穩壓閥組結構的製作方法

2023-07-17 11:47:21

專利名稱：穩壓閥組結構的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種避免容器內部在排氣過程中形成負壓的技術領 域，特別是涉及一種可防止容器因負壓而無法順利開啟的閥組結構，藉以 進一步保護容器內部的對象。
背景技術：
按， 一般容器內部通常具有一供放置對象的容置空間，而為了保持或 控制該容置空間內的環境條件，部分容器上會加裝有充填氣的氣閥，供容 器置於承載裝置時，可同步進行充氣與排氣的作用，藉以將乾淨空氣或具 有操控環境條件的氣體由連接進氣迴路的氣閥注入容器的容置空間內，且 不斷的通過與排氣迴路連接的氣閥排出。以半導體製造過程為例，受到半 導體製造過程技術的演進及對電子產品微細化與高效化的要求，晶圓的尺
寸已由早知的6英寸、8英寸進展到12英寸，至於其上的集成電路線徑則 已發展至90 - 45納米，因此在同一晶圓(Wafer)上的晶片(Die)數量也 大幅增加，晶片的效能與價值也被提升，換言之，當製造過程中有不良品 產生時，對於廠商的損失也大幅的擴大，因此如何進一步的提高製造過程 優良率，是各半導體廠商不斷思考的方向；
而為了提高整體製造過程環境的潔淨度，相關業界開發有如美國專利 第US 4,532, 970號與美國專利第US 4,534,389號等用於晶圓、光掩膜的 密閉轉移系統，以確保周圓環境的微粒或有害物質不致進入緊鄰光掩膜與 晶圓的環境中。而由於光掩膜汙損的原因除了微粒外，更進一步包含環境 中的水氣、有毒氣體、塑料制光掩膜盒所釋出的硫化物和製作過程中的有 害物質，其會造成霧化與結晶的現象，故為了解決這些問題，業界開發有 於光掩膜盒上加裝充、填氣的結構，如我國專利公告第I2388(M號與第 M322056號等，用以將乾淨的惰性氣體注入該移載容器內，並擠出移載容器 內的有害氣體，又或通過同步注氣與排氣的循環氣流，來保持光掩膜盒內 部的潔淨度。
但在實際操作上，發現該光掩膜盒在同步進、排氣時，可能因光掩膜 盒內部的流道迂迴曲折、且元件複雜與光掩膜阻擋等因素影響，經常發生 進氣量小於排氣量的現象，如此將使光掩膜盒的內部空間與外部環境形成 負壓，如此當光掩膜盒在開啟時，會因負壓而無法有效、且順利的開啟，再 者當光掩膜盒的容置空間形成負壓時，其在強力開啟的瞬間，外部氣流會產生 一股瞬間向內流動的強力氣流，該強力氣流不僅會造成微粒與有害物 質的揚起，而附著於光掩膜表面，甚至可能因而刮傷光掩膜表面的圖形，影 響到後續製造過程中的優良率。
由此可見，上述現有的容器在結構與使用上，顯然仍存在有不便與缺 陷，而亟待加以進一步改進。為了解決上述存在的問題，相關廠商莫不費 盡心思來謀求解決之道，但長久以來一直未見適用的設計被發展完成，而 一般產品又沒有適切結構能夠解決上述問題，此顯然是相關業者急欲解決
的問題。因此如何能創設一種新型的穩壓閥組結構，實屬當前重要研發i果題 之一，亦成為當前業界極需改進的目標。
有鑑於上述現有的容器存在的缺陷，本發明人基於從事此類產品:沒計 製造多年豐富的實務經驗及專業知識，並配合學理的運用，積極加以研究 創新，以期創設一種新型的穩壓閥組結構，能夠改進一般現有的容器，使其 更具有實用性。經過不斷的研究、設計，並經過反覆試作樣品及改進後，終 於創設出確具實用價值的本實用新型。
發明內容
本實用新型的主要目的在於，克服現有的穩壓閥組結構存在的缺陷，而 提供一種新型的穩壓閥組結構，所要解決的技術問題是使其藉以讓容器在 充排氣的過程中，其氣密的容置空間不致產生負壓，避免影響到容器容置 空間的開啟，非常適於實用。
本實用新型的另一目的在於，提供一種新型的穩壓閥組結構，所要解 決的技術問題是使容器在開啟時不致產生瞬間強力氣流，以避免傷及內部 容置的對象，從而更加適於實用，且具有產業上的利用價值。
