顯影液成分調整方法及其顯影系統的製作方法
2023-08-10 18:26:06 1
專利名稱：顯影液成分調整方法及其顯影系統的製作方法
技術領域：
本發明是關於一種顯影系統，特別是關於一種能控制顯影液中光阻濃度的顯影系統。
背景技術：
在顯影製作工藝中，顯影液中的光阻成分(在顯影過程中從光阻圖案上所洗出的光阻材料)與顯影液的顯影效果有直接的關係。當顯影液中的光阻濃度過低時，顯影液的顯影效果會降低，而無法準確的顯影出光阻圖案。由於每道製作工藝之中所需處理的光阻圖案均不盡相同，且由於顯影液中的光阻成分來自於顯影過程中從光阻圖案上所洗出的光阻材料，因此，不同製作工藝中的顯影液光阻濃度會隨著光阻圖案的不同而變化。例如，在顯影介層孔(via)的光阻圖案時，由於介層孔(via)的光阻圖案簡單，洗出的光阻材料極少，因此，在此製作工藝中顯影液的光阻成分將會過低，進而影響顯影效果。
發明內容
本發明即為了解決上述傳統技術的問題，而提供一種顯影系統，包括一第一顯影機臺、一第二顯影機臺、一連通管以及一廢液槽。第一顯影機臺包括一第一顯影槽、一第一顯影液循環槽、一第一廢液管以及一第一廢液控制閥，該第一顯影槽連通該第一顯影液循環槽，該第一廢液管連接該第一顯影液循環槽，該第一廢液控制閥設於該第一廢液管之上。第二顯影機臺包括一第二顯影槽、一第二顯影液循環槽、一第二廢液管以及一第二廢液控制閥，該第二顯影槽連通該第二顯影液循環槽，該第二廢液管連接該第二顯影液循環槽，該第二廢液控制閥設於該第二廢液管之上。連通管連通該第一顯影液循環槽以及該第二顯影液循環槽。廢液槽連接該第一廢液管以及該第二廢液管。
應用本發明，可簡便的控制顯影機臺中顯影液的光阻濃度，因此能維持顯影機臺的顯影效果，提升產品的良品率。
圖1顯示本發明的顯影系統；圖2a顯示補充第一顯影液循環槽中顯影液的光阻成分的情形；圖2b顯示補充第二顯影液循環槽中顯影液的光阻成分的情形；圖3顯示本發明的顯影系統設置有第三廢液管以及第四廢液管的情形；圖4a顯示清空第一顯影液循環槽的情形；圖4b顯示清空第一顯影液循環槽後，對第一顯影液循環槽補充顯影液的情形；圖5a顯示清空第二顯影液循環槽的情形；圖5b顯示清空第二顯影液循環槽後，對第二顯影液循環槽補充顯影液的情形。
符號說明1～顯影系統10～廠務端11～第一顯影液補充管12～第二顯影液補充管20～連通管21～第一連通閥22～第二連通閥30～廢液槽100～第一顯影機臺101～基板110～第一顯影槽111～第一顯影液收集管120～第一顯影液循環槽121～第一顯影液供給管122～第一泵123～第一光阻濃度感應器131～第一廢液管132～第一廢液控制閥
141～第三廢液管142～第一廢液排放閥200～第二顯影機臺201～基板210～第二顯影槽211～第二顯影液收集管220～第二顯影液循環槽221～第二顯影液供給管222～第二泵223～第二光阻濃度感應器231～第二廢液管232～第二廢液控制閥241～第四廢液管242～第二廢液排放閥
具體實施例方式參照圖1，其顯示本發明的顯影系統1，包括一第一顯影機臺100以及一第二顯影機臺200。第一顯影機臺100包括一第一顯影槽110、一第一顯影液收集管111、一第一顯影液循環槽120、一第一顯影液供給管121、一第一泵122、一第一光阻濃度感應器123、一第一廢液管131以及一第一廢液控制閥132。第二顯影機臺200包括一第二顯影槽210、一第二顯影液收集管211、一第二顯影液循環槽220、一第二顯影液供給管221、一第二泵222、一第二光阻濃度感應器223、一第二廢液管231以及一第二廢液控制閥232。
