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液晶顯示裝置及其缺陷修正方法

2023-08-12 20:20:21

專利名稱:液晶顯示裝置及其缺陷修正方法
技術領域:
本發明涉及柵極配線及源極配線按柵格狀排列的液晶顯示裝置及其缺陷修正方法。上述液晶顯示裝置,在各柵格點上備有開關元件、與上述開關元件的漏電極連接的象素電極、及輔助電容電極。上述輔助電容電極,可形成與上述象素電極串聯連接的存儲電容,並與柵極配線在同一工序中形成、且與上述柵極配線平行配線。
通常,液晶顯示裝置的製造,按照光致抗蝕劑的塗布、曝光、顯像蝕刻、抗蝕劑剝離等一系列的工序進行。這時,在某些情況下會因在上述工序中發生的雜質附著、傷痕、膜厚不均勻等而發生配線的斷線故障。
因此,在這種情況下,例如有日本公開專利公報「特開平8—184842公報(
公開日1996年7月16日)」中公開的配線的斷線修正方法。按照該方法,對配線的斷線或半斷線部分供給微量的金屬絡合物溶液並用雷射照射,使該照射部分起熱分解反應,從而析出金屬薄膜。由此,即能以高的可靠性將配線的斷線或半斷線部分以低電阻連接,而不會對周圍造成影響。
可是,如圖8所示,現有的液晶顯示裝置的液晶板80,一般來說,例如具有下玻璃基板82、上玻璃基板84、供給數據信號的源極配線83、供給掃描信號的柵極配線84、TFT(Thin Film Transistor薄膜電晶體)85、漏電極86、接觸孔87、象素電極88、液晶層89及對置電極90。
源極配線83及柵極配線84,按柵格狀排列在下玻璃基板82上。TFT85,是設在每個柵格點上的開關元件。象素電極88,通過TFT85、漏電極86及接觸孔87與源極配線83連接。對置電極90,隔著液晶層89與象素電極88相對地配置。
最近以來,上述象素電極88大多以平整的膜形成。因此,在TFT85等的上層設置絕緣保護膜91.並且,在絕緣保護膜91與象素電極88之間,設置用於使該象素電極88平整化的層間絕緣膜92。此外,為使象素電極88與漏電極86連接,在層間絕緣膜92上開有貫通孔,從而設置接觸孔87。該接觸孔87,與作為漏電極86的延長部的連接電極86a接觸。
另外,該接觸孔87,由於象素電極88即使在一個部位上與漏電極86接觸就可以實現電氣連接,因此,如圖9所示,對一個象素形成一個。
此外,如圖8所示,在下玻璃基板82上,還形成著與上述柵極配線84平行且在同一平面上的輔助電容電極93。在與該輔助電容電極93相對的面(液晶層89側的面)上,隔著柵極絕緣膜94形成著連接電極86a。該連接電極86a,是漏電極86的延長部分,上述接觸孔87與該連接電極86a接觸。
因此,上述輔助電容電極93與漏電極86的延長部分的重疊部分,起著存儲電容95的作用。而且,夾在上述輔助電容電極93與漏電極86的連接電極86a之間的柵極絕緣膜94,在結構上起著存儲電容95的介質層的作用。
但是,在上述現有的液晶顯示裝置及其缺陷修正方法中,存在著儘管在輔助電容電極93與漏電極86之間發生了漏電但該漏電缺陷不可能修正的問題。
即,當圖9中示出的漏電極86的連接電極86a與輔助電容電極93之間發生漏電時,即使將漏電極86的細線部86b切斷,象素電極88的電位也會通過接觸孔87、連接電極86a降落在輔助電容電極93上。其結果是,不能保持象素電極88的電位,而使該象素電極88變為斷開狀態。因此即使進行了上述的修正也是無效的。
另外,當源極配線83與連接電極86a之間發生漏電時,也不可能對該漏電進行修正。即,即使將漏電極86的細線部86b切斷,象素電極88的電位也同樣會通過接觸孔87、連接電極86a降落在源極配線83上。其結果是,不能保持象素電極88的電位,而使該象素電極88變為斷開狀態。因此即使進行了上述的修正也是無效的。
此外,當漏電量小時如上所述,但當漏電量大時,施加於源極配線83的信號總是要加在象素電極88上。其結果是,使該象素電極88始終為斷開狀態。因此,這時,即使將漏電極86的細線部86b切斷,同樣也不能修正缺陷。
另一方面,為了防止因輔助電容電極93與漏電極86之間的漏電而引起的象素電極88的電位降落,雖然可以將象素電極88的接觸孔87的部分剝掉,但這將使該象素不能再生。
另外,在將上述象素電極88的接觸孔87的部分剝掉時,或當在層間絕緣膜92的形成工序中不能形成接觸孔87時(當變成不能在層間絕緣膜92上開出接觸孔87的狀態時),存在著在正常白色模式下該象素必然變為亮點因而使該缺陷非常明顯的問題。
另外,作為這種漏電缺陷修正方法,例如還有日本公開專利公報「特開平4-80723公報(
公開日1992年3月13日)」中公開的方法。但是,該公報所公開的技術,以修正前的數值孔徑狹小的液晶板為對象。而且,當導電體中發生漏電缺陷時,在用雷射將該導電體切斷的同時,隨後還必須通過熔融而連接其他代用導電體,從這一點上看,不一定很容易修正,而且修正的成功率也不一定很高。
本發明的目的在於,提供一種很容易修正輔助電容電極與漏電極的漏電缺陷和(或)源極配線與漏電極的漏電缺陷並能保持正常象素功能的液晶顯示裝置及其缺陷修正方法。
為達到上述目的,本發明的液晶顯示裝置,其特徵在於包含按柵格狀排列的柵極配線和源極配線、設在各柵格點上的開關元件、與上述開關元件的漏電極連接的象素電極、可形成與上述象素電極串聯連接的存儲電容並與柵極配線在同一工序中形成且與上述柵極配線平行配線的輔助電容電極、在上述開關元件的漏電極的延長部上沿延長方向串列設置的通過連接部相互連接的2個部位的電極,上述2個部位的電極中,至少靠近上述開關元件一側的電極,通過在層間絕緣膜上形成的貫通孔與上述象素電極連接,上述2個部位的電極中,從上述開關元件看去在遠側的電極,隔著上述輔助電容電極及絕緣膜層疊而形成上述存儲電容,另一方面,靠近上述開關元件一側的電極,隔著通過另一個連接部與上述輔助電容電極連接的輔助電容電極延長部及上述絕緣膜層疊而形成另一個存儲電容。
按照上述結構,當輔助電容電極或源極配線與遠側的電極短路時,通過用雷射將連接部及另一個連接部切斷,即可修正漏電缺陷。
另外,在將上述遠側的電極通過在上述層間絕緣膜上形成的另一個貫通孔與上述象素電極連接時,進一步,可以使上述遠側的電極與象素電極在電氣上切斷,從而修正漏電缺陷。
即使如上所述用雷射將連接部及另一個連接部切斷、或使遠側的電極與象素電極在電氣上切斷,但近側的電極仍與象素電極接觸,所以該象素仍可以與漏電極電氣連接。
另一方面,在該液晶顯示裝置中,即使當輔助電容電極延長部與近側的電極短路時,也可以通過用雷射將連接部及另一個連接部切斷而修正漏電缺陷。
這裡,儘管將連接部及另一個連接部切斷,而象素電極仍保持與輔助電容電極延長部短路的狀態,但因該輔助電容電極延長部與輔助電容電極切斷並起著漏電極的作用,所以沒有任何影響。
其結果是,可以提供很容易修正輔助電容電極與漏電極的漏電缺陷及源極配線與漏電極的漏電缺陷並能保持正常象素功能的液晶顯示裝置。
另外,本發明的液晶顯示裝置,其特徵在於包含按柵格狀排列的柵極配線和源極配線、設在各柵格點上的開關元件、與上述開關元件的漏電極連接的象素電極、可形成與上述象素電極串聯連接的存儲電容並與柵極配線在同一工序中形成且與上述柵極配線平行配線的輔助電容電極、在上述開關元件的漏電極的延長部上沿延長方向並列設置的通過與上述漏電極的連接部及從上述連接部分支的分支連接部相互連接的2個部位的電極,上述2個部位的電極,通過在層間絕緣膜上分別形成的貫通孔與上述象素電極連接,同時隔著上述輔助電容電極及絕緣膜層疊而分別形成上述存儲電容。
按照上述結構,當2個部位的電極中的任何一個與輔助電容電極或源極配線短路時,通過用雷射將與短路側的電極連接的連接部或分支連接部切斷並進一步使短路側的電極與象素電極在電氣上切斷,可以修正漏電缺陷。
此外,即使如上所述用雷射將連接部切斷並使短路側的電極與象素電極在電氣上切斷,但另一個電極仍與象素電極接觸,所以該象素仍可以與漏電極電氣連接。
其結果是,可以提供很容易修正輔助電容電極與漏電極的漏電缺陷及源極配線與漏電極的漏電缺陷並能保持正常象素功能的液晶顯示裝置。
另外,本發明液晶顯示裝置的缺陷修正方法,其液晶顯示裝置包含按柵格狀排列的柵極配線和源極配線、設在各柵格點上的開關元件、與上述開關元件的漏電極連接的象素電極、可形成與上述象素電極串聯連接的存儲電容並與柵極配線在同一工序中形成且與上述柵極配線平行配線的輔助電容電極,該缺陷修正方法的特徵在於上述液晶顯示裝置,還包含在上述開關元件的漏電極的延長部上沿延長方向串列設置的通過連接部相互連接的2個部位的電極,上述2個部位的電極中,至少靠近上述開關元件一側的電極,通過在層間絕緣膜上形成的貫通孔與上述象素電極連接,上述2個部位的電極中,從上述開關元件看去在遠側的電極,隔著上述輔助電容電極及絕緣膜層疊而形成上述存儲電容,另一方面,靠近上述開關元件一側的電極,隔著通過另一個連接部與上述輔助電容電極連接的輔助電容電極延長部及上述絕緣膜層疊而形成另一個存儲電容,當上述輔助電容電極與上述遠側的電極短路時,或當上述輔助電容電極延長部與靠近上述開關元件一側的電極短路時,包括通過雷射的照射而將上述連接部及上述另一個連接部切斷的步驟。
