位置檢測裝置製造方法

2023-07-28 13:22:56

位置檢測裝置製造方法
【專利摘要】在省略了2次線圈的類型的位置檢測裝置中，去除因使用分壓用電阻(固定電阻)而產生的各種不良情況。設有以交流信號進行勵磁的至少兩對線圈(11～18)。以相對於線圈相對地位移的方式配置有磁響應部件(21)，對應於檢測對象位置，該部件與線圈之間的相對位置變化，與該相對的位置相對應地使各線圈的阻抗變化。一個線圈對中的各線圈的阻抗變化呈現彼此反相的特性。針對各線圈對，將構成該對的兩個線圈串聯連接並從兩個線圈的連接點將與該兩個線圈的阻抗相對應的分壓輸出電壓作為該對的檢測輸出信號分別獲取。
【專利說明】位置檢測裝置

【技術領域】
[0001]本發明涉及包括進行交流勵磁的線圈、和相對於該線圈相對地位移的磁性體或導電體而構成的位置檢測裝置，其適合於對I圈或規定角度範圍內的旋轉位置進行檢測或者對直線位置進行檢測，特別是涉及使用僅利用交流信號進行勵磁的I次線圈而與檢測對象位置相對應地生成呈現多相的振幅函數特性的輸出交流信號的位置檢測裝置。

【背景技術】
[0002]作為感應型的旋轉位置檢測裝置，利用I相勵磁輸入產生兩相輸出(正弦相的輸出和餘弦相的輸出)的感應型的旋轉位置檢測裝置作為「分相器」而已知，利用I相勵磁輸入產生3相輸出(錯開120度的3相)的感應型的旋轉位置檢測裝置作為「同步器」而已知。最老類型的原有型分相器在定子側配置以90度的機械角正交的兩極(正弦極和餘弦極)的2次繞組，在轉子側配置I次繞組。這種類型的分相器需要用於與轉子的I次繞組電接觸的電刷，因此，這成為缺點。相對於此，也已知不需要電刷的無刷分相器的存在。無刷分相器在轉子側設有旋轉變壓器來替代電刷。但是，這種無刷分相器由於是在轉子側具有旋轉變壓器的結構，因此難以使裝置小型化，進行小型化存在限度，另外，與旋轉變壓器的量相對應而增加裝置結構部件數量，因此還會導致製造成本的上升。
[0003]另一方面，如下述的非接觸式.可變磁阻型的旋轉位置檢測裝置過去作為商品名「 I " 口'> 而已知，即，在該非接觸式.可變磁阻型的旋轉位置檢測裝置中，在定子側的多個凸極上配置I次繞組和2次繞組，轉子由規定形狀(偏心圓形狀、或者橢圓形狀、或者具有凸起的形狀)的磁性體構成，基於定子凸極和轉子磁性體之間的間隙與旋轉位置相對應地變化而生成與旋轉位置相對應的磁阻變化，獲得與該磁阻變化相對應的輸出信號。另外，基於同樣的可變磁阻原理的旋轉位置檢測裝置例如在下述專利文獻1、2、3等中示出。此外，在該情況下，基於輸出信號的位置檢測方式均已知相位方式(檢測到的位置數據與輸出信號的電相位角對應的方式)和電壓方式(檢測到的位置數據與輸出信號的電壓電平對應的方式)。例如在採用相位方式的情況下，將2相勵磁輸入或3相勵磁輸入等、按不同的機械角配置的各I次繞組在錯開相位的多相進行勵磁，與旋轉位置相對應地產生錯開了電相位角的I相的輸出信號。另外，在採用電壓方式的情況下，I次繞組和2次繞組之間的關係與上述相位方式相反，如上述「分相器」這樣以I相勵磁輸入產生多相輸出。
[0004]在如「分相器」這樣以I相勵磁輸入產生多相輸出的旋轉位置檢測裝置中，典型地構成為產生正弦相輸出和餘弦相輸出這兩相輸出。因此，在現有的非接觸式.可變磁阻型的分相器類型的旋轉位置檢測裝置中，定子至少由4個極構成，各極以機械角為90度的間隔配置，若將第I極設為正弦相，則與第I極隔開90度的第2極設為餘弦相，進一步隔開90度的第3極設為負的正弦相，進一步隔開90度的第4極設為負的餘弦相。在該情況下，為了相對於各定子極產生與旋轉相對應的磁阻變化，轉子由磁性體或導電體構成，其形狀形成為偏心圓形狀、橢圓形狀或者齒輪形狀等周期性的形狀。並且，在各定子極上設有I次線圈和2次線圈，通過各定子極和轉子之間的間隙與轉子的旋轉位置相對應地變化，從而經過該定子極的磁路的磁阻變化，基於此，該定子極中的I次線圈和2次線圈之間的磁耦合度與旋轉位置相對應地變化，這樣與旋轉位置相對應的輸出信號被2次線圈感應，各定子極的輸出信號的峰值振幅特性呈現周期性函數特性。
[0005]如上述的現有的非接觸式?可變磁阻型的分相器類型的旋轉位置檢測裝置是設置I次線圈和2次線圈的I次一 2次感應類型，因此，線圈數變多，由此使構造小型化存在限度，另外，在降低成本方面也存在限度。
[0006]相對於此，在下述專利文獻4、5、6中公開有如下阻抗測定類型的位置檢測裝置:作為傳感線圈，僅設有I次線圈，省略了 2次線圈。在該情況下，為了獲取檢測輸出電壓，在現有的裝置中，將分壓用電阻(固定電阻)與I次線圈串聯連接，從電阻與線圈的連接點(分壓點)獲取檢測輸出電壓。
[0007]專利文獻1:日本特開昭55 - 46862號公報
[0008]專利文獻2:日本特開昭55 - 70406號公報
[0009]專利文獻3:日本特開昭59 - 28603號公報
[0010]專利文獻4:日本特開2009 - 162783號公報
[0011]專利文獻5:日本特開2009 - 216718號公報
[0012]專利文獻6:日本特開2010 - 271333號公報


