熱電轉換模塊的製造方法和熱電轉換模塊的製作方法

2023-07-11 14:39:56 2

專利名稱：熱電轉換模塊的製造方法和熱電轉換模塊的製作方法
技術領域：
本發明涉及熱電轉換模塊的製造方法和熱電轉換模塊。
背景技術：
作為用於使熱電轉換模塊高密度化的模塊的製造方法的一種，舉出使ρ型熱電轉換元件和η型熱電轉換元件之間的寬度縮窄的方法，但在該情況下，需要對P型熱電轉換元件與η型熱電轉換元件之間進行絕緣。在專利文獻1中，公開了為了提高絕緣可靠性，在預先定位了的P型熱電轉換元件和η型熱電轉換元件之間的間隙中使絕緣性樹脂流入的模塊的製造方法。現有技術文獻專利文獻
專利文獻1 日本特開2003-282972號公報。

發明內容
發明要解決的課題
可是，P型熱電轉換元件和η型熱電轉換元件的定位由於熱電轉換元件小等原因，是使熱電轉換模塊的製造變得麻煩的一種作業。因此，本發明的目的在於提供一種不需要熱電轉換元件的定位，能夠獲得絕緣性高且高密度的熱電轉換模塊的熱電轉換模塊的製造方法、以及由此製造的熱電轉換模塊。用於解決課題的方案
本發明熱電轉換模塊的製造方法，具備覆蓋工序，以絕緣膜覆蓋P型熱電轉換元件的表面中的至少除了應該與電極相向的面之外的面和/或η型熱電轉換元件的表面中的至少除了應該與電極相向的面之外的面；以及將P型熱電轉換元件的表面中的除了應該與電極相向的面之外的面、以及η型熱電轉換元件的表面中的除了應該與電極相向的面之外的面，經由絕緣膜重合的工序。根據本發明，以絕緣膜覆蓋ρ型熱電轉換元件的表面中的至少除了應該與電極相向的面之外的面和/或η型熱電轉換元件的表面中的至少除了應該與電極相向的面之外的面，將P型熱電轉換元件的表面中的除了應該與電極相向的面之外的面、以及η型熱電轉換元件的表面中的除了應該與電極相向的面之外的面，經由絕緣膜重合，因此P型熱電轉換元件和η型熱電轉換元件通過絕緣膜而被絕緣，不進行定位，就能夠製造絕緣性高且高密度的熱電轉換模塊。在這裡，優選在覆蓋工序中，以絕緣膜覆蓋P型熱電轉換元件的全部表面和/或 η型熱電轉換元件的全部表面，進而，具備絕緣膜除去工序，針對在重合工序中重合了的ρ 型熱電轉換元件和η型熱電轉換元件，進行ρ型熱電轉換元件的表面中的應該與電極相向的面和/或η型熱電轉換元件的表面中的應該與電極相向的面的研磨，除去絕緣膜。根據本發明，因為以絕緣膜覆蓋ρ型熱電轉換元件的全部表面和/或η型熱電轉換元件的全部表面，所以對熱電轉換元件的表面覆蓋絕緣膜的工序例如將P型熱電轉換元件和/或η型熱電轉換元件浸漬在用於形成絕緣膜的組成物中即可實現，變得簡便。此外， 針對經由絕緣膜重合了的ρ型熱電轉換元件和η型熱電轉換元件，除去ρ型熱電轉換元件的表面中的應該與電極相向的面和/或η型熱電轉換元件的表面中的應該與電極相向的面的絕緣膜的工序，也對各熱電轉換元件的與電極相向的面進行一次研磨來除去絕緣膜，因此比較簡便。因此，與以和電極相向的面不被絕緣膜覆蓋的方式僅對各熱電轉換元件的表面的一部分有選擇地形成絕緣膜的情況相比，作為整體的工序被簡略化。此外，優選在絕緣膜除去工序之前，還具備通過將在所述重合工序中重合了的P 型熱電轉換元件和η型熱電轉換元件整體地固定，從而獲得熱電轉換塊的工序。