按照上述構成方式,在上述液晶顯示裝置中,當輔助電容電極與遠側的電極短路時,或當輔助電容電極延長部與近側的電極短路時,通過用雷射將上述連接部及另一個連接部切斷,可以修正漏電缺陷。
另外,在將上述遠側的電極通過在上述層間絕緣膜上形成的另一個貫通孔與上述象素電極連接時,進一步,可以使上述遠側的電極與象素電極在電氣上切斷,從而修正漏電缺陷。
此外,儘管按如上方式將連接部及另一個連接部切斷,而象素電極仍與輔助電容電極保持短路狀態,但因該輔助電容電極延長部與輔助電容電極切斷並起著漏電極的作用,所以沒有任何影響。
其結果是,可以提供很容易修正輔助電容電極與漏電極的漏電缺陷並能保持正常象素功能的液晶顯示裝置的缺陷修正方法。
另外,本發明液晶顯示裝置的缺陷修正方法,其液晶顯示裝置包含按柵格狀排列的柵極配線和源極配線、設在各柵格點上的開關元件、與上述開關元件的漏電極連接的象素電極、可形成與上述象素電極串聯連接的存儲電容並與柵極配線在同一工序中形成且與上述柵極配線平行配線的輔助電容電極,該缺陷修正方法的特徵在於上述液晶顯示裝置,包含在上述開關元件的漏電極的延長部上沿延長方向並列設置的通過與上述漏電極的連接部及從上述連接部分支的分支連接部相互連接的2個部位的電極,上述2個部位的電極,通過在層間絕緣膜上分別形成的貫通孔與上述象素電極連接,同時隔著上述輔助電容電極及絕緣膜層疊而分別形成上述存儲電容,當上述2個部位的電極中的任何一個電極與上述輔助電容電極短路時,包括通過雷射的照射而將與短路側的電極連接的連接部或分支連接部切斷的步驟及使上述短路側的電極與象素電極在電氣上切斷的步驟。
按照上述構成方式,在上述液晶顯示裝置中,當2個部位的電極中的任何一個與輔助電容電極短路時,通過雷射的照射而將與短路側電極連接的連接部或分支連接部切斷並進一步使短路側的電極與象素電極在電氣上切斷,即可修正漏電缺陷。
另外,即使如上所述用雷射將連接部切斷並使短路側的電極與象素電極在電氣上切斷,但另一個電極仍與象素電極接觸,所以該象素仍可以與漏電極電氣連接。
其結果是,可以提供很容易修正輔助電容電極與漏電極的漏電缺陷並能保持正常象素功能的液晶顯示裝置的缺陷修正方法。
另外,本發明液晶顯示裝置的缺陷修正方法,其液晶顯示裝置包含按柵格狀排列的柵極配線和源極配線、設在各柵格點上的開關元件、與上述開關元件的漏電極連接的象素電極、可形成與上述象素電極串聯連接的存儲電容並與柵極配線在同一工序中形成且與上述柵極配線平行配線的輔助電容電極,該缺陷修正方法的特徵在於上述液晶顯示裝置,包含在上述開關元件的漏電極的延長部上沿延長方向串列設置的通過連接部相互連接的2個部位的電極,上述2個部位的電極中,至少靠近上述開關元件一側的電極,通過在層間絕緣膜上形成的貫通孔與上述象素電極連接,上述2個部位的電極中,從上述開關元件看去在遠側的電極,隔著上述輔助電容電極及絕緣膜層疊而形成上述存儲電容,另一方面,靠近上述開關元件一側的電極,隔著通過另一個連接部與上述輔助電容電極連接的輔助電容電極延長部及上述絕緣膜層疊而形成另一個存儲電容,當上述源極配線與遠側的電極短路時,包括用雷射將連接部及另一個連接部切斷的步驟。
按照上述構成方式,在上述液晶顯示裝置中,當源極配線與遠側的電極短路時,通過用雷射將連接部及另一個連接部切斷,可以修正漏電缺陷。
另外,在將上述遠側的電極通過在上述層間絕緣膜上形成的另一個貫通孔與上述象素電極連接時,進一步,可以使上述遠側的電極與象素電極在電氣上切斷,從而修正漏電缺陷。
其結果是,可以提供很容易修正源極配線與漏電極的漏電缺陷並能保持正常象素功能的液晶顯示裝置的缺陷修正方法。
另外,本發明液晶顯示裝置的缺陷修正方法,其液晶顯示裝置包含按柵格狀排列的柵極配線和源極配線、設在各柵格點上的開關元件、與上述開關元件的漏電極連接的象素電極、可形成與上述象素電極串聯連接的存儲電容並與柵極配線在的同一工序中形成且與上述柵極配線平行配線的輔助電容電極,該缺陷修正方法的特徵在於上述液晶顯示裝置,包含在上述開關元件的漏電極的延長部上沿延長方向並列設置的通過與上述漏電極的連接部及從上述連接部分支的分支連接部相互連接的2個部位的電極,上述2個部位的電極,通過在層間絕緣膜上分別形成的貫通孔與上述象素電極連接,同時隔著上述輔助電容電極及絕緣膜層疊而分別形成上述存儲電容,當上述2個部位的電極中的任何一個與上述源極配線短路時,包括通過雷射的照射而將與短路側的電極連接的連接部或分支連接部切斷的步驟及使短路側的電極與象素電極在電氣上切斷的步驟。
按照上述構成方式,在上述液晶顯示裝置中,當2個部位的電極中的任何一個與源極配線短路時,通過雷射的照射而將與短路側的電極連接的連接部或分支連接部切斷並進一步使短路側的電極與象素電極在電氣上切斷,即可修正漏電缺陷。
其結果是,可以提供很容易修正源極配線與漏電極的漏電缺陷並能保持正常象素功能的液晶顯示裝置的缺陷修正方法。
本發明的其他目的、特徵、及優點,通過如下所述就可以充分理解。另外,本發明的優點,在以下參照附圖的說明中可以清楚地看出。


圖1是表示本發明的液晶顯示裝置及其缺陷修正方法的一實施形態的圖,即表示液晶顯示板的平面圖。
圖2是表示上述液晶顯示板的平面圖。
圖3是表示本發明的液晶顯示裝置及其缺陷修正方法的另一實施形態的圖,即表示液晶顯示板的平面圖。
圖4是表示本發明的液晶顯示裝置及其缺陷修正方法的另一實施形態的圖,即表示液晶顯示板的平面圖。
圖5是表示本發明的液晶顯示裝置及其缺陷修正方法的另一實施形態的圖,即表示圖1所示液晶顯示板中的由源極配線和連接電極的殘留膜引起的短路狀態的平面圖。
圖6是表示上述液晶顯示裝置的缺陷修正方法的圖,即表示圖3所示液晶顯示板中的由源極配線和連接電極的殘留膜引起的短路狀態的平面圖。
圖7是表示上述液晶顯示裝置的缺陷修正方法的圖,即表示圖4所示液晶顯示板中的由源極配線和連接電極的殘留膜引起的短路狀態的平面圖。
圖8是表示現有的液晶顯示裝置的液晶顯示板的斷面圖。
圖9是表示上述液晶顯示裝置的液晶顯示板的平面圖。根據圖1和圖2對本發明的一實施形態說明如下。
如圖2所示,本實施形態的液晶顯示裝置的液晶顯示板10,具有玻璃基板1、供給數據信號的源極配線2、供給掃描信號的柵極配線3、TFT(Thin Film Transistor薄膜電晶體)4、漏電極5、作為從TFT4看去在遠側的電極的連接電極5a、作為貫通孔的接觸孔6a、象素電極7、液晶層(圖中未示出)、及對置電極(圖中未示出)。
源極配線2及柵極配線3,按柵格狀排列在玻璃基板1上。TFT4,是設在每個柵格點上的開關元件。象素電極7,通過TFT4、漏電極5及接觸孔6a與源極配線2連接。上述對置電極,隔著上述液晶層與象素電極7相對地配置。
最近以來,上述象素電極7大多以平整的膜形成,在本實施形態中也按這種方式形成。其原因是,在製造液晶顯示板10時,因元件區域內的深度方向的高低不平引起的凹凸變化很大,特別是,在形成接觸孔6a或配線圖案時很難採用幹腐蝕技術。因此,在TFT4和漏電極5等與象素電極7之間設置用於使該象素電極7平整化且使兩者保持絕緣狀態的層間絕緣膜8。
另外,為使象素電極7與漏電極5的連接電極5a連接,在層間絕緣膜8上開孔而設置接觸孔6a。該接觸孔6a,與漏電極5的連接電極5a接觸。
另一方面,在玻璃基板1上,還形成著與上述柵極配線3在同一平面且平行的輔助電容電極11a。並且,在與該輔助電容電極11a相對的面(液晶層側的面)上,隔著作為絕緣膜的柵極絕緣膜12形成上述漏電極5的連接電極5a,並由該連接電極5a與上述接觸孔6a接觸。
因此,上述輔助電容電極11a與漏電極5的連接電極5a的重疊部分,起著存儲電容13a的作用。而且,夾在上述輔助電容電極11a與漏電極5的連接電極5a之間的柵極絕緣膜12,在結構上起著存儲電容13a的介質層的作用。
通過設置上述存儲電容13a,使將TFT4的漏電極5視為基準的總電容增加,並使保持電荷的時間常數增加。因此,能夠防止因IFT4的漏電流引起的象素電位的降低。而當柵極電壓、源極電壓變化時由象素電極7與配線間的寄生電容產生的象素電位的變化,也能通過引入存儲電容13a加以抑制。其結果是,具有能夠減低圖象殘留閃爍等顯示不良的發生等效果。
