網狀物處理裝置的製作方法
2023-07-28 21:00:41 1
專利名稱：網狀物處理裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種網狀物(web)處理裝置，尤其涉及一種將室保持在密封狀態以便進行各種處理的網狀物處理裝置。
背景技術：
網狀物指的是基板，該基板是可移動的並且由紡布、無紡布、組合式編織紡織物、 紗、塑料膜、金屬箔、金屬線圈等軟性材料組成。在網狀物移動或停止的過程中，可對網狀物進行各種處理。比如，這些處理包括 在真空下沉積金屬或氧化物的處理，在網狀物上塗覆特殊材料或在特定的氣氛下對網狀物進行的特殊處理，裝配兩個網狀物，等等。因此，需要在網狀物與外界隔離的狀態下進行處理，以便在真空或特定的氣氛下處理網狀物。軟性顯示器是使用諸如塑料基板等可彎曲的基板形成的平板顯示設備，並且可在保持優質的顯示特性的同時彎曲、摺疊或變形為輥狀。因此，目前來說，軟性顯示器作為下一代技術正吸引著全世界的關注。軟性顯示器設備由薄的軟性基板製成，該軟性顯示器設備在不會喪失現有顯示設備的特性的情況下，可彎曲或像紙那樣卷幾釐米。不同於現有玻璃基板製成的硬質顯示器，軟性顯示器是輕、薄、高強度抗衝擊並且可自由彎曲的。為了以卷對卷(roll-to-roll)或卷對片(roll-to-sheet)的方式製造這種軟性顯示器(網狀物)，要在軟性基板移動或停止的過程中在真空下進行各種處理，比如薄膜電晶體(Thin Film Transistor, TFT)陣列處理、密封分配、裝配等。但是，對於製造軟性顯示器來說，沒有密封設備能通過簡單的方法在保持網狀物處於真空或隔離的狀態下的同時進行關於網狀物的各種處理，例如真空沉積、密封分配、裝配等。
發明內容
為了改進現有技術並滿足以上概述的一種或多種需求，本發明一方面在於提供一種網狀物處理裝置，該網狀物處理裝置可保持網狀物處於真空或隔離狀態下的同時，進行薄膜沉積、分配、裝配等多種處理。根據本發明的一方面，網狀物處理裝置包括第一室，該第一室包括在網狀物的輸送方向上配置的傾斜的門和在該門中形成的網狀物進口與網狀物出口 ；壓縮單元，該壓縮單元朝向門的方向壓縮網狀物以密封網狀物進口 ；以及0型圈，該0型圈彈性地變形以密封壓縮單元和門之間的網狀物進口。在一個實施例中，所述網狀物可以是用於顯示設備的軟性基板。在一個實施例中，由所述壓縮單元和所述門壓縮的所述網狀物的一部分，可以是在網狀物上形成的顯示面板之間的邊緣。在一個實施例中，所述網狀物可由包括PET、PEN、PES、PAR、PC、COC、PS和PI中至少一項的塑料材料或包括不鏽鋼的金屬材料製成。
在一個實施例中，所述第一室可以是真空裝配單元的一部分。在一個實施例中，所述壓縮單元可由致動器驅動。在一個實施例中，所述壓縮單元可具有圓角，以防止壓縮單元在壓縮網狀物時損壞網狀物。在一個實施例中，所述門可具有圓角，以防止壓縮單元在壓縮網狀物時損壞網狀物。在一個實施例中，所述第一室可以是真空室。在一個實施例中，所述裝置還可包括網狀物角度調節單元，該網狀物角度調節單元用於調節網狀物的傾斜度，以利於壓縮單元壓縮網狀物。在一個實施例中，所述網狀物角度調節單元可包括輥子。在一個實施例中，所述0型圈可插入到所述壓縮單元的0型圈凹槽或所述門的0 型圈凹槽中。在一個實施例中，所述裝置還可包括與所述第一室連接的處理室。在一個實施例中，所述處理室可保持在比所述第一室的真空度更高的真空中。在一個實施例中，所述第一室可分成兩個或多個室，以保持所述處理室的真空度。在一個實施例中，所述裝置還可包括可垂直移動的緩衝輥子，以通過改變在所述第一室內的網狀物的移動路線來進行備用狀態下的網狀物的長度調節。在一個實施例中，所述真空室可以是裝配兩個網狀物的真空裝配單元的一部分。