通過將經由絕緣膜重合的P型熱電轉換元件和η型熱電轉換元件整體地固定，形成熱電轉換塊，重合的P型熱電轉換元件和η型熱電轉換元件被充分固定。由此，在本工序後，能夠容易地進行用於除去P型熱電轉換元件的表面中的與電極相向的面和/或η型熱電轉換元件電極的表面中的與電極相向的面的絕緣膜的研磨。進而，能夠容易地對該熱電轉換塊進行電極的接合等。此外，本發明的熱電轉換模塊具有ρ型熱電轉換元件；η型熱電轉換元件；電極， 對P型熱電轉換元件和η型熱電轉換元件進行電連接；絕緣膜，覆蓋ρ型熱電轉換元件的表面中的除了與電極相向的面之外的面；以及絕緣膜，覆蓋η型熱電轉換元件的表面中的除了與電極相向的面之外的面，P型熱電轉換元件和η型熱電轉換元件經由2個絕緣膜重合。根據本發明，以絕緣膜覆蓋ρ型熱電轉換元件的表面中的除了與電極相向的面之外的面、以及η型熱電轉換元件的表面中的除了與電極相向的面之外的面，並且ρ型熱電轉換元件和η型熱電轉換元件經由2個絕緣膜重合，由此能夠提供ρ型熱電轉換元件和η型熱電轉換元件的絕緣可靠性特別優越，並且高密度的熱電轉換模塊。發明的效果
根據本發明，能夠提供一種不需要熱電轉換元件的定位，能夠簡便地獲得絕緣性高且高密度的熱電轉換模塊的熱電轉換模塊的製造方法、以及由此製造的熱電轉換模塊。


圖1是本發明的第1實施方式涉及的熱電轉換模塊11的製造方法的一例的示意圖。圖2是本發明的實施方式涉及的熱電轉換模塊1的一例的剖面圖。圖3是本發明的第2實施方式涉及的熱電轉換模塊11的製造方法的一例的示意圖。圖4是本發明的實施方式涉及的熱電轉換模塊1的另一例的剖面圖。
具體實施例方式以下，一邊參照附圖，一邊針對本發明的優選實施方式詳細地進行說明。再有，在附圖的說明中，對同一或相當要素賦予同一符號，省略重複的說明。此外，各附圖的尺寸比率並不一定與實際的尺寸比率一致。首先，針對本實施方式的熱電轉換模塊的製造方法進行說明。
(第1實施方式涉及的熱電轉換模塊的製造方法)
首先，針對第1實施方式涉及的熱電轉換模塊(module)的製造方法進行說明。圖1是示意地表示第1實施方式涉及的熱電轉換模塊的製造方法的圖。第1實施方式的熱電轉換模塊的製造方法具備(a)熱電轉換元件準備工序；(b)向熱電轉換元件的絕緣膜覆蓋工序；(c)熱電轉換元件的重合工序；(d)電極接合工序。(a)熱電轉換元件準備工序
首先，例如如圖1 (a)所示，準備長方體的P型熱電轉換元件3和η型熱電轉換元件4。 熱電轉換元件的形狀不被特別限定，是長方體等的六面體、六稜柱、圓柱、圓盤狀也可。構成各熱電轉換元件的材料只要是具有P型半導體或η型半導體的性質的材料的話就不被特別限定，能夠使用金屬、金屬氧化物等的各種材料。ρ型熱電轉換元件3和η型熱電轉換元件4的製造方法根據構成熱電轉換元件的材料而不同，但如果例如構成材料是金屬的話，能夠將金屬的塊體切割成所希望的形狀，做成熱電轉換元件。此外，如果例如構成材料是金屬氧化物的話，對包含構成金屬氧化物的金屬元素的化合物進行混合，在含氧的氣氛下進行燒結，在切割出獲得的燒結體之後，做成所希望的形狀，由此能夠獲得熱電轉換元件。作為ρ型熱電轉換元件3和η型熱電轉換元件4的材料，舉出下述材料。