顯微鏡的製作方法

2023-07-31 08:54:11

專利名稱：顯微鏡的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及晶圓製造領域，尤其涉及一種晶圓檢測用的顯微鏡。
背景技術：
顯微鏡是由一組或多組透鏡組合而構成的一種光學儀器，是人類進入原子時代的標誌。顯微鏡是用於放大微小物體的儀器，使得微小物體放大後能被人的肉眼看到。顯微鏡按照顯微原理進行分類可分為光學顯微鏡與電子顯微鏡。光學顯微鏡通常皆由光學部分、照明部分和機械部分組成。無疑光學部分是最為關鍵的，它由目鏡和物鏡組成。目前光學顯微鏡的種類很多，主要有明視野顯微鏡(普通光學顯微鏡)、暗視野顯微鏡、突光顯微鏡、相差顯微鏡、雷射共聚掃描顯微鏡、偏光顯微鏡、微分幹涉差顯微鏡、倒置顯微鏡。
電子顯微鏡有與光學顯微鏡相似的基本結構特徵，但它有著比光學顯微鏡高得多的對物體的放大及分辨本領，它將電子流作為一種新的光源，使物體成像。目前電子顯微鏡的種類很多，主要有透射電鏡、掃描電鏡、分析電鏡、超高壓電鏡等。參圖I所述，現有技術中的一種顯微鏡，用以對晶圓進行檢測，包括機械手、工作平臺I』及設於所述工作平臺I』上的卡槽3』、感應器4』和驅動馬達。機械手用以抓取晶圓；晶圓收容在一個晶片盒內；晶片盒可固定在工作平臺I』上的卡槽3』內；感應器4』用以感知晶片盒是否成功安裝到卡槽3』內，其一般設置在卡槽3』的一側；驅動馬達用以驅動工作平臺I』進行上下移動。上述顯微鏡的工作原理是在正常測試時，晶片盒被放置在卡槽3』內，當感應器4』感應到晶片盒時，感應器4』會發出感應信號，指示設備可以正常操作；當感應器4』沒有感應到晶片盒時，感應器4』會發出報警信號。測試完畢後，驅動馬達反向旋轉，控制工作平臺I』上升。上述顯微鏡的缺點在於在顯微鏡工作過程中，若是人為取走晶片盒，感應器不會發出任何報警信號。晶片盒被拿走後工作平臺上沒有晶片盒，操作人員發現後會重新放一個新的晶片盒，但是，之前晶片盒內的晶圓正被機械手拿著進行檢測，該晶圓檢測好後，機械手會將它放回晶片盒內，但是此時已經是一個新的晶片盒，此晶片盒沒有空缺供前一晶片盒的晶圓放置，機械手強行放置後會發生晶圓相互碰撞的想像，不但損壞了晶圓，而且存在一定的安全隱患。因此，針對上述技術問題，有必要提供一種具有新型的顯微鏡，以克服上述缺陷。
實用新型內容有鑑於此，本實用新型的目的提供一種顯微鏡，其設有用以限制晶片盒移動的固定鎖，避免在顯微鏡工作過程中，晶片盒從卡槽中被移動，提高了安全係數。為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案一種顯微鏡，用於晶圓的檢測，包括工作平臺及設於所述工作平臺上的卡槽、感應器和驅動馬達，所述卡槽用於收容晶片盒，其中，所述顯微鏡還包括設於所述工作平臺上的固定鎖，所述固定鎖在氣動作用下可從第一位置運動至第二位置，並在第二位置時限制所述晶片盒移動。作為本實用新型的進一步改進，所述固定鎖包括汽缸和限位部，所述汽缸驅動所述限位部在所述第一位置和第二位置之間移動。作為本實用新型的進一步改進，所述限位部和汽缸分別設於所述工作平臺的上下兩側，所述工作平臺上還開設有導引槽，所述導引槽用以導引所述限位部在所述第一位置和第二位置之間移動。作為本實用新型的進一步改進，所述限位部在運動至所述第二位置時，所述限位部的末端位於所述晶片盒的上方。作為本實用新型的進一步改進，所述限位部包括第一限位部和第二限位部，所述第一限位部和第二限位部的末端在第二位置時位於所述晶片盒的上方。作為本實用新型的進一步改進，所述固定鎖至少設有兩個。作為本實用新型的進一步改進，所述顯微鏡還包括開關，所述開關用以控制所述汽缸驅動所述限位部在所述第一位置和第二位置之間移動。作為本實用新型的進一步改進，所述開關為一按鈕。與現有技術相比，本實用新型的有益效果是通過設置固定鎖來限制晶片盒移動，可以防止在顯微鏡工作過程中有人誤將晶片盒拿離工作平臺，以避免損壞晶圓或出現安全隱患。

