH3),1.38(3H,t,CH3),2.80(2H,q,CH2),2.93(2H,q,CH2),7.46(1H,s,Ar-H),7.70~7.85(11H,m,Ar-H),8.07(1H,w,Ar-H),8.28(1H,s,Ar-H),8.66(1H,s,Ar-H)比較例5 二苯基-(5,7-二乙基硫代呫噸-9-酮-2-基)-鋶六氟磷酸鹽的合成除了代替實施例2中使用的二苯基-(香豆素-6-基)-鋶三氟甲磺酸鹽來使用二苯基-(5,7-二乙基硫代呫噸-9-酮-2-基)-鋶三氟甲磺酸鹽30.1(0.05mol)以外,與實施例2進行同樣的操作,得到黃色玻璃狀物的目的物29.0g(收率97%)。
1H NMR(CDCl3)δppm1.32(3H,t,CH3),1.36(3H,t,CH3),2.77(2H,q,CH2),2.91(2H,q,CH2),7.46(1H,s,Ar-H),7.72~7.85(11H,m,Ar-H),8.05(1H,w,Ar-H),8.28(1H,s,Ar-H),8.71(1H,s,Ar-H)比較例6 2-(苯基碘鎓)呫噸-9-酮四氟硼酸酯的合成把呫噸-9-酮9.8g(0.05mol)及碘苯二乙酸酯16.1g(0.05mol)懸浮在乙酸酐80ml中,於0~7℃用1小時往其中滴加濃硫酸10g(0.1mol),溫度緩慢升至室溫,攪拌反應8小時。反應終止後。把反應液注入200ml冰水中,添加150ml甲苯,使不溶物溶解。進行分液,往水層添加四氟硼酸鉀12.6g(0.1mol),於室溫攪拌2小時。濾取析出的結晶,於50℃真空乾燥2小時,得到橙色結晶的2-(苯基碘鎓)呫噸-9-酮四氟硼酸酯11.4g(收率47%)。
熔點229~231℃(分解)1H NMR(CDCl3)δppm7.51~7.56(3H,Q,Ar-H),7.66~7.73(2H,m,Ar-H),7.83(1H,d,Ar-H),7.93(1H,t,Ar-H),8.20(1H,d,Ar-H),8.36(2H,d,Ar-H),8.62(1H,d,Ar-H),9.06(1H,s,Ar-H)實施例9 紫外一可見吸收光譜的測定製備實施例1~8及比較例1~6的化合物的0.0016(w/v)%乙腈溶液(約3×10-5mol/l),測定紫外一可見吸收光譜。另外,作為參考,同樣測定三苯基鋶六氟磷酸鹽(參考例1)、二苯基碘鎓六氟磷酸鹽(參考例2)的吸收光譜。將表示極大吸收波長(nm)及在該波長的分子吸光係數(ε)、以及在300nm、350nm、400nm的分子吸光係數(ε)的結果示於表1。另外,涉及鋶鹽的吸收曲線數據示於圖1及圖2,涉及碘鎓鹽的吸收曲線數據示於圖3。
還有,圖1中的各曲線分別表示如下。
—□—線本發明涉及的鋶鹽(實施例1)—◇—線本發明涉及的鋶鹽(實施例2)—△—線本發明涉及的鋶鹽(實施例3)—○—線本發明涉及的鋶鹽(實施例4)圖2中的各曲線分別表示如下。
—◇—線比較例1的化合物—△—線比較例2的化合物—□—線比較例3的化合物…×…線比較例4的化合物…○…線比較例5的化合物—+—線參考例1的化合物圖3中的各曲線分別表示如下。
—□—線本發明涉及的碘鎓鹽(實施例5)—◇—線本發明涉及的碘鎓鹽(實施例6)—△—線本發明涉及的碘鎓鹽(實施例7)
—○—線本發明涉及的碘鎓鹽(實施例8)—×—線比較例6的化合物—+—線參考例2的化合物表1
