擦拭裝置和液滴噴出裝置、電光裝置及其製法、電子儀器的製作方法

2023-07-31 19:40:36 1

專利名稱：擦拭裝置和液滴噴出裝置、電光裝置及其製法、電子儀器的製作方法
技術領域：
本發明涉及使用以噴墨頭為代表的液滴噴頭的液滴噴出裝置(描繪裝置)中的液滴噴頭的擦拭裝置和具有該擦拭裝置的液滴噴出裝置、電光裝置、電光裝置的製造方法和電子儀器。
背景技術：
知道以往的擦拭裝置，具有搭載相對地把擦拭薄板按壓到液滴噴頭的噴嘴面上的按壓構件的擦取裝置、經由按壓構件輸送擦拭薄板的薄板輸送裝置，在把擦拭薄板按壓噴嘴面的狀態下，在輸送擦拭薄板的同時，把擦取裝置與薄板輸送裝置一體地向平行於噴嘴面的所定擦拭方向移動，用擦拭薄板擦拭噴嘴面(例如參照專利文獻1)。
特開2001-1711135號公報(第4頁，圖2)可是，這樣做時，由洗淨液噴霧噴嘴噴霧的洗淨液的一部分不塗敷到擦拭薄板上，飛散到周圍，所以塗敷到液滴噴頭、薄板輸送裝置等擦拭薄板以外的周圍裝置上，白白浪費洗淨液，並且由於作為洗淨液而使用的溶劑的性質，對裝置造成不良影響。

發明內容
因此，本發明的課題在於提供能使從洗淨液噴霧部件噴出的洗淨液準確地塗敷到擦拭薄板的塗敷區的擦拭裝置和液滴噴出裝置、電光裝置、電光裝置的製造方法和電子儀器。
本發明的擦拭裝置包括擦拭液滴噴頭的噴嘴面的擦拭薄板；在所述擦拭前，對所述擦拭薄板表面的塗敷區把洗淨液噴霧，進行塗敷的洗淨液噴霧部件；其特徵在於包括使從洗淨液噴霧部件噴霧的洗淨液帶電的帶電電極；配置在所述擦拭薄板的背面一側，與所述帶電電極對應的吸附電極。
根據該構成，由帶電電極帶電的洗淨液向配置在擦拭薄板的背面一側的吸附電極飛翔，吸引到與吸附電極對應的擦拭薄板上的塗敷區。
還有，當對擦拭薄板的塗敷區要求所定的形狀時，可以與該形狀對應，作為吸附電極的平面形狀。
此外，可以是帶電電極和洗淨液噴霧部件變為一體的構成。帶電電極和吸附電極的電壓按照必要的洗淨液的吸引力變化。
這時，還具有為了所述液滴噴頭的噴嘴面不帶電，除去塗敷了洗淨液的所述擦拭薄板的靜電的除電部件。
根據該構成，當塗敷在擦拭薄板上的洗淨液無法由吸附電極中和時，可以通過除電部件完全地把擦拭薄板上的洗淨液除電。因此，在擦拭液滴噴頭的噴嘴面時，可以防止由於浸泡帶電的擦拭薄板的洗淨液導致液滴噴頭上設置的電路的靜電破壞等問題。
這時，吸附電極形成為比所述擦拭薄板的薄板寬度還稍微窄的寬度。
根據該構成，可以防止帶電的洗淨液的一部分通過擦拭薄板的薄板寬度更外側繞到擦拭薄板的背面區域，直接吸附到吸附電極上。
這時，吸附電極分割為能個別作用電壓的多個局部電極。
根據該構成，如果任意選擇局部電極中的任意一個或多個局部電極，帶電的洗淨液就塗敷到與選擇的電極形狀對應的擦拭薄板上的區域，所以可以與擦拭對象的形狀對應選擇塗敷區的形狀和大小。例如液滴噴頭的排列方法不同的多個液滴噴頭部件變為可更換，要取得與各液滴噴頭部件的噴嘴位置對應的洗淨液塗敷區時，只要選擇預先配置的多個電極中的任意一個，就能容易地使洗淨液的塗敷區與各噴嘴的位置對應。此外，當選擇多個排列的液滴噴頭的任意一個，要擦拭時，如果與各液滴噴頭對應排列局部電極，就能有選擇地對與需要擦拭的液滴噴頭對應的擦拭薄板區塗敷洗淨液。這時，對於擦拭中不使用的擦拭薄板區不噴出、塗敷洗淨液，所以洗淨液的使用量(噴霧量)減少，並且能進一步減少飛散的洗淨液量。
這時，帶電電極優選具有包圍噴霧的洗淨液的大致環狀的形狀。
根據該構成，通過配置為從洗淨液噴霧噴嘴噴出的洗淨液通過具有大致環狀的形狀的帶電電極內部，從而能均勻並且高效地使洗淨液帶電。
本發明的液滴噴出裝置，其特徵在於，包括所述的擦拭裝置；對工件噴出功能液滴的所述液滴噴頭；使工件對於所述液滴噴頭在X軸方向和Y軸方向相對移動的XY移動機構。
根據該構成，通過擦拭裝置，能把液滴頭的噴嘴面管理為不汙染的狀態，所以能維持穩定的功能液噴出和高精度描繪。此外，可以防止洗淨液引起的周圍裝置的汙染。
本發明的電光裝置，其特徵在於使用所述的液滴噴出裝置，從所述液滴噴頭對工件上噴出功能液滴，形成了成膜部。
同樣，本發明的電光裝置的製造方法的特徵在於使用所述的液滴噴出裝置，從所述液滴噴頭對工件上噴出功能液滴，形成成膜部。
根據這些構成，通過擦拭裝置，能把液滴頭的噴嘴面管理為不汙染的狀態，所以能製造可靠性高的電光裝置。還有，作為電光裝置，考慮到液晶顯示裝置、有機EL(Electro-Luminescence)裝置、電子發射裝置、PDP(Plasma Display Panel)裝置和電泳顯示裝置。還有，電子發射裝置是包含所謂的FED(Field Emission Display)和SED(Surface-ConductionElectron-Emitter Display)裝置的概念。作為電光裝置，考慮到金屬配線的形成、透鏡的形成、抗蝕劑的形成、光擴散體的形成的裝置。此外，考慮到液晶顯示裝置的透明電極(ITO)的形成裝置。
本發明的電子儀器，其特徵在於搭載所述電光裝置或由所述電光裝置的製造方法製造的電光裝置。
這時，作為電子儀器，搭載所謂的平板顯示器的行動電話、個人計算機、以及各種電製品相當於它。
如上所述，根據本發明，調整對擦拭液滴噴頭的噴嘴面的擦拭薄板的洗淨液塗敷量，通過具有同一洗淨液塗敷量的擦拭薄板的各部擦拭液滴噴頭，所以能進行有效並且最佳的液滴噴頭的擦拭。
根據本發明的電光裝置、它的製造方法和電子儀器，使用清靜管理的液滴噴頭的液滴噴出裝置製造，所以能提供可靠性高的高質量電光裝置和電子儀器。


下面簡要說明附圖。
圖1是實施例的描繪裝置的平面模式圖。
圖2是實施例的描繪裝置的平面模式圖。
圖3是說明實施例的頭部件構成的圖。
圖4是功能液滴噴頭的外觀立體圖。
圖5是實施例的擦拭部件的外觀立體圖。
圖6是實施例的擦拭部件的外觀主視圖。
圖7是實施例的擦拭部件的外觀俯視圖。
圖8是說明實施例的擦拭部件的內部構成的圖。
圖9是實施例的框架部件的外觀立體圖。
圖10是實施例的掃描臺的外觀主視圖。
圖11是實施例的擦拭部件的外觀主視圖。
圖12是實施例的擦拭部件的外觀俯視圖。
圖13是實施例的擦拭部件的右側視圖。
圖14是說明實施例的靜電塗敷的構成的模式圖，表示靜電塗敷部件的構成(a)和從洗淨液噴霧頭一側到來的靜電塗敷部件的構成(b)。
圖15是說明實施例2的模式圖。
圖16是說明濾色器製造工序的程序流程圖。
圖17(a)～(e)是按製造工序順序表示的濾色器的模式截面圖。
圖18是表示使用應用本發明的濾色器的液晶裝置的概略構成的要部截面圖。
圖19是表示使用應用本發明的濾色器的第2例液晶裝置的概略構成的要部截面圖。
圖20是表示使用應用本發明的濾色器的第3例液晶裝置的概略構成的要部截面圖。
圖21是作為有機EL裝置的顯示裝置的要部截面圖。
圖22是說明有機EL裝置即顯示裝置的製造工序的程序流程圖。
圖23是說明無機物圍堰的形成的工序圖。
圖24是說明有機物圍堰的形成的工序圖。
圖25說明形成空穴注入/輸送層的過程的工序圖。
圖26是說明形成空穴注入/輸送層的狀態的工序圖。
圖27是說明藍色發光層的過程的工序圖。
圖28是說明形成藍色發光層的狀態的工序圖。
圖29是說明形成各色發光層的狀態的工序圖。
圖30是說明陰極的形成的工序圖。
圖31是等離子體顯示裝置(PDP裝置)即顯示裝置的要部分解立體圖。
圖32是電子發射裝置(FED裝置)即顯示裝置的要部截面圖。
圖33是顯示裝置的電子發射部周圍的平面圖(a)和表示形成方法的平面圖(b)。
圖中1-描繪裝置；3-液滴噴出裝置；20-頭部件；21-液滴噴頭；32-噴嘴；33-噴嘴面；34-噴嘴列；100-擦拭部件；101-擦拭薄板；102-薄板輸送機構；103-擦取部；104-洗淨液噴霧部件；105-部件框架；152-按壓輥；161-洗淨液噴霧頭；200-靜電塗敷部件；203-帶電電極；204-吸附電極；207-除電刷；W-工件。