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的有關本實用新型的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對於本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。圖I是現有技術中顯微鏡的結構示意圖；圖2是本實用新型最佳實施例中顯微鏡的俯視圖；圖3是本實用新型最佳實施例中顯微鏡的主視圖。
具體實施方式
本實用新型實施例公開了一種顯微鏡，用於晶圓的檢測，包括工作平臺及設於所述工作平臺上的卡槽、感應器和驅動馬達，所述卡槽收容有晶片盒，所述顯微鏡還包括設於所述工作平臺上的固定鎖，所述固定鎖在氣動作用下可從第一位置運動至第二位置，並在第二位置時限制所述晶片盒移動。通過設置固定鎖來限制晶片盒移動，可以防止在顯微鏡工作過程中有人誤將晶片盒拿離工作平臺，以避免損壞晶圓或出現安全隱患。下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行詳細的描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基於本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例，都屬於本實用新型保護的範圍。圖2和圖3分別是本實用新型最佳實施例中顯微鏡的俯視圖和主視圖。在本實用新型最佳實施例中，顯微鏡包括機械手(圖未示)、工作平臺I及設於所述工作平臺I上的卡槽3、感應器4和驅動馬達(圖未示)。機械手用以抓取晶圓；晶圓收容在一個晶片盒(圖未示)內；晶片盒可收容在工作平臺I上的卡槽3內；感應器4用以感知晶片盒是否成功安裝到卡槽3，其設置在卡槽3的一側開口處；驅動馬達用以驅動工作平臺I進行上下移動。在正常測試時，晶片盒被放置在卡槽3內，當感應器4感應到晶片盒時，感應器4會發出感應信號，指示設備可以正常操作；當感應器4沒有感應到晶片盒時，感應器4會發 出報警信號。
顯微鏡還包括設於工作平臺I上的固定鎖5，固定鎖5可以在氣動作用下從第一位置A運動至第二位置B，並在第二位置B時限制晶片盒移動。其中第一位置A是指固定鎖5的初始位置，即固定鎖5沒有被氣體驅動時，第二位置B是指固定鎖5被氣體驅動之後的位置。固定鎖5包括汽缸51和限位部52，汽缸51上設有槓桿511，限位部52固定於槓桿511的末端。汽缸51在壓縮空氣的作用下推動槓桿511自第一位置A向第二位置B運動，槓桿511的運動進而帶動限位部52 —起運動。在第二位置B時，限位部52的末端位於所述晶片盒的上方，以限制晶片沿垂直工作平臺I的方向移動，為了不影響機械手對晶圓的抓取，限位部52不能位於晶圓的正上方，只能位於沒有晶圓存放的位置，例如晶圓與晶圓之間的間隙上。限位部52的末端可以設置成板狀，以增大限位部52的阻擋面積，實現更好的穩固效果。為了限制晶片盒在水平面內的運動，尤其是沿卡槽3延伸方向的運動，可以在晶片盒上開凹槽或孔，以使得限位部52在位於第二位置B時，可以卡持或穿設在凹槽或孔內，此時限位部52的末端可以根據需要設置成圓柱狀等。限位部52和汽缸51分別設於工作平臺I的上下兩側，工作平臺I上還開設有導引槽11，導引槽11用以導引限位部52在第一位置A和第二位置B之間移動。導引槽11延伸的方向垂直於卡槽3。為了保證對晶片盒的穩固效果，固定鎖5優選設置為兩個，每個固定鎖包括一個汽缸及固定於該汽缸上的限位部，兩個固定鎖5設置於卡槽3的同一側，亦可分別設置於卡槽3的兩側。易於想到，固定鎖5也可以僅設有一個，還可以設置為三個或三個以上。固定鎖5在設置為一個時，其包括一個汽缸，還包括限位部，限位部可以設置為一個，也可以設置為兩個第一限位部和第二限位部，第一限位部和第二限位部受同一個汽缸驅動。第一限位部和第二限位部的目的在於在一個汽缸的驅動下，可以實現對晶片盒的多處阻擋。故，限位部的末端也可以形成多個分叉，以實現對晶片盒頂端的多處的阻擋作用，由於只採用一個汽缸，結構簡單，節約了成本，同時又通過多處阻擋實現了很好的穩固作用。在其他實施例中，汽缸51也可以設置於工作平臺I的上表面上，此時不需要設置導引槽11。[0039]顯微鏡還包括一個開關(圖未示)，該開關用以控制汽缸內壓縮空氣的通與斷，進而控制汽缸51驅動限位部52在第一位置A和第二位置B之間移動。開關優選為一按鈕開關，安裝在工作平臺I上。