本實用新型的目的及解決其技術問題是採用以下的技術方案來實現 的。依據本實用新型提出的一種穩壓閥組結構，該穩壓閥組結構包含有一 穩壓閥件及一氣閥，其中穩壓閥件連接一排氣迴路，且穩壓閥件由一具氣 流通道的閥體所構成；而氣閥設於一具容置空間的容器上，且氣閥由一具 氣流通道的閥體所構成，氣流通道與前述容置空間連通，且該氣閥與穩壓 閥件對接時，穩壓閥件的氣流通道同步跨越氣閥的氣流通道的內、外部。
本實用新型的目的以及解決其技術問題還可以採用以下的技術措施來 進一步實現。
前述的穩壓閥組結構，其中所述的穩壓閥件是由中空閥體所構成，該 閥體頂面形成有一道較大徑的凸.環片，且閥體內部形成有一隔片，閥體的 隔片鄰近凸環片內緣處形成有一或多個流道孔。
前述的穩壓閥組結構，其中所述的氣閥的閥體底部凸伸有一凸環片，該 凸環片的外徑可跨設於前述穩壓閥件的流道孔上，且閥體內部中段形成有一具較小通孔的隔片，又閥體內設有一可相對隔片滑動的浮動;f幹，該浮動 杆兩端分別具有一較大徑的抵頂部與一可穿出隔片的頸部，其中頸部上束 設有一可選擇性封閉隔片通孔的密封墊圈，再者該浮動杆的抵頂部與隔片 間頂撐有一彈簧，讓氣閥的氣流通道可達到選擇性啟閉的目的。
前述的穩壓閥組結構，其中所述的穩壓閥件的閥體上具有向上凸出的 推桿，供選擇性啟閉容器對應氣閥的氣流通道。
本實用新型與現有技術相比具有明顯的優點和有益效果。藉由上述技 術方案，本實用新型穩壓閥組結構至少具有下列優點及有益效果
藉此，通過前述技術手段的展現，使得本實用新型穩壓閥件的流道孔 可同步連接前述氣閥的流道內、外部，當利用穩壓閥件排氣時，穩壓閥件 可同步經由氣閥吸排容器內、外部的氣體，讓容器的容置空間在排氣的過 程中，不致發生排氣量大於進氣量而產生負壓的狀況，防止影響容器的開 啟，且可避免發生開啟時，因瞬間的強力氣流而傷及容器內部容置對象的 表面，能大幅增加產品的附加價值，提升其竟爭力與經濟效益。
綜上所述，本實用新型具有上述優點及實用價值，其不論在產品結構 或功能上皆有較大改進，在技術上有顯著的進步，並產生了好用及實用的 效果，且較現有的容器有增進的突出功效，從而更加適於實用，並具有產 業的廣泛利用價值，誠為一新穎、進步、實用的新設計。
上述說明僅是本實用新型技術方案的概述，為了能夠更清楚了解本實 用新型的技術手段，而可依照說明書的內容予以實施，並且為了讓本實用 新型的上述和其他目的、特徵和優點能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實施 例，並配合附圖，詳細說明如下。


圖1是本實用新型閥組結構較佳實施例的外觀示意圖。 圖2是本實用新型閥組結構較佳實施例的分解剖面示意圖，其說明各 元件的結構狀態及其相對關係。
圖3是本實用新型閥組結構於實際應用的外觀示意圖。
圖4是本實用新型閥組結構於實際使用的剖面示意圖。
圖5是本實用新型閥組結構於對接前的剖面示意圖。
圖6是本實用新型閥組結構於對接後的剖面示意圖。
圖7是本實用新型閥組結構另外應用於晶圓容置盒與承載裝置的外觀
示意圖。
I :閥組結構
II :閥體 13 :隔片
10:穩壓閥件 12:凸環片 14:流道孔i5 :推桿 20 :氣閥 22 :凸環片 231:隔片 25 :抵頂部 27 :彈簧
16:螺紋段 21:閥體 230:螺紋段 24:浮動杆 26:頸部 28:密封墊圈 51:底座 54:螺帽 60:承載裝置 65:充氣閥 75:箱門 85:充氣閥
50 :光掩膜盒
52 :承抵件 55 :殼罩 61 :承板
70 :晶圓容置箱 80 :承載裝置
具體實施方式
功效，
以下結合附圖及較佳實施例，對依據本實用新型提出的穩壓閥組結構 其具體實施方式
、結構、特徵及其功效，詳細說明如後。