具體實施例方式
如圖1和圖2所示，描繪裝置1具有機臺2；具有功能液滴噴頭21，寬廣地放置在機臺2的整個區域中的液滴噴出裝置3；連接在液滴噴出裝置3上的功能液供給裝置4；安放在機臺2上，從而設置在液滴噴出裝置3中的頭維護裝置5。此外，在描繪裝置1中，根據基於設置在圖外的控制裝置的控制，液滴噴出裝置3一邊通過功能液供給裝置4接受功能液的供給，液滴噴出裝置3一邊進行對工件W的描繪動作，並且頭維護裝置5對功能液滴噴頭21適當進行維護動作(維護)。
液滴噴出裝置3具有由使工件W主掃描(在X軸方向移動)的X軸臺10和與X軸臺10正交的Y軸臺11構成的移動機構12；可自由移動地安裝在Y軸臺11上的主滑架13；垂直設置在主滑架13上，搭載功能液滴噴頭的頭部件(單元)20。
X軸臺10具有構成X軸方向的驅動系統的電機驅動的X軸滑塊14，在其上可自由移動地搭載吸附臺15和θ臺16構成的設置臺17。同樣，Y軸臺11具有構成Y軸方向的驅動系統的電機驅動的Y軸滑塊19，在其上可自由移動地搭載支撐頭部件20的所述主滑架13。還有，X軸臺10與X軸方向平行配置，直接支撐在機臺2上。而Y軸臺11由直立設置在機臺2上的左右支柱18支撐，跨X軸臺10和頭維護裝置5而在Y軸方向延伸。
頭部件20具有多個(12個)液滴噴頭21、搭載多個液滴噴頭21的頭板22。頭板22可自由插拔地支撐在支撐框架23上，頭部件20在通過支撐框架23定位在主滑架13上的狀態下搭載。還有，後面詳細敘述，但是在支撐框架23上，與頭部件20並列，支撐著功能液供給裝置4的容器部件51(參照圖3)。
如圖4所示，液滴噴頭21具有雙聯的噴嘴列34，包括具有雙聯的連接針25的功能液導入部26；與功能液導入部26連接，與各噴嘴列34對應的雙聯的頭襯底27；與功能液導入部26的下方連接，內部由功能液充滿的形成頭內流道的頭主體28。連接針25連接在圖外的功能液供給裝置上，對液滴噴頭21的頭內流道供給功能液。
頭主體28由腔體(壓電元件)30、具有多個(180個)噴嘴開口的噴嘴面33的噴嘴板31構成，如果驅動液滴噴頭21噴出，則通過腔體30的泵作用，從噴嘴32噴出功能液滴。
如圖3所示，頭板22由不鏽鋼構成的方形厚板形成。在頭板22上，12個功能液滴噴頭21定位，形成從背面一側通過頭保持構件固定它的12個安裝開口(省略圖示)。12個安裝開口按兩個一組分為6組，在與液滴噴頭21的噴嘴列正交的方向(頭板22的長度方向)位置錯開形成各組的安裝開口，從而一部分重複。即12個液滴噴頭21按兩個一組分為6組，在與噴嘴列正交的方向，各組液滴噴頭21的噴嘴列一部分重複地配置為階梯狀。
主滑架13由以下部分構成從下側固定在Y軸臺11上的外觀「I」形的吊設構件40；安裝在吊設構件40的下面，用於進行對(頭部件20的)θ方向的位置修正的θ旋轉機構41；吊設安裝在θ旋轉機構41的下方的滑架主體42。滑架主體42通過支撐框架23支撐頭部件20(參照圖2)。此外，雖然省略圖示，但是在滑架主體42上形成用於遊動嵌入支撐框架23的方形開口，並且設置用於對支撐框架23定位的定位機構，能在把頭部件20定位的狀態下固定。
功能液供給裝置4與頭部件20一起搭載在所述支撐框架23上，並具有由存儲功能液的多個(12個)功能液容器50構成的容器部件51；通過由壓力調整閥55構成的閥部件54連接各功能液容器50和各液滴噴頭21的多個(12個)功能液供給管52；用於把各功能液供給管52連接在各功能液容器50和各液滴噴頭21上的多個(12個)連接部53。
這裡，簡單說明描繪裝置1的一系列動作。首先，作為對工件噴出功能液的描繪作業前的準備，進行頭部件20的位置修正後，進行設置在吸附臺15上的工件W的位置修正。接著，通過X軸臺10使工件W在主掃描方向(X軸方向)往返移動，並且驅動多個液滴噴頭21，進行對工件W的液滴的有選擇的噴出動作。然後使工件W返回後，通過Y軸臺11使頭部件20在副掃描方向(Y軸方向)移動。還有，在本實施例中，對於頭部件20，使工件W在主掃描方向移動，但是也可以是使頭部件20在主掃描方向移動的構成。此外，也可以是把工件W固定，使頭部件20在主掃描方向(X軸方向)副掃描方向(Y軸方向)移動的構成。
接著說明頭維護裝置5的各構成。頭維護裝置5具有搭載在機臺2上，在X軸方向延伸的移動臺60；安放在移動臺60上的從液滴噴頭進行功能液的吸引的吸引部件70；進行液滴噴頭的噴嘴面的擦拭的擦拭部件(擦拭裝置)100。頭部件20在描繪作業的停止時移動到機臺2的上方的維護位置，在該狀態下通過移動臺60，有選擇地使吸引部件70和擦拭部件100來到頭部件20的正下方，進行液滴噴頭21的各種維護。還有，除了所述各部件，還優選在頭維護裝置5中搭載檢查從液滴噴頭21噴出的功能液滴的飛行狀態的噴出檢查部件、測定從液滴噴頭21噴出的功能液滴重量的重量測定部件。
如圖1和圖2所示，吸引部件70具有帽支架71；支撐在帽支架71上，與液滴噴頭21的噴嘴面33密接的(與液滴噴頭21的配置對應的12個)帽72；通過各帽72能吸引(12個)液滴噴頭21的單一吸引泵(省略圖示)；連接各帽72和吸引泵的吸引管(省略圖示)。此外，雖然省略圖示，但是在帽支架71上組入使各帽72升降的帽升降機構，對於面對維護區80的頭部件20的各液滴噴頭21，能使對應的帽72接近、離開。
當進行液滴噴頭21的吸引時，驅動帽升降機構75，使帽72密接液滴噴頭21的噴嘴面33，並且驅動吸引泵73。據此，通過帽72能對液滴噴頭21作用吸引力，從液滴噴頭21強制排出功能液。該功能液的排出除了用於消除/防止液滴噴頭21的堵塞而進行之外，當新設定描繪裝置1時，或液滴噴頭21的噴頭更換時，為了在從功能液容器50到功能液滴噴頭21的功能液流道中填充功能液而進行。
還有，帽72具有接受通過液滴噴頭21的拋棄噴出(衝洗)而噴出的功能液的衝洗盒的功能，接受在工件W的更換時，在暫時停止對工件W的描繪時進行的定期衝洗的功能液。在拋棄噴出(衝洗動作)中，帽升降機構75把帽72從液滴噴頭21的噴嘴面33移動到稍微離開的位置。
此外，吸引部件70在描繪裝置1的不工作時，用於保管液滴噴頭21。這時，使頭部件20面對維護區80，使帽72密接液滴噴頭21的噴嘴面33。據此，密封噴嘴面33，可以防止液滴噴頭21(噴嘴32)的乾燥，可以防止噴嘴32的噴嘴堵塞。
圖5～圖9所示的擦拭部件100，一邊使塗敷有洗淨液的擦拭薄板101與由於液滴噴頭21的功能液的吸引，被功能液附著汙染的液滴噴頭21的噴嘴面33密接，一邊送出，進行擦拭，除去附著在噴嘴面33上的汙染物。還有，以下為了便於說明，使圖5的正面方向為擦拭部件100的前方，同樣使背面方向為擦拭部件100的後方，左右方向分別為擦拭部件100的左右方向。
擦拭部件100由以下部分構成進行擦拭薄板101的送出和卷繞的薄板輸送機構102；使送出的擦拭薄板101接觸液滴噴頭21的噴嘴面33，擦拭它的擦取部件103；對擦拭噴嘴面33之前的擦拭薄板101噴霧、塗敷由功能液的溶劑構成的洗淨液的洗淨液噴霧部件104；使洗淨液帶電，積極防止向周圍裝置的飛散的靜電塗敷部件200；支撐這些擦拭部件100的主構成構件的部件框架105。此外，在擦拭部件100的外部同時設置對洗淨液噴霧部件104供給洗淨液的洗淨液供給裝置(省略圖示)、對洗淨液噴霧部件104和擦取部件103供給壓縮空氣的空氣供給設備(省略圖示)，以使通過控制裝置控制它們的動作。
下面說明擦拭部件100的各構成。
