氣瓶櫃的製作方法
2023-08-05 23:55:06
氣瓶櫃的製作方法
【專利摘要】本實用新型提供一種氣瓶櫃，是應用於半導體製程，氣瓶櫃包含一櫃體、一氣隔件以及一氣流管路。櫃體內部具有一空間。氣隔件置於櫃體內，將櫃體的空間區隔為一開放空間及一密閉空間，其中開放空間是用以放置半導體製程用的一惰性氣體瓶，密閉空間是用以放置半導體製程用的一危險氣體瓶。氣流管路連接惰性氣體瓶及危險氣體瓶，用以將惰性氣體瓶內的惰性氣體流向氣流管路。本實用新型的氣隔件阻隔櫃體的開放空間及密閉空間，藉此可減少氣瓶櫃於密閉空間的排氣成本。
【專利說明】氣瓶櫃
【技術領域】
[0001]本實用新型為一種氣瓶櫃，尤其是指一種具有氣隔件的氣瓶櫃。
【背景技術】
[0002]半導體工廠內通常設置無塵室、電力系統、供水系統、空調系統、製程氣體系統及廢氣排放系統等，其中製程氣體系統尤為重要，不論是使用於氮封、氧化、矽晶片製造、摻雜或微影蝕刻，上述製程所需要的各類氣體大多具有腐蝕性、毒性或可燃性，一旦製程氣體系統不穩或設計不良，將導致增加製程氣體的成本，更甚者引起製程氣體的外洩。
[0003]故一般半導體工廠使用氣瓶櫃管理製程所需氣體，氣瓶櫃裡放置高壓的製程氣體鋼瓶，並且為一密閉空間，藉以防止火源或製程氣體外洩。此外更保險的措施是於氣瓶櫃內或外放置一惰性氣體鋼瓶，在更換製程氣體鋼瓶時，將惰性氣體瓶內惰性氣體吹衝於危險氣體瓶的氣流管路內，使其充滿惰性氣體，且此惰性氣體不會與製程氣體產生反應，確保更換作業安全。
[0004]然而，放置於氣瓶櫃外的惰性氣體鋼瓶須額外設置其固定裝置，將惰性氣體鋼瓶固定以免發生傾倒危險；另一方面如將惰性氣體鋼瓶及製程氣體鋼瓶置於同一氣瓶櫃的空間內時，將增加氣瓶櫃排氣的排氣裝置成本。
[0005]因此，創作人受此啟發，秉持多年相關豐富研究經驗，進而研發一種新型的氣瓶櫃，以期帶來更方便、安全且低成本的氣體管理。
實用新型內容
[0006]本實用新型的一種實施方式是在提供一種氣瓶櫃，其應用於半導體製程，氣瓶櫃包含一櫃體、一氣隔件以及一氣流管路。櫃體內部具有一空間。氣隔件置於櫃體內，將櫃體的空間區隔為一開放空間及一密閉空間，其中開放空間是用於放置半導體製程用的一惰性氣體瓶，密閉空間是用於放置半導體製程用的一危險氣體瓶。氣流管路連接惰性氣體瓶及危險氣體瓶，氣流管路將惰性氣體瓶內的惰性氣體流向密閉空間。本實用新型的氣隔件阻隔櫃體的空間為開放空間及密閉空間，由於密閉空間已與開放空間區隔，比惰性氣體瓶及危險氣體瓶放置於同一氣瓶櫃內的整體空間為小，密閉空間僅需設置成本較低的排氣裝置，藉此可減少氣瓶櫃的密閉空間排氣的成本。
[0007]依據本實用新型的一實施例，上述實施例中還可包含一偵測器、一排氣裝置、一控制器及一控制面板，偵測器偵測密閉空間的一環境因素；排氣裝置設於氣瓶櫃的密閉空間；控制器控制排氣裝置、氣流管路及偵測器，控制器用以管控惰性氣體瓶內的惰性氣體、危險氣體瓶內的危險氣體及環境因素；控制面板電性連接控制器及偵測器。上述偵測器可為一溫度偵測器、壓力偵測器或一火焰偵測器，環境因素可為溫度或壓力。上述還可包含一灑水器及一真空產生器，藉此消滅可能的火源及對氣流管路抽取真空。上述還可包含一逆止閥，其裝設於氣流管路，逆止閥使惰性氣體單向流通。上述惰性氣體瓶內的惰性氣體可為氮、四氟化碳、六氟乙烷、八氟環丁烷、六氟化硫、二氧化碳、氖、氪或氦。危險氣體瓶內的危險氣體為腐蝕性氣體、毒性氣體、可燃性氣體或助燃性氣體。