通過結合附圖給出的實施例的以下描述將使本發明的上述和其他方面、特徵和優點更加清晰易懂，其中，圖1為根據本發明一實施例的網狀物處理裝置的側視圖；圖2為根據本發明實施例的網狀物處理裝置的一部分(門)的局部透視圖；圖3為0型圈的多種安裝實例的橫截面圖；圖4為0型圈的安裝方法實例的橫截面圖；圖5為根據本發明實施例的裝置的網狀物進口的打開/關閉操作的橫截面圖；圖6為圖5中A部分的放大視圖；圖7為以卷對卷或卷對片的方式製造軟性液晶顯示器的系統的方案視圖；圖8為根據本發明另一實施例的網狀物處理裝置的剖視圖；圖9為根據本發明一實施例的第一室的剖視圖；圖10為根據本發明一實施例的緩衝功能的方案視圖；以及，圖11為進行緩衝功能的多種配置的方案視圖。
具體實施例方式現將結合附圖對本發明的實施例進行詳細說明。圖1為根據本發明一實施例的網狀物處理裝置的側視圖，圖2為根據本發明實施例的網狀物處理裝置的一部分(門)的局部透視圖。參照圖1和圖2，根據一實施例的網狀物處理裝置包括第一室100、網狀物進口102、網狀物出口 104、門106、壓縮單元108和0型圈110。根據本發明的裝置可應用於軟性液晶顯示器或軟性有機電致發光二極體顯示器的多種基於網狀物的薄膜成形過程、軟性顯示器製造(如真空裝配)過程，等等。另外，在半導體工藝中，化學蝕刻、超純清洗和乾燥在溼法工藝操作臺中進行，其中，用於每個工藝的組件都在單個空間段內形成。在用於溼蝕刻的容器中含有熱化學溶液，從而從該化學溶液中產生化學煙霧。如此，如果未有效地進行排氣，化學煙霧可流動到相鄰的組件內。這裡，所述裝置還可用於隔離在半導體溼法工藝等過程中產生的化學煙霧。另外，根據本發明的網狀物處理裝置可用於必須在與外界隔離的狀態下進行的所有處理。網狀物W可由任何材料製成。比如，所述網狀物可由任何導電的活動材料形成， 比如，包括聚對苯二甲酸乙二醇酯(Polyethylene Ter印hthalate，PET)、聚萘二酸乙二醇酯(Polyethylene Naphthalate, PEN)、聚醚碸(Polyether Sulfone, PES)、聚丙烯酸酯(Polyacrylate, PAR)、聚碳酸酯(Polycarbonate, PC)、環烯烴共聚物(Cycloolefin Copolymer，C0C)、聚苯乙烯(Polystyrene, PS)和聚醯亞胺(Polyimide, PI)中至少一項的塑料材料，紡布或無紡布、組合式編織紡織物和紗，以及包括不鏽鋼的金屬材料，等等。門106在網狀物的輸送方向以預定的角度θ傾斜。這種配置通過提高下面所述的壓縮單元108的壓縮效率來提高第一室100的密封效率。門106可以是第一室100的壁面的一部分或是單獨形成的。當壓縮單元108朝向門106的方向壓縮網狀物W時，任何只要能被壓縮以密封門 106的組件都可以用作0型圈110。0型圈可以是包括矩形以及圓形的多邊形。由於0型圈110與網狀物W接觸，所以任何具有良好的密封性並且不會損壞網狀物的材料都可以用作0型圈。