從圖1及2的結果可知,作為現有的鋶鹽的二苯基鋶六氟磷酸鹽(參考例1),幾採沒有300nm及300nm以上的吸收,另外,具有硫代呫噸骨架的鋶六氟磷酸鹽(比較例1~5),由於在400nm及400nm以上的區域有吸收,所以呈黃色。因此,這些化合物,例如採用以紫外區域(300nm~)以上的波長作為有效波長的高壓水銀燈光作為光源的陽離子性光聚合引發劑,進行單體聚合時,採用三苯基鋶六氟磷酸鹽(參考例1)時,存在例如酸發生效率惡化的問題,而採用具有硫代呫噸骨架的鋶六氟磷酸鹽(比較例1~5)時,雖然如酸發生效率好,但這些化合物本身在可見區域呈黃色,所以,得到的聚合物也帶黃色,存在透明性低等問題。
相對於此,本發明的鋶鹽,在300nm~360nm區域有吸收,在400nm或400nm以上無吸收,所以,如將其用作以高壓水銀燈作為光源的陽離子性光聚合引發劑,進行單體的聚合,則有效地產生酸,另外,所得到的聚合物在可見區域形成透明性良好的化合物。
另外,從圖3的結果可知,作為現有的碘鎓鹽的二苯基碘鎓六氟磷酸鹽在300nm或300nm以上幾乎沒有吸收,而本發明的碘鎓鹽,在300nm或300nm以上有吸收,而在400nm或400nm以上幾乎沒有吸收,所以,與本發明的鋶鹽同樣,如將其用作以高壓水銀燈作為光源的陽離子性光聚合引發劑,進行單體的聚合,則有效地產生酸,另外,所得到的聚合物在可見區域顯示高透明性。
實施例10 光固化試驗把3,4-環氧環己基甲基-3,4-環氧環己羧酸酯7g、環己烯化氧3g、及作為陽離子性光聚合引發劑的實施例2~4中得到的化合物的50%(w/w)碳酸丙酯溶液0.20g加以混合。把該溶液在玻璃板上塗布,使膜厚達到40±10μm,用50W/cm高壓水銀燈照射60秒。測定剛剛固化後和1日後的鉛筆硬度。另外,也同時進行作為比較例的三苯基鋶六氟磷酸鹽的光固化試驗。其結果示於表2。
表2
從表2可知,實施例2的鋶鹽和、三苯基鋶六氟磷酸鹽、實施例5、6及8的碘鎓鹽和二苯基碘鎓六氟磷酸鹽比較時,本發明的鋶鹽和碘鎓鹽,在剛固化後,顯示與現有的鋶鹽及碘鎓鹽相同或比相同更以上的硬度,在固化一天後,顯示比現有的鋶鹽及碘鎓鹽更高的硬度。
比較例1、2及5的具有硫代呫噸骨架的鋶鹽和本發明的鋶鹽(實施例2)比較時,比較例2的化合物顯示比本申請的化合物更高的硬度,但如同表1所示,由於具有硫代呫噸骨架的鋶鹽呈黃色,所以,在用作如塗布劑、粘合劑、塗料等時,所得到的聚合物透明性變差,所以不理想。
另外,當實施例8的化合物(PF-6)和比較例6的化合物(BF-4)比較時,本發明的碘鎓鹽與現有的碘鎓鹽相比,剛固化後及固化一天後均顯示高硬度。另外,當實施例5及6和實施例8的結果比較時,碘鎓鹽時,通式[35]中的R26和R27的任何一種,比從通式[2]或[3]得到的聚合物硬度高。
實施例11 光聚合試驗配製作為陽離子性光聚合引發劑的通過實施例4~8得到的化合物的20%(w/w)碳酸丙酯溶液,將其添加到50.00g環己烯化氧中至使聚合引發劑的濃度達到0.5%(w/w),充分加以混合。取5ml該溶液放入試管中,用氮氣鼓泡後,用帕拉膜密封。在水浴中把該反應液的內溫調整至17~22℃之間,用100W高壓水銀燈(富士ガラス(株)社制HL-100型)在測定距離7cm進行規定時間的光照射後,在過量的甲醇溶液中使聚合物沉澱。把得到的聚合物洗滌數次後,用玻璃過濾器過濾,進行乾燥。通過聚合物乾燥後的重量除放入試管時刻的單體重量來算出聚合率。
測定了相對於照射時間的聚合率。其結果示於圖4。
還有,圖4中各曲線分別表示如下。
—□—線實施例4的化合物—*—線實施例5的化合物—◇—線實施例6的化合物—○—線實施例8的化合物…+…線比較例2的化合物…△…線比較例3的化合物從圖4的結果可知,實施例2、4~6的化合物用作聚合引發劑時,與比較例2及3的化合物用作聚合引發劑時相比,顯示幾乎同樣的聚合率。