有關本實用新型的前述及其他技術內容、特點及功效，在以下配合參 閱圖式的較佳實施例的詳細說明中將可清楚的呈現。通過具體實施方式
的 說明，當可對本實用新型為達成預定目的所採取的技術手段及功效得一更 加深入且具體的了解，然而所附圖式僅是提供參考與說明之用，並非用來 對本實用新型加以限制。
本實用新型是一種避免容器的容置空間形成負壓的閥組結構，請參閱 圖1所示，該閥組結構1包含有一穩壓閥件10與一氣閥20,其中氣閥20 組設於一具容置空間的容器上，且氣閥20流道並與該可選擇性啟閉的容置 空間連通，而穩壓閥件10則可設於該容器的對應承載裝置上，且穩壓閥件 10並與該承載裝置的排氣迴路連接，使穩壓閥件10與氣閥20可相對選擇 性接合或分離，供容器進行排氣動作；
而本實用新型閥組結構1較佳實施例的詳細構成，則請參閱圖1及圖2 所示，其中穩壓閥件10是由一具氣流通道的中空閥體11所構成，該閥體 11頂面形成有一道較大徑的凸環片12，且閥體11內部形成有一隔片13，閥 體11的隔片13鄰近凸環片12內緣處形成有一或多個流道孔14，又隔片 13頂面具有向上凸出的推桿15，供選擇性啟閉容器對應氣閥20的氣流通 道，再者閥體ll下段外緣形成有供鎖接於承載裝置的螺紋段16，讓穩壓閥 件10可選擇性鎖設於承載裝置上；
該氣閥20是由一具氣流通道的中空閥體21所構成，其可供連通容器的容置空間與前述穩壓閥件10,又閥體21底部凸伸有一凸環片22，該凸 環片22的外徑可跨設於前述穩壓閥件10的流道孔14上，使穩壓閥件10 的流道孔14可同步跨越氣閥20的流氣通道內、外部，再者閥體21外緣形 成一可選擇性鎖設於容器上的螺紋段230，且閥體21內部中段形成有一具較 小通孔的隔片231，又閥體21內設有一可相對隔片231滑動的浮動杆24，該 浮動杆24兩端分別具有一較大徑的抵頂部25與一可穿出隔片231的頸部 26，其中頸部26上束設有一可選擇性封閉隔片231通孔的密封墊圈28，且 浮動杆24的抵頂部25與隔片231間頂撐有一彈簧27，讓浮動杆24可受前 述穩壓閥件10推桿15的推抵，而讓密封墊圏28可通過彈簧27的壓伸作 用，產生相對遠離或緊貼隔片231的動作，而達到讓閥體21氣流通道選擇 性啟閉的目的；
藉此，使得穩壓閥件10的流道孔14同時跨越於氣閥20氣流通道的內、 外部，使連接排氣迴路的穩壓閥件IO可同步吸排容器內部與外部的氣體，而 構成一避免容器內部產生負壓的閥組結構。
通過前述的設計，本實用新型於實際應用時，則如圖2、圖3及圖4所 示，當本實用新型的閥組結構l應用於光掩膜盒50及其承載裝置60時，其 中光掩膜盒50具有一底座51，且底座51頂面設有組設呈"n"支撐體的 承抵件52，供支撐與抵頂光掩膜，又底座51上覆設有一可選擇性啟閉的殼 罩55，供光掩膜盒50形成可選擇性啟閉的容置空間，又光掩膜盒50於底 座51底面設有一或多個螺帽54,供鎖設前述連通容置空間的氣閥20。而 承載裝置60具有供支撐光掩膜盒50的承板61，而本實用新型穩壓閥件10 鎖設於該承板61上，並可與光掩膜盒50其中一氣閥20對接，又承板61 上另設有一對應光掩膜盒50其它氣閥20的充氣閥65，充氣閥65連接承栽 裝置60的進氣迴路，使承載裝置60可對光掩膜盒50進行充排氣；
且如圖5、圖6所示，當該光掩膜盒50未置於承載裝置60的承板61 上時，光掩膜盒50底座51的氣閥20由於未受任何外力的推抵，因此氣閥 20中的浮動杆24受彈簧27回復預力頂撐而向下定位，使浮動杆24上的密 封墊圈28貼抵於隔片231，讓光掩膜盒50容置光掩膜的內部空間呈氣密狀 (如圖5所示)。