Spc策略建立方法

2023-07-04 18:04:51 2

Spc策略建立方法
【專利摘要】本發明公開了一種SPC策略建立方法，包括在MES系統中建立一項產品製造工藝中的所有DC模塊；策略模塊獲取建立該SPC策略所需的DC模塊；根據這些DC模塊中的數據，通過策略模塊自動計算SPC策略中相應的SPC控制限，並添加相應的SPC規則；SPC策略建立完成。本發明通過策略模塊直接獲取MES系統中預設的DC模塊參數數據，並自動計算控制限和添加規則，快速生成SPC策略，可以大大減少工程師手動輸入和計算的工作量和工作時間，也可以減少工程師在手動輸入時產生的誤操作，杜絕工程師人工計算的錯誤率。
【專利說明】SPC策略建立方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及數據信息【技術領域】，尤其涉及一種用於半導體工藝中SPC策略的建立方法。
【背景技術】
[0002]在半導體製造工藝中，任何一項工藝，都可能包含許多步驟，每個步驟又包括眾多參數，對一項工藝中每個參數進行控制，是保證工藝正常進行、製造出符合標準和要求的半導體器件的關鍵因素。
[0003]現有半導體製造工藝的參數一般通過SPC系統(Statistical Process Control,統計過程控制)來控制。SPC是一種藉助數理統計方法的過程控制工具，它對生產過程進行分析評價，根據反饋信息及時發現系統性因素出現的徵兆，並採取措施消除其影響，使過程維持在僅受隨機性因素影響的受控狀態，以達到控制質量的目的。
[0004]而其中，建立SPC策略是關鍵，完善的SPC策略能夠對工藝過程進行及時、有效的分析和評價。現有的SPC策略是通過PCB(process control builder,過程控制構建器)系統來建立的，PCB系統是設置SPC rule (SPC規則)和SPC control limit (SPC控制限)、收集、計算、分析和改進數據的手段，在確定工藝過程合理範圍的基礎之上，確定工藝參數的控制範圍和參數正常、異常規律，並預設改進措施，以在工藝過程參數超出上限、下限時，予以實施改進的措施。
[0005]然而，現有技術中基於PCB系統來建立SPC策略的方法，需要工程師手動計算每個工藝參數的所需數值，並手動將這些數值輸入PCB系統。一個製造工藝中的參數一般有200-300項，若需手動計算並輸入，則需要至少2-3天才能建立完成SPC策略；而且手動計算難免會出現計算錯誤，或者在輸入時出現錯誤，造成SPC策略的缺陷，給工藝帶來隱患；若需要工程師檢查是否有錯誤，則更加增加了人力和時間。
[0006]綜上，如何提供一種SPC策略的建立方法，改變現有技術人工計算、手動輸入的模式，來提高建立的效率和數據的準確率，是本領域技術人員亟待解決的技術問題之一。