部件框架105具有安放在描繪裝置1的移動臺60上的底座框架110；直立設置在底座框架110的左右兩端部的一對側框架111。此外，部件框架105具有覆蓋薄板輸送機構102的周圍，防止洗淨液的飛散的洗淨液飛散防止蓋112；覆蓋薄板輸送機構102和洗淨液噴霧部件104的周圍的安全蓋113。
在作為左右一對配置的側框架111的側面上，在每側具有5個空氣排氣口120，通過洗淨液的噴霧，部件框架105內部的洗淨液浮遊的空氣通過連接在空氣排氣口120上的排氣管排出到擦拭部件100外部的排氣處理設備(未圖示)。
洗淨液飛散防止蓋112，是為了防止由洗淨液噴霧頭161噴霧的洗淨液從左右側框架111之間的開口部飛散，塗敷到擦拭部件100外部的周圍裝置上而跨兩個框架111之間固定的板狀框架，具有覆蓋側框架111之間的後側開口部的背面一側蓋124；為了覆蓋從擦取部103送出的擦拭薄板而在擦拭部件內部傾斜延伸的內部蓋121；在內部蓋121的下方配置為覆蓋後側的區域，同時具有作為洗淨液盤的功能的底部蓋122。還有，後面詳細敘述，但是在本實施例中，通過靜電塗敷部件200防止洗淨液的飛散，但是為了更可靠地保護周圍裝置，同時設置有洗淨液飛散防止蓋112。
安全蓋113防止在擦拭動作時，指定構件以外的構件捲入伴隨著機械動作的洗淨液噴霧部件104和薄板輸送機構102中，具有覆蓋洗淨液噴霧部件104全體地配置在側框架111的上表面前部的箱狀的部件安全蓋125；覆蓋薄板輸送機構地配置在側框架111的前側面的機構安全蓋126。機構安全蓋126是大致方形的板狀框架，通過在其下邊以左右一對配置的合頁127，在部件框架105的前面側下部可自由旋轉、支撐，對於側框架111的前側開口部成為可自由開關的構造。此外，機構安全蓋126通過配置在側框架111的前面側上部的左右一對磁穩定部，以使能保持關閉狀態。如上所述，具有洗淨液飛散防止蓋112和安全蓋113的部件框架105構成了防止在部件框架105內部噴霧的洗淨液飛散到周圍裝置的箱狀外殼。
薄板輸送機構102，供給擦拭液滴噴頭21的噴嘴面33的擦拭薄板101，從而向擦取部103送出，並且卷繞回收擦取後的擦拭薄板101。
如圖8所示，薄板輸送機構102從部件框架105內部的前部到後側上部配置，在該前部具有供給擦拭薄板101的送出捲軸130、配置在比捲軸130更靠下方的卷繞和回收擦拭薄板的卷繞捲軸131，這些軸體在雙支撐的狀態下，可自由旋轉並且可自由插拔地軸支撐在左右一對直立設置的側框架111上。此外，在送出捲軸130的軸端部設置制動該旋轉，以一定扭矩旋轉的扭矩限制器132，此外在卷繞捲軸131上連接有通過定時皮帶137使它旋轉的卷繞電機133。而從部件框架105的前部到後側上部配置有檢測擦拭薄板101的輸送速度的速度檢測輥134；防止送出的擦拭薄板101對速度檢測輥134和底部蓋122的幹擾，引導擦拭薄板101的第一引導輥135和第二引導輥136。此外，擦拭薄板101在這些軸體上纏繞，以構成著擦拭薄板101的薄板輸送路線。
從送出捲軸130送出的擦拭薄板101經過速度檢測輥134送入擦取部103。而且，圍繞擦取部103旋轉，並且在液滴噴頭21的噴嘴面的擦拭中使用的擦拭薄板101，經過配置在速度檢測輥134的下方的第一引導輥135和第二引導輥136由卷繞捲軸131被卷繞。
卷繞捲軸131，與卷繞電機133之間配置有定時皮帶137，通過驅動卷繞電機133，卷繞捲軸131旋轉，進行擦拭薄板101的卷繞。然後卷繞電機133根據設置在後面敘述的速度檢測輥134的軸端的速度檢測器138的檢測結果，控制速度。
在送出捲軸130上插入有卷狀的擦拭薄板101，卷繞捲軸131通過卷繞擦拭薄板101，新的擦拭薄板101從送出捲軸13被拉出，進行擦拭薄板101的送出。此外，在送出捲軸130上設置有扭矩限制器132，抵抗基於卷繞電機133的薄板卷取，控制旋轉，總在擦拭薄板101上持續作用一定的張力，從而不產生鬆弛。
此外，卷繞捲軸131和送出捲軸130都把其軸端支撐在側框架111上，但是在左側的軸端設置有隔著側框架111，能自由裝卸的卷繞捲軸壓板139和送出捲軸壓板140。即對送出捲軸130補充新的擦拭薄板101，並且把由卷繞捲軸131卷繞的擦拭薄板101向裝置外部回收時，把卷繞捲軸壓板139和送出捲軸壓板140從軸端取下，從擦拭部件100取下兩捲軸139、140，進行。
速度檢測輥134是由自由旋轉的上下2個輥構成的夾持輥，通過設置在一方的輥上的速度檢測器138進行擦拭薄板101的輸送速度的檢測。此外，在送出捲軸130和速度檢測輥134之間的薄板輸送路線上配置使用光反射式的光電傳感器的薄板檢測器141，通過檢測與它對峙的擦拭薄板101的有無，檢測薄板的末端通過。還有，這些檢測結果對控制裝置6輸出，並在擦拭部件100的動作控制中使用。
擦取部103通過由薄板輸送機構102送出的擦拭薄板101擦拭液滴噴頭21的噴嘴面33，具有在左右兩側框架111的側面上部外側，在上下方向自由滑動地設置的左右一對軸承框架151；可自由旋轉地支撐在軸承框架151上，擦拭薄板101旋轉的按壓輥152；固定在兩側框架111上，通過兩個軸承框架151使按壓輥152升降的按壓輥升降部150。
按壓輥152具有與擦拭薄板101的寬度尺寸對應的軸向長度，並且由在軸部的外周安裝橡膠等彈性體的彈性輥構成，以使不會由於擦拭而損傷液滴噴頭21的噴嘴面33。
按壓輥升降部150由以下部分構成在左右一對側框架111的外側面的上部固定的一對子框架155；向上固定在各子框架155上的左右一對按壓輥升降氣缸156。按壓輥升降氣缸156是氣動的返回氣缸，在其活塞杆157的前端連接有上述軸承框架151。因此，如果同時驅動一對按壓輥升降氣缸156，則按壓輥152旋轉，移動的擦拭薄板101上升，與液滴噴頭21的噴嘴面33接觸。
子框架155具有「L」字狀的截面形狀，在其底邊部的上表面固定著按壓輥升降氣缸156的框架。此外，在子框架155的內側側面設置有與軸承框架151配合，引導其升降動作的左右一對引導部158(參照圖5)。
還有，按壓輥升降部150具有限制軸承框架151的升降動作範圍的上升端限制構件159和下降端限制構件160。上升端限制構件159在軸承框架151的配置位置的上部固定在側框架111上，上升的軸承框架151每次碰到，從而規定按壓輥152的升降動作的範圍的上升端位置。這時，圍繞按壓輥152旋轉的擦拭薄板101的向液滴噴頭21的接觸面設定為上升到比液滴噴頭21的噴嘴面稍微高的位置。下降端限制構件160在按壓輥升降部150的下部固定在側框架111上，下降的軸承框架151每次碰到，從而規定按壓輥152的下降端位置。
如上所述，支撐按壓輥152的軸承框架151對於側框架111可升降，如果通過擦拭部件100外部的空氣供給裝置(省略圖示)對按壓輥升降氣缸156供給壓縮空氣，則按壓輥152上升到上升端位置。據此，擦拭薄板101與液滴噴頭21的噴嘴面33接觸，與擦拭薄板101的輸送相結合，進行液滴噴頭21的噴嘴面33的擦取。如果噴嘴面33的擦拭結束，則對按壓輥升降氣缸156的返回一側供給空氣，按壓輥152下降到下降端位置，擦拭薄板101從液滴噴頭21的噴嘴面33離開。
如圖10～圖13所示，洗淨液噴霧部件104具有對擦拭薄板101噴霧、塗敷的洗淨液噴霧頭161；使洗淨液噴霧頭161在左右方向掃描的掃描臺(頭掃描機構)162；載持連接在洗淨液噴霧頭161上的洗淨液供給管和氣體供給管的線纜支架(註冊商標)163；支撐掃描臺162和線纜支架163的掃描臺支撐框架164。洗淨液噴霧部件104掛在所述兩側框架111的前側上部，配置在擦拭部件100上。
掃描臺支撐框架164有安放掃描臺162的掃描臺主框架165和安放線纜支架163的掃描臺副框架166構成，掃描臺主框架165和掃描臺副框架166相互平行延伸。掃描臺主框架165跨兩側框架111支撐，掃描臺副框架166設置在掃描臺主框架165的前面，從跨兩側框架111向前方突出。