[0008]本實用新型的另一實施方式是在提供一種氣瓶櫃，其應用於半導體製程，氣瓶櫃包含一櫃體、一氣隔件、一櫃門及一氣流管路，櫃體內部具有一空間；氣隔件置於櫃體內，將櫃體的空間區隔為一可開放空間及一密閉空間，其中開放空間是用於放置半導體製程用的一惰性氣體瓶，密閉空間是用於放置半導體製程用的一危險氣體瓶；櫃門裝設於櫃體，櫃門用以密閉可開放空間；氣流管路連接惰性氣體瓶及危險氣體瓶,用以將惰性氣體瓶內的惰性氣體導引至氣流管路。
[0009]依據本實用新型的另一實施例，上述實施例中還可包含一偵測器、一排氣裝置、一控制器及一控制面板，偵測器偵測密閉空間的一環境因素；排氣裝置設於氣瓶櫃的密閉空間；控制器控制排氣裝置、氣流管路及偵測器，控制器用以管控惰性氣體瓶內的惰性氣體、危險氣體瓶內的危險氣體及環境因素；控制面板電性連接控制器及偵測器。上述偵測器可為一溫度偵測器、壓力偵測器或一火焰偵測器，環境因素可為溫度或壓力。上述還可包含一灑水器及一真空產生器，藉此消滅可能的火源及對氣流管路抽取為真空。上述還可包含一逆止閥，其裝設於氣流管路，逆止閥使惰性氣體單向流通。上述惰性氣體瓶內的惰性氣體可為氮、四氟化碳、六氟乙烷、八氟環丁烷、六氟化硫、二氧化碳、氖、氪或氦。危險氣體瓶內的危險氣體為腐蝕性氣體、毒性氣體、可燃性氣體或助燃性氣體。
[0010]由此可得知本實用新型的氣瓶櫃增設一氣隔件，將設置於氣瓶櫃內的惰性氣體瓶及危險氣體瓶區隔開，一方面只需將惰性氣體瓶連接一氣流管路以傳輸惰性氣體至氣流管路內；另一方面放置於開放空間的惰性氣體瓶更換容易，不需打開放置危險氣體瓶的密閉空間的櫃門，降低工作人員吸入或接觸危險氣體的風險，工作人員的安全不僅受到保障也減少原本須浪費的氣瓶櫃於密閉空間排氣的排氣裝置成本；且本實用新型的氣瓶櫃免於將惰性氣體瓶放置於氣瓶櫃外，降低惰性氣體瓶鏽蝕及破壞傾倒的風險。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0011]圖1是繪示依照本實用新型一實施方式的一種氣瓶櫃的平面圖。
[0012]圖2是繪示依照本實用新型一實施方式的一種氣瓶櫃的開啟狀態圖。
[0013]圖3是繪示依照本實用新型一實施方式的一種氣瓶櫃的示意圖。
【具體實施方式】
[0014]請參照圖1、圖2及圖3，它們是繪示依照本實用新型一實施方式的氣瓶櫃的平面圖、開啟狀態圖及不意圖。氣瓶櫃是應用於半導體製程所需，氣瓶櫃包含一櫃體100、一氣隔件200、一氣流管路300、一偵測器400、一排氣裝置500、一控制器600及一控制面板700。
[0015]櫃體100內部具有一空間，且櫃體100可為一防爆材質，櫃體100包含一第一櫃門110、一第二櫃門120及一玻璃窗130。