【發明內容】

[0013]在如上述專利文獻4、5、6所示出的省略了 2次線圈的類型的檢測裝置中，藉助與I次線圈串聯的分壓用電阻(固定電阻)獲取檢測輸出電壓，因此，存在如下問題:能夠流經線圈的電流由於固定電阻而受到限制，使線圈的阻抗變化效率降低，無法增大檢測輸出電壓的動態範圍。另外，如果將分壓用電阻(固定電阻)的物理配置與作為檢測要素的線圈的物理配置接近地配置在傳感裝置側，則作為電氣部件的固定電阻元件直接受到傳感裝置(線圈)所配置的環境的影響，在確保結構部件的可靠性方面並不理想。另一方面，如果分壓用電阻(固定電阻)的物理配置遠離作為檢測要素的線圈的物理配置而配置在檢測?控制用設備側，則存在如下缺點:無法在與分壓用電阻(固定電阻)連接的傳感裝置(線圈)側的輸出電線中形成對絞，因此，無法得到噪聲消除效果。另外，還存在如下問題:組裝於檢測裝置的分壓用電阻(固定電阻)的作為單個部件的電阻值的波動和/或溫度特性的波動對位置檢測精度帶來不良影響。
[0014]本發明是鑑於上述的問題點而提出的，其目的在於，在省略了 2次線圈的類型的位置檢測裝置中，去除由於使用分壓用電阻(固定電阻)而產生的各種不良情況。
[0015]本發明涉及的位置檢測裝置，其特徵在於，其具有:線圈部，其是將以交流信號進行勵磁的至少兩對線圈配置而成的，在所述線圈部中一個線圈對中的各線圈以規定間隔分離而配置；磁響應部件，其配置為相對於所述線圈部相對地位移，對應於檢測對象位置，該磁響應部件和所述線圈部之間的相對位置變化，與該相對位置相對應地使所述線圈的阻抗變化，一個線圈對中的各線圈的阻抗變化呈現彼此反相的特性；以及針對各線圈對，構成將構成該線圈對的兩個線圈串聯連接而成的線圈串聯連接電路，向該線圈串聯連接電路施加所述交流信號，並且，從該線圈串聯連接電路中的所述兩個線圈的連接點將與該兩個線圈的阻抗相對應的分壓輸出電壓作為該對的檢測輸出信號分別獲取的電路。
[0016]根據本發明，構成為以交流信號進行勵磁的一個線圈對中的各線圈的阻抗變化呈現彼此反相的特性，將構成該對的兩個線圈串聯連接並從兩個線圈的連接點將與該兩個線圈的阻抗相對應的分壓輸出電壓作為該對的檢測輸出信號獲取，因此，實現能夠增大檢測輸出電壓的動態範圍這樣的效果。另外，不需要將作為電氣部件的固定電阻元件組裝於傳感部側，因此，傳感部的物理配置環境不會對電路構成部件的可靠性帶來不良影響。另外，關於一個線圈對中的各線圈，能夠形成I次側電線的對絞，因此，能夠獲得噪聲消除效果。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0017]圖1是表示本發明的一個實施例涉及的旋轉位置檢測裝置的傳感部中的線圈配置例的主視略圖。
[0018]圖2是表示該實施例中的檢測用電路構成例的電路圖。
[0019]圖3是表示本發明的另一實施例涉及的線圈配置例的主視略圖。