比如，0型圈可由橡膠材料，比如丁腈橡膠(Nitrile Butadiene Rubber，NBR)、 三元乙丙^thylene-Propylene-Diene Monomer,EPDM)橡膠、矽酮橡膠、天然橡膠、氟橡膠、 全氟橡膠等製成。這裡，Ti02、BaS04、SiA等添加劑可添加到橡膠材料中以增強橡膠材料的特性。壓縮單元108可以是板形的，並且是由致動器112驅動來壓縮網狀物W的。致動器112可以是電動致動器或氣動致動器，並且並不限於此。壓縮單元108可由包括金屬、橡膠、陶瓷和塑料中至少一項的材料製成，並且並不限於此。壓縮單元108用作網狀物進口 102的門，並可在與第一室100連接或分開的狀態下由所述致動器驅動。壓縮單元108和致動器112可以是連接(安裝)在第一室100的部件的一部分或者可作為到第一室100的單獨部件(設備)。第一室100可以是真空室或用於在特殊氣氛，比如氮氣、氬氣、二氧化碳氣體下進行處理的其他室。當第一室為真空室時，該室通過真空泵IM排氣。當第一室為在特殊氣氛下進行處理的室時，各種高壓罐(未示出)通過管道與第一室100連接。另外，在第一室 100或與第一室100連接的另一個室內可進行特殊處理，比如薄膜沉積、裝配、分配等。在後一種情況下，第一室100可用作加載互鎖真空室。在網狀物出口 104附近設置的壓縮單元118、門116和致動器122與在網狀物進口 102附近設置的壓縮單元、門和致動器基本一樣，這裡不再贅述。因此，本發明的實施例將只關於網狀物進口 102進行說明。圖3為0型圈的多種安裝實例的橫截面圖。
參照圖3，0型圈110可只裝配在門106上[見圖3(A)]，或只裝配在壓縮單元108 上[見圖3(B)]，或在門106和壓縮單元108上都裝配[見圖3 (C)]。當在門106和壓縮單元108上都裝配0型圈110時，必須裝配0型圈IlOa和IlOb以免相互重疊。對於這種配置，在圖3(C)中，裝配在門106上的0型圈IlOa比裝配在壓縮單元108上的0型圈IlOb 有更大的尺寸，即，(0型圈IlOa的安裝間隔比0型圈IlOb的大)(D1 <D2)，這樣，當被壓縮單元108壓縮時，裝配在壓縮單元108上的0型圈IlOb可位於裝配在門106上的0型圈 IlOa內。應理解的是，裝配在壓縮單元108上的0型圈IlOb比在門106上的0型圈IlOa 大。圖4為0型圈的安裝方法的橫截面圖。如圖4所示，0型圈110可插入到在門106上形成的0型圈凹槽106a內。當0型圈110裝配到壓縮單元108時，壓縮單元108也可具有0型圈凹槽，該0型圈凹槽與在門106 上形成的0型圈凹槽106a的功能和配置基本相同。因此，本發明的實施例將結合門106的 0型圈凹槽106a進行說明。0型圈110可具有圓形的橫截面[見圖4(A)]、橢圓形的橫截面[見圖4(B)]以及其他形狀的橫截面，並且不限於此。0型圈凹槽106a可具有多種橫截面，比如，四邊形橫截面、矩形橫截面、平行六邊形橫截面、三角形橫截面、圓形橫截面、橢圓形橫截面等。另外，為了提高0型圈110的密封特性，從0型圈凹槽106a突出的0型圈110的部分IlOa可以是凸圓的形狀(D)或包括多個突出物和凹槽的形狀(C)。圖5為根據本發明實施例的裝置的網狀物進口的打開/關閉操作的橫截面圖，圖 6為圖5中A部分的放大視圖。圖5示出了，當網狀物W進入網狀物進口 102時，調節網狀物W的傾斜度(進入角度)以通過壓縮單元108對網狀物W進行有效的壓縮。