產業上利用的可能性本發明的鎓鹽,由於在陽離子部含有雜環,所以在例如高壓水銀燈光、金屬滷化物燈光、紫外線、遠紫外線、KrF激發物雷射、ArF激發物雷射、F2激發物雷射、電子束、X線、放射線等,特別是用高壓水銀燈光、金屬滷化物燈光等中光吸收效率高。因此,用通式[8]、[9]、[37]及[38]表示的鎓鹽,與現有的鎓鹽相比,在各種光源中,特別是在將高壓水銀燈或金屬滷化物燈作為光源使用時,具有酸的發生效率高的優點。然而,本發明的鎓鹽,由於在400nm或400nm以上幾乎沒有吸收,所以當將其作為陽離子光聚合引發劑使用時所得到的聚合物,具有對可見光區域的透明性幾乎沒有影響的效果。另外,將這些鎓鹽作為化學放大型抗蝕劑用酸發生劑使用時,可以得到對高壓水銀燈或金屬滷化物燈的光源具有高敏感度的抗蝕劑組合物。
權利要求
1.一種通式[1]或[35]表示的含雜環鎓鹽, [式中,R表示通式[2]表示的基團或通式[3]表示的基團, (式中,R3及R4分別獨立且表示滷原子、可具有滷原子或芳基作為取代基的烷基、或者可具有滷原子或低級烷基作為取代基的芳基,X2表示氧原子或硫原子,i表示0~4的整數,j表示0~3的整數); (式中,R5及R6分別獨立並表示滷原子、可具有滷原子或芳基作為取代基的烷基、或者可具有滷原子或低級烷基作為取代基的芳基,X3及X4分別獨立且表示氧原子或硫原子,p表示0~2的整數,q表示0~3的整數);R1及R2分別獨立且表示滷原子、可具有滷原子或芳基作為取代基的烷基、或者可具有滷原子或低級烷基作為取代基的芳基,m及n分別獨立且表示0~5的整數;A表示滷原子、或者來自無機強酸、有機酸或通式[4]表示的化合物的陰離子,HM1(R7)4[4](式中,M1表示硼原子或鎵原子,R7表示可具有選自滷代低級烷基、滷原子、硝基及氰基的取代基的芳基)]; [式中,R26及R27分別獨立且表示可具有滷原子或低級烷基作為取代基的芳基、上述通式[2]表示的基團或通式[3]表示的基團,A3表示滷原子、或者來自無機強酸、有機酸或通式[4]表示的化合物的陰離子,但是,R26及R27中的至少一種是上述通式[2]或[3]表示的基團,另外,當R26及R27的任意一種中僅有一種是通式[2]或[3]表示的基團時,A3表示來自通式[36]表示的無機強酸、有機酸或通式[4]表示的化合物的陰離子,HM3F6[36](式中,M3表示磷原子、砷原子或銻原子)]。
2.按照權利要求1所述的鎓鹽,其中,含雜環鎓鹽是通式[1]表示的物質, [式中,R表示通式[2]表示的基團或通式[3]表示的基團, (式中,R3及R4分別獨立且表示滷原子、可具有滷原子或芳基作為取代基的烷基、或者可具有滷原子或低級烷基作為取代基的芳基,X2表示氧原子或硫原子,i表示0~4的整數,j表示0~3的整數); (式中,R5及R6分別獨立且表示滷原子、可具有滷原子或芳基作為取代基的烷基、或者可具有滷原子或低級烷基作為取代基的芳基,X3及X4分別獨立且表示氧原子或硫原子,p表示0~2的整數,q表示0~3的整數),R1及R2分別獨立且表示滷原子、可具有滷原子或芳基作為取代基的烷基、或者可具有滷原子或低級烷基作為取代基的芳基,m及n分別獨立且表示0~5的整數;A表示滷原子,或者來自無機強酸、有機酸或通式[4]表示的化合物的陰離子,HM1(R7)4[4](式中,M1表示硼原子或鎵原子,R7表示可具有選自滷代低級烷基、滷原子、硝基及氰基的取代基的芳基)]。