這裡,在本實施形態的液晶顯示板10中,仍如圖1所示,還形成著一個島狀連接電極5b。該島狀連接電極5b,在漏電極5的連接電極5a的前面作為近側的電極形成。就是說,島狀連接電極5b,在漏電極5的延長部上,在TFT4與連接電極5a之間形成,該島狀連接電極5b與上述連接電極5a,由作為一個連接部的漏極細線部5c連接。該漏極細線部5c,和島狀連接電極5b及上述連接電極5a一起,與上述漏電極5在同一工序形成。
另外,在該島狀連接電極5b的下方,如圖2所示,還形成著一個作為輔助電容電極延長部的島狀輔助電容電極11b。該島狀輔助電容電極11b,與柵極配線3及輔助電容電極11a在同一工序中形成。該島狀輔助電容電極11b與島狀連接電極5b的重疊部分,起著作為另一個存儲電容的島狀存儲電容13b的作用。而且,夾在該島狀輔助電容電極11b與島狀連接電極5b之間的柵極絕緣膜12,在結構上起著島狀存儲電容13b的介質層的作用。
另外,在本實施形態中,雖然形成島狀輔助電容電極11b,但在本發明中不一定必需形成上述島狀輔助電容電極11b。關於不形成島狀輔助電容電極11b的結構,在後文所述的實施形態3中說明。
上述的島狀輔助電容電極11b,如圖1所示,通過作為另一個連接部的補助電容電極細線部11c與一個輔助電容電極11a連接。該補助電容電極細線部11c,也與上述柵極配線3、島狀輔助電容電極11b及輔助電容電極11a在同一工序中形成。
進一步,作為象素電極7的貫通孔的接觸孔6b,與上述島狀連接電極5b接觸。因此,在本實施形態中,象素電極7,通過上述接觸孔6a、6b與漏電極5的連接電極5a或島狀連接電極5b的2個部位接觸。
以下,說明對具有上述結構的液晶顯示裝置的液晶顯示板10中的輔助電容電極11a與漏電極5的連接電極5a的漏電缺陷的修正方法。而液晶顯示板10構成為按正常白色模式動作。
首先,對液晶顯示板10檢查在形成象素電極7的時刻該象素電極7有沒有缺陷。其結果是,當輔助電容電極11a與漏電極5的連接電極5a之間短路而使輔助電容電極11a與連接電極5a發生漏電時,如果不將漏極細線部5c及補助電容電極細線部11c切斷而按原有的狀態使用本實施形態的液晶顯示板10,則當TFT4導通時,施加於輔助電容電極11a的信號直接施加在象素電極7上,所以象素將顯現為亮點。
因此,當輔助電容電極11a與漏電極5的連接電極5a之間短路而使輔助電容電極11a與連接電極5a發生漏電時,如圖1所示,用雷射照射將連接電極5a與島狀連接電極5b之間連接的漏極細線部5c及將輔助電容電極11a與島狀輔助電容電極11b之間連接的補助電容電極細線部11c,從而在該照射部15處切斷。
按照這種方式,使島狀存儲電容13b與輔助電容電極11a分離。此外,這時,來自輔助電容電極11a的信號不再輸入到島狀存儲電容13b,並由島狀連接電極5b起著漏電極5的作用。
接著,用雷射照射形成接觸孔6a的連接電極5a的區域7a,從而將其剝離。
這樣,當在輔助電容電極11a上發生了輔助電容電極11a與漏電極5的連接電極5a的漏電缺陷時,即使將上述漏極細線部5c及補助電容電極細線部11c切斷,輔助電容電極11a與漏電極5的島狀連接電極5b仍通過接觸孔6b、象素電極7、接觸孔6a漏電。因此,如上所述,通過雷射照射將輔助電容電極11a上的接觸孔6a部分的象素電極7的區域7a剝掉,可以將象素電極7與漏電極5的連接電極5a的連接切斷。
按照以上的方法,可以將輔助電容電極11a與漏電極5的連接電極5a的漏電切斷。
可是,進行了修正的象素,有時不能由島狀存儲電容13b及液晶電容保持足夠量的電荷,因而將發生低亮點。
這時,通過使TFT4的源極配線2與漏電極5短路的修正,可以使象素變為黑點。
其結果是,可以修正輔助電容電極11a與漏電極5的連接電極5a的漏電缺陷。此外,還可以減少因接觸孔6a、6b的形成不良而引起的亮點,因而能提高液晶顯示板10的0亮點率、合格品率及無缺陷率。
如上所述,在本實施形態的液晶顯示裝置及其缺陷修正方法中,液晶顯示板10,備有按柵格狀排列的柵極配線3…及源極配線2…。而且,在各柵格點上,設置TFT4…、與該TFT4的漏電極5連接的象素電極7、輔助電容電極11a。輔助電容電極11a,可形成與象素電極7串聯連接的存儲電容13a,並與柵極配線3在同一工序中形成、且與該柵極配線3平行配線。
可是,在現有的液晶顯示裝置中,存在著儘管輔助電容電極11a與漏電極5的連接電極5a之間發生漏電但不可能對該漏電缺陷進行修正的問題。
但是,在本實施形態的液晶顯示裝置的液晶顯示板10中,在TFT4的漏電極5的延長部上沿延長方向串列設置著通過漏極細線部5c相互連接的2個部位的連接電極5a及島狀連接電極5b。而且,2個部位的連接電極5a及島狀連接電極5b,各自通過在層間絕緣膜8上分別形成的接觸孔6a、6b與象素電極7連接。
另外,從TFT4看去與島狀連接電極5b相比在遠側的連接電極5a,隔著輔助電容電板11a及柵極絕緣膜12層疊而形成上述存儲電容13a。
進一步,島狀連接電極5b,隔著通過補助電容電極細線部11c與輔助電容電極11a連接的島狀輔助電容電極11b及柵極絕緣膜12層疊而形成島狀存儲電容13b。
因此,在該液晶顯示裝置的液晶顯示板10中,當輔助電容電極11a與連接電極5a短路時,通過用雷射將漏極細線部5c及補助電容電極細線部11c切斷並進一步使連接電極5a與象素電極7在電氣上切斷,可以對漏電缺陷進行修正。
此外,即使按如上方式進行了使連接電極5a與象素電極7在電氣上切斷的修正,但因島狀連接電極5b仍與象素電極7接觸,所以該象素仍可以與漏電極5電氣連接。
其結果是,可以提供很容易修正輔助電容電極11a與漏電極5的連接電極5a的漏電缺陷並能保持正常象素功能的液晶顯示裝置及其缺陷修正方法。
同時,在該液晶顯示裝置的液晶顯示板10中,當島狀輔助電容電極11b與島狀連接電極5b短路時,通過用雷射將漏極細線部5c及補助電容電極細線部11c切斷,可以修正漏電缺陷。
另外,儘管按如上方式將漏極細線部5c及補助電容電極細線部11c切斷,而象素電極7仍與島狀輔助電容電極11b保持短路狀態,但因該島狀輔助電容電極11b已與輔助電容電極11a切斷並起著漏電極5的作用,所以沒有任何影響。
其結果是,可以提供很容易修正島狀輔助電容電極11b與漏電極5的漏電缺陷並能保持正常象素功能的液晶顯示裝置。
另外,在上述液晶顯示板10及其缺陷修正方法中,漏極細線部5c及補助電容電極細線部11c,用細線形成。
因此,在用雷射將漏極細線部5c及補助電容電極細線部11c切斷時,只需切斷細線即可。所以,當發生各短路時,很容易進行可靠的修正。但是,在本發明中,不一定限制於此,只要能通過雷射照射進行切斷,也可以使用其程度已不能認為是細線的粗線。
另外,在上述液晶顯示板10及其缺陷修正方法中,連接電極5a、島狀連接電極5b,是墊塊狀電極。因此,可以提供很容易對將墊塊狀電極用作連接電極5a及島狀連接電極5b的液晶顯示板10進行漏電缺陷修正並能保持正常象素功能的液晶顯示裝置及其缺陷修正方法。
即,墊塊狀電極,是由一定的區域構成的電極,所以很容易形成接觸孔6a、6b,同時也易於形成存儲電容13a及島狀存儲電容13b。因此,對這種液晶顯示板10是有效的。但是,不一定限制於此,也可以使用其他電極。
另外,在上述液晶顯示板10及其缺陷修正方法中,可以提供很容易對將TFT4用作開關元件的液晶顯示板10進行漏電缺陷修正並能保持正常象素功能的液晶顯示裝置及其缺陷修正方法。但是,在本發明中,不一定限制於此,也可以使用其他開關元件。根據圖3對本發明的另一實施形態說明如下。此外,為便於說明,對與上述實施形態1的附圖所示的構件具有相同功能的構件標以同一符號並將其說明省略。另外,關於在上述實施形態1中所述的各種特徵,也可以組合應用於本實施形態。
本實施形態的液晶顯示裝置的液晶顯示板20,如圖3所示,在漏電極5的連接電極5a的前面形成著一個島狀連接電極5b。就是說,島狀連接電極5b,在TFT4與連接電極5a之間形成。而且,該島狀連接電極5b與上述連接電極5a,由一個漏極細線部5c連接。該漏極細線部5c,也與上述漏電極5在同一工序形成。
另外,在該島狀連接電極5b的下方,與上述實施形態1一樣,為形成島狀存儲電容13b,還形成著一個與柵極配線3及輔助電容電極11a在同一工序中形成的島狀輔助電容電極11b。因此,該島狀輔助電容電極11b與島狀連接電極5b之間的柵極絕緣膜12,起著島狀存儲電容13b的介質層的作用。
上述島狀輔助電容電極11b,通過補助電容電極細線部11c與一個輔助電容電極11a連接。該補助電容電極細線部11c,也與上述柵極配線3、島狀輔助電容電極11b及輔助電容電極11a在同一工序中形成。
這裡,在本實施形態的液晶顯示板20中,象素電極7的兩個接觸孔6b、6c與上述島狀連接電極5b接觸。但是,在本實施形態中,與上述實施形態1不同,不形成在連接電極5a上設有的接觸孔6a。
因此,在本實施形態中,象素電極7,通過2個部位的接觸孔6b、6c與島狀連接電極5b接觸。