例如，作為ρ型熱電轉換元件3的材料，舉出NaxCc^2 (0<x PbTe 等的含有iTe的合金、Zn4Sb3等。此夕卜，作為η型熱電轉換元件4的材料，例如舉出SrTio^ZrvxAlxCKCaMnOyLaNiOy BaTiO3^ TihNbxO 等的金屬複合氧化物 Mg2Si、Fe1^xCoxSi2, Si0.8Ge0.2 :P(P 摻雜 Sia8Gq2)、 β -FeSi2 等的矽化物、CoSb3 等的方鈷礦、Ba8Al12Si3Q、B￡i8AlxSi46-x、Ba8Al12Ge3(1、Ba8AlxGe46_x、 Βει8&ιχ6 546_χ 等的包合物、CaB6、Sr 、BaB6、Ce 等硼化合物、BiTeSb、PbTeSb、Bi2Te3、Sb2Te3、 PbTe等的含有Te的合金、Zn4Sb3等。當考慮在300° C以上使用熱電轉換模塊的情況時，從耐熱性和耐氧化性的觀點出發，優選P型熱電轉換元件3和η型熱電轉換元件4在上述材料中作為主成分包含金屬氧化物、或矽化物。此外，在金屬氧化物中，作為P型熱電轉換元件3的材料優選Ca3Co4O9， 作為η型熱電轉換元件4的材料優選CaMn03。Qi3Co4O9和CaMnO3在高溫下大氣氣氛中具有特別優越的耐氧化性，熱電轉換性能也高。再有，ρ型熱電轉換元件3和η型熱電轉換元件4在面3a、!3b和面^、4b分別具有金屬層也可。該金屬層為了提高與使後述的電極和熱電轉換元件接合的接合材料的接合性而有時被設置。(b)向熱電轉換元件的絕緣膜覆蓋工序
接著，以絕緣膜15覆蓋ρ型熱電轉換元件3和η型熱電轉換元件4的表面。具體地， 對圖1 (a)所示那樣的ρ型熱電轉換元件3和η型熱電轉換元件4，將各元件表面中的至少除了應該與電極相向的面3a、!3b和^、4b之外的面，如圖1 (b)所示那樣以絕緣膜15進行覆蓋。作為以絕緣膜15對ρ型熱電轉換元件3和η型熱電轉換元件4進行覆蓋的方法，舉出對除了面3a、!3b和面^、4b之外的面塗敷用於形成絕緣膜15的組成物的方法，或者， 首先以能夠容易拆裝的蓋體覆蓋P型熱電轉換元件3的面3a、北和ρ型熱電轉換元件4的面^、4b，接著使該熱電轉換元件3、4浸漬在用於形成絕緣膜15的組成物(composition) 的溶液(bath)中，在熱電轉換元件3的除了面3a、北和熱電轉換元件4的面如、4b之外的表面形成用於形成絕緣膜15的組成物，之後除去覆蓋面3a、!3b和面^、4b的蓋體的方法寸。作為用於形成絕緣膜15的組成物，舉出形成氧化鋁類絕緣體、氧化鋁/碳化矽 (SiC)類絕緣體、二氧化矽類絕緣體等的無機類絕緣體的膜的組成物，形成環氧(印oxy)類絕緣體等的有機類絕緣體的膜的組成物。當考慮在300° C以上使用熱電轉換模塊的情況時，從耐熱性的觀點出發，優選是形成無機類絕緣體的膜的組成物。例如，作為形成氧化鋁類絕緣體的膜的組成物，舉出BETACK(Telnik工業會社制，商品名)，作為形成氧化鋁/碳化矽(SiC)類絕緣體的膜的組成物，舉出SP COAT (Ceramic Coat株式會社制，商品名)，作為形成二氧化矽類絕緣體的膜的組成物，舉出SILICA COAT (Exousia有限公司制，商品名)。 此外，使用在後述的固定單元16中例示的無機類粘接劑也可。