這裡，網狀物W的傾斜度可由多個網狀物角度調節單元來調節。在該實施例中，網狀物的傾斜度由第二輥子132來調節。然而，需要說明的是，網狀物的傾斜度的調節並不限於特定的方法。比如，代替第二輥子132，另一組件可裝配在門106上來壓縮網狀物。參照圖5和圖6，當門打開時[見圖5(A)]，由第一輥子130、第二輥子132和第三輥子134支撐或輸送的網狀物W具有均勻的高度。為了關閉網狀物進口 102[見圖5(B)]， 壓縮單元108藉助致動器112朝向網狀物進口 102的方向移動。這裡，第二輥子132可在壓縮單元108移動的同時或之前壓縮網狀物W，以利於壓縮單元108的壓縮。門106可具有光滑的圓角106b，以便在網狀物被壓縮以進行密封時，被壓縮的網狀物可進入網狀物進口 102並且不會受到損壞。壓縮單元108也可具有光滑的圓角108b， 以便在由壓縮單元108壓縮時，網狀物W可通過壓縮單元108的邊緣並且不會受到損壞。圖7為以卷對卷或卷對片的方式製造軟性液晶顯示器的系統的方案視圖。參照圖7，第一退繞機152連續地供給纏繞成輥型的第一網狀物Wl (第一軟性基板)。第一網狀物Wl可由包括聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、 聚醚碸(PES)、聚丙烯酸酯(PAR)、聚碳酸酯(PC)、環烯烴共聚物(COC)、聚苯乙烯(PQ和聚醯亞胺(PI)中至少一項的塑料材料製成。為了有效地進行輸送和後續處理，必須將第一網狀物Wl的張力維持在恆定的範圍內。可在第一網狀物Wl的輸送方向上設置至少一個測力傳感器154，以測量和調節第一網狀物Wl的張力。由於第一網狀物Wl在移動(輸送)的過程中會變形成彎曲的形狀，所以可在第一網狀物Wl的輸送方向上設置至少一個網狀物導向器156，以把第一網狀物Wl調節在固定的位置。首先，在第一網狀物Wl上形成濾色器158。但是，當第一網狀物Wl預先形成了濾色器158時，形成濾色器158的處理可以省略。另外，可在第一網狀物Wl上進一步形成公共電極(未示出)和黑矩陣。然後，通過第一配向膜形成單元(未示出)在第一網狀物Wl 的一個表面上形成第一配向膜160。濾色器158、第一配向膜160等可在第一網狀物Wl的上表面或下表面上形成。第二退繞機202連續地供給纏繞成輥型的第二網狀物W2 (第二軟性基板)。如上所述，在第二網狀物W2的輸送方向上設置至少一個用於調節第二網狀物W2張力的測力傳感器204和至少一個用於定位第二網狀物W2的網狀物導向器206。第二網狀物W2可由與第一網狀物Wl的材料相同或不同的材料製成。首先，薄膜電晶體(TFT)陣列208通過形成TFT陣列的典型處理在第二網狀物W2 的上表面上形成。然而，當第二網狀物W2預先形成了 TFT陣列時，形成TFT陣列的處理可以省略。另外，由於無源矩陣液晶顯示器替代了有源矩陣液晶顯示器，因此可以形成透明電極圖來替代TFT陣列。接下來，通過第二配向膜形成單元(未示出)形成第二配向膜210。 第二配向膜210的類型和形成方法與第一配向膜160的類型和形成方法相同。然後，在具有第二配向膜210的第二軟性基板的上表面上可以通過密封分配器(未示出)、短料分配器(未示出)和液晶分配器(未示出)分別進行密封分配處理、短料分配處理和液晶分配處理。這裡，可省略短料分配處理。另外，密封分配處理、短料分配處理和液晶分配處理的順序可以改變。