但是,在本發明中,不一定限制於此,即使只是1個部位的接觸孔6b也足夠了。此外,在本發明中,也不一定必需形成上述的島狀輔助電容電極11b。
以下,說明對上述液晶顯示裝置的液晶顯示板20中的輔助電容電極11a與漏電極5的連接電極5a的漏電缺陷的修正方法。
即,首先,對液晶顯示板20檢查在形成象素電極7的時刻該象素電極7有沒有缺陷。其結果是,當輔助電容電極11a與漏電極5的連接電極5a之間短路而使輔助電容電極11a與連接電極5a發生漏電時,用雷射照射將連接電極5a與島狀連接電極5b之間連接的漏極細線部5c及將輔助電容電極11a與島狀輔助電容電極11b之間連接的補助電容電極細線部11c,從而在該照射部15處切斷。
按照這種方式,使島狀存儲電容13b與輔助電容電極11a分離。此外,這時,來自輔助電容電極11a的信號不再輸入到島狀存儲電容13b,並由島狀連接電極5b起著漏電極5的作用。
按照以上的方法,可以將輔助電容電極11a與漏電極5的連接電極5a的漏電切斷。
可是,進行了修正的象素,有時不能由島狀存儲電容13b及液晶電容保持足夠量的電荷,因而將發生低亮點。
這時,通過使TFT4的源極配線2與漏電極5短路的修正,可以使象素變為黑點。
如上所述,在本實施形態的液晶顯示裝置的液晶顯示板20及其缺陷修正方法中,在TFT4的漏電極5的延長部上沿延長方向串列設置著通過漏極細線部5c相互連接的2個部位的連接電極5a及島狀連接電極5b。
另外,在上述2個部位的連接電極5a及島狀連接電極5b中,從TFT4看去在近側的島狀連接電極5b,通過在層間絕緣膜8上形成的接觸孔6b、6c與象素電極7連接。進一步,島狀連接電極5b,隔著通過補助電容電極細線部11c與輔助電容電極11a連接的島狀輔助電容電極11b及柵極絕緣膜12層疊而形成島狀存儲電容13b。
另外,從TFT4看去在遠側的連接電極5a,隔著輔助電容電極11a及柵極絕緣膜12層疊而形成存儲電容13a。
因此,在該液晶顯示裝置的液晶顯示板20中,當輔助電容電極11a與從TFT4看去在遠側的連接電極5a短路時,通過用雷射將漏極細線部5c及補助電容電極細線部11c切斷並進一步使連接電極5a與象素電極7在電氣上切斷,可以對漏電缺陷進行修正。
此外,即使按如上方式進行了用雷射將漏極細線部5c及補助電容電極細線部11c切斷的修正,但因近側的島狀連接電極5b仍與象素電極7接觸,所以該象素仍可以與漏電極5電氣連接。
其結果是,可以提供很容易修正輔助電容電極11a與漏電極5的連接電極5a的漏電缺陷並能保持正常象素功能的液晶顯示裝置及其缺陷修正方法。
同時,在本實施形態的液晶顯示裝置的液晶顯示板20中,當島狀輔助電容電極11b與島狀連接電極5b短路時,通過用雷射將漏極細線部5c及補助電容電極細線部11c切斷,可以修正漏電缺陷。
另外,儘管按如上方式將漏極細線部5c及補助電容電極細線部11c切斷,而象素電極7仍與島狀輔助電容電極11b保持短路狀態,但因該島狀輔助電容電極11b已與輔助電容電極11a切斷並起著漏電極5的作用,所以沒有任何影響。
其結果是,可以提供很容易修正島狀輔助電容電極11b與漏電極5(島狀連接電極5b)的漏電缺陷並能保持正常象素功能的液晶顯示裝置。
另外,在上述液晶顯示板20及其缺陷修正方法中,漏極細線部5c及補助電容電極細線部11c,用細線形成。
因此,在用雷射將漏極細線部5c及補助電容電極細線部11c切斷時,只需切斷細線即可。所以,當發生各短路時,很容易進行可靠的修正。
另外,在上述的液晶顯示板20及其缺陷修正方法中,連接電極5a、島狀連接電極5b,是墊塊狀電極。
因此,可以提供很容易對將墊塊狀電極用作連接電極5a及島狀連接電極5b的液晶顯示板20進行漏電缺陷修正並能保持正常象素功能的液晶顯示裝置及其缺陷修正方法。
另外,在上述的液晶顯示板20及其缺陷修正方法中,可以提供很容易對將TFT4用作開關元件的液晶顯示板20進行漏電缺陷修正並能保持正常象素功能的液晶顯示裝置及其缺陷修正方法。根據圖4對本發明的另一實施形態說明如下。此外,為便於說明,對與上述實施形態1及實施形態2的附圖所示的構件具有相同功能的構件標以同一符號並將其說明省略。另外,關於在上述實施形態1及實施形態2中所述的各種特徵,也可以組合應用於本實施形態。
本實施形態的液晶顯示裝置的液晶顯示板30,如圖4所示,作為從漏電極5延伸形成的2個部位的電極中的一個的連接電極5a,與以往一樣,仍作為原來的漏極細線部31延伸並配置在輔助電容電極11a的上方位置。並且,在該連接電極5a的上側,以與該連接電極5a接觸的狀態設置作為象素電極7的貫通孔的接觸孔6a。
另一方面,在本實施形態中,從自上述漏電極5延伸的漏極細線部31的中部位置分出一個漏極分支細線部32。並且,在該漏極分支細線部32的末端,在輔助電容電極11a的上方位置配置著一個作為2個部位的電極中的一個的分支側連接電極33。因此,上述連接電極5a及分支側連接電極33,在輔助電容電極11a上橫排並列設置。
其結果是,上述連接電極5a與輔助電容電極11a的重疊部分,起著存儲電容13a的作用,另一方面,分支側連接電極33與輔助電容電極11a的重疊部分,起著著分支部存儲電容13c的作用。
另外,在該分支側連接電極33的上側,也以與該分支側連接電極33接觸的方式設置著作為象素電極7的貫通孔的接觸孔6d。
因此,在本實施形態的液晶顯示板30中,象素電極7,也在連接電極5a的接觸孔6a及分支側連接電極33的接觸孔6d的2個部位上接觸。
另外,上述分支側連接電極33和漏極分支細線部32以及接觸孔6d,分別與連接電極5a、漏電極5及接觸孔6a在同一工序中形成。
以下,說明對具有上述結構的液晶顯示裝置的液晶顯示板30中的輔助電容電極11a與漏電極5的連接電極5a的漏電缺陷、或輔助電容電極11a與分支側連接電極33的漏電缺陷的修正方法。
即,首先,對液晶顯示板30檢查在形成象素電極7的時刻該象素電極7有沒有缺陷。
其結果是,首先,當輔助電容電極11a與漏電極5的連接電極5a之間短路而使輔助電容電極11a與連接電極5a發生漏電時,用雷射照射漏電極5與連接電極5a之間的漏極細線部31,從而在該照射部34a處切斷。而這時的漏極細線部31的切斷部位,在漏極分支細線部32的分支部分後邊的末端側。
可是,這時,輔助電容電極11a與分支側連接電極33,仍通過連接電極5a、接觸孔6a、象素電極7及接觸孔6d漏電。
因此,使雷射照射與連接電極5a接觸的接觸孔6a上的象素電極7,從而將區域7a剝掉。
按照這種方式,可以將輔助電容電極11a與漏電極5的分支側連接電極33的漏電切斷。此外,在這種情況下,由在分支側連接電極33與輔助電容電極11a之間形成的分支部存儲電容13c保持電荷,所以如使其具有足夠的電容量,則可以保持正常的象素功能。
另一方面,當不能由上述分支部存儲電容13c及液晶電容保持足夠量的電荷因而發生低亮點時,可以進行使TFT4的源極配線2與漏電極5短路的修正,從而使象素變為黑點。
其次,當輔助電容電極11a與漏電極5的分支側連接電極33短路而使輔助電容電極11a與分支側連接電極33發生漏電時,按照與上述同樣的方式,用雷射照射漏電極5與分支側連接電極33之間的漏極分支細線部32,從而在該照射部34b處切斷。
這時,輔助電容電極11a與連接電極5a,仍通過分支側連接電極33、接觸孔6d、象素電極7及接觸孔6a漏電。
因此,使雷射照射與分支側連接電極33接觸的接觸孔6d上的象素電極7,從而將區域7b剝掉。
按照這種方式,可以將輔助電容電極11a與漏電極5的連接電極5a的漏電切斷。此外,在這種情況下,由在連接電極5a與輔助電容電極11a之間形成的存儲電容13a保持電荷,所以如使其具有足夠的電容量,則可以保持正常的象素功能。
另一方面,當不能由上述存儲電容13a及液晶電容保持足夠量的電荷因而發生低亮點時,可以進行使TFT4的源極配線2與漏電極5短路的修正,從而使象素變為黑點。
如上所述,在本實施形態的液晶顯示裝置的液晶顯示板30及其缺陷修正方法中,在TFT4的漏電極5的延長部上沿延長方向並列設置著通過漏極細線部31及漏極分支細線部32相互連接的2個部位的連接電極5a及分支側連接電極33。
另外,2個部位的連接電極5a及分支側連接電極33,各自通過在層間絕緣膜8上分別形成的接觸孔6a、6d與象素電極7連接。而且,連接電極5a及分支側連接電極33,分別隔著柵極絕緣膜12層疊而形成存儲電容13a及分支部存儲電容13c。
因此,在該液晶顯示裝置的液晶顯示板30中,當2個部位的連接電極5a及分支側連接電極33中的任何一個與輔助電容電極11a短路時,通過用雷射將接向短路側的連接電極5a或分支側連接電極33的漏極細線部31或漏極分支細線部32的任何一個切斷並進一步使短路側的連接電極5a或分支側連接電極33與象素電極7在電氣上切斷,可以對漏電缺陷進行修正。