而且，以掃描臺主框架165和掃描臺副框架166為底板，設置有覆蓋洗淨液噴霧部件104的所述部件安全蓋125。即洗淨液噴霧部件104收藏在由上板、前板和兩側板構成的部件安全蓋125，成為底板的掃描臺支撐框架164，後板167構成的噴霧部箱168內。此外，後面敘述的頭託架172對著由部件安全蓋125和後板167的間隙構成的狹長開口169。
掃描臺162備有與擦拭薄板101的寬度對應，使洗淨液噴霧頭161在作用方向往返(掃描)的氣動的氣缸機構170；與氣缸機構170平行設置，引導氣缸機構170的滑動(往返)的滑軌171；在頂端一側支撐洗淨液噴霧頭161，並且在基端一側支撐在氣缸機構170上的頭託架172；設置在頭託架172和洗淨液噴霧頭161之間的頭位置調整機構173。
氣缸機構170具有帶速度控制器的無杆氣缸174、通過無杆氣缸174而在左右方向(Y軸方向)往返的滑塊175。無杆氣缸174由在左右方向延伸的氣缸管176、在氣缸管176上滑動的滑塊177構成。在滑塊177的上表面固定著由滑軌171引導滑動的滑塊175。
在掃描臺副框架166上設置成為無杆氣缸174的速度控制器的一對流量調整閥178，這一對流量調整閥178中，用於前往的流量調整閥178連接在氣缸管176的右端部180，用於返回的流量調整閥178連接在氣缸管176的左端部181。此外，連接在一對流量調整閥178上的前往一側氣管和返回一側氣管(都省略圖示)個別連接在所述空氣供給裝置上。這時，一對流量調整閥178(速度控制器)能個別調整滑塊177的前往速度和返回速度，根據對擦拭薄板101的洗淨液的必要塗敷量，調整洗淨液噴霧頭161噴出洗淨液的前往時的速度。
頭託架172由與所述滑塊175的右端面接觸的隔離塊182、隔著隔離塊182固定在滑塊175的右端面上的託架臂183構成。託架臂183的頂端面通過所述狹長開口168向後方延伸，與位於速度檢測輥134和按壓輥152之間的薄板輸送路線上的擦拭薄板101對峙(參照圖8)。
頭位置調整機構173由以下部分構成調整洗淨液噴霧頭161對擦拭薄板101的噴霧角度的噴霧角度調整機構184；在洗淨液噴霧頭161對擦拭薄板101的遠離位置和薄板輸送方向調整噴霧位置的噴霧位置調整機構185。
噴霧角度調整機構184具有固定在託架臂183的頂端部的短圓形軸186；在基端部與圓形軸186連接，在頂端一側支撐洗淨液噴霧頭161的角度調整臂187。角度調整臂187的基端部對於圓形軸的外周面，具有相輔形狀的圓形內周面，並且具有與圓形內周面連接的分開狹縫188。而且，與分開狹縫188正交地擰上了緊固螺絲。即通過鬆開緊固螺絲，對於圓形軸186，角度調整臂187能變更角度，變更後，通過擰緊緊固螺絲，角度調整臂187的基端部夾持圓形軸186，固定。
據此，能調整洗淨液噴霧頭161對於擦拭薄板101的噴霧角度。
噴霧位置調整機構185具有直接支撐洗淨液噴霧頭161的頭支撐臂189；連接頭支撐臂189和所述角度調整臂187的連接塊190。在角度調整臂187上形成在延伸方向延伸的一對長孔193，通過插過該長孔193，與連接塊190配合的一對固定螺絲，能把連接塊190固定在角度調整臂187的延伸方向的任意位置。即通過鬆開一對固定螺絲，能通過連接塊調整洗淨液噴霧頭161對於擦拭薄板101的遠離位置。
同樣，在頭支撐臂189的基端側半部形成在延伸方向延伸的一對長孔194，通過插過該長孔194，與連接塊190配合的一對固定螺絲，使之可以把連接塊固定在角度調整臂187的延伸方向的任意位置。即通過鬆開一對固定螺絲，通過頭支撐臂189調整洗淨液噴霧頭161對於擦拭薄板101的在薄板輸送方向的位置。在頭支撐臂189的頂端一側支撐洗淨液噴霧頭161。此外，後面詳細敘述，但是在頭支撐臂189上，通過絕緣構件205支撐帶電電極203。
如上所述，通過噴霧角度調整機構184和噴霧位置調整機構185，對於位於速度檢測輥134和按壓輥152之間的薄板輸送路線上的擦拭薄板101，以所需的位置和角度進行洗淨液的噴霧、塗敷。
洗淨液噴霧頭161具有噴出洗淨液的噴霧噴嘴191；在保持噴霧噴嘴191的同時，固定在頭支撐臂189上的噴嘴支架192。在噴霧噴嘴191上組入通過旋鈕操作調整洗淨液的噴霧量的調整機構。此外，對噴霧噴嘴191使用把洗淨液噴霧為橢圓形(長圓形)區域的形式的噴嘴，該噴霧區域的長軸方向沿著擦拭薄板101的薄板輸送方向，通過把它在薄板寬度方向掃描，從極接近擦拭薄板101的寬度方向端部的區域均勻地塗敷洗淨液。作為噴霧噴嘴191，可以使用噴霧為圓形區域的噴嘴。
還有，在本實施例中，包含噴霧噴嘴191的洗淨液噴霧頭161固定為垂直於擦拭薄板101，但是可以對於擦拭薄板101傾斜配置洗淨液噴霧頭161。
可是，在本實施例中，作為洗淨液，使用液晶顯示裝置的液晶材料，或者作為隔離塊材料，使用紫外線固化樹脂和熱固化樹脂，作為有機EL裝置的發光材料、或空穴輸送層材料，使用PEDOT(Poly EthylenedioxyThiophene)等。作為洗淨液，與各功能液對應，使用二甲苯或乙醇等。
此外，擦拭薄板101，由洗淨液的溶劑引起的溶出影響比較小的聚酯100％或聚丙烯100％的擦拭材料(布材料)構成。
這裡，如圖14所示，靜電塗敷部件200具有把洗淨液的噴霧吸引到擦拭薄板上的帶電部201、把擦拭薄板101除電的除電部202。
帶電部201具有配置在薄板表面一側的帶電電極203；與帶電電極203型對，配置在擦拭薄板101的背面一側的吸附電極204；對這些電極供給電壓的電源裝置206(參照圖8和圖14)。
帶電電極203是具有大致圓環形狀的電極，通過絕緣構件205支撐在掃描臺162的頭支撐臂189上，使帶電電極203的環中心軸方向與洗淨液噴霧頭161的噴霧方向一致，與擦拭薄板101的表面對峙配置著，以使跟蹤掃描臺162的左右方向(Y軸方向)的掃描。此外，帶電電極203一邊通過電源裝置206供給電荷，一邊在洗淨液的正在噴霧時保持帶電。即從洗淨液噴霧頭161噴出的洗淨液通過位於其噴霧方向的環狀的帶電電極203內部，以使在總帶電的狀態下進行噴霧掃描。還有，在本實施例中，帶電電極203的形狀為大致圓環形狀，但是本發明的帶電電極203並不局限於該形狀，是使洗淨液帶電的構成，就可以，可以是帶電電極203和噴霧噴嘴成為一體的構成。
吸附電極204是配置在比擦拭薄板101的寬度方向兩端部稍微靠內側區域的擦拭薄板背面一側的薄板狀電極，從擦拭薄板101稍微離開，與薄板平行配置，通過電源裝置206，外加與帶電電極203相反的電壓。此外，在比擦拭薄板101的寬度方向更內側配置吸附電極204，所以防止噴出的洗淨液繞過擦拭薄板101，塗敷到吸附電極204或擦拭薄板101的背面。還有，在本實施例中，作為吸附電極204，使用方形的薄板電極，但是並不局限於該形狀，按照要求的塗敷區域的形狀，可以是任意的形狀，關於吸附電極204的位置，如果位於擦拭薄板101的背面一側，也可以與擦拭薄板101的背面接觸。
電源裝置206是在擦拭部件100的外部設置的直流穩壓電源裝置，通過電纜把正一側輸出端子連接到帶電電極203上，把負一側輸出端子連接到吸附電極204上。此外，在本實施例中，對兩電極203、204之間供給400伏的電壓，但是按照必要的洗淨液的吸引力，調整該供給電壓。
薄板除電部202配置在比擦拭薄板101的比帶電電極203更下遊一側，比液滴噴頭21更上遊一側的薄板移動路線上，備有與擦拭薄板101的背面接觸，進行除電的除電刷207；把除電刷207接地的導電電纜208；一邊支撐它們，一邊配置在部件框架105上的薄板除電塊209。通過把擦拭薄板101除電，可以防止擦拭薄板101在進行液滴噴頭21的擦拭時液滴噴頭21中具有的電路的靜電破壞。還有，本實施例的薄板除電部202採用使用除電刷207的構成，但也可以是使用離子發生器的構成。