此外，儘管該實施例說明了在裝配上、下基板之前進行液晶分配處理，但是， 可在沒有液晶分配處理的情況下在真空裝配後可進行注入液晶的處理。密封分配處理是形成密封劑的處理過程，短料分配處理形成短料214，液晶分配處理通過液晶滴入製程(ODF)方法來提供液晶。間隙體(spacer)形成單元(未示出)用於形成間隔體216。然後，分別在第一網狀物Wl和第二網狀物W2上形成的上基板和下基板通過裝配單元300進行校準和裝配，接著進行固化密封劑的處理、把裝配後的基板切割成單個的液晶盒的處理，以及連接偏光器板的處理。另外，系統在第一網狀物Wl和第二網狀物 W2 的輸送方向上可裝配有多個輥子 R100, R102, R104, R106, R108, R110, R112, R200, R202, R204，R206, R208, R210, R212，並且有些輥子可以是由電機驅動的驅動輥子。這裡，難以在真空下進行密封分配、短料分配和液晶分配，並且非常難以在真空室裡進行整體的卷對卷處理。因此，裝配處理可在真空下單獨進行。至此，裝配單元300裝配有真空室並需要與外界隔離(密封)。另外，在真空下還非常有利地進行對用於TFT陣列處理的各種金屬元件或絕緣材料的沉積。圖8為根據本發明另一實施例的網狀物處理裝置的剖視圖，圖9為根據本發明一實施例的第一室的剖視圖。圖8所示的裝置可應用於基於網狀物的軟性液晶顯示器和軟性有機電致發光二極體顯示器等的各種薄膜成形處理，並可組成整個真空裝配單元或部分真空裝配單元。另外，根據這個實施例的裝置可應用於進行關於與外界隔離的狀態下的網狀物的任何處理。根據這個實施例的網狀物處理裝置包括第一室500、處理室600、第二室 700,以及與相應的室連接的真空泵504，604，704。除了真空泵504，604，704，也可以根據需要把高壓罐與室連接以形成各種氣氛。 第一室500裝配有門506，該門可形成在第一室500的壁面的一部分或形成為單獨的結構。門506在網狀物W的輸送方向上傾斜。門506裝配有網狀物進口 502，該進口還可用作第一室的網狀物出口陽0，如圖8所示。可替換地，可在處理室600上裝配單獨的網狀物出口。網狀物的打開/關閉以及0型圈和第一室500的門506的配置與上述實施例中的相同，這裡不再贅述。例如，當製造軟性液晶顯示器時，網狀物W包括在它的一個表面上的處理區域 2002(見圖10)，用於進行各種處理，如薄膜沉積、蝕刻、密封分配等。另外，網狀物W包括面板部分X(見圖10)，該面板部分成為了液晶顯示器上基板或下基板，以及面板之間的邊界部分Y(見圖10)。邊界部分Y(見圖10)既不進行任何處理也不由任何圖案構成。由壓縮單元508壓縮的網狀物W的部分和網狀物進口 502處的門506成為了面板之間的邊界部分 Y(見圖10)。裝配這種結構可防止通過壓縮單元508和門506的壓縮對網狀物上形成的圖案、薄膜或密封劑的損壞。顯而易見地，這種描述也應用於其他處理以及製造軟性液晶顯示器的處理。在處理室600內完成預定的處理後，網狀物W通過處理室的網狀物出口(或通過第二室的網狀物入口 650)移動到第二室。這裡，第二室700上裝配的門708、網狀物出口 702、壓縮單元708和致動器712與上述描述的在網狀物進口附近的門、網狀物出口、壓縮單元和制動器基本相同，因此這裡不再贅述。與各自的室連接的真空泵504，604，704可根據需要的真空度來選擇。