絕緣膜15的厚度優選是20 μ nTlmm左右，更優選是100 μ πΓθ. 5mm左右。形成超過Imm的絕緣膜15，從元件密度降低的觀點出發並不優選。通過形成上述各無機類絕緣體的膜的組成物而形成的絕緣膜15的優選膜厚，針對BETACK是0.廣Imm左右，針對SP COAT 是 0. 05 0. Imm 左右，針對 SILICA COAT 是 0. 01 0. 05mm 左右。(c)熱電轉換元件的重合工序
接著，如圖1 (c)所示，使在除了面3a、!3b之外的面形成有絕緣膜15的ρ型熱電轉換元件13和在除了面4a、4b之外的面形成有絕緣膜15的η型熱電轉換元件14，以絕緣膜15 彼此分別相向的方式重合。具體地，針對相鄰的一組元件13和元件14的每一個，元件13 中的形成有絕緣膜的側面中的一面，和元件14中的形成有絕緣膜的側面中的一面以經由各元件各自的絕緣膜15彼此而重合的方式，將元件13和元件14作為整體交替地行列狀地配置而重合。即，使P型熱電轉換元件的表面中的除了應該與電極相向的面之外的面的至少一部分，以及η型熱電轉換元件的表面中的除了應該與電極相向的面之外的面的至少一部分經由絕緣膜重合。在將多個ρ型熱電轉換元件13和η型熱電轉換元件14以上述方式交替地配置之後，如圖1 (c)所示，優選以固定單元16對獲得的熱電轉換塊(block)ll的外周進行固定。 作為固定單元16，舉出支承框、無機類粘接劑等。在支承框的材料中，使用氧化鋯、堇青石、 氧化鋁、莫來石、氧化鎂、二氧化矽、氧化鈣等的陶瓷材料的1種或2種以上即可。作為無機類粘接劑，舉出將二氧化矽-氧化鋁、二氧化矽、氧化鋯或氧化鋁作為主成分的無機類粘接劑(SUMICERAM-S (朝日化學工業株式會社制，商品名))、將氧化鋯-二氧化矽作為主成分的無機類粘接劑(ARON CERAMIC (東亞合成株式會社制，商品名))等。(d)電極接合工序
在重合了的多個P型熱電轉換元件13和η型熱電轉換元件14中，對相互鄰接的ρ型熱電轉換元件13和η型熱電轉換元件14的一個端面彼此，如圖1 (d)所示方式接合電極 17。由此，多個ρ型熱電轉換元件13和η型熱電轉換元件14電連接。圖2中表示經過本工序獲得的熱電轉換模塊1的剖面圖。
作為電極17，舉出金屬板等。使用的金屬板等例如圖2所示，優選使用接合材料9 接合在P型熱電轉換元件13的面13a、13b、以及η型熱電轉換元件14的面14a、14b即可。 再有，接合材料9對電極17的表面或熱電轉換元件40的與電極17的相向面形成，但不僅是面13a、13b、以及面14a、14b，對在面13a、Ha之間夾著的絕緣膜15的面15a、以及在面 13b、14b之間夾著的絕緣膜15的面1 形成也可。由此，能夠獲得多個ρ型熱電轉換元件 13和η型熱電轉換元件14電串聯連接的框架型(skeleton type)的熱電轉換模塊1。作為電極17的材料，只要是具有導電性的材料的話就不被特別限制，但從使電極的耐熱性、耐蝕性、向熱電轉換元件40的粘接性提高的觀點出發，優選是將從包括鈦、釩、 鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、鉬、銀、鈀、金、鎢以及鋁的組中選擇的至少1種元素作為主成分而包含的金屬。