第一顯影槽110透過底部的第一顯影液收集管111連通該第一顯影液循環槽120。第一顯影液供給管121從該第一顯影液循環槽120的底部延伸至該第一顯影槽110的上方，第一泵122設於該第一顯影液供給管121之上，以將該第一顯影液循環槽120中的顯影液加壓送入該第一顯影槽110之中，對基板101上的光阻圖案進行顯影。第一廢液管131連通該第一顯影液循環槽120以及一廢液槽30。第一廢液控制閥132設於該第一廢液管131之上，以開閉該第一廢液管131的流路。第一光阻濃度感應器123伸入該第一顯影液循環槽120之中，以檢測第一顯影液循環槽120中的顯影液濃度。一第一控制器(未圖標)耦接該第一廢液控制閥132以及該第一光阻濃度感應器123，並根據該第一光阻濃度感應器123的檢測結果開閉該第一廢液控制閥132。
第二顯影槽210透過底部的第二顯影液收集管211連通該第二顯影液循環槽220。第二顯影液供給管221從該第二顯影液循環槽220的底部延伸至該第二顯影槽210的上方，第二泵222設於該第二顯影液供給管221之上，以將該第二顯影液循環槽220中的顯影液加壓送入該第二顯影槽210之中，對基板201上的光阻圖案進行顯影。第二廢液管231連通該第二顯影液循環槽220以及廢液槽30。第二廢液控制閥232設於該第二廢液管231之上，以開閉該第二廢液管231的流路。第二光阻濃度感應器223伸入該第二顯影液循環槽220之中，以檢測第二顯影液循環槽220中的顯影液濃度。一第二控制器(未圖標)耦接該第二廢液控制閥232以及該第二光阻濃度感應器223，並根據該第二光阻濃度感應器223的檢測結果開閉該第二廢液控制閥232。
第一顯影液循環槽120以及第二顯影液循環槽220之間以連通管20接通。連通管20上設有一第一連通閥21以及一第二連通閥22，其中，第一連通閥21以及第二連通閥22處於常開狀態。
參照圖2a，當第一光阻濃度感應器123檢測出該第一顯影液循環槽120中的顯影液的光阻濃度過低時，該第一控制器開啟該第一廢液控制閥132，而使該第一顯影液循環槽120中的顯影液流入廢液槽30之中。同時，由於連通管原理，第二顯影液循環槽220中的顯影液則通過連通管20流入第一顯影液循環槽120之中，以藉此提高第一顯影液循環槽120中顯影液的光阻濃度。
例如，當第一顯影機臺100用於顯影介層孔(via)的光阻圖案，而第二顯影機臺200用於顯影其它較複雜的光阻圖案時，第二顯影液循環槽220中顯影液的光阻濃度將高於第一顯影液循環槽120中顯影液的光阻濃度。透過上述的連通管設計，可將第二顯影液循環槽220中的光阻成分補充至第一顯影液循環槽120之中，而提高第一顯影液循環槽120中顯影液的光阻濃度，進而控制第一顯影機臺100的顯影效果。
參照圖2b，同樣的，當第二光阻濃度感應器223檢測出該第二顯影液循環槽220中的顯影液的光阻濃度過低時，該第二控制器開啟該第二廢液控制閥232，而使該第二顯影液循環槽220中的顯影液流入廢液槽30之中。同時，由於連通管原理，第一顯影液循環槽120中的顯影液則通過連通管20流入第二顯影液循環槽220之中，以藉此提高第二顯影液循環槽220中顯影液的光阻濃度。
雖然在上述實施例之中，是以第一顯影機臺100以及第二顯影機臺200為例，說明本發明的實施方式，然其並未限制本發明。本發明亦可連通三臺以上(多臺)的顯影機臺，而互補調節該等顯影機臺的顯影液的光阻濃度(可調節任一臺顯影機臺的顯影液的光阻濃度)。
在第一顯影液循環槽120中的顯影液水位下降之後，廠務端10可透過第一顯影液補充管11補充第一顯影液循環槽120中的顯影液。同樣的，在第二顯影液循環槽220中的顯影液水位下降之後，廠務端10可透過第二顯影液補充管12補充第二顯影液循環槽220中的顯影液。
廠務端10所補充的顯影液，其成分包括四甲基氫氧化胺(tetramethylammonium hydroxide，TMAH)，其濃度可以為2％至30％之間。
參照圖3，第一顯影機臺100可還包括一第三廢液管141，連通該第一顯影液循環槽120以及該廢液槽30，該第三廢液管141上設有一第一廢液排放閥142，處於常閉狀態。第二顯影機臺200可還包括一第四廢液管241，連通該第二顯影液循環槽220以及該廢液槽30，該第四廢液管241上設有一第二廢液排放閥242，處於常閉狀態。