此外,即使按如上方式進行了用雷射將漏極細線部31或漏極分支細線部32切斷並使短路側的連接電極5a或分支側連接電極33與象素電極7在電氣上切斷的修正,但因另一個分支側連接電極33或連接電極5a仍與象素電極7接觸,所以該象素仍可以與漏電極5電氣連接。
其結果是,可以提供很容易修正輔助電容電極11a與漏電極5的連接電極5a或分支側連接電極33的漏電缺陷並能保持正常象素功能的液晶顯示裝置及其缺陷修正方法。
另外,在上述液晶顯示板30及其缺陷修正方法中,漏極細線部5c及補助電容電極細線部11c,用細線形成。
因此,在用雷射將漏極細線部31及漏極分支細線部32切斷時,只需切斷細線即可。所以,當發生各短路時,很容易進行可靠的修正。
另外,在上述的各液晶顯示板30及其缺陷修正方法中,連接電極5a、分支側連接電極33,是墊塊狀電極。
因此,可以提供很容易對將墊塊狀電極用作連接電極5a及分支側連接電極33的液晶顯示板30進行漏電缺陷修正並能保持正常象素功能的液晶顯示裝置及其缺陷修正方法。
另外,在上述的液晶顯示板30及其缺陷修正方法中,可以提供很容易對將TFT4用作開關元件的液晶顯示板30進行漏電缺陷修正並能保持正常象素功能的液晶顯示裝置及其缺陷修正方法。根據圖5~圖7對本發明的另一實施形態說明如下。此外,為便於說明,對與上述實施形態1~實施形態3的附圖所示的構件具有相同功能的構件標以同一符號並將其說明省略。另外,關於在上述實施形態1~實施形態3中所述的各種特徵,也可以組合應用於本實施形態。
另外,在本實施形態中,說明在上述實施形態1~實施形態3所示的作為液晶顯示裝置的液晶顯示板10、20、30內當源極配線與從TFT4看去在遠側的電極及作為漏電極的連接電極5a短路時的缺陷修正方法。
首先,在現有的液晶顯示板中,當源極配線2與包括連接電極5a的漏電極5之間發生漏電時,存在著不可能對該漏電缺陷進行修正的問題。
與此不同,液晶顯示板10、20、30,具有上述的結構。因此,當在液晶顯示板10、20、30內發生上述的漏電缺陷時,可以按如下方式進行處理。
即,在液晶顯示板10中,如圖5所示,例如,當在源極配線2及連接電極5a的製造工序中在源極配線2與連接電極5a之間留有殘留膜41等時,有時會發生使源極配線2與連接電極5a短路的缺陷。
在這種情況下,首先,在液晶顯示板10中,用雷射將漏極細線部5c及作為另一個連接部的輔助電容電極細線部11c切斷,並進一步使連接電極5a與象素電極7在電氣上切斷,從而可以修正漏電缺陷。
即,用雷射將漏極細線部5c及輔助電容電極細線部11c切斷並使連接電極5a與象素電極7在電氣上切斷,從而使源極配線2不能影響到孤立後的連接電極5a。
另外,即使按如上方式進行了使連接電極5a與象素電極7在電氣上切斷的修正,但因作為從TFT4看去在近側的電極的島狀連接電極5b仍與象素電極7接觸,所以該象素仍可以與漏電極5電氣連接。
其結果是,可以提供很容易修正源極配線2與漏電極5的漏電缺陷並能保持正常象素功能的液晶顯示板10及其缺陷修正方法。
其次,在液晶顯示板20中,如圖6所示,例如,當在源極配線2及連接電極5a的製造工序中在源極配線2與連接電極5a之間留有殘留膜41等時,也同樣有時會發生使源極配線2與連接電極5a短路的缺陷。
在這種情況下,在液晶顯示板20中,通過用雷射將漏極細線部5c及作為另一個連接部的輔助電容電極細線部11c切斷,可以修正漏電缺陷。
即,用雷射將漏極細線部5c及輔助電容電極細線部11c切斷並使連接電極5a與象素電極7在電氣上切斷,從而使源極配線2不能影響到孤立後的連接電極5a。
另外,即使按如上方式進行了用雷射將漏極細線部5c及輔助電容電極細線部11c切斷的修正,但因作為較近側的電極的島狀連接電極5b仍與象素電極7接觸,所以該象素仍可以與漏電極5電氣連接。
其結果是,可以提供很容易修正源極配線2與漏電極5的漏電缺陷並能保持正常象素功能的液晶顯示板20及其缺陷修正方法。
進一步,在液晶顯示板30中,如圖7所示,例如,當在源極配線2及作為並列的2個部位的電極的連接電極5a及分支側連接電極33的製造工序中在源極配線2、連接電極5a或分支側連接電極33上留有殘留膜41等時,也同樣有時會發生使留有該殘留膜41等的2個部位的連接電極5a或分支側連接電極33中的任何一個與源極配線2短路的缺陷。
這樣,在液晶顯示板30中,當連接電極5a或分支側連接電極33中的任何一個與源極配線2短路時,用雷射將接向短路側的例如連接電極5a的漏極細線部31切斷並進一步使短路側的連接電極5a與象素電極7在電氣上切斷,由此,即可修正漏電缺陷。
即,通過雷射切斷通向短路側的連接電極5a的漏極細線部31,並且將短路側的連接電極5a與像素電極7電切離,據此,源極配線2的影響便只到孤立的短路側的連接電極5a為止。
另外,即使按如上方式進行了用雷射將漏極細線部31切斷並進一步使短路側的連接電極5a與象素電極7在電氣上切斷的修正,但因分支側連接電極33仍與象素電極7接觸,所以該象素仍可以與漏電極5電氣連接。
其結果是,可以提供很容易修正源極配線2與漏電極5的漏電缺陷並能保持正常象素功能的液晶顯示板30及其缺陷修正方法。
另外,在上述的各液晶顯示板10、20、30的缺陷修正方法中,漏極細線部5c及補助電容電極細線部11c,用細線形成。因此,在用雷射將漏極細線部5c及補助電容電極細線部11c切斷時,只需切斷細線即可。所以,當發生各短路時,很容易進行可靠的修正。但是,在本發明中,不一定限制於此,也可以使用其他配線。
另外,在上述的各液晶顯示板10、20、30的缺陷修正方法中,連接電極5a、島狀連接電極5b及分支側連接電極33,是墊塊狀電極。因此,可以提供很容易對將墊塊狀電極用作連接電極5a、島狀連接電極5b及分支側連接電極33的液晶顯示板10、20、30進行漏電缺陷修正並能保持正常象素功能的液晶顯示裝置及其缺陷修正方法。但是,也可以使用其他電極。
另外,在上述的各液晶顯示板10、20、30的缺陷修正方法中,可以提供很容易對將TFT4用作開關元件的液晶顯示板10、20、30進行漏電缺陷修正並能保持正常象素功能的液晶顯示裝置及其缺陷修正方法。而在本發明中,不一定限制於此,也可以使用其他開關元件。
如上所述,按照本發明的液晶顯示裝置的結構,不僅可以修正漏電極與輔助電容電極的漏電缺陷,而且可以修正漏電極(遠側的電極)與源極配線的漏電缺陷。此外,液晶顯示裝置的數值孔徑,也高於特開平4-80723公報的液晶顯示裝置。進一步,由於只用雷射切割即可進行修正,所以無需上述現有技術的熔融操作,因而修正工序易於進行。因此,修正的成功率也高。
如上所述,本發明的液晶顯示裝置,備有按柵格狀排列的柵極配線和源極配線、設在各柵格點上的開關元件、與上述開關元件的漏電極連接的象素電極、可形成與上述象素電極串聯連接的存儲電容並與柵極配線在同一工序中形成且與上述柵極配線平行配線的輔助電容電極,在該液晶顯示裝置中,在結構上,可以在上述開關元件的漏電極的延長部上沿延長方向串列設置通過連接部相互連接的2個部位的電極,同時,上述2個部位的電極,各自通過在層間絕緣膜上分別形成的貫通孔與上述象素電極連接,上述2個部位的電極中,從開關元件看去在遠側的電極,隔著上述輔助電容電極及絕緣膜層疊而形成上述存儲電容,另一方面,上述2個部位的電極中,從開關元件看去在近側的電極,隔著通過另一個連接部與上述輔助電容電極連接的輔助電容電極延長部及絕緣膜層疊而形成另一個存儲電容。
在上述發明的液晶顯示裝置中,柵極配線和源極配線按柵格狀排列。在各柵格點上,形成開關元件、與上述開關元件的漏電極連接的象素電極、輔助電容電極。上述輔助電容電極,可形成與上述象素電極串聯連接的存儲電容並與柵極配線在同一工序中形成且與上述柵極配線平行配線。
可是,在現有的液晶顯示裝置中,存在著儘管在輔助電容電極與漏電極之間發生漏電但該漏電缺陷不可能修正的問題。此外,還存在著儘管在源極配線與漏電極之間發生漏電但該漏電缺陷也不可能修正的問題。
但是,在本發明的液晶顯示裝置中,在開關元件的漏電極的延長部上沿延長方向串列設置著通過連接部相互連接的2個部位的電極。而且,上述2個部位的電極,各自通過在層間絕緣膜上分別形成的貫通孔與上述象素電極連接。此外,上述2個部位的電極中,從開關元件看去在遠側的電極,隔著上述輔助電容電極及絕緣膜層疊而形成上述存儲電容,另一方面,上述2個部位的電極中,從開關元件看去在近側的電極,隔著通過另一個連接部與上述輔助電容電極連接的輔助電容電極延長部及絕緣膜層疊而形成另一個存儲電容。
因此,在該液晶顯示裝置中,當輔助電容電極或源極配線與遠側的電極短路時,通過用雷射將連接部及另一個連接部切斷並進一步使遠側的電極與象素電極在電氣上切斷,即可修正漏電缺陷。