下面，說明基於本實施例的擦拭部件100的洗淨液噴霧和液滴噴頭21的噴嘴面33的擦拭動作工序。
如果基於液滴噴頭21的吸引部件70的功能液的吸引結束，就使移動臺60(X軸移動臺)工作，使擦拭部件100前往位於維護區80內的頭部件20的液滴噴頭21的正下方，超過與頭部件20對應的位置，使按壓輥移動到其後方。
接著，在使擦拭薄板101的薄板輸送停止的狀態下，開始基於洗淨液噴霧部件104的洗淨液的噴霧。即一邊從洗淨液噴霧頭161噴出洗淨液，一邊通過掃描臺162使洗淨液噴霧頭161在擦拭薄板101的寬度方向(Y軸方向)以等速前往進行掃描。在洗淨液噴霧頭161的前往結束的同時，停止來自洗淨液噴霧頭161的噴霧。
如果洗淨液的塗敷結束，就使按壓輥升降氣缸156工作，使按壓輥152上升到所定的上升端位置，並且驅動卷繞電機133，開始擦拭薄板101的輸送，並且與此同步驅動移動臺60，使擦拭部件100全體向前(X軸方向)移動。即一邊把擦拭薄板101在薄板輸送方向(對於液滴噴頭21，向後)輸送，一邊使擦拭部件100向前移動，以使增加擦拭薄板101對於液滴噴頭21的噴嘴面33的速度。
接著，在擦拭薄板101的塗敷區到達按壓輥152的位置的定時，頭部件20的噴嘴面33開始與擦拭薄板101接觸，從頭部件20(12個液滴噴頭21)的最後方的噴嘴面33依次進行在其前方相鄰的噴嘴面33的擦取。即對於送出的擦拭薄板101，頭部件20的多個噴嘴面33按順序滑動，通過擦拭薄板101的塗敷區能擦拭全部液滴噴頭21的噴嘴面33。優選在按壓輥152在相鄰的噴嘴面33之間移動時，停止擦拭薄板101的輸送，在另一方噴嘴列34到達按壓輥152的位置之前，再度開始擦拭薄板101的輸送，使之有效利用擦拭薄板101。還有，與功能液和洗淨液的種類對應，任意設定擦拭薄板101的輸送速度和液滴噴頭21的移動速度。此外當擦拭所必要的擦拭區與噴霧噴嘴191的噴霧區相比，在薄板輸送方向更長時，一邊重複洗淨液噴霧頭161的前往和返回動作，一邊噴霧，從而使之進行向擦拭薄板101的洗淨液的噴霧、塗敷。
如果液滴噴頭21的噴嘴面33的擦拭結束，就使移動臺60和卷繞電機133的驅動停止，在面對液滴噴頭21的狀態下，停止擦拭薄板101的輸送。然後，對按壓輥升降氣缸156的返回一側供給壓縮空氣，使擦取部103下降，使擦拭薄板101從液滴噴頭21的噴嘴面33離開。
下面，說明基於本實施例的擦拭部件100的洗淨液的噴霧和塗敷和飛散防止效果。
圖14是說明本實施例的靜電塗敷部件的構成的側視圖(a)和從洗淨液噴霧頭一側觀察靜電塗敷部件的構成(b)。
從洗淨液噴霧頭161噴出的洗淨液通過環狀的帶電電極203內部，帶正電荷。帶電的洗淨液向著帶負電的吸附電極204吸引，但是使之與位於吸附電極204之前的擦拭薄板101撞擊後進行塗敷。這時，撞擊擦拭薄板101的洗淨液的一部分不塗敷到擦拭薄板101上，由擦拭薄板101彈回，飛散到周圍。當洗淨液飛散到周圍時，洗淨液自身帶電，所以向著吸附電極204繼續吸引，塗敷到擦拭薄板101的與吸附電極204對峙的區域中。因此，可以防止洗淨液向周圍裝置飛散。接著塗敷到擦拭薄板101上的洗淨液一邊保持帶電的狀態，一邊到達薄板除電部202，該薄板除電部202與薄板背面接觸，中和。通過送入擦拭薄板101，進行液滴噴頭21的噴嘴面33的擦拭。
根據上述的本實施例的擦拭部件100，能在有效防止洗淨液向周圍裝置的飛散的同時，噴出的洗淨液可靠地塗敷到擦拭薄板101上，所以能抑制洗淨液的浪費。
還有，如圖15所示，可以採用由多個分割吸附電極210構成吸附電極204，能任意選擇使帶電的分割吸附電極210的構成。這時的靜電塗敷部件200的帶電部201，具有帶電電極203、配置在擦拭薄板101背面的多個分割吸附電極210、有選擇地對各分割吸附電極210外加電壓的電源裝置206。分割吸附電極210分別是具有長方形形狀的長方形電極，其長度方向沿著擦拭薄板101的輸送方向，與液滴噴頭21的位置對應，在薄板寬度方向同時設置多個。電源裝置206對各分割吸附電極210供給電壓，根據控制裝置的控制，可以為各分割吸附電極210個別選擇供給電壓。因此，液滴噴頭21的排列方法不同的多個頭部件20變為能夠更換，要取得與各頭部件20的噴嘴位置對應的洗淨液塗敷區時，通過選擇預先配置的多個分割吸附電極210中的任意電極，能容易取得與各頭部件20的噴嘴位置對應的洗淨液的塗敷區。此外，當要有選擇地只對汙染物附著的液滴噴頭21進行擦拭時，通過選擇多個分割吸附電極210中的任意電極，能取得只與有必要擦拭的液滴噴頭21對應的塗敷區。這時，優選在包含有必要擦拭的噴霧噴嘴191的液滴噴頭21的噴嘴面33到達按壓輥152的位置之前，使按壓輥152上升到上升端，如果有必要擦拭的噴嘴面33的擦拭結束，就使按壓輥152下降到下降端。這樣，不但可以防止由於對洗淨液附加電荷，導致洗淨液的飛散，而且只對必要的分割吸附電極210噴出洗淨液，所以洗淨液的噴霧量自身減少，所以能取得進一步減少飛散量的效果。
下面，作為使用本實施例的液滴噴出裝置3製造的電光裝置(平板顯示器)，以濾色器、液晶顯示裝置、有機EL裝置、等離子體顯示器(PDP裝置)、電子發射裝置(FED裝置、SED裝置)、進而形成在這些顯示裝置上的有源矩陣襯底為例，說明它們的構造及其製造方法。還有，有源矩陣襯底是指形成薄膜電晶體、電連接在薄膜電晶體上的源線、數據線的襯底。
首先，說明組入液晶顯示裝置或有機EL裝置中的濾色器的製造方法。圖16是表示濾色器的製造工序的程序流程圖，圖17是按照製造工序表示的本實施例的濾色器500(濾色器基體500A)的模式截面圖。
首先，在黑底的形成工序(S101)中，如圖17(a)所示，在襯底(W)501上形成黑底502。黑底502由金屬鉻、金屬鉻和氧化鉻的層疊體或樹脂黑等形成。為了形成由金屬薄膜構成的黑底502，可以使用濺射法或蒸鍍法。此外，在形成由樹脂薄膜構成的黑底502時，可以使用照相凹板印刷法、光刻法、熱複製法。
接著，在圍堰的形成工序(S102)中，在重疊在黑底502的狀態下形成圍堰503。即首先如圖17(b)所示，覆蓋襯底501和黑底502形成由負片型透明感光性樹脂構成的抗蝕劑層504。然後，用形成矩陣圖案形狀的掩模薄膜505覆蓋其上表面的狀態下，進行曝光處理。
進而，如圖17(c)所示，通過對抗蝕劑層504的未曝光部進行蝕刻處理，對抗蝕劑層504圖案形成，形成圍堰503。還有，當通過樹脂黑形成黑底時，能夠兼用作黑底和圍堰。
圍堰503和其下的黑底502成為劃分各像素區507a的劃分壁部507b，在以後的著色層形成工序中，在通過液滴噴頭21形成著色層(成膜部)508R、508G、508B時，規定功能液滴的彈落區域。
經過以上的黑底的形成工序和圍堰的形成工序，取得所述濾色器基體500A。
還有，在本實施例中，作為圍堰503的材料，使用塗膜表面變為疏液(疏水)性的樹脂材料。而且，襯底(玻璃襯底)501的表面是親液性(親水)的，所以在後面敘述的著色層的形成工序中，對由圍堰503(劃分壁部507b)包圍的各像素區507a內的液滴彈落位置精度提高。
接著在著色層的形成工序中(S103)中，如圖17(d)所示，通過液滴噴頭21噴出功能液滴，使其落在由劃分壁部507b包圍的各像素區507a中。這時，使用液滴噴頭21導入R、G、B等3色的功能液(濾色器材料)，進行功能液滴的噴出。還有，作為R、G、B三色的排列圖案，有條紋排列、鑲嵌排列和三角形排列。