在這裡，主成分指的是在電極材料中含有50體積％以上的成分。作為接合材料9，舉出AuSn類的焊料、銀膏、釺料等。接合材料9能夠使用濺射、蒸鍍、塗敷、絲網印刷、電鍍、熱噴塗等的方法形成為薄膜狀。這樣的熱電轉換模塊的製造方法不需要ρ型熱電轉換元件和η型熱電轉換元件的定位，與現有的熱電轉換模塊的製造方法相比是簡便的。此外，通過這樣的製造方法獲得的熱電轉換模塊通過絕緣膜15來充分確保元件間的絕緣，因此能夠高密度地配置熱電轉換元件，可小型化且能夠獲得高輸出。此外，在P型熱電轉換元件3和η型熱電轉換元件4的雙方具有絕緣膜15的熱電轉換模塊1中，元件彼此的絕緣可靠性非常高。接著，針對第2實施方式的熱電轉換模塊的製造方法進行說明。(第2實施方式的熱電轉換模塊的製造方法)
在第2實施方式的熱電轉換模塊的製造方法中，在上述(b)向熱電轉換元件的絕緣膜覆蓋工序中，以絕緣膜15覆蓋熱電轉換元件3和熱電轉換元件4的全部表面。本實施方式涉及的熱電轉換模塊的製造方法在上述(c)熱電轉換元件的重合工序之後，還具備熱電轉換元件的應該與電極相向的面中的絕緣膜的除去工序。首先，準備例如如圖3 (a)所示的長方體的ρ型熱電轉換元件3和η型熱電轉換元件4。由於本實施方式的熱電轉換元件3、4在熱電轉換元件3、4的全部表面形成絕緣膜 15，所以優選做成在熱電轉換元件3、4的全部表面被絕緣膜15覆蓋之後，也能夠把握熱電轉換元件3、4的應該與電極相向的面的形狀。例如，在將熱電轉換元件3、4設為圖3 (a) 所示那樣的長方體的熱電轉換元件的情況下，以面積最小的面3a、!3b及4a、4b成為應該與電極相向的面的方式，決定熱電轉換元件3、4的形狀即可。接著，使熱電轉換元件3、4浸漬在用於形成絕緣膜15的組成物的溶液5中，如圖 3 (b)所示，在熱電轉換元件3、4的全部表面形成絕緣膜15。接著，如圖3(c)所示針對在全部表面形成有絕緣膜15的ρ型熱電轉換元件13和 η型熱電轉換元件14，與上述的第1實施方式的(c)工序同樣地，使ρ型熱電轉換元件13的除了應該與電極相向的面13a、i;3b之外的面，和η型熱電轉換元件14的除了應該與電極相向的面14a、14b之外的面，經由絕緣膜15重合。這樣，使ρ型熱電轉換元件13和η型熱電轉換元件14交替地配置。優選在除去在面13a、1 和面14a、14b形成的絕緣膜15之前， 如圖3 (c)所示，將重合的多個ρ型熱電轉換元件13及η型熱電轉換元件14使用上述的固定單元16整體地固定，製作熱電轉換塊20。針對重合的多個ρ型熱電轉換元件13和η型熱電轉換元件14，對在ρ型熱電轉換元件13的應該與電極相向的面13a、13b形成的絕緣膜15、以及在η型熱電轉換元件14的應該與電極相向的面14a、14b形成的絕緣膜15進行研磨來除去。例如，如圖3 (c)所示， 使用研磨單元18，將覆蓋熱電轉換塊20的應該與電極相向的面20a、20b (未圖示)的絕緣膜15除去。研磨單元並不特別限制，例如利用使用研磨紙的手動研磨、使用平面磨削裝置的自動研磨等即可。這樣，獲得圖1 (c)所示那樣的熱電轉換塊11。