[0016]氣隔件200置於櫃體100內，將櫃體100的空間分隔為一可開放空間A及一密閉空間B，其中開放空間A可放置半導體製程用的一惰性氣體瓶X，密閉空間B可放置半導體製程用的一危險氣體瓶Y。櫃體100的第一櫃門110及第二櫃門120可開啟可開放空間A及密閉空間B，藉此可更換惰性氣體瓶X及危險氣體瓶Y。惰性氣體瓶X的惰性氣體通常為氮、四氟化碳、六氟乙烷、八氟環丁烷、六氟化硫、二氧化碳、氖、氪或氦。危險氣體瓶Y的危險氣體為腐蝕性氣體、毒性氣體、可燃性氣體或助燃性氣體。
[0017]氣流管路300連接惰性氣體瓶X及危險氣體瓶Y，將惰性氣體瓶X內的惰性氣體導引至氣流管路300。氣流管路300上還可裝設一逆止閥(未圖示)，逆止閥使惰性氣體單向流通至氣流管路300，由於逆止閥的設計只允許惰性氣體單向流通，禁止危險氣體隨著惰性氣體回流，增加氣瓶櫃的安全性。
[0018]偵測器400偵測密閉空間B的一環境因素，偵測器可為一溫度偵測器、一壓力偵測器或一火焰偵測器，而環境因素則為氣瓶櫃內的溫度或壓力。當氣瓶櫃內的溫度或壓力不正常時，皆可發出警告。
[0019]排氣裝置500設於氣瓶櫃的密閉空間B，將可能洩漏的危險氣體排放至外部。由於其為習知技術，排氣裝置500內含的管路設計在此不再詳加贅述。
[0020]控制器600連接氣流管路300、偵測器400及排氣裝置500。本實施方式中控制器600可為一可編程邏輯控制器(PLC)，預先將惰性氣體瓶X、危險氣體瓶Y及偵測器400的控制參數設定於可編程邏輯控制器中，如此可簡易儲存設定的參數且便於擴充控制器600內部的設定。
[0021]控制面板700可控制氣流管路300、偵測器400及排氣裝置500，藉此設定製程所需的危險氣體及偵測的參數。控制面板700輸入的指令藉由控制器600控制排氣裝置500、氣流管路300及偵測器400，藉此可智慧管控惰性氣體瓶X內的惰性氣體、危險氣體瓶Y內的危險氣體及環境因素。
[0022]除此之外，為了增加氣瓶櫃的實用性及安全性，氣瓶櫃還可包含一灑水器及一真空產生器(未圖示)，藉此消滅可能的火源及對氣瓶櫃的氣流管路排除氣體，使氣瓶櫃的管理提供穩定性。
[0023]由本實用新型可得知於氣瓶櫃加裝氣隔件後，可降低惰性氣體瓶裝設於氣瓶櫃外遭受鏽蝕、破壞及傾倒的風險。定期更換惰性氣體瓶時，不需打開放置危險氣體瓶的密閉空間的櫃門，一方面降低工作人員吸入或接觸危險氣體的風險，工作人員的安全不僅受到保障也減少原本須浪費的排氣裝置成本；且氣隔件阻隔惰性氣體瓶及危險氣體瓶後，氣瓶櫃也不需設置較昂貴的排氣裝置於密閉空間，如高功率的抽風機或大孔徑的排氣孔間，僅設置成本較小的低功率抽風機或小孔徑的排氣空間，便能將可能外洩的危險氣體迅速排出，如此能降低額外的裝置成本且縮短時間，替使用者帶來更多方便。
[0024]附圖標記列表
[0025]100: 櫃體
[0026]110: 第一櫃門
[0027]120: 第二櫃門
[0028]130: 玻璃窗
[0029]200: 氣隔件
[0030]300: 氣流管路
[0031]400: 偵測器
[0032]500: 排氣裝置
[0033]600: 控制器