3.按照權利要求1所述的鎓鹽,其中,含雜環鎓鹽是通式[35]表示的物質, [式中,R26及R27分別獨立且表示可具有滷原子或低級烷基作為取代基的芳基、通式[2]表示的基團或通式[3]表示的基團, (式中,R3及R4分別獨立且表示滷原子、可具有滷原子或芳基作為取代基的烷基、或者可具有滷原子或低級烷基作為取代基的芳基,X2表示氧原子或硫原子,i表示0~4的整數,j表示0~3的整數); (式中,R5及R6分別獨立且表示滷原子、可具有滷原子或芳基作為取代基的烷基、或者可具有滷原子或低級烷基作為取代基的芳基,X3及X4分別獨立且表示氧原子或硫原子,p表示0~2的整數,q表示0~3的整數),A3表示滷原子、或者來自或無機強酸、有機酸或通式[4]表示的化合物的陰離子,HM1(R7)4[4](式中,M1表示硼原子或鎵原子,R7表示可具有選自滷代低級烷基、滷原子、硝基及氰基的取代基的芳基),但是,R26及R27中的至少一種是上述通式[2]或[3]表示的基團,另外,當R26及R27的任意一種中僅有一種是通式[2]或[3]表示的基團時,A3是來自通式[36]表示的無機強酸、有機酸或通式[4]表示的化合物的陰離子,HM3F6[36](式中,M3表示磷原子、砷原子或銻原子)]。
4.按照權利要求2所述的鹽,其中,用A表示的來自無機強酸的陰離子是來自硝酸、硫酸、滷代硫酸、高滷酸或通式[5]表示的化合物的陰離子,HM2Fk[5](式中,M2表示準金屬原子或金屬原子,k表示4或6的整數)。
5.按照權利要求4所述的鹽,其中,用M2表示的準金屬原子是硼原子、矽原子、磷原子、砷原子或銻原子,金屬原子是鋁原子、鈦原子、鐵原子、鎳原子、鋯原子或鎵原子。
6.按照權利要求2所述的鹽,其中,用A表示的來自有機酸的陰離子是來自通式[6]表示的磺酸或通式[7]表示的羧酸的陰離子,R8-SO3H[6](式中,R8表示可具有滷原子的烷基、芳基或芳烷基);R9-COOH[7](式中,R9表示可具有滷原子的烷基、芳基或芳烷基)。
7.按照權利要求2所述的鹽,其中,R為通式[2]表示的基團。
8.按照權利要求7所述的鹽,其中,通式[2]中的X2為氧原子。
9.按照權利要求7所述的鹽,其中,通式[2]表示的基團為呫噸酮基。
10.按照權利要求2所述的鹽,其中,R為通式[3]表示的基團。
11.按照權利要求10所述的鹽,其中,通式[3]中的X3及X4為氧原子。
12.按照權利要求10所述的鹽,其中,通式[3]表示的基團為香豆素基。
13.按照權利要求2所述的鹽,其中,通式[1]表示的鋶鹽是二苯基-(呫噸-9-酮-2-基)-鋶六氟磷酸鹽或(香豆素-7-基)-二苯基鋶六氟磷酸鹽。
14.按照權利要求3所述的鹽,其中,用A3表示的來自無機強酸的陰離子是來自硝酸、硫酸、滷代硫酸、高滷酸或通式[5]表示的無機強酸的陰離子,HM2Fk[5](式中,M2表示準金屬原子或金屬原子,k表示4或6的整數)。
15.按照權利要求14所述的鹽,其中,用M2表示的準金屬原子是硼原子、矽原子、磷原子、砷原子或銻原子,金屬原子是鋁原子、鈦原子、鐵原子、鎳原子、鋯原子或鎵原子。
16.按照權利要求3所述的鹽,其中,用A3表示的來自有機酸的陰離子是來自通式[6]表示的磺酸或通式[7]表示的羧酸的陰離子,R8-SO3H[6](式中,R8表示可具有滷原子的烷基、芳基或芳烷基);R9-COOH[7](式中,R9表示可具有滷原子的烷基、芳基或芳烷基)。
17.按照權利要求3所述的鹽,其中,R26及R27為通式[2]表示的基團。
18.按照權利要求17所述的鹽,其中,通式[2]中的X2為氧原子。