根據本工序，針對重合的多個ρ型熱電轉換元件13和η型熱電轉換元件14，能夠一次高效率地除去在面13a、1 和面14a、14b形成的絕緣膜15。特別是通過使用固定單元 16將重合的多個ρ型熱電轉換元件13和η型熱電轉換元件14整體地固定，製作熱電轉換塊20，從而重合的多個ρ型熱電轉換元件13和η型熱電轉換元件14被充分固定，能夠容易地進行研磨。接著，與上述的第1實施方式的(d)電極接合工序同樣地，對熱電轉換塊11接合圖1 (d)所示那樣的電極17。像這樣，通過本實施方式涉及的熱電轉換模塊的製造方法，也能夠獲得圖2所示那樣的熱電轉換模塊1。在本實施方式中，為了使絕緣膜在熱電轉換元件的表面形成，僅將熱電轉換元件浸漬在用於形成絕緣膜的組成物中即可，是簡便的。此外，在使P型熱電轉換元件13和η 型熱電轉換元件14重合，除去與電極相向的絕緣膜的工序中，也對各熱電轉換元件的與電極相向的面進行一次研磨來除去絕緣膜15，因此比較簡便。因此，與以應該和電極相向的面不被絕緣膜覆蓋的方式在各熱電轉換元件的表面形成絕緣膜的第1實施方式涉及的製造方法相比，作為整體工序被簡略化，因此優選。作為通過上述的本實施方式涉及的熱電轉換模塊的製造方法而獲得的熱電轉換模塊，在圖2所示的框架型之外，舉出圖4所示的帶有基板的結構。圖4是通過第1和第2實施方式涉及的熱電轉換模塊的製造方法而製造的熱電轉換模塊1的另一例的剖面圖。該熱電轉換模塊1是在上述的框架型的熱電轉換模塊的電極 17的表面形成有基板的結構。該熱電轉換模塊1具備第1基板2、第1電極8、熱電轉換元件40、第2電極6、以及第2基板7。ρ型熱電轉換元件3和η型熱電轉換元件4在第1 基板2和第2基板7之間，經由各自的絕緣膜15而交替地排列配置。再有，熱電轉換模塊 1並不一定需要具有兩枚第1基板2和第2基板7，具有任一枚即可。第1基板2和第2基板7例如形成矩形形狀，電絕緣且具有導熱性，覆蓋多個熱電轉換元件40的一端。作為基板的材料，例如舉出氧化鋁、氮化鋁、氧化鎂、碳化矽、氧化鋯、 莫來石等。第1電極8和第2電極6是預先在第1基板2和第2基板7上分別設置的電極也可。這些電極在基板上的規定位置，例如能夠使用濺射、蒸鍍、塗敷、絲網印刷、電鍍、熱噴塗等的方法來形成。此外，將金屬板等例如以軟釺焊、硬釺焊等接合在各基板上也可。再有， 作為電極的材料，舉出在上述的實施方式中例示的材料。這樣的帶有基板的熱電轉換模塊1也具有與上述的熱電轉換模塊同樣的效果。再有，本發明的熱電轉換模塊的製造方法及通過該製造方法獲得的熱電轉換模塊並不限於上述的實施方式，能夠有各種各樣的變形方式。例如，在上述的本實施方式中，以絕緣膜15覆蓋ρ型熱電轉換元件3和η型熱電轉換元件4的雙方，但只要以絕緣膜15至少覆蓋P型熱電轉換元件3和η型熱電轉換元件4的一種類型的熱電轉換元件的話，就能夠實施本發明。此外，在上述第2實施方式中，在對絕緣膜進行研磨除去的工序中，在以ρ型熱電轉換元件13和η型熱電轉換元件14交替地配置的方式使多個ρ型熱電轉換元件13和η 型熱電轉換元件14重合之後，對在面13a、1 和面14a、14b形成的絕緣膜15進行研磨除去，但首先使多個P型熱電轉換元件13重合，對在面13a、1 形成的絕緣膜15進行研磨除去，另一方面，使多個η型熱電轉換元件14重合，對在面14a、14b形成的絕緣膜15進行研磨除去，接著，使除去了在面13a、i:3b形成的絕緣膜15的狀態下的多個ρ型熱電轉換元件 13，和除去了在面14a、14b形成的絕緣膜15的狀態下的多個ρ型熱電轉換元件14交替地重合，進而對電極進行接合，由此能夠製造熱電轉換模塊。附圖標記說明