[0034]700: 控制面板[0035]A:開放空間
[0036]B:密閉空間
[0037]X:惰性氣體瓶
[0038]Y:危險氣體瓶
【權利要求】
1.一種氣瓶櫃，其應用於半導體製程，該氣瓶櫃包含: 一櫃體，內部具有一空間； 一氣隔件，置於該櫃體內，將該櫃體的該空間分隔為一開放空間及一密閉空間，其中該開放空間是用以放置半導體製程用的一惰性氣體瓶，該密閉空間是用以放置半導體製程用的一危險氣體瓶；以及 一氣流管路，其連接該惰性氣體瓶及該危險氣體瓶，用以將該惰性氣體瓶內的惰性氣體流向該氣流管路。
2.如權利要求1的氣瓶櫃,其中還包含: 一偵測器，偵測該密閉空間的一環境因素； 一排氣裝置，設於該氣瓶櫃的該密閉空間； 一控制器，控制該排氣裝置、該氣流管路及該偵測器，該控制器用以管控該惰性氣體、該危險氣體瓶內的危險氣體及該環境因素；及一控制面板，電性連接該控制器及該偵測器。
3.如權利要求2的氣瓶櫃，其中該偵測器為一溫度偵測器、一壓力偵測器或一火焰偵測器。
4.如權利要求3的氣瓶櫃，其中還包含一灑水器及一真空產生器。
5.如權利要求4的氣瓶櫃，其中還包含一逆止閥，裝設於該氣流管路，該逆止閥使該惰性氣體單向流通。
6.如權利要求1的氣瓶櫃，其中該惰性氣體瓶的惰性氣體為氮、四氟化碳、六氟乙烷、八氟環丁烷、六氟化硫、二氧化碳、氖、氪或氦。
7.如權利要求1的氣瓶櫃,其中該危險氣體瓶的危險氣體為腐蝕性氣體、毒性氣體、可燃性氣體或助燃性氣體。
8.一種氣瓶櫃，其應用於半導體製程，該氣瓶櫃包含: 一櫃體，內部具有一空間； 一氣隔件，置於該櫃體內，將該櫃體的該空間分隔為一可開放空間及一密閉空間，其中該開放空間是用以放置半導體製程用的一惰性氣體瓶，該密閉空間是用以放置半導體製程用的一危險氣體瓶； 一櫃門，裝設於該櫃體，該櫃門用以密閉該可開放空間；以及 一氣流管路，連接該惰性氣體瓶，用以將該惰性氣體瓶內的惰性氣體導引至該氣流管路。
9.如權利要求8的氣瓶櫃，其中還包含: 一偵測器，偵測該密閉空間的一環境因素； 一排氣裝置，設於該氣瓶櫃的該密閉空間； 一控制器，控制該排氣裝置、該氣流管路及該偵測器，該控制器用以管控該惰性氣體、該危險氣體瓶內的危險氣體及該環境因素；及一控制面板，電性連接該控制器及該偵測器。
10.如權利要求9的氣瓶櫃，其中該偵測器為一溫度偵測器、一壓力偵測器及一火焰偵測器。
11.如權利要求10的氣瓶櫃，其中還包含一灑水器及一排氣裝置。
12.如權利要求11的氣瓶櫃，其中還包含一逆止閥，裝設於該氣流管路，該逆止閥使該惰性氣體單向流通。
13.如權利要求8的氣瓶櫃，其中該惰性氣體瓶內的惰性氣體為氮、四氟化碳、六氟乙烷、八氟環丁烷、六氟化硫、二氧化碳、氖、氪或氦。
14.如權利要求8的氣瓶櫃，其中該危險氣體瓶內的危險氣體為腐蝕性氣體、毒性氣體、可燃性氣體或助燃性氣體。
【文檔編號】F17C13/00GK203735772SQ201420109859
【公開日】2014年7月30日 申請日期:2014年3月11日 優先權日:2013年3月11日
【發明者】楊嘉明, 周中揚 申請人:法液空電子設備股份有限公司