【具體實施方式】
[0020]圖1是表示本發明的一個實施例涉及的旋轉位置檢測裝置的傳感部S中的定子部10和轉子部20的物理配置關係的一個例子的主視略圖。定子部10是將線圈部固定地設置而成的，該線圈部由將8個線圈11?18沿著定子部10的圓周方向以等間隔(45度間隔)配置而構成。轉子部20構成為對應於檢測對象位置的位移，相對於定子部10而相對地旋轉位移。在作為檢測對象的被施加旋轉運動的旋轉軸22上安裝規定形狀、例如橢圓板狀的磁響應部件21，從而構成轉子部20。作為一個例子，以磁響應部件21的材質由鐵這樣的磁性體構成的磁響應部件進行說明。
[0021]作為一個例子，以與轉子部20在軸向上相對的方式配置定子部10。在該情況下，各線圈11?18以在線圈內通過的磁通指向旋轉軸22的軸向的方式配置。作為一個例子，各線圈11?18分別卷繞於未圖示的鐵心(磁性體芯)上，在各線圈11?18的鐵心(磁性體芯)的端面和轉子部20的磁響應部件21的表面之間形成空隙，轉子部20以不與定子部10接觸的方式進行旋轉。為了將該空隙的距離保持恆定，轉子部20與定子部10的相對配置關係藉助未圖示的機構確定。轉子部20的磁響應部件21的規定形狀例如為橢圓板狀，為此，隔著空隙與磁響應部件21相對的線圈端面的面積與旋轉位置相對應地變化。由於該相對空隙面積的變化，穿過各線圈11?18的磁通量發生變化，由此，各線圈11?18的電感(阻抗)發生變化。
[0022]作為另一配置例，也可以如公知結構所示，以與轉子部20在軸向上相對的方式配置定子部10，以各線圈11?18的磁通指向旋轉軸22的徑向的方式配置。在該情況下，轉子部20的磁響應部件21與各線圈11?18的端面之間的空隙的距離與旋轉位置相對應地變化，由於該相對空隙距離的變化，穿過各線圈11?18的磁通量發生變化，由此，各線圈11?18的電感(阻抗)發生變化。
[0023]由於轉子部20的磁響應部件21為橢圓形狀，因此在旋轉軸22旋轉I圈時以兩個循環(2個周期)的比例產生各線圈11?18中的電感(阻抗)變化。通過對轉子部20的磁響應部件21的材質、形狀等其他適當的要素合適地進行設計，能夠適當地設計為，各線圈11?18中的電感(阻抗)變化的周期特性呈現理想的或者近似的三角函數特性。
[0024]在此，關於旋轉角度Θ，如果某個線圈11的阻抗變化的周期特性如下述Α( Θ )所示為正的正弦的函數特性，相對於此，以機械角依次每隔45度地配置的各線圈12?18的阻抗變化的周期特性成為下述Β(θ)?Η(θ)所示的關係。
[0025]Α( Θ ) = Pc^PsiM Θ (線圈 11)
[0026]Β( Θ ) = Po+Pcod Θ (線圈 12)
[0027]C( Θ ) = P。一 Psin2 Θ (線圈 13)
[0028]D( θ ) = P。一 pC0S2 Θ (線圈 14)
[0029]Ε( θ ) = PQ+Psin2 θ (線圈 15)
[0030]F( θ ) = P0+Pcos2 θ (線圈 16)
[0031]G( θ ) = P。一 Psin2 θ (線圈 17)
[0032]Η( θ ) = P。一 pC0S2 Θ (線圈 18)
[0033]在此，PO是阻抗變化的振擺的中點，P是振擺的振幅，即使將P視作I而省略，在說明上也沒有問題，因此在以下的說明中，將其省略。
[0034]在本發明中，線圈部中的各線圈11?18組合為，使線圈11?18中的各兩個彼此成對而構成多對。成對的兩個線圈確定為，相對於檢測對象位置(旋轉位置)的各自的阻抗變化呈現彼此反相的特性。即，+sin特性(正的正弦相)的線圈11和一 sin特性(負的正弦相)的線圈13構成一對,+cos特性(正的餘弦相)的線圈12和一 cos特性(負的餘弦相)的線圈14構成一對。同樣地+sin特性(正的正弦相)的線圈15和一 sin特性(負的正弦相)的線圈17構成一對，+cos特性(正的餘弦相)的線圈16和一 cos特性(負的餘弦相)的線圈18構成一成。