1熱電轉換模塊；2第1基板；3、13 ρ型熱電轉換元件；4、14 η型熱電轉換元件；6第 2電極；7第2基板；8第1電極；9接合材料；11、20熱電轉換塊；15絕緣膜；16固定單元；17電極；3a、!3b ρ型熱電轉換元件表面的應該與電極相向的面；4a、4b η型熱電轉換元件表面的應該與電極相向的面；20a熱電轉換塊的應該與電極相向的面；40熱電轉換元件。
權利要求
1.一種熱電轉換模塊的製造方法，其中，具備覆蓋工序，以絕緣膜覆蓋P型熱電轉換元件的表面中的至少除了應該與電極相向的面之外的面和/或η型熱電轉換元件的表面中的至少除了應該與電極相向的面之外的面；以及重合工序，將所述P型熱電轉換元件的表面中的除了應該與電極相向的面之外的面、 以及所述η型熱電轉換元件的表面中的除了應該與電極相向的面之外的面，經由所述絕緣膜重合。
2.根據權利要求1所述的熱電轉換模塊的製造方法，其中，在所述覆蓋工序中，以所述絕緣膜覆蓋所述P型熱電轉換元件的全部表面和/或所述 η型熱電轉換元件的全部表面，所述製造方法還具備絕緣膜除去工序，針對在所述重合工序中重合了的所述P型熱電轉換元件和所述η型熱電轉換元件，進行所述P型熱電轉換元件的表面中的應該與電極相向的面和/或所述η型熱電轉換元件的表面中的應該與電極相向的面的研磨，除去所述絕緣膜。
3.根據權利要求2所述的熱電轉換模塊的製造方法，其中，在所述絕緣膜除去工序之、r -刖，還具備通過將在所述重合工序中重合了的所述P型熱電轉換元件和所述η型熱電轉換元件整體地固定，從而獲得熱電轉換塊的工序。
4.一種熱電轉換模塊，其中，具有 P型熱電轉換元件；η型熱電轉換元件；電極，對所述P型熱電轉換元件和所述η型熱電轉換元件進行電連接；絕緣膜，覆蓋所述P型熱電轉換元件的表面中的除了與所述電極相向的面之外的面；以及絕緣膜，覆蓋所述η型熱電轉換元件的表面中的除了與所述電極相向的面之外的面， 所述P型熱電轉換元件和所述η型熱電轉換元件經由所述2個絕緣膜重合。
全文摘要
提供一種不需要熱電轉換元件的定位，能夠獲得絕緣性高且高密度的熱電轉換模塊的熱電轉換模塊的製造方法、以及由此製造的熱電轉換模塊。熱電轉換模塊(1)的製造方法具備覆蓋工序，以絕緣膜(15)覆蓋p型熱電轉換元件(3)的表面中的至少除了應該與電極相向的面(3a、3b)之外的面和/或n型熱電轉換元件(4)的表面中的至少除了應該與電極相向的面(4a、4b)之外的面；以及將p型熱電轉換元件(3)的表面中的除了應該與電極相向的面(3a、3b)之外的面、以及n型熱電轉換元件的表面中的除了應該與電極相向的面(4a、4b)之外的面，經由絕緣膜(15)重合的工序。
文檔編號H02N11/00GK102282692SQ201080004596
公開日2011年12月14日 申請日期2010年1月8日 優先權日2009年1月15日
發明者廣山雄一 申請人:住友化學株式會社