【發明內容】

[0007]為了解決上述現有技術存在的問題，本發明提供了一種SPC策略建立方法，通過數據的自動收集和自動檢測，來提高SPC策略建立的效率，並提高數據的準確率。
[0008]本發明提供的SPC策略建立方法包括以下步驟:
[0009]步驟S01,在MES系統(Manufactory execute system,生產製造執行系統)中建立一項產品製造工藝中的所有DC模塊(Date collection，數據收集)；
[0010]步驟S02，策略模塊獲取建立該SPC策略所需的DC模塊；
[0011]步驟S03，根據這些DC模塊中的數據，通過策略模塊自動計算SPC策略中相應的SPC控制限，並添加相應的SPC規則；
[0012]步驟S04，SPC策略建立完成。[0013]進一步地，該DC模塊包括一個或多個工藝參數的目標值、下限數值和上限數值。
[0014]進一步地,該策略模塊是自動策略系統(Auto strategy),用於根據DC模塊中的工藝參數數據計算相應的SPC控制限並添加相應的SPC規則，該SPC控制限包括控制上限和控制下限。
[0015]進一步地，一個工藝參數的SPC控制上限=目標值+ (上限數值-目標值)*0.75，該工藝參數的SPC控制下限=目標值-(目標值-下限數值)*0.75。
[0016]進一步地，步驟S04包括:策略模塊創建SPC策略時檢測SPC控制限數據是否正確。
[0017]進一步地，檢測SPC控制限數據包括檢測DC模塊中的工藝參數數據以及根據該工藝參數數據計算得到的控制上限和控制下限。
[0018]進一步地，步驟S04中檢測SPC控制限數據正確之後，在激活SPC策略時檢測該策略是否正確。
[0019]進一步地,檢測該策略包括檢測SPC策略是否包含所有所需DC模塊中的工藝參數數據及相應的SPC控制限和SPC規則。
[0020]本發明的SPC策略建立方法通過策略模塊如自動策略系統，直接獲取MES系統中預設的DC模塊參數數據，並根據這些參數數據自動計算控制限和添加規則，快速生成SPC策略，可以大大減少工程師手動輸入和計算的工作量和工作時間，也可以減少工程師在手動輸入時產生的誤操作，杜絕工程師人工計算的錯誤率。後續檢測SPC控制限數據和策略的步驟可以進一步降低數據的錯誤率，提高策略的可靠性和穩定性。在一個包含200-300項參數的製造工藝中，利用本發明的建立方法，只需要1-2小時就能建立完成SPC策略，且保證策略數據和規則的正確性。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0021]為能更清楚理解本發明的目的、特點和優點，以下將結合附圖對本發明的較佳實施例進行詳細描述，其中:
[0022]圖1是本發明SPC策略建立方法一個實施例的流程示意圖。
【具體實施方式】
[0023]請參閱圖1，本實施例中的SPC策略用於控制半導體一項產品製造工藝的各個工藝參數，其包括SPC rule (SPC規則)和SPC control limit (SPC控制限)，用於收集、計算、分析和改進數據，在確定工藝過程合理範圍的基礎之上，確定工藝參數的控制範圍和參數正常、異常規律，並預設改進措施，以在工藝過程參數超出上限、下限時，予以實施改進的措施。本SPC策略建立方法包括以下步驟:
[0024]步驟S01,在MES系統(Manufactory execute system,生產製造執行系統)中建立一項產品製造工藝中的所有DC模塊(Date collection，數據收集)；
[0025]步驟S02，策略模塊獲取建立該SPC策略所需的DC模塊；
[0026]步驟S03，根據這些DC模塊中的數據，通過策略模塊自動計算SPC策略中相應的SPC控制限，並添加相應的SPC規則；
[0027]步驟S04，SPC策略建立完成。[0028]其中，本實施例的DC模塊包括一個或多個工藝參數的目標值、下限數值和上限數值，預先通過計算機或人工存入。
[0029]其中，本實施例的策略模塊是自動策略系統(Auto strategy)，用於根據DC模塊中的工藝參數數據計算相應的SPC控制限並添加相應的SPC規則，該SPC控制限包括控制上限和控制下限。其中，一個工藝參數的SPC控制限公式為:SPC控制上限=目標值+(上限數值-目標值)*0.75，該工藝參數的SPC控制下限=目標值-(目標值-下限數值)*0.75。
[0030]本實施例的SPC策略建立方法通過自動策略系統直接獲取MES系統中預設的DC模塊參數數據，並根據這些參數數據自動計算控制限和添加規則，快速生成SPC策略，相較於現有技術完全由人工向PCB系統輸入數據和計算結果，本實施例預先將眾多工藝參數以模塊化的形式預先存儲於DC模塊中，通過策略模塊而非人工對其進行計算，可以大大減少工程師手動輸入和計算的工作量和工作時間，也可以減少工程師在手動輸入時產生的誤操作，杜絕工程師人工計算的錯誤率。
[0031 ] 本實施例中，為了對步驟S03的計算結果進行校驗，步驟S04包括創建和激活中同時檢測的過程:策略模塊創建SPC策略時檢測SPC控制限數據是否正確；隨後，在激活SPC策略時檢測該策略是否正確。
[0032]其中，檢測SPC控制限數據的過程包括檢測DC模塊中的工藝參數數據以及根據該工藝參數數據計算得到的控制上限和控制下限，若正確，則創建成功，若錯誤，則提示無法創建的原因；檢測該策略的過程包括檢測SPC策略是否包含所有所需DC模塊中的工藝參數數據及相應的SPC控制限和SPC規則，若正確，則激活成功，若錯誤，則提示無法激活的原因。
【權利要求】
1.一種SPC策略建立方法，其特徵在於，其包括以下步驟: 步驟S01，在MES系統中建立一項產品製造工藝中的所有DC模塊； 步驟S02，策略模塊獲取建立該SPC策略所需的DC模塊； 步驟S03，根據這些DC模塊中的數據，通過策略模塊自動計算SPC策略中相應的SPC控制限，並添加相應的SPC規則； 步驟S04，SPC策略建立完成。
2.根據權利要求1所述的SPC策略建立方法，其特徵在於:該DC模塊包括一個或多個工藝參數的目標值、下限數值和上限數值。
3.根據權利要求2所述的SPC策略建立方法，其特徵在於:該策略模塊是自動策略系統，用於根據DC模塊中的工藝參數數據計算相應的SPC控制限並添加相應的SPC規則，該SPC控制限包括控制上限和控制下限。
4.根據權利要求3所述的SPC策略建立方法，其特徵在於:一個工藝參數的SPC控制上限=目標值+ (上限數值-目標值>0.75，該工藝參數的SPC控制下限=目標值-(目標值-下限數值)*0.75。
5.根據權利要求1至4任一項所述的SPC策略建立方法，其特徵在於:步驟S04包括:策略模塊創建SPC策略時檢測SPC控制限數據是否正確。
6.根據權利要求5所述的SPC策略建立方法，其特徵在於:檢測SPC控制限數據包括檢測DC模塊中的工藝參數數據以及根據該工藝參數數據計算得到的控制上限和控制下限。
7.根據權利要求5所述的SPC策略建立方法，其特徵在於:步驟S04中檢測SPC控制限數據正確之後，在激活SPC策略時檢測該策略是否正確。
8.根據權利要求7所述的SPC策略建立方法，其特徵在於:檢測該策略包括檢測SPC策略是否包含所有所需DC模塊中的工藝參數數據及相應的SPC控制限和SPC規則。
【文檔編號】G05B19/418GK103869795SQ201410125528
【公開日】2014年6月18日 申請日期:2014年3月31日 優先權日:2014年3月31日
【發明者】餘燕萍, 邵雄 申請人:上海華力微電子有限公司