然後，經過乾燥處理(加熱等處理)，使功能液固定，形成3色的著色層508R、508G、508B。如果形成著色層508R、508G、508B，就轉移到保護膜的形成工序(S104)，如圖17(e)所示，以覆蓋襯底501、劃分壁部507b、以及著色層508R、508G、508B的上表面的形態形成保護膜509。
即對襯底501的形成著色層508R、508G、508B的面全體噴出保護膜用塗敷液後，經過乾燥處理，形成保護膜509。
然後形成保護膜509後，濾色器500轉移到下一工序的成為透明電極的ITO(Indium Tin Oxide)等膜的附加工序。
圖18表示作為使用所述濾色器500的液晶顯示裝置的一例的無源矩陣型液晶裝置(液晶裝置)的概略構成的要部截面圖。在該液晶裝置520上安裝液晶驅動用IC、背光、支撐體等附帶要素，取得作為最終製品的透射型液晶顯示裝置。還有，濾色器500與圖17所示的濾色器相同，所以對於對應的部位付與相同的符號，省略說明。
該液晶裝置520大致由濾色器500、由玻璃襯底構成的對置襯底521、夾在它們之間的由STN(Super Twisted Nematic)液晶組合物構成的液晶層522構成，把濾色器500配置在圖中上方(觀察者一側)。
還有，雖然未圖示，但是在對置襯底521和濾色器500的外表面(與液晶層522一側相反一側的面)分別配置有偏振片，此外在位於對置襯底521的偏振片的外側配置有背光。
在濾色器500的保護膜509(液晶層一側)上，以所定間隔形成有多個在圖18中的左右方向長的長方形的第一電極523，以覆蓋該第一電極523的與濾色器500相反一側的面的形態形成第一定向膜524。
而在對置襯底521的與濾色器500相對向的面上，以所定間隔形成多個在與濾色器500第一電極523正交的方向長的長方形的第二電極526，以覆蓋該第二電極526的液晶層522一側的面的形態形成第二定向膜527。第一電極523和第二電極526是由ITO等透明導電材料形成的。
設置在液晶層522內的隔離塊528是用於把液晶層522的厚度(單元間隔)保持一定的構件。此外，密封材料529用於防止液晶層522內的液晶組合物向外部洩漏的構件。還有，第一電極523的一端部作為包圍配線延伸到密封材料529的外側。
而且，第一電極523和第二電極526交叉的部分是像素，濾色器500的著色層508R、508G、508B位於該成為像素的部分。
在通常的製造工序中，進行第一電極523的圖案形成和第一定向膜524的塗敷，生成濾色器500一側的部分，並且在與它不同的對置襯底521上進行第二電極526的圖案形成和第二定向膜527的塗敷，生成第二定向膜527一側的部分。然後，在對置襯底521一側的部分中生成隔離塊528和密封材料529，在該狀態下粘貼濾色器500一側的部分。接著，從密封材料529的主入口注入構成液晶層522的液晶，密封注入口。然後，層疊兩個偏振片和背光。
實施例的液滴噴出裝置塗敷構成所述單元間隔的隔離材料(功能液)，並且在對於對置襯底521一側的部分粘貼濾色器500一側的部分之前，能夠對由密封材料529包圍的區域均勻塗敷液晶(功能液)。此外，能夠用液滴噴頭21進行所述密封材料529的印刷。也能夠用液滴噴頭21進行第一和第二定向膜524、527的塗敷。
圖19是表示使用本實施例中製造的濾色器500的液晶裝置的第二例的概略構成的要部截面圖。
該液晶裝置530與所述液晶裝置520的巨大不同點在於在圖中下方(與觀測者一側相反的一側)配置了濾色器500。
該液晶裝置530大致構成為在濾色器500和由玻璃襯底等構成的對置襯底531之間夾著由STN液晶構成的液晶層532。還有，雖然未圖示，但是在對置襯底531和濾色器500的外表面分別配置有偏振片。
在濾色器500的保護膜509上(液晶層532一側)，以所定間隔形成多個在圖中向裡的方向長的長方形的第一電極533，以覆蓋該第一電極533的液晶層532一側的面的形態形成有第一定向膜534。
在對置襯底531的與濾色器500相對向的面上以所定間隔形成多個在與濾色器500一側的第一電極533正交的方向延伸的多個長方形的第二電極536，以覆蓋第二電極536的液晶層532一側的面的形態形成有第二定向膜537。
在液晶層532中設置有用於把液晶層532的厚度保持一定的隔離塊538、用於防止液晶層532內的液晶組合物向外部洩漏的密封材料539。
而且，與所述液晶裝置520同樣，第一電極533和第二電極536交叉的部分是像素，構成為濾色器500的著色層508R、508G、508B位於成為像素的部位。
圖20是表示使用應用本發明的濾色器600構成液晶裝置的第三例，是表示透射型的TFT(Thin Film Transistor)型液晶裝置的概略構成的分解立體圖。
該液晶裝置550在圖中上方(觀察者一側)配置了濾色器500。
該液晶裝置550大致由濾色器500、與它相對向配置的對置襯底551、夾在它們之間的未圖示的液晶層、配置在濾色器500的上表面一側(觀察者一側)的偏振片555、配置在對置襯底551的下表面一側的偏振片(未圖示)而構成。
在濾色器500的保護膜509的表面(對置襯底551一側的面)形成有液晶驅動用的電極556。該電極556由ITO等透明導電材料構成，成為覆蓋形成後面敘述的像素電極560的區域全體的全面電極。此外，在覆蓋該電極556的與像素電極560相反一側的面的狀態下，設置有定向膜557。
在對置襯底551的與濾色器500相對向的面上形成有絕緣層558，在絕緣層558上在彼此正交的狀態下形成有掃描線561和信號線562。而且，在由這些掃描線561和信號線562包圍的區域內形成有像素電極560。還有，在實際的液晶裝置中，在像素電極560上設置定向膜，但是省略圖示。
此外，在由像素電極560的切口部、掃描線561和信號線562包圍的部分組入具有源極、漏極、半導體、柵極的薄膜電晶體563而構成。而且，通過對掃描線561和信號線562外加信號，使薄膜電晶體563導通和斷開，可以進行對像素電極560的通電控制。
還有，所述各例的液晶裝置520、530、550為透射型的構成，但是可以設置反射層或半透半反層，作為反射型的液晶裝置或半透半反型的液晶裝置。
接著，圖21是有機EL裝置的顯示區(以下只稱作顯示裝置600)的要部截面圖。
該顯示裝置600在襯底(W)601上層疊電路元件部602、發光元件部603和陰極604的狀態而構成。
在該顯示裝置600中，從發光元件部603向襯底601一側發出的光透過電路元件部602和襯底601，出射到觀測者一側，並且從發光元件部603向襯底601的相反一側發出的光由陰極604反射後，透射電路元件部602和襯底601，出射到觀測者一側。
在電路元件部602和襯底601之間形成由氧化矽膜構成的底層保護膜606，在底層保護膜606上(發光元件部603一側)形成有由多晶矽構成的島狀的半導體膜607。在該半導體膜607的左右的區域中，分別通過高濃度陽離子注入形成了源區607a和漏區607b。然後，未注入陽離子的中央部成為溝道區607c。
此外，在電路元件部602上形成覆蓋底層保護膜606和半導體膜607的透明的柵絕緣膜608，在該柵絕緣膜608上的與半導體膜607的溝道區607c對應的位置形成有例如由Al、Mo、Ta、Ti、W構成的柵極609。在該柵極609和柵絕緣膜608上形成有透明的第一層間絕緣膜611a和第二層間絕緣膜611b。此外，貫通第一、第二層間絕緣膜611a、611b，在半導體膜607的源區607a、漏區607b上形成有分別連通的接觸孔612a、612b。
然後，在第二層間絕緣膜611b上形成由ITO等構成的透明的像素電極613，圖案形成為所定的形狀，該像素電極613通過接觸孔612a連接在源區607a上。