本實用新型實施例的顯微鏡的工作原理是在正常測試時，將安裝好晶圓的晶片盒放置到卡槽3中，感應器4感應到晶片盒並發出感應信號，指示設備可以正常操作，此時，驅動馬達正向旋轉，帶動控制工作平臺I下降，當工作平臺I到達目標位置時，按下開關，在壓縮空氣的驅動下，汽缸51帶動限位部52沿導引槽11滑動至第二位置B，並使得限位部52的末端位於晶片盒的上方，以限制晶片盒的移動。當測試完畢時，再次觸動開關，汽缸收縮並帶動限位部52回撤到第一位置A，驅動馬達反向旋轉，控制工作平臺I上升。由於在工作過程中無法移動晶片盒，消除了安全隱患。本實用新型實施例的顯微鏡機臺結構涉及的顯微鏡為OLYMPUS MX61顯微鏡。固定鎖是使用在OLYMPUS MX61顯微鏡上的。OLYMPUS MX61顯微鏡用於對半導體器件進行檢測。OLYMPUS MX61顯微鏡能夠應對從明視場觀察到螢光觀察的多種觀察方法，切換物鏡時 亮度光圈連動能進行自動調節。這些功能實現了快速舒適的檢查環境。OLYMPUS MX61顯微鏡具有如下優點I.大型載物臺搭載,可用於400*300mm液晶基板，300mm晶圓全面檢查(MX61L)；2.採用高NA的透射光聚光鏡，圖象更銳利；3.多種觀察方式，多種照明方式，多種附件以滿足不同應用要求；4.透射和反射照明可同時使用，極大提聞液晶基板觀察效果。與現有技術相比，本實用新型實施例的顯微鏡機臺結構的有益效果是通過設置固定鎖來限制晶片盒移動，可以防止在顯微鏡工作過程中有人誤將晶片盒拿離工作平臺，以避免損壞晶圓或出現安全隱患。對於本領域技術人員而言，顯然本實用新型不限於上述示範性實施例的細節，而且在不背離本實用新型的精神或基本特徵的情況下，能夠以其他的具體形式實現本實用新型。因此，無論從哪一點來看，均應將實施例看作是示範性的，而且是非限制性的，本實用新型的範圍由所附權利要求而不是上述說明限定，因此旨在將落在權利要求的等同要件的含義和範圍內的所有變化囊括在本實用新型內。不應將權利要求中的任何附圖標記視為限制所涉及的權利要求。此外，應當理解，雖然本說明書按照實施方式加以描述，但並非每個實施方式僅包含一個獨立的技術方案，說明書的這種敘述方式僅僅是為清楚起見，本領域技術人員應當將說明書作為一個整體，各實施例中的技術方案也可以經適當組合，形成本領域技術人員可以理解的其他實施方式。
權利要求1.一種顯微鏡，用於晶圓的檢測，包括工作平臺及設於所述工作平臺上的卡槽、感應器和驅動馬達，所述卡槽用於收容晶片盒，其特徵在於所述顯微鏡還包括設於所述工作平臺上的固定鎖，所述固定鎖在氣動作用下可從第一位置運動至第二位置，並在第二位置時限制所述晶片盒移動。
2.根據權利要求I所述的顯微鏡，其特徵在於所述固定鎖包括汽缸和限位部，所述汽缸驅動所述限位部在所述第一位置和第二位置之間移動。
3.根據權利要求2所述的顯微鏡，其特徵在於所述限位部和汽缸分別設於所述工作平臺的上下兩側，所述工作平臺上還開設有導引槽，所述導引槽用以導引所述限位部在所述第一位置和第二位置之間移動。
4.根據權利要求2所述的顯微鏡，其特徵在於所述限位部在運動至所述第二位置時，所述限位部的末端位於所述晶片盒的上方。
5.根據權利要求2所述的顯微鏡，其特徵在於所述限位部包括第一限位部和第二限位部，所述第一限位部和第二限位部的末端在第二位置時位於所述晶片盒的上方。
6.根據權利要求2所述的顯微鏡，其特徵在於所述固定鎖至少設有兩個。
7.根據權利要求2所述的顯微鏡，其特徵在於所述顯微鏡還包括開關，所述開關用以控制所述汽缸驅動所述限位部在所述第一位置和第二位置之間移動。
8.根據權利要求7所述的顯微鏡，其特徵在於所述開關為一按鈕。
專利摘要本實用新型公開了一種顯微鏡，用於晶圓的檢測，包括工作平臺及設於所述工作平臺上的卡槽、感應器和驅動馬達，所述卡槽用於收容晶片盒，所述顯微鏡還包括設於所述工作平臺上的固定鎖，所述固定鎖在氣動作用下可從第一位置運動至第二位置，並在第二位置時限制所述晶片盒移動。本實用新型通過設置固定鎖來限制晶片盒在工作過程中的移動，可以避免損壞晶圓及出現安全隱患。
文檔編號G01D11/16GK202630990SQ20122025603
公開日2012年12月26日 申請日期2012年5月31日 優先權日2012年5月31日
發明者陸琦 申請人:無錫華潤上華科技有限公司