參照圖4a，當欲清空第一顯影液循環槽120中的顯影液時，操作人員關閉第一連通閥21，並開啟第一廢液排放閥142，因此，第一顯影液循環槽120中的顯影液通過該第三廢液管141而流入該廢液槽30之中。接著，參照圖4b，操作人員關閉第一廢液排放閥142，並開啟第一連通閥21，此時由於連通管原理，第二顯影液循環槽220中的顯影液通過連通管20流入第一顯影液循環槽120之中，以藉此對第一顯影液循環槽120提供顯影液的光阻成分。
參照圖5a，當欲清空第二顯影液循環槽220中的顯影液時，操作人員關閉第二連通閥22，並開啟第二廢液排放閥242，因此，第二顯影液循環槽220中的顯影液通過該第四廢液管241而流入該廢液槽30之中。接著，參照圖5b，操作人員關閉第二廢液排放閥242，並開啟第二連通閥22，此時由於連通管原理，第一顯影液循環槽120中的顯影液通過連通管20流入第二顯影液循環槽220之中，以藉此對第二顯影液循環槽220提供顯影液的光阻成分。
應用本發明，可簡便的控制顯影機臺中顯影液的光阻濃度，因此能維持顯影機臺的顯影效果，提升產品的良品率。
雖然本發明已以具體的優選實施例公開如上，然其並非用以限定本發明，任何業內人士，在不脫離本發明的精神和範圍內，仍可作些許的更動與潤飾，因此本發明的保護範圍當視權利要求書所界定者為準。
權利要求
1.一種顯影系統，包括一第一顯影機臺，其包括一第一顯影槽、一第一顯影液循環槽、一第一廢液管以及一第一廢液控制閥，該第一顯影槽連通該第一顯影液循環槽，該第一廢液管連接該第一顯影液循環槽，該第一廢液控制閥設於該第一廢液管之上；一第二顯影機臺，其包括一第二顯影槽、一第二顯影液循環槽、一第二廢液管以及一第二廢液控制閥，該第二顯影槽連通該第二顯影液循環槽，該第二廢液管連接該第二顯影液循環槽，該第二廢液控制閥設於該第二廢液管之上；一連通管，連通該第一顯影液循環槽以及該第二顯影液循環槽；以及一廢液槽，連接該第一廢液管以及該第二廢液管。
2.根據權利要求1所述的顯影系統，其特徵在於，該第一顯影機臺還包括一第一光阻濃度感應器，設於該第一顯影液循環槽之中，以檢測該第一顯影液循環槽中的顯影液的光阻濃度。
3.根據權利要求2所述的顯影系統，其特徵在於，該第一顯影機臺還包括一第一控制器，耦接該第一光阻濃度感應器以及該第一廢液控制閥，該第一控制器根據該第一光阻濃度感應器的感測結果，控制該第一廢液控制閥的開閉。
4.根據權利要求3所述的顯影系統，其特徵在於，該第一顯影機臺還包括一第三廢液管以及一第一廢液排放閥，該第三廢液管連接該第一顯影液循環槽以及該廢液槽，該第一廢液排放閥設於該第三廢液管之上。
5.根據權利要求1所述的顯影系統，其特徵在於，該第二顯影機臺還包括一第二光阻濃度感應器，設於該第二顯影液循環槽之中，以檢測該第二顯影液循環槽中的顯影液的光阻濃度。
6.根據權利要求5所述的顯影系統，其特徵在於，該第二顯影機臺還包括一第二控制器，耦接該第二光阻濃度感應器以及該第二廢液控制閥，該第二控制器根據該第二光阻濃度感應器的感測結果，控制該第二廢液控制閥的開閉。
7.根據權利要求6所述的顯影系統，其特徵在於，該第二顯影機臺還包括一第四廢液管以及一第二廢液排放閥，該第四廢液管連接該第二顯影液循環槽以及該廢液槽，該第二廢液排放閥設於該第四廢液管之上。
8.根據權利要求1所述的顯影系統，其特徵在於，該第一顯影機臺還包括一第一連通閥，設於該連通管之上。
9.根據權利要求1所述的顯影系統，其特徵在於，該第二顯影機臺還包括一第二連通閥，設於該連通管之上。
10.根據權利要求1所述的顯影系統，其特徵在於，該第一顯影機臺還包括一第一顯影液補充管，連接該第一顯影液循環槽，用以對該第一顯影液循環槽補充顯影液。
11.根據權利要求1所述的顯影系統，其特徵在於，該第二顯影機臺還包括一第二顯影液補充管，連接該第二顯影液循環槽，用以對該第二顯影液循環槽補充顯影液。