另外,即使按如上方式進行了使遠側的電極與象素電極在電氣上切斷的修正,但因近側的電極仍與象素電極接觸,所以該象素仍可以與漏電極電氣連接。
另一方面,在該液晶顯示裝置中,當輔助電容電極延長部與近側的電極短路時,通過用雷射將連接部及另一個連接部切斷,即可修正漏電缺陷。
另外,儘管按如上方式將連接部及另一個連接部切斷,而象素電極仍保持與輔助電容電極延長部短路的狀態,但因該輔助電容電極延長部與輔助電容電極切斷並起著漏電極的作用,所以沒有任何影響。
其結果是,可以提供很容易修正輔助電容電極與漏電極的漏電缺陷及源極配線與漏電極的漏電缺陷並能保持正常象素功能的液晶顯示裝置。
另外,本發明的液晶顯示裝置,備有按柵格狀排列的柵極配線和源極配線、設在各柵格點上的開關元件、與上述開關元件的漏電極連接的象素電極、可形成與上述象素電極串聯連接的存儲電容並與柵極配線在同一工序中形成且與上述柵極配線平行配線的輔助電容電極,在該液晶顯示裝置中,在結構上,可以在上述開關元件的漏電極的延長部上沿延長方向串列設置通過連接部相互連接的2個部位的電極,同時,上述2個部位的電極中,從開關元件看去在近側的電極,通過在層間絕緣膜上形成的貫通孔與上述象素電極連接,並隔著通過另一個連接部與上述輔助電容電極連接的輔助電容電極延長部及絕緣膜層疊而形成另一個存儲電容,另一方面,上述2個部位的電極中,從上述開關元件看去在遠側的電極,隔著上述輔助電容電極及絕緣膜層疊而形成上述存儲電容。
按照上述發明,在開關元件的漏電極的延長部上,沿延長方向串列設置著通過連接部相互連接的2個部位的電極。而且,上述2個部位的電極中,從開關元件看去在近側的電極,通過在層間絕緣膜上形成的貫通孔與上述象素電極連接。此外,上述近側的電極,隔著通過另一個連接部與上述輔助電容電極連接的輔助電容電極延長部及絕緣膜層疊而形成另一個存儲電容。另一方面,上述2個部位的電極中,從上述開關元件看去在遠側的電極,隔著上述輔助電容電極及絕緣膜層疊而形成上述存儲電容。
因此,在該液晶顯示裝置中,當輔助電容電極或源極配線與遠側的電極短路時,通過用雷射將連接部及另一個連接部切斷,即可修正漏電缺陷。
另外,即使按如上方式進行了用雷射將連接部及另一個連接部切斷的修正,但因上述近側的電極仍與象素電極接觸,所以該象素仍可以與漏電極電氣連接。
另一方面,在該液晶顯示裝置中,當輔助電容電極延長部與上述近側的電極短路時,通過用雷射將連接部及另一個連接部切斷,即可修正漏電缺陷。
另外,儘管按如上方式將連接部及另一個連接部切斷,而象素電極仍保持與輔助電容電極延長部短路的狀態,但因該輔助電容電極延長部與輔助電容電極切斷並起著漏電極的作用,所以沒有任何影響。
其結果是,可以提供很容易修正輔助電容電極與漏電極的漏電缺陷及源極配線與漏電極的漏電缺陷並能保持正常象素功能的液晶顯示裝置。
另外,本發明的液晶顯示裝置,備有按柵格狀排列的柵極配線和源極配線、設在各柵格點上的開關元件、與上述開關元件的漏電極連接的象素電極、可形成與上述象素電極串聯連接的存儲電容並與柵極配線在同一工序中形成且與上述柵極配線平行配線的輔助電容電極,在該液晶顯示裝置中,在結構上,可以在上述開關元件的漏電極的延長部上沿延長方向並列設置通過連接部相互連接的2個部位的電極,同時,上述2個部位的電極,各自通過在層間絕緣膜上分別形成的貫通孔與上述象素電極連接,並隔著上述輔助電容電極及絕緣膜層疊而分別形成上述存儲電容。
按照上述發明,在開關元件的漏電極的延長部上,沿延長方向並列設置著通過連接部相互連接的2個部位的電極。而且,上述2個部位的電極,各自通過在層間絕緣膜上分別形成的貫通孔與上述象素電極連接,並隔著上述輔助電容電極及絕緣膜層疊而分別形成上述存儲電容。
因此,在該液晶顯示裝置中,當2個部位的電極中的任何一個與輔助電容電極或源極配線短路時,通過用雷射將接向短路側電極的連接部切斷並進一步使短路側的電極與象素電極在電氣上切斷,可以對漏電缺陷進行修正。
此外,即使按如上方式進行了用雷射將連接部切斷並使短路側的電極與象素電極在電氣上切斷的修正,但因另一個電極仍與象素電極接觸,所以該象素仍可以與漏電極電氣連接。
其結果是,可以提供很容易修正輔助電容電極與漏電極的漏電缺陷及源極配線與漏電極的漏電缺陷並能保持正常象素功能的液晶顯示裝置。
另外,本發明液晶顯示裝置的缺陷修正方法,其液晶顯示裝置備有按柵格狀排列的柵極配線和源極配線、設在各柵格點上的開關元件、與上述開關元件的漏電極連接的象素電極、可形成與上述象素電極串聯連接的存儲電容並與柵極配線在同一工序中形成且與上述柵極配線平行配線的輔助電容電極,在該缺陷修正方法中,在結構上,可以在上述開關元件的漏電極的延長部上沿延長方向串列設置通過連接部相互連接的2個部位的電極,上述2個部位的電極,各自通過在層間絕緣膜上分別形成的貫通孔與上述象素電極連接,上述2個部位的電極中,從上述開關元件看去在遠側的電極,隔著上述輔助電容電極及絕緣膜層疊而形成上述存儲電容,另一方面,上述2個部位的電極中,從開關元件看去在近側的電極,隔著通過另一個連接部與上述輔助電容電極連接的輔助電容電極延長部及絕緣膜層疊而形成另一個存儲電容,當上述輔助電容電極與遠側的電極短路時,用雷射將連接部及另一個連接部切斷並使上述遠側的電極與象素電極在電氣上切斷,另一方面,當上述輔助電容電極延長部與近側的電極短路時,用雷射將連接部及另一個連接部切斷。
在上述發明的液晶顯示裝置中,柵極配線和源極配線按柵格狀排列。在各柵格點上,形成開關元件、與上述開關元件的漏電極連接的象素電極、輔助電容電極。上述輔助電容電極,可形成與上述象素電極串聯連接的存儲電容並與柵極配線在同一工序中形成且與上述柵極配線平行配線。
另外,在上述液晶顯示裝置中,在開關元件的漏電極的延長部上沿延長方向串列設置著通過連接部相互連接的2個部位的電極。上述2個部位的電極,各自通過在層間絕緣膜上分別形成的貫通孔與上述象素電極連接。上述2個部位的電極中,從開關元件看去在遠側的電極,隔著上述輔助電容電極及絕緣膜層疊而形成上述存儲電容,另一方面,上述2個部位的電極中,從開關元件看去在近側的電極,隔著通過另一個連接部與上述輔助電容電極連接的輔助電容電極延長部及絕緣膜層疊而形成另一個存儲電容。
於是,在該液晶顯示裝置中,當輔助電容電極與遠側的電極短路時,用雷射將連接部及另一個連接部切斷並進一步使遠側的電極與象素電極在電氣上切斷。
另外,即使按如上方式進行了使遠側的電極與象素電極在電氣上切斷的修正,但因近側的電極仍與象素電極接觸,所以該象素仍可以與漏電極電氣連接。
另一方面,在該液晶顯示裝置中,當輔助電容電極延長部與近側的電極短路時,通過用雷射將連接部及另一個連接部切斷,即可修正漏電缺陷。
另外,儘管按如上方式將連接部及另一個連接部切斷,而象素電極仍保持與輔助電容電極延長部短路的狀態,但因該輔助電容電極延長部與輔助電容電極切斷並起著漏電極的作用,所以沒有任何影響。
其結果是,可以提供很容易修正輔助電容電極與漏電極的漏電缺陷並能保持正常象素功能的液晶顯示裝置的缺陷修正方法。
另外,本發明液晶顯示裝置的缺陷修正方法,其液晶顯示裝置備有按柵格狀排列的柵極配線和源極配線、設在各柵格點上的開關元件、與上述開關元件的漏電極連接的象素電極、可形成與上述象素電極串聯連接的存儲電容並與柵極配線在同一工序中形成且與上述柵極配線平行配線的輔助電容電極,在該缺陷修正方法中,在結構上,可以在上述開關元件的漏電極的延長部上沿延長方向串列設置通過連接部相互連接的2個部位的電極,同時,上述2個部位的電極中,從開關元件看去在近側的電極,通過在層間絕緣膜上形成的貫通孔與上述象素電極連接,並隔著通過另一個連接部與上述輔助電容電極連接的輔助電容電極延長部及絕緣膜層疊而形成另一個存儲電容,另一方面,上述2個部位的電極中,從上述開關元件看去在遠側的電極,隔著上述輔助電容電極及絕緣膜層疊而形成上述存儲電容,而當上述輔助電容電極與遠側的電極短路時,用雷射將連接部及另一個連接部切斷,另一方面,當上述輔助電容電極延長部與近側的電極短路時,用雷射將連接部及另一個連接部切斷。
按照上述發明,液晶顯示裝置,在開關元件的漏電極的延長部上,沿延長方向串列設置著通過連接部相互連接的2個部位的電極。
而且,上述2個部位的電極中,從開關元件看去在近側的電極,通過在層間絕緣膜上形成的貫通孔與上述象素電極連接,並隔著通過另一個連接部與上述輔助電容電極連接的輔助電容電極延長部及絕緣膜層疊而形成另一個存儲電容。
進一步,上述2個部位的電極中,從上述開關元件看去在遠側的電極,隔著上述輔助電容電極及絕緣膜層疊而形成上述存儲電容。
於是,在該液晶顯示裝置中,當輔助電容電極與遠側的電極短路時,通過用雷射將連接部及另一個連接部切斷,即可修正漏電缺陷。
另外,即使按如上方式進行了用雷射將連接部及另一個連接部切斷的修正,但因近側的電極仍與象素電極接觸,所以該象素仍可以與漏電極電氣連接。