19.按照權利要求17所述的鹽,其中,通式[2]表示的基團為呫噸酮基。
20.按照權利要求3所述的鹽,其中,R26及R27為通式[3]表示的基團。
21.按照權利要求20所述的鹽,其中,通式[3]中的X3及X4為氧原子。
22.按照權利要求20所述的鹽,其中,通式[3]表示的基團為香豆素基。
23.按照權利要求3所述的鹽,其中,通式[35]表示的碘鎓鹽是二(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓六氟磷酸鹽或二(香豆素-7-基)碘鎓六氟磷酸鹽。
24.一種陽離子性光聚合引發劑,其包括通式[8]表示的含雜環鋶鹽, [式中,R表示通式[2]表示的基團或通式[3]表示的基團, (式中,R3及R4分別獨立且表示滷原子、可具有滷原子或芳基作為取代基的烷基、或者可具有滷原子或低級烷基作為取代基的芳基,X2表示氧原子或硫原子,i表示0~4的整數,j表示0~3的整數); (式中,R5及R6分別獨立且表示滷原子、可具有滷原子或芳基作為取代基的烷基、或者可具有滷原子或低級烷基作為取代基的芳基,X3及X4分別獨立且表示氧原子或硫原子,p表示0~2的整數,q表示0~3的整數);R1及R2分別獨立且表示滷原子、可具有滷原子或芳基作為取代基的烷基、或者可具有滷原子或低級烷基作為取代基的芳基,m及n分別獨立且表示0~5的整數;A1表示來自無機強酸、有機酸或通式[4]表示的化合物的陰離子,HM1(R7)4[4](式中,M1表示硼原子或鎵原子,R7表示可具有選自滷代低級烷基、滷原子、硝基及氰基的取代基的芳基)]。
25.按照權利要求24所述的聚合引發劑,其中,A1是來自通式[4]表示的化合物或通式[5]表示的無機強酸的基團,HM2Fk[5](式中,M2表示準金屬原子或金屬原子,k表示4或6的整數)。
26.按照權利要求24所述的聚合引發劑,其中,通式[8]表示的鋶鹽是二苯基-(呫噸-9-酮-2-基)-鋶六氟磷酸鹽或(香豆素-7-基)-二苯基鋶六氟磷酸鹽。
27.一種陽離子性光聚合引發劑,其包括通式[37]表示的含雜環碘鎓鹽, [式中,R26及R27分別獨立且表示可具有滷原子或低級烷基作為取代基的芳基、通式[2]表示的基團或通式[3]表示的基團, (式中,R3及R4分別獨立且表示滷原子、可具有滷原子或芳基作為取代基的烷基、或者可具有滷原子或低級烷基作為取代基的芳基,X2表示氧原子或硫原子,i表示0~4的整數,j表示0~3的整數); (式中,R5及R6分別獨立且表示滷原子、可具有滷原子或芳基作為取代基的烷基、或者可具有滷原子或低級烷基作為取代基的芳基,X3及X4分別獨立且表示氧原子或硫原子,p表示0~2的整數,q表示0~3的整數),A4表示來自無機強酸、磺酸或通式[4]表示的化合物的陰離子,HM1(R7)4[4](式中,M1表示硼原子或鎵原子,R7表示可具有選自滷代低級烷基、滷原子、硝基及氰基的取代基的芳基),但是,R26及R27中的至少1種是上述通式[2]或[3]表示的基團,當R26及R27的任意一種中僅有一種是通式[2]或[3]表示的基團時,無機強酸是通式[36]表示的酸,HM3F6[36](式中,M3表示磷原子、砷原子或銻原子)]。
28.按照權利要求27所述的聚合引發劑,其中,A4是來自通式[4]表示的化合物或通式[5]表示的無機強酸的基團HM2Fk[5](式中,M2表示準金屬原子或金屬原子,k表示4或6的整數)。
29.按照權利要求27所述的聚合引發劑,其中,通式[37]表示的碘鎓鹽是二(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓六氟磷酸鹽或二(香豆素-7-基)碘鎓六氟磷酸鹽。