12.根據權利要求1所述的顯影系統，其特徵在於，該第一顯影機臺還包括一第一顯影液供給管、一第一泵以及一第一顯影液收集管，該第一顯影液供給管連接該第一顯影槽以及該第一顯影液循環槽，該第一顯影液收集管亦接該第一顯影槽以及該第一顯影液循環槽，該第一泵設於該第一顯影液供給管之上，透過該第一泵，顯影液從該第一顯影液循環槽流出，經過該第一顯影液供給管，進入該第一顯影槽以進行顯影，並從該第一顯影液收集管流回該第一顯影液循環槽。
13.根據權利要求1所述的顯影系統，其特徵在於，該第二顯影機臺還包括一第二顯影液供給管、一第二泵以及一第二顯影液收集管，該第二顯影液供給管連接該第二顯影槽以及該第二顯影液循環槽，該第二顯影液收集管亦接該第二顯影槽以及該第二顯影液循環槽，該第二泵設於該第二顯影液供給管之上，透過該第二泵，顯影液從該第二顯影液循環槽流出，經過該第二顯影液供給管，進入該第二顯影槽以進行顯影，並從該第二顯影液收集管流回該第二顯影液循環槽。
14.一種顯影液成分調整方法，包括提供一第一顯影機臺、一第二顯影機臺以及一連通管，該第一顯影機臺包括一第一顯影液循環槽，該第二顯影機臺包括一第二顯影液循環槽，該連通管連通該第一顯影液循環槽以及該第二顯影液循環槽；檢測該第一顯影液循環槽中顯影液的光阻濃度以及該第二顯影液循環槽中顯影液的光阻濃度；當該第一顯影液循環槽中顯影液的光阻濃度過低時，部分排放該第一顯影液循環槽中的顯影液，以使該第二顯影液循環槽中的顯影液經過該連通管而流入該第一顯影液循環槽之中。
15.一種顯影液成分調整方法，包括提供根據權利要求1所述的顯影系統；檢測該第一顯影液循環槽中顯影液的光阻濃度以及該第二顯影液循環槽中顯影液的光阻濃度；當該第一顯影液循環槽中顯影液的光阻濃度過低時，部分排放該第一顯影液循環槽中的顯影液，以使該第二顯影液循環槽中的顯影液經過該連通管而流入該第一顯影液循環槽之中。
16.根據權利要求15所述的顯影液成分調整方法，其特徵在於，當該第一顯影液循環槽中顯影液的光阻濃度過低時，該第一廢液控制閥開啟，部分該第一顯影液循環槽中的顯影液經過該第一廢液管進入該廢液槽之中，同時，該第二顯影液循環槽中的顯影液經過該連通管而進入該第一顯影液循環槽之中。
17.根據權利要求15所述的顯影液成分調整方法，其特徵在於，該第一顯影機臺還包括一第三廢液管、一第一廢液排放閥以及一第一連通閥，該第三廢液管連接該第一顯影液循環槽以及該廢液槽，該第一廢液排放閥設於該第三廢液管之上，該第一連通閥設於該連通管之上，該第一廢液排放閥常閉以防止該第一顯影液循環槽中的顯影液流入該第三廢液管，該第一連通閥常開以容許該第二顯影液循環槽中的顯影液流入該第一顯影液循環槽。
18.根據權利要求17所述的顯影液成分調整方法，其特徵在於，當欲清空該第一顯影液循環槽中的顯影液時，該第一廢液排放閥開啟以讓該第一顯影液循環槽中的顯影液流入該第三廢液管，同時，該第一連通閥關閉以防止該第二顯影液循環槽中的顯影液流入該第一顯影液循環槽。
全文摘要
一種顯影系統，包括一第一顯影機臺、一第二顯影機臺、一連通管以及一廢液槽。第一顯影機臺包括一第一顯影槽、一第一顯影液循環槽、一第一廢液管以及一第一廢液控制閥，該第一顯影槽連通該第一顯影液循環槽，該第一廢液管連接該第一顯影液循環槽，該第一廢液控制閥設於該第一廢液管之上。第二顯影機臺包括一第二顯影槽、一第二顯影液循環槽、一第二廢液管以及一第二廢液控制閥，該第二顯影槽連通該第二顯影液循環槽，該第二廢液管連接該第二顯影液循環槽，該第二廢液控制閥設於該第二廢液管之上。連通管連通該第一顯影液循環槽以及該第二顯影液循環槽。廢液槽連接該第一廢液管以及該第二廢液管。
文檔編號G03F7/26GK1760765SQ20051012674
公開日2006年4月19日 申請日期2005年11月21日 優先權日2005年11月21日
發明者李易昌, 林奇峰, 徐啟源 申請人:友達光電股份有限公司