另一方面,在該液晶顯示裝置中,當輔助電容電極延長部與近側的電極短路時,通過用雷射將連接部及另一個連接部切斷,即可修正漏電缺陷。
另外,儘管按如上方式將連接部及另一個連接部切斷,而象素電極仍保持與輔助電容電極延長部短路的狀態,但因該輔助電容電極延長部與輔助電容電極切斷並起著漏電極的作用,所以沒有任何影響。
其結果是,可以提供很容易修正輔助電容電極與漏電極的漏電缺陷並能保持正常象素功能的液晶顯示裝置的缺陷修正方法。
另外,本發明液晶顯示裝置的缺陷修正方法,其液晶顯示裝置備有按柵格狀排列的柵極配線和源極配線、設在各柵格點上的開關元件、與上述開關元件的漏電極連接的象素電極、可形成與上述象素電極串聯連接的存儲電容並與柵極配線在同一工序中形成且與上述柵極配線平行配線的輔助電容電極,在該缺陷修正方法中,在結構上,可以在上述開關元件的漏電極的延長部上沿延長方向並列設置通過連接部相互連接的2個部位的電極,同時,上述2個部位的電極,各自通過在層間絕緣膜上分別形成的貫通孔與上述象素電極連接,並隔著上述輔助電容電極及絕緣膜層疊而分別形成上述存儲電容,另一方面,當上述2個部位的電極中的任何一個與輔助電容電極短路時,用雷射將接向短路側電極的連接部切斷,並進一步使短路側的電極與象素電極在電氣上切斷。
在上述發明的液晶顯示裝置中,在開關元件的漏電極的延長部上,沿延長方向並列設置著通過連接部相互連接的2個部位的電極。上述2個部位的電極,各自通過在層間絕緣膜上分別形成的貫通孔與上述象素電極連接,同時隔著上述輔助電容電極及絕緣膜層疊而分別形成上述存儲電容。
於是,在該液晶顯示裝置中,當2個部位的電極中的任何一個與輔助電容電極短路時,通過用雷射將接向短路側電極的連接部切斷並進一步使短路側的電極與象素電極在電氣上切斷,可以對漏電缺陷進行修正。
此外,即使按如上方式進行了用雷射將連接部切斷並使短路側的電極與象素電極在電氣上切斷的修正,但因另一個電極仍與象素電極接觸,所以該象素仍可以與漏電極電氣連接。
其結果是,可以提供很容易修正輔助電容電極與漏電極的漏電缺陷並能保持正常象素功能的液晶顯示裝置的缺陷修正方法。
另外,本發明液晶顯示裝置的缺陷修正方法,其液晶顯示裝置備有按柵格狀排列的柵極配線和源極配線、設在各柵格點上的開關元件、與上述開關元件的漏電極連接的象素電極、可形成與上述象素電極串聯連接的存儲電容並與柵極配線在同一工序中形成且與上述柵極配線平行配線的輔助電容電極,在該缺陷修正方法中,在結構上,可以在上述開關元件的漏電極的延長部上沿延長方向串列設置通過連接部相互連接的2個部位的電極,同時,上述2個部位的電極,各自通過在層間絕緣膜上分別形成的貫通孔與上述象素電極連接,而上述2個部位的電極中,從上述開關元件看去在遠側的電極,隔著上述輔助電容電極及絕緣膜層疊而形成上述存儲電容,另一方面,上述2個部位的電極中,從開關元件看去在近側的電極,隔著通過另一個連接部與上述輔助電容電極連接的輔助電容電極延長部及絕緣膜層疊而形成另一個存儲電容,而當上述源極配線與遠側的電極短路時,用雷射將連接部及另一個連接部切斷並進一步使上述遠側的電極與象素電極在電氣上切斷。
按照上述發明,在上述液晶顯示裝置中,當源極配線與遠側的電極例如因殘留膜等而短路時,通過用雷射將連接部及另一個連接部切斷並進一步使上述遠側的電極與象素電極在電氣上切斷,可以對漏電缺陷進行修正。
即,用雷射將連接部及另一個連接部切斷並使遠側的電極與象素電極在電氣上切斷,從而使源極配線不能影響到孤立後的遠側的電極。
另外,即使按如上方式進行了使遠側的電極與象素電極在電氣上切斷的修正,但因近側的電極仍與象素電極接觸,所以該象素仍可以與漏電極電氣連接。
其結果是,可以提供很容易修正源極配線與漏電極的漏電缺陷並能保持正常象素功能的液晶顯示裝置的缺陷修正方法。
另外,本發明液晶顯示裝置的缺陷修正方法,其液晶顯示裝置備有按柵格狀排列的柵極配線和源極配線、設在各柵格點上的開關元件、與上述開關元件的漏電極連接的象素電極、可形成與上述象素電極串聯連接的存儲電容並與柵極配線在同一工序中形成且與上述柵極配線平行配線的輔助電容電極,在該缺陷修正方法中,在結構上,可以在上述開關元件的漏電極的延長部上沿延長方向串列設置通過連接部相互連接的2個部位的電極,同時,上述2個部位的電極中,從開關元件看去在近側的電極,通過在層間絕緣膜上形成的貫通孔與上述象素電極連接,並隔著通過另一個連接部與上述輔助電容電極連接的輔助電容電極延長部及絕緣膜層疊而形成另一個存儲電容,另一方面,上述2個部位的電極中,從上述開關元件看去在遠側的電極,隔著上述輔助電容電極及絕緣膜層疊而形成上述存儲電容,而當上述源極配線與遠側的電極短路時,用雷射將連接部及另一個連接部切斷。
按照上述發明,在上述液晶顯示裝置中,當源極配線與遠側的電極例如因殘留膜等而短路時,通過用雷射將連接部及另一個連接部切斷,可以對漏電缺陷進行修正。
即,用雷射將連接部及另一個連接部切斷並使遠側的電極與象素電極在電氣上切斷,從而使源極配線不能影響到孤立後的遠側的電極。
另外,即使按如上方式進行了用雷射將連接部及另一個連接部切斷的修正,但因近側的電極仍與象素電極接觸,所以該象素仍可以與漏電極電氣連接。
其結果是,可以提供很容易修正源極配線與漏電極的漏電缺陷並能保持正常象素功能的液晶顯示裝置的缺陷修正方法。
另外,本發明液晶顯示裝置的缺陷修正方法,其液晶顯示裝置備有按柵格狀排列的柵極配線和源極配線、設在各柵格點上的開關元件、與上述開關元件的漏電極連接的象素電極、可形成與上述象素電極串聯連接的存儲電容並與柵極配線在同一工序中形成且與上述柵極配線平行配線的輔助電容電極,在該缺陷修正方法中,在結構上,可以在上述開關元件的漏電極的延長部上沿延長方向並列設置通過連接部相互連接的2個部位的電極,同時,上述2個部位的電極,各自通過在層間絕緣膜上分別形成的貫通孔與上述象素電極連接,並隔著上述輔助電容電極及絕緣膜層疊而分別形成上述存儲電容,另一方面,當上述2個部位的電極中的任何一個與上述源極配線短路時,用雷射將接向短路側電極的連接部切斷,並進一步使短路側的電極與象素電極在電氣上切斷。
按照上述發明,在上述液晶顯示裝置中,當2個部位的電極中的任何一個與源極配線短路時,通過用雷射將接向短路側電極的連接部切斷並進一步使短路側的電極與象素電極在電氣上切斷,可以對漏電缺陷進行修正。
即,用雷射將接向短路側電極的連接部切斷並使短路側電極與象素電極在電氣上切斷,從而使源極配線不能影響到孤立後的短路側的電極。
另外,即使按如上方式進行了用雷射將連接部切斷並使短路側電極與象素電極在電氣上切斷的修正,但因另一個電極仍與象素電極接觸,所以該象素仍可以與漏電極電氣連接。
其結果是,可以提供很容易修正源極配線與漏電極的漏電缺陷並能保持正常象素功能的液晶顯示裝置的缺陷修正方法。
另外,本發明的如上所述的液晶顯示裝置及其缺陷修正方法,連接部及另一個連接部,在結構上可以用細線形成。
按照上述發明,由於連接部及另一個連接部用細線形成。所以在用雷射將該連接部及另一個連接部切斷時,只需切斷細線即可。因此,當發生各短路時,很容易進行可靠的修正。
另外,本發明的如上所述的液晶顯示裝置及其缺陷修正方法,連接部及另一個連接部,在結構上也可以用能通過雷射照射切斷的粗線形成。
另外,本發明的如上所述的液晶顯示裝置及其缺陷修正方法,電極,在結構上可以是墊塊狀電極。
按照上述發明,可以提供很容易對將墊塊狀電極用作電極的液晶顯示裝置進行漏電缺陷修正並能保持正常象素功能的液晶顯示裝置及其缺陷修正方法。
另外,本發明的如上所述的液晶顯示裝置及其缺陷修正方法,開關元件,在結構上可以是薄膜電晶體。
按照上述發明,可以提供很容易對將薄膜電晶體用作開關元件的液晶顯示裝置進行漏電缺陷修正並能保持正常象素功能的液晶顯示裝置及其缺陷修正方法。
在發明的各項詳細說明中所給出的具體的實施形態或實施例,始終是為了弄清楚本發明的技術內容,因而不應只限定於上述的具體例而作狹義的解釋,在本發明的基本宗旨及以下所述的專利權利要求的範圍內,可以實施各種變更。
權利要求
1.一種液晶顯示裝置,包含按柵格狀排列的柵極配線和源極配線、設在各柵格點上的開關元件、與上述開關元件的漏電極連接的象素電極、可形成與上述象素電極串聯連接的存儲電容並與柵極配線在同一工序中形成且與上述柵極配線平行配線的輔助電容電極,該液晶顯示裝置的特徵在於還包含在上述開關元件的漏電極的延長部上沿延長方向串列設置的通過連接部相互連接的2個部位的電極,上述2個部位的電極中,至少靠近上述開關元件一側的電極,通過在層間絕緣膜上形成的貫通孔與上述象素電極連接,上述2個部位的電極中,從上述開關元件看去在遠側的電極,隔著上述輔助電容電極及絕緣膜層疊而形成上述存儲電容,另一方面,靠近上述開關元件一側的電極,隔著通過另一個連接部與上述輔助電容電極連接的輔助電容電極延長部及上述絕緣膜層疊而形成另一個存儲電容。