30.一種環氧單體的聚合方法,其特徵在於,採用權利要求24所述的聚合引發劑。
31.一種乙烯基醚單體的聚合方法,其特徵在於,採用權利要求24所述的聚合引發劑。
32.一種環氧單體的聚合方法,其特徵在於,採用權利要求27所述的聚合引發劑。
33.一種乙烯基醚單體的聚合方法,其特徵在於,採用權利要求27所述的聚合引發劑。
34.一種抗蝕劑用酸發生劑,其包括通式[9]表示的鋶鹽, [式中,R表示通式[2]表示的基團或通式[3]表示的基團, (式中,R3及R4分別獨立且表示滷原子、可具有滷原子或芳基作為取代基的烷基、或者可具有滷原子或低級烷基作為取代基的芳基,X2表示氧原子或硫原子,i表示0~4的整數,j表示0~3的整數); (式中,R5及R6分別獨立且表示滷原子、可具有滷原子或芳基作為取代基的烷基、或者可具有滷原子或低級烷基作為取代基的芳基,X3及X4分別獨立且表示氧原子或硫原子,p表示0~2的整數,q表示0~3的整數);R1及R2分別獨立且表示滷原子、可具有滷原子或芳基作為取代基的烷基、或者可具有滷原子或低級烷基作為取代基的芳基,m及n分別獨立且表示0~5的整數;A2表示來自無機強酸、有機酸或通式[4]表示的化合物的陰離子,HM1(R7)4[4](式中,M1表示硼原子或鎵原子,R7表示可具有選自滷代低級烷基、滷原子、硝基及氰基的取代基的芳基)]。
35.按照權利要求34所述的酸發生劑,其中,通式[9]表示的鋶鹽是二苯基-(呫噸-9-酮-2-基)-鋶六氟磷酸鹽或(香豆素-7-基)-二苯基鋶六氟磷酸鹽。
36.一種抗蝕劑用酸發生劑,其包括通式[38]表示的碘鎓鹽, [式中,R26及R27分別獨立且表示可具有滷原子或低級烷基作為取代基的芳基、通式[2]表示的基團或通式[3]表示的基團, (式中,R3及R4分別獨立且表示滷原子、可具有滷原子或芳基作為取代基的烷基、或者可具有滷原子或低級烷基作為取代基的芳基,X2表示氧原子或硫原子,i表示0~4的整數,j表示0~3的整數); (式中,R5及R6分別獨立且表示滷原子、可具有滷原子或芳基作為取代基的烷基、或者可具有滷原子或低級烷基作為取代基的芳基,X3及X4分別獨立且表示氧原子或硫原子,p表示0~2的整數,q表示0~3的整數);A5表示來自無機強酸、有機酸或通式[4]表示的化合物的陰離子,HM1(R7)4[4](式中,M1表示硼原子或鎵原子,R7表示可具有選自滷代低級烷基、滷原子、硝基及氰基的取代基的芳基),但是,R26及R27中的至少1種是上述通式[2]或[3]表示的基團,另外,當R26及R27的任意一種中僅有一種是通式[2]或[3]表示的基團時,無機強酸是通式[36]表示的酸,HM3F6[36](式中,M3表示磷原子、砷原子或銻原子)]。
37.按照權利要求36所述的酸發生劑,其中,通式[38]表示的碘鎓鹽為二(呫噸-9-酮-2-基)碘鎓六氟磷酸鹽或(香豆素-7-基)碘鎓六氟磷酸鹽。
全文摘要
本發明涉及適用於陽離子性光聚合引發劑、化學放大型抗蝕劑用酸發生劑的含雜環鎓鹽,提供一種用通式[1](式中,R表示用通式[2]或通式[3]表示的基團)表示的含雜環的鋶鹽如右式(1)、(2)或用通式[35]表示的含雜環的鎓鹽,如式[35] (式中,R
文檔編號C08G59/68GK1622943SQ0282846
公開日2005年6月1日 申請日期2002年10月11日 優先權日2002年3月4日
發明者石原正巳, 浦野洋治, 高橋昌弘 申請人:和光純藥工業株式會社