當光掩膜盒50置於承載裝置60的承板61上時，該光掩 膜盒50底座51的氣閥20可與承載裝置60上的穩壓閥件IO相對接合，其 中氣閥20的浮動杆24受到穩壓閥件10的推桿15的推抵，使氣閥20的浮 動杆24同步壓縮彈簧27,使氣閥20的浮動杆24上的密封墊圈28遠離隔 片231，讓光掩膜盒50內的空氣可經氣閥20與穩壓閥件10氣流通道由承 載裝置60的排氣迴路排出，且由於該穩壓閥件10的閥體11流道孔14同 時跨越於氣閥20凸環片22的內、外部，使穩壓閥件IO可同步吸排光掩膜 盒50內部容置空間與外部環境的氣體，如此即可避免同排氣量大於進氣量而讓光掩膜盒50內部空間形成負壓現象，使光掩膜盒50在未開啟前，其 內、外環境的氣壓保持平衡，不致影響光掩膜盒50的殼罩55開啟，且進 一步不致發生外部氣流瞬間向內強力流動的現象，防止微粒與有害物質因 氣流揚起而附著於光掩膜表面，且進一步避免帶有微粒的強力氣流刮傷光 掩膜表面，以提升整體製造過程的效率與優良率。
又本實用新型另有一實施例，其如圖7所示，本實用新型的容器可為 容置晶圓的晶圓容置箱70，該晶圓容置箱70並具有可選擇性啟閉的箱門 75，而承載裝置80則可選自製造過程設備的進出料機體，而將本實用新型 閥組結構1的穩壓閥件IO與氣閥20分別設於承載裝置80與晶圓容置箱70 的對接處，其一樣具有前述的功效與效能。
以上所述，僅是本實用新型的較佳實施例而已，並非對本實用新型作 任何形式上的限制，雖然本實用新型已以較佳實施例揭露如上，然而並非 用以限定本實用新型，任何熟悉本專業的技術人員在不脫離本實用新型技 術方案範圍內，當可利用上述揭示的技術內容作出些許更動或修飾為等同 變化的等效實施例，但凡是未脫離本實用新型技術方案的內容，依據本實 用新型的技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均 仍屬於本實用新型技術方案的範圍內。
權利要求1、一種穩壓閥組結構，其特徵在於該穩壓閥組結構包含有一穩壓閥件及一氣閥，其中穩壓閥件連接一排氣迴路，且穩壓閥件由一具氣流通道的閥體所構成；而氣閥設於一具容置空間的容器上，且氣閥是由一具氣流通道的閥體所構成，氣流通道與前述空置空間連通，且該氣閥與穩壓閥件對接時，穩壓閥件的氣流通道同步跨越氣閥的氣流通道的內、外部。
2、 根據權利要求1所述的穩壓閥組結構，其特徵在於其中所述的穩壓 閥件是由中空閥體所構成，該閥體頂面形成有一道較大徑的凸環片，且閥 體內部形成有一隔片，.閥體的隔片鄰近凸環片內緣處形成有一或多個流道 孔。
3、 根據權利要求l所述的穩壓閥組結構，其特徵在於其中所述的氣閥 的閥體底部凸伸有一凸環片，該凸環片的外徑可跨設於前述穩壓閥件的流 道孔上，且閥體內部中段形成有一具較小通孔的隔片，又閥體內設有一可相 對隔片滑動的浮動杆，該浮動杆兩端分別具有一較大徑的抵頂部與一可穿 出隔片的頸部，其中頸部上束設有一可選擇性封閉隔片通孔的密封墊圈，再 者該浮動杆的抵頂部與隔片間頂撐有一彈簧，讓氣閥的氣流通道可達到選 擇性啟閉。
4、 根據權利要求1所述的穩壓閥組結構，其特徵在於其中所述的穩壓 閥件的閥體上具有向上凸出的推桿，供選擇性啟閉容器對應氣閥的氣流通 道。
專利摘要本實用新型是有關於一種穩壓閥組結構，尤指一種氣密容器在進排氣過程中，可防止內部形成負壓的閥組結構，該閥組結構包含有一穩壓閥件及一氣閥，其中穩壓閥件上具有可連接排氣迴路的流道孔，而氣閥則設於具選擇性容置空間的容器上，該氣閥具有連通前述容置空間的流道，又穩壓閥件的流道孔可同步連接前述氣閥的流道內、外部，使得排氣迴路在抽排氣時，穩壓閥件可同步經由氣閥吸排容器容置空間與外部環境的氣體，讓容器的容置空間在排氣的過程中，避免發生排氣量大於進氣量而產生負壓的現象，如此容器在開啟時，不致因瞬間的強力氣流而傷及容器內部容置物的表面。
文檔編號G03F1/66GK201229932SQ200820127010
公開日2009年4月29日 申請日期2008年6月19日 優先權日2008年6月19日
發明者汪欣聰, 陳俐殷 申請人:億尚精密工業股份有限公司