2.根據權利要求1所述的液晶顯示裝置,其特徵在於上述遠側的電極,還通過在上述層間絕緣膜上形成的另一個貫通孔與上述象素電極連接。
3.根據權利要求1所述的液晶顯示裝置,其特徵在於僅靠近上述開關元件一側的電極,通過在上述層間絕緣膜上形成的貫通孔與上述象素電極連接。
4.根據權利要求1~3中的任何一項所述的液晶顯示裝置,其特徵在於上述連接部及上述另一個連接部,分別用細線形成。
5.根據權利要求1~3中的任何一項所述的液晶顯示裝置,其特徵在於上述2個部位的電極,分別為墊塊狀電極。
6.根據權利要求1~3中的任何一項所述的液晶顯示裝置,其特徵在於上述開關元件,是薄膜電晶體。
7.一種液晶顯示裝置,包含按柵格狀排列的柵極配線和源極配線、設在各柵格點上的開關元件、與上述開關元件的漏電極連接的象素電極、可形成與上述象素電極串聯連接的存儲電容並與柵極配線在同一工序中形成且與上述柵極配線平行配線的輔助電容電極,該液晶顯示裝置的特徵在於還包含在上述開關元件的漏電極的延長部上沿延長方向並列設置的通過與上述漏電極的連接部及從上述連接部分支的分支連接部相互連接的2個部位的電極,上述2個部位的電極,通過在層間絕緣膜上分別形成的貫通孔與上述象素電極連接,同時隔著上述輔助電容電極及絕緣膜層疊而分別形成上述存儲電容。
8.根據權利要求7所述的液晶顯示裝置,其特徵在於上述連接部及上述分支連接部,分別用細線形成。
9.根據權利要求7所述的液晶顯示裝置,其特徵在於上述2個部位的電極,分別為墊塊狀電極。
10.根據權利要求7所述的液晶顯示裝置,其特徵在於上述開關元件,是薄膜電晶體。
11.一種液晶顯示裝置的缺陷修正方法,其液晶顯示裝置包含按柵格狀排列的柵極配線和源極配線、設在各柵格點上的開關元件、與上述開關元件的漏電極連接的象素電極、可形成與上述象素電極串聯連接的存儲電容並與柵極配線在同一工序中形成且與上述柵極配線平行配線的輔助電容電極,該缺陷修正方法的特徵在於上述液晶顯示裝置,還包含在上述開關元件的漏電極的延長部上沿延長方向串列設置的通過連接部相互連接的2個部位的電極,上述2個部位的電極中,至少靠近上述開關元件一側的電極,通過在層間絕緣膜上形成的貫通孔與上述象素電極連接,上述2個部位的電極中,從上述開關元件看去在遠側的電極,隔著上述輔助電容電極及絕緣膜層疊而形成上述存儲電容,另一方面,靠近上述開關元件一側的電極,隔著通過另一個連接部與上述輔助電容電極連接的輔助電容電極延長部及上述絕緣膜層疊而形成另一個存儲電容,當上述輔助電容電極與上述遠側的電極短路時,或當上述輔助電容電極延長部與靠近上述開關元件一側的電極短路時,包括通過雷射的照射而將上述連接部及上述另一個連接部切斷的步驟。
12.根據權利要求11所述的液晶顯示裝置的缺陷修正方法,其特徵在於將上述遠側的電極通過在上述層間絕緣膜上形成的另一個貫通孔與上述象素電極連接,並當上述輔助電容電極與上述遠側的電極短路時,包括使上述遠側的電極與象素電極在電氣上切斷的步驟。
13.根據權利要求11所述的液晶顯示裝置的缺陷修正方法,其特徵在於僅靠近上述開關元件一側的電極,通過在上述層間絕緣膜上形成的貫通孔與上述象素電極連接。
14.根據權利要求11~13中的任何一項所述的液晶顯示裝置的缺陷修正方法,其特徵在於上述連接部及上述另一個連接部,分別用細線形成。
15.根據權利要求11~13中的任何一項所述的液晶顯示裝置的缺陷修正方法,其特徵在於上述2個部位的電極,分別為墊塊狀電極。
16.根據權利要求11~13中的任何一項所述的液晶顯示裝置的缺陷修正方法,其特徵在於上述開關元件,是薄膜電晶體。
17.一種液晶顯示裝置的缺陷修正方法,其液晶顯示裝置包含按柵格狀排列的柵極配線和源極配線、設在各柵格點上的開關元件、與上述開關元件的漏電極連接的象素電極、可形成與上述象素電極串聯連接的存儲電容並與柵極配線在同一工序中形成且與上述柵極配線平行配線的輔助電容電極,該缺陷修正方法的特徵在於上述液晶顯示裝置,包含在上述開關元件的漏電極的延長部上沿延長方向並列設置的通過與上述漏電極的連接部及從上述連接部分支的分支連接部相互連接的2個部位的電極,上述2個部位的電極,通過在層間絕緣膜上分別形成的貫通孔與上述象素電極連接,同時隔著上述輔助電容電極及絕緣膜層疊而分別形成上述存儲電容,當上述2個部位的電極中的任何一個電極與上述輔助電容電極短路時,包括通過雷射的照射而將與短路側的電極連接的連接部或分支連接部切斷的步驟及使上述短路側的電極與象素電極在電氣上切斷的步驟。
18.根據權利要求17所述的液晶顯示裝置的缺陷修正方法,其特徵在於上述連接部及上述另一個連接部,分別用細線形成。
19.根據權利要求17所述的液晶顯示裝置的缺陷修正方法,其特徵在於上述2個部位的電極,分別為墊塊狀電極。
20.根據權利要求17所述的液晶顯示裝置的缺陷修正方法,其特徵在於上述開關元件,是薄膜電晶體。
21.一種液晶顯示裝置的缺陷修正方法,其液晶顯示裝置包含按柵格狀排列的柵極配線和源極配線、設在各柵格點上的開關元件、與上述開關元件的漏電極連接的象素電極、可形成與上述象素電極串聯連接的存儲電容並與柵極配線在同一工序中形成且與上述柵極配線平行配線的輔助電容電極,該缺陷修正方法的特徵在於上述液晶顯示裝置,包含在上述開關元件的漏電極的延長部上沿延長方向串列設置的通過連接部相互連接的2個部位的電極,上述2個部位的電極中,至少靠近上述開關元件一側的電極,通過在層間絕緣膜上形成的貫通孔與上述象素電極連接,上述2個部位的電極中,從上述開關元件看去在遠側的電極,隔著上述輔助電容電極及絕緣膜層疊而形成上述存儲電容,另一方面,靠近上述開關元件一側的電極,隔著通過另一個連接部與上述輔助電容電極連接的輔助電容電極延長部及上述絕緣膜層疊而形成另一個存儲電容,當上述源極配線與遠側的電極短路時,包括用雷射將連接部及另一個連接部切斷的步驟。
22.根據權利要求21所述的液晶顯示裝置的缺陷修正方法,其特徵在於將上述遠側的電極通過在上述層間絕緣膜上形成的另一個貫通孔與上述象素電極連接,並當上述源極配線與上述遠側的電極短路時,包括使上述遠側的電極與象素電極在電氣上切斷的步驟。
23.根據權利要求21所述的液晶顯示裝置的缺陷修正方法,其特徵在於僅靠近上述開關元件一側的電極,通過在上述層間絕緣膜上形成的貫通孔與上述象素電極連接。
24.根據權利要求21~23中的任何一項所述的液晶顯示裝置的缺陷修正方法,其特徵在於上述連接部及上述另一個連接部,分別用細線形成。
25.根據權利要求21~23中的任何一項所述的液晶顯示裝置的缺陷修正方法,其特徵在於上述2個部位的電極,分別為墊塊狀電極。
26.根據權利要求21~23中的任何一項所述的液晶顯示裝置的缺陷修正方法,其特徵在於上述開關元件,是薄膜電晶體。
27.一種液晶顯示裝置的缺陷修正方法,其液晶顯示裝置包含按柵格狀排列的柵極配線和源極配線、設在各柵格點上的開關元件、與上述開關元件的漏電極連接的象素電極、可形成與上述象素電極串聯連接的存儲電容並與柵極配線在的同一工序中形成且與上述柵極配線平行配線的輔助電容電極,該缺陷修正方法的特徵在於上述液晶顯示裝置,包含在上述開關元件的漏電極的延長部上沿延長方向並列設置的通過與上述漏電極的連接部及從上述連接部分支的分支連接部相互連接的2個部位的電極,上述2個部位的電極,通過在層間絕緣膜上分別形成的貫通孔與上述象素電極連接,同時隔著上述輔助電容電極及絕緣膜層疊而分別形成上述存儲電容,當上述2個部位的電極中的任何一個與上述源極配線短路時,包括通過雷射的照射而將與短路側的電極連接的連接部或分支連接部切斷的步驟及使短路側的電極與象素電極在電氣上切斷的步驟。
28.根據權利要求27所述的液晶顯示裝置的缺陷修正方法,其特徵在於上述連接部及上述另一個連接部,分別用細線形成。
29.根據權利要求27所述的液晶顯示裝置的缺陷修正方法,其特徵在於上述2個部位的電極,分別為墊塊狀電極。
30.根據權利要求27所述的液晶顯示裝置的缺陷修正方法,其特徵在於上述開關元件,是薄膜電晶體。
全文摘要
沿TFT的漏電極的延長方向串列設置2個部位的連接電極及島狀連接電極。它們各自通過接觸孔與象素電極連接。遠側的連接電極形成存儲電容。島狀連接電極形成島狀存儲電容。上述島狀輔助電容電極與輔助電容電極連接。這種液晶顯示裝置,可以很容易修正輔助電容電極與漏電極的漏電缺陷及源極配線與漏電極的漏電缺陷並能保持正常象素功能。
文檔編號G09F9/30GK1327167SQ01119468
公開日2001年12月19日 申請日期2001年5月31日 優先權日2000年5月31日
發明者福西一郎 申請人:夏普公司

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