此外，在第一層間絕緣膜611a上配置有電極614，該電極614通過接觸孔612b連接在漏區607b上。
這樣在電路元件部602上分別形成有連接在各像素電極613上的驅動用的薄膜電晶體615。
所述發光元件部603大致由層疊在多個像素電極613上的功能層617、設置在各像素電極613和功能層617之間並且劃分各功能層617的圍堰部618而構成。
由這些像素電極613、功能層617、配置在功能層617上的陰極604構成發光元件。還有，形成像素電極613，圖案形成為俯視圖中的矩形，在各像素電極613之間形成有圍堰部618。
圍堰部618由以下部分構成由SiO、SiO2、TiO2等無機材料形成的無機物圍堰(bank)618a(第一圍堰)；層疊在該無機物圍堰618a上，並且由丙烯酸樹脂、聚醯亞胺等耐熱性、耐溶劑性優異的抗蝕劑形成的截面梯形的有機物圍堰618b(第二圍堰)。該圍堰部618的一部分在騎到像素電極613的周圍部上的狀態下形成。
而且，在各圍堰部618之間形成對於像素電極613，向上方逐漸擴大的開口部619。
所述功能層617由在開口部619內在層疊狀態下形成在像素電極613上的空穴注入/輸送層617a、形成在該空穴注入/輸送層617a上的發光層617b構成。還有，還可以與該發光層617b相鄰形成具有其他功能的功能層。例如也能形成電子輸送層。
空穴注入/輸送層617a具有從像素電極613一側輸送空穴，向發光層617b注入的功能。通過噴出包含空穴注入/輸送層形成材料的第一組合物(功能液)，形成該空穴注入/輸送層617a。作為空穴注入/輸送層形成材料，使用公知的材料。
發光層617b發出紅色(R)、綠色(G)、或藍色(B)的任意光，通過噴出包含發光層形成材料(發光材料)的第二組合物(功能液)而形成。作為第二組合物的溶劑(非極性溶劑)，優選使用對空穴注入/輸送層617a不溶解的公知的材料，通過對發光層617b的第二組合物使用這樣的非極性溶劑，不會再溶解空穴注入/輸送層617a，可以形成發光層617b。
然後發光層617b構成為，從空穴注入/輸送層617a注入的空穴、從陰極604注入的電子在發光層中再結合，發光。
在覆蓋發光元件部603的全面的狀態下形成陰極604，與像素電極613成對，實現使電流流向功能層617的作用。還有，在該陰極604的上部配置未圖示的密封構件。
下面，參照圖22～圖30說明所述顯示裝置600的製造工序。
該顯示裝置600如圖22所示，經過圍堰部形成工序(S111)、表面處理工序(S112)、空穴注入/輸送層的形成工序(S113)、發光層的形成工序(S114)、對置電極的形成工序(S115)而製造。還有，製造工序並不局限於例示的工序，按照必要，有時除去其他工序，有時追加。
首先，在圍堰部形成工序(S111)中，如圖23所示，在第二層間絕緣膜611b上形成無機物圍堰618a。在形成位置形成無機物膜後，通過光刻技術對該無機物膜圖案形成，從而形成該無機物圍堰618a。這時無機物圍堰618a的一部分與像素電極613的周圍部重疊形成。
如果形成無機物圍堰618a，則如圖24所示，在無機物圍堰618a上形成有機物圍堰618b。該有機物圍堰618b也與無機物圍堰618a同樣，通過光刻技術圖案形成，形成。
這樣就形成圍堰部618。此外，伴隨著此，在各圍堰部618間形成對於像素電極613，向上方開口的開口部619。該開口部619規定像素區。
在表面處理工序(S112)中，進行親液化處理和疏液化處理。進行親液化處理的區域是無機物圍堰618a的第一層疊部618aa和像素電極613的電極面613a，通過以氧氣為處理氣體的等離子體處理把這些區域表面處理為親液性。該等離子體處理也兼任像素電極613的ITO的洗淨。
此外，疏液化處理對有機物圍堰618b的壁面618s和有機物圍堰618b的上表面618t進行，例如通過以四氟甲烷為處理氣體的等離子體處理，把表面氟化(處理為疏液性)。
通過進行該表面處理工序，在使用液滴噴頭21形成功能層617時，能使功能液滴更可靠地彈落在像素區中，此外可以防止彈落在像素區中的功能液滴從開口部619溢出。
而且，經過以上的工序，取得顯示裝置基體600A。把該顯示裝置基體600A安放在圖1所示的液滴噴出裝置3的設置臺101上，進行以下的空穴注入/輸送層的形成工序(S113)、發光層的形成工序(S114)。
如圖25所示，在空穴注入/輸送層的形成工序(S113)中，從液滴噴頭21對像素區即各開口部619內噴出包含空穴注入/輸送層形成材料的第一組合物。然後，如圖26所示，進行乾燥處理和熱處理，使第一組合物種包含的極性溶劑蒸發，在像素電極613(電極面613a)上形成空穴注入/輸送層617a。
接著說明發光層的形成工序(S114)。該發光層的形成工序中，如上所述，為了防止空穴注入/輸送層617a的再溶解，作為形成發光層是使用的第二組合物的溶劑，使用對於空穴注入/輸送層617a，不溶解的非極性溶劑。
可是，空穴注入/輸送層617a對於非極性溶劑的親和性低，所以，即使對空穴注入/輸送層617a上噴出包含非極性溶劑的第二組合物，也無法使空穴注入/輸送層617a和發光層617b密接，或者有可能無法均勻塗敷發光層617b。
因此，為了提高空穴注入/輸送層617a對於非極性溶劑以及發光層形成材料的表面親和性，優選在形成發光層前進行表面處理(表面改質處理)。通過在空穴注入/輸送層617a上塗敷與形成發光層是使用的第二組合物的非極性溶劑相同的溶劑或類似於它的溶劑即表面改質材料，使它乾燥，進行該表面處理。
通過進行這樣的處理，空穴注入/輸送層617a的表面變得對非極性溶劑容易親和，在此後的工序中，可以對空穴注入/輸送層617a均勻塗敷包含發光層形成材料的第二組合物。
然後，如圖27所示，把包含與各色中的任意(在圖27的例子中，藍色(B))對應的發光層形成材料的第二組合物作為功能液滴，對像素區(開口部619)內注入所定量。如注入像素區內的第二組合物在空穴注入/輸送層617a上擴散，充滿開口部619內。還有，萬一第二組合物偏離像素區，彈落在圍堰部618的上表面618t上時，該上表面618t如上所述進行疏液處理，所以第二組合物容易落入開口部619內。
然後，通過進行乾燥工序，對噴出後的第二組合物進行乾燥處理，使第二組合物中包含的非極性溶劑蒸發，如圖28所示，在空穴注入/輸送層617a上形成發光層617b。該圖的情況下，形成了對應於藍色(B)的發光層617b。
同樣，使用液滴噴頭21，如圖29所示，依次進行與所述藍色(B)所對應的發光層617b時同樣的工序，形成與其它顏色(紅色(R)和綠色(G))對應的發光層617b。還有，發光層617b的形成順序並不局限於例示的順序，可以用任意的順序形成。例如能按照發光層的形成材料決定形成的順序。作為R、G、B三色的排列圖案，有條紋排列、鑲嵌排列和三角形排列。
如上所述，在像素電極613上形成功能層617即空穴注入/輸送層617a和發光層617b。然後轉移到對置電極的形成工序(S115)。
在對置電極的形成工序(S115)中，如圖30所示，在發光層617b和有機物圍堰618b的全面，通過例如蒸鍍法、濺射法、CVD法等形成陰極604(對置電極)。陰極604在本實施例中，由鈣層和鋁層層疊構成的。
在陰極604的上部，適當設置作為電極的Al膜、Ag膜、用於防止其氧化的SiO2、SiN等保護層。
這樣形成陰極604後，進行通過密封構件密封該陰極604的上部的密封處理和配線處理等其他處理，取得顯示裝置600。
下面，圖31是等離子體型顯示裝置(PDP裝置，以下只稱作顯示裝置700)的要部分解立體圖。還有，在圖36中，以切掉其一部分的狀態表示顯示裝置700。