例如，旋轉泵，如幹轉迴轉式滑片泵或注油迴轉式滑片泵等，用於獲得較低的真空度。多級迴轉式滑片泵、多級蒸汽噴射器、活塞泵、擴散泵或其他類似物可用於獲得適中的真空度。擴散泵、渦輪分子泵、吸收泵、低溫冷卻泵或其他類似物可用於獲得較高的真空度。渦輪分子泵、低溫冷卻泵、吸收泵或其他類似物可用於獲得超高的真空度。通常，由於第一室500和第二室700需要使處理室保持在較高的真空度中，所以要求第一室500和第二室700的真空度低於處理室600的真空度。因此，如圖9所示，當網狀物靠近真空室600時，第一室500或第二室700可分成兩個或多個室並可配置成具有漸增的真空度。圖9示出了第一室500的一實例，該第一室500分成兩個分別與真空泵50 和 540b連接的室500a和500b。另一方面，第一室500和第二室700可以是加載互鎖真空室。也就是說，每次當網狀物在處理室600中進行某種處理時，如果門506的網狀物進口 502和第二室的網狀物出口 702都被打開，則很難保持處理室600的真空度。因此，第一室500或第二室700可具有緩衝功能以收納其中的預定長度的網狀物。圖10為根據本發明一實施例的緩衝功能的方案視圖。提供該功能的設備可設置
在第一室或第二室內。緩衝輥子R3和R4配置成通過與其連接的電機(未示出)垂直移動。也就是說， 當緩衝輥子R3和R4向下移動時，要收納在第一室500的網狀物W的長度隨緩衝輥子的移動距離增加。為了使網狀物W在處理室600進行預定處理後進行後續處理，緩衝輥子R3和 R4向上移動以使網狀物W進入處理室600進行後續處理。為此，第一室500、處理室600或第二室700可裝配有至少一個能移動網狀物W的驅動輥子。另一方面，每個包括緩衝輥子的輥子Rl，R2，R3，R4，R5，R6可具有由較小直徑的中心部分和較大直徑的邊緣部分組成的啞鈴形狀，以保護網狀物W的處理區域2002上的各種材料層或圖案。即，在網狀物W的存在處理區域2002的中心部分A，輥子Rl等可只與第二軟性基板200的邊緣B相接觸，而不與整個網狀物W接觸。更優選地，輥子與網狀物W的一部分接觸，該部分位於網狀物W的校準標記2004外。網狀物W的邊緣B可形成有通孔2006， 以在切割網狀物W後維持網狀物W的張力並定位網狀物W。另一方面，網狀物W的平面，S卩，圖10中網狀物W的不存在有處理區域2002的下表面，不存在平面和輥子之間接觸方面的問題。因此，除了 鈴形狀的輥子外，可優選採用等徑的圓筒形輥子來支撐或輸送網狀物W。也就是說，輥子R3，R4和R6可以是啞鈴式輥子， 輥子Rl，R2，R5和R7可以是圓筒形輥子。圖11為進行緩衝功能的多種配置的方案視圖。執行緩衝功能的設備可配置在第
一室或第二室內。參照圖11 (A)，兩個緩衝輥子R12和R14可垂直移動以調節網狀物W的長度。剩餘的兩個輥子RlO和R16則用來支撐和輸送網狀物W。儘管緩衝輥子也支撐和輸送網狀物W， 但是這些輥子具有調節網狀物W長度的獨立功能，因此，為了方便起見，稱為「緩衝輥子」。 參照圖11 (B)，四個緩衝輥子R22，R24，R26和似8可提供緩衝功能。剩餘的兩個輥子R20 和似9用來支撐和輸送網狀物W。可替換地，如圖Il(C)所示，單個緩衝輥子R32可用於提供緩衝功能。剩餘的兩個輥子R30和R34用來支撐和輸送網狀物W。這裡，包括要配置成面向網狀物W的處理區域的緩衝輥子和普通輥子在內的所有輥子都可以是啞鈴形狀輥子。這樣，根據本發明的實施例，網狀物處理裝置的優點在於能通過簡單的方法在將網狀物保持在真空或隔離的狀態下的同時進行關於網狀物的各種處理。另外，網狀物處理裝置通過加載互鎖真空室、緩衝輥子等可使處理室內維持真空或特定的氣氛更容易。儘管本發明已經就一些實施例進行了描述，但是，本領域的技術人員應理解的是， 這些實施例僅僅是通過說明的方式給出的，在不脫離本發明的精神和範圍的情況下，可進行各種修改、變化和更改。本發明的保護範圍應僅受附屬權利要求及其等同物的限定。