該顯示裝置700包含彼此相對向配置的第一襯底701、第二襯底702、形成在它們之間的放電顯示部703而大致構成。放電顯示部703由多個放電室705構成。多個放電室705中，配置成使紅色放電室705R、綠色放電室705G、藍色放電室705B等三個放電室705成為組，構成一個像素。
在第一襯底701的上表面以所定間隔把地址電極706形成條紋狀，覆蓋該地址電極706和第一襯底701的上表面形成有介質層707。在介質層707上立設有圍堰708，使其位於各地址電極706之間，並且沿著各地址電極706。該圍堰708如圖所示，包含在地址電極706的寬度方向兩側延伸的部分、在與地址電極706正交的方向延伸的未圖示的部分。
而且，由該圍堰708隔離的區域成為放電室705。
在放電室705內配置有螢光體709。螢光體709發出紅色(R)、綠色(G)、或藍色(B)的任意光，所以在紅色放電室705R的底部形成紅色螢光體709R，在綠色放電室705G的底部形成紅色螢光體709G，在藍色放電室705B的底部形成紅色螢光體709B。
在第二襯底702的圖中下側的面，在與所述地址電極706正交的方向，以所定間隔把多個顯示電極形成為條紋狀。而且，覆蓋它們而形成有由介質層712、MgO構成的保護層713。
第一襯底701和第二襯底702在地址電極706和顯示電極711彼此正交的狀態貼在一起。還有，所述地址電極706和顯示電極711連接在未圖示的交流電源上。
而且，通過對各電極706、711通電，在放電顯示部703中，螢光體709激勵發光，能夠顯示彩色。
在本實施例中，可以使用圖1和2所示的液滴噴出裝置3形成所述地址電極706、顯示電極711和螢光體709。下面，表示第一襯底701的地址電極706的形成工序。
這時，在把第一襯底701放在液滴噴出裝置3的設置臺17上的狀態下，進行以下的工序。
首先，通過液滴噴頭21，把含有導電膜配線形成用材料的液體材料(功能液)作為功能液滴，落在地址電極形成區中。該液體材料作為導電膜配線形成用材料，是把金屬等導電性微粒分散在分散劑中。作為含有導電性微粒，使用金、銀、銅、鈀、鎳等的金屬微粒、或導電性聚合物等。
關於成為補充對象的全部地址電極形成區，液體材料的補充如果結束，就把噴出後的液體材料進行乾燥處理，通過使液體材料中包含的分散劑蒸發，形成地址電極706。
可是，在所述中表示地址電極706的形成，但是關於所述顯示電極711和螢光體709，可以通過所述各工序形成。
在形成顯示電極711時，與地址電極706同樣，把含有導電膜配線形成用材料的液體材料(功能液)作為功能液滴，彈落在顯示電極形成區中。
此外，在形成螢光體709時，從液滴噴頭21把包含與各色(R、G、B)對應的螢光材料的液體材料(功能液)作為液滴噴出，彈落在對應的顏色的放電室705內。
圖32是電子發射裝置(也稱作FED裝置或SED裝置以下只稱作顯示裝置800)的要部截面圖。還有，在圖34中，使其一部分為截面表示顯示裝置800。
該顯示裝置800包含彼此相對向配置的第一襯底801、第二襯底802、形成在它們之間的場致發射顯示部803而大致構成。場致發射顯示部803是由配置為矩陣狀的多個電子發射部805構成的。
在第一襯底801的上表面，彼此正交地形成有構成陰極806的第一元件電極806a和第二元件電極806b。此外，在由第一元件電極806a和第二元件電極806b劃分的部分形成有具有間隔808的導電性膜807。即由第一元件電極806a、第二元件電極806b和導電性膜807構成多個電子發射部805。導電性膜807由氧化鈀(PdO)等構成，此外，在形成導電性膜807後，通過成形等形成間隔808。
在第二襯底802的下表面形成有與陰極806對峙的陽極809。在陽極809的下表面形成有格子狀的圍堰部811，在由圍堰部811包圍的向下的各開口部812中，與電子發射部805對應配置有螢光體813。螢光體813發出紅色(R)、綠色(G)、或藍色(B)的任意光，在各開口部812中以所述所定的圖案配置有紅色螢光體813R、綠色螢光體813G、藍色螢光體813B。
然後，把這樣構成的第一襯底801和第二襯底802存在微小的間隙貼在一起。在顯示裝置800中，通過導電性膜(間隔808)807，從陰極即第一元件電極806a或第二元件電極806b飛出的電子撞擊陽極809上形成的螢光體813，激勵發光，能夠顯示彩色。
這時與其它實施例同樣，可以使用描繪裝置1形成第一元件電極806a、第二元件電極806b、導電性膜807和陽極809，並且可以使用液滴噴出裝置3形成各色螢光體813R、813G、813B。
第一元件電極806a、第二元件電極806b、導電性膜807具有圖33(a)所示的平面形狀，在形成它們時，如圖33(b)所示，預先殘留形成第一元件電極806a、第二元件電極806b、導電性膜807的部分，形成圍堰部BB(光刻法)。接著在由圍堰部BB構成的溝部分形成第一元件電極806a、第二元件電極806b(基於描繪裝置1的噴墨法)，使溶劑乾燥，進行成膜後，形成導電性膜807(基於描繪裝置1的噴墨法)。然後形成導電性膜807後，除去圍堰部BB(灰化剝離處理)，轉移到所述成形處理。還有，與所述有機EL裝置時同樣，優選進行對第一襯底801以及第二襯底802的親液化處理、對圍堰部811、BB的疏液化處理。
此外，作為其他電光裝置，考慮到金屬配線的形成、透鏡的形成、抗蝕劑的形成和光擴散體的形成等的裝置。通過在各種電光裝置(器件)的製造中使用所述液滴噴出裝置3，能夠高效地製造各種電光裝置。
權利要求
1.一種擦拭裝置，其特徵在於包括擦拭液滴噴頭的噴嘴面的擦拭薄板；在所述擦拭前，對所述擦拭薄板表面的塗敷區把洗淨液噴霧，進行塗敷的洗淨液噴霧部件；使從所述洗淨液噴霧部件噴霧的洗淨液帶電的帶電電極；配置在所述擦拭薄板的背面一側，與所述帶電電極對應的吸附電極。
2.根據權利要求1所述的擦拭裝置，其特徵在於還包括為了所述液滴噴頭的噴嘴面不帶電，除去塗敷了洗淨液的所述擦拭薄板的靜電的除電部件。
3.根據權利要求1或2所述的擦拭裝置，其特徵在於所述吸附電極形成為比所述擦拭薄板的薄板寬度還稍微窄的寬度。
4.根據權利要求1～3中的任意一項所述的擦拭裝置，其特徵在於所述吸附電極分割為能個別作用電壓的多個局部電極。
5.根據權利要求1～4中的任意一項所述的擦拭裝置，其特徵在於所述帶電電極具有包圍噴霧的洗淨液的大致環狀的形狀。
6.一種液滴噴出裝置，其特徵在於包括權利要求1～5中的任意一項所述的擦拭裝置；對工件噴出功能液滴的所述液滴噴頭；使工件對於所述液滴噴頭在X軸方向和Y軸方向相對移動的XY移動機構。
7.一種電光裝置，其特徵在於使用權利要求6所述的液滴噴出裝置，從所述液滴噴頭對工件上噴出功能液滴，形成成膜部。
8.一種電光裝置的製造方法，其特徵在於使用權利要求6所述的液滴噴出裝置，從所述液滴噴頭對工件上噴出功能液滴，形成成膜部。
9.一種電子儀器，其特徵在於搭載權利要求7所述的電光裝置或由權利要求8所述的電光裝置的製造方法製造的電光裝置。
全文摘要
在液滴噴出裝置(3)的擦拭部件(100)中配置帶電電極(203)、吸附電極(204)和除電刷(207)。從洗淨液噴霧頭(161)噴霧的洗淨液通過帶電電極(203)帶電，帶電的洗淨液向吸附電極(204)吸引，塗敷在吸附電極(204)的正前方的擦拭薄板(101)上，可以防止洗淨液向周圍飛散。由此，在擦拭液滴噴出裝置的液滴噴頭的擦拭裝置中，防止噴霧到擦拭薄板上的洗淨液向周圍的飛散。
文檔編號B05C5/00GK1660584SQ20051000904
公開日2005年8月31日 申請日期2005年2月17日 優先權日2004年2月24日
發明者森俊正, 藤森和義 申請人:精工愛普生株式會社