權利要求
1.一種網狀物處理裝置，包括第一室，包括在網狀物輸送方向上裝配的傾斜的門和在該門內形成的網狀物進口與網狀物出口 ；壓縮單元，朝向門的方向壓縮網狀物以密封網狀物進口 ；以及0型圈，彈性地變形以密封壓縮單元和門之間的網狀物進口。
2.根據權利要求1所述的裝置，其特徵在於，所述網狀物為用於顯示設備的軟性基板。
3.根據權利要求2所述的裝置，其特徵在於，由所述壓縮單元和所述門壓縮的所述網狀物的一部分是在網狀物上形成的顯示面板之間的邊緣。
4.根據權利要求1所述的裝置，其特徵在於，所述網狀物由包括PET、PEN、PES、PAR、PC、 COC, PS和PI中至少一項的塑料材料或包括不鏽鋼的金屬材料製成。
5.根據權利要求1所述的裝置，其特徵在於，所述第一室為真空裝配單元的一部分。
6.根據權利要求1所述的裝置，其特徵在於，所述壓縮單元由致動器驅動。
7.根據權利要求1所述的裝置，其特徵在於，所述壓縮單元具有圓角，以防止壓縮單元在壓縮所述網狀物時損壞網狀物。
8.根據權利要求1所述的裝置，其特徵在於，所述門具有圓角，以防止所述壓縮單元在壓縮所述網狀物時損壞網狀物。
9.根據權利要求1所述的裝置，其特徵在於，所述第一室為真空室。
10.根據權利要求1所述的裝置，其特徵在於，還包括網狀物角度調節單元，該網狀物角度調節單元用於調節所述網狀物的傾斜度，以利於所述壓縮單元壓縮所述網狀物。
11.根據權利要求9所述的裝置，其特徵在於，所述網狀物角度調節單元包括輥子。
12.根據權利要求1所述的裝置，其特徵在於，所述0型圈插入到所述壓縮單元的0型圈凹槽或所述門的0型圈凹槽中。
13.根據權利要求1所述的裝置，其特徵在於，還包括與所述第一室連接的處理室。
14.根據權利要求13所述的裝置，其特徵在於，所述處理室保持在比所述第一室的真空度更高的真空中。
15.根據權利要求13所述的裝置，其特徵在於，所述第一室分成兩個或多個室，以保持所述處理室的真空度。
16.根據權利要求13所述的裝置，其特徵在於，還包括可垂直移動的緩衝輥子，以通過改變在所述第一室內的網狀物的移動路線來進行備用狀態下的網狀物的長度調節。
17.根據權利要求13所述的裝置，其特徵在於，所述真空室為裝配兩個網狀物的真空裝配單元的一部分。
全文摘要
本發明涉及一種網狀物處理裝置。所述裝置包括第一室，包括在網狀物輸送方向上配置的傾斜的門和在該門中形成的網狀物進口與網狀物出口；壓縮單元，朝向門的方向壓縮網狀物以密封網狀物進口；以及O型圈，彈性地變形以密封壓縮單元和門之間的網狀物進口。所述網狀物處理裝置的優點在於能通過簡單的方法在保持網狀物處於真空或隔離狀態下的同時進行關於網狀物的各種處理。
文檔編號H01L21/00GK102403194SQ20111024843
公開日2012年4月4日 申請日期2011年8月26日 優先權日2010年9月15日
發明者李鎮煥 申請人:Ap系統股份有限公司