[0035]如圖2所示，針對各線圈對，將構成該對的兩個線圈分別串聯連接，通過從交流產生源產生的規定的I相的高頻交流信號(假設以sinot表示)以定電壓或定電流進行勵磁，從各對的兩個線圈的連接點將與該兩個線圈的阻抗相對應的分壓輸出電壓，作為該對的檢測輸出信號Vs、V-s、Ne、V-c而分別獲取。
[0036]例如觀察線圈11、13這一對，其分壓比以4(0)/[麼(0)+(:(0)]表示，作為變量要素，成為包含+sin2 0的成分的信號。即，從線圈11、13這一對獲得的分壓輸出交流電壓呈現與檢測對象位置(旋轉位置)Θ相對應的正的正弦函數(正的正弦相)的振幅特性，能夠等價地以+sin2 Θ sincot表示。對於呈現相同的正弦特性的線圈15、17這一對，以使分壓電路的特性與線圈11、13這一對相反的方式串聯連接。S卩、其分壓比以G( θ )/[Ε( Θ )+G( Θ )]表示，作為變量要素，成為包含一 sin2 0的成分的信號。因而，從線圈15、17這一對獲得的分壓輸出交流電壓呈現與檢測對象位置(旋轉位置)Θ相對應的負的正弦函數(負的正弦相)的振幅特性，能夠等價地以一 sin2 Θ sincot表示。
[0037]同樣地線圈12、14這一對的分壓比以Β( Θ )B/[ ( Θ )+D( Θ )]表示，從該對獲得的分壓輸出交流電壓呈現與檢測對象位置(旋轉位置)Θ相對應的正的餘弦函數(正的餘弦相)的振幅特性，能夠等價地以+cos2 Θ sincot表示。另外,對於呈現相同的餘弦特性的線圈16、18這一對，以分壓電路的特性與線圈12、14這一對相反的方式串聯連接，分壓比為H(0)/[F(0)+H(0)]，獲得的分壓輸出交流電壓呈現與檢測對象位置(旋轉位置)Θ相對應的負的餘弦函數(負的餘弦相)的振幅特性，能夠等價地以一 cos2 Θ sinω?表示。
[0038]這樣，從各線圈對的分壓輸出點獲取的各檢測輸出信號Vs、V-s、VC、V-C分別等價地視為，
[0039]Vs = +sin2 Θ sin cot
[0040]V-s = — sin2 Θ sin cot
[0041]Vc = +cos2 Θ sin cot
[0042]V-c = — cos2 Θ sin cot。
[0043]這些檢測輸出信號Vs、V-s、Vc、V-c的構成與以分相器的名稱已知的公知的旋轉位置檢測裝置的輸出構成相同。因而，從各線圈對的分壓輸出點獲取的各檢測輸出信號Vs、V-s、Vc、V-c能夠輸入至作為分相器用數據變換器而公知的RD(分相器一數字)轉換器。即、作為用於本發明涉及的位置檢測裝置的位置數據變換器，能夠應用公知的RD轉換器。當然，作為用於本發明涉及的位置檢測裝置的數據變換器，並不限於RD轉換器，也能夠應用數字相位差測定裝置、或者整流電路、振幅電平提取裝置等基於適當的測定原理的變換
>j-U ρ?α裝直。
[0044]在圖2所示的例子中，設置在傳感部S(定子部10和轉子部20)側的電氣.電子電路部件僅是線圈11?18和與其相關的配線。傳感部S和變換裝置M之間經由連接用配線31?36連接，允許傳感部S和變換裝置M之間的距離適當分開。作為一個例子，變換裝置M包括公知的RD轉換器40，從傳感部S輸出的各線圈對的檢測輸出信號Ns、V-s、Vc、V-c經由配線33?36輸入至RD轉換器40。另外，從RD轉換器40經由緩衝放大器41輸出勵磁用交流信號sinco t，經由配線31、32供給至傳感部S的各線圈對。作為各配線31?36，能夠使用對絞電纜。在RD轉換器40中，作為一個例子，正弦相的檢測輸出信號Vs、V-s (+sin2 Θ sincot以及一 sin2 Θ sincot)彼此差動放大,並且，餘弦相的檢測輸出信號Vc、V-c (+cos2 Θ sincot以及一 cos2 Θ sincot)彼此差動放大,按照公知的追蹤法,基於差動放大後的正弦相以及餘弦相的檢測輸出信號sin2 Θ sin ω?以及cos2 Θ sincot,生成表示振幅成分中的角度成分2Θ的數字數據。此外，由此獲得的數字數據是實際的檢測對象旋轉角度Θ的兩倍的角度2 Θ，因此絕對的旋轉位置可檢測範圍是半圈(180度)的範圍。超過了絕對的旋轉位置可檢測範圍的旋轉位置用對每個半圈的循環數進行計數等公知的方法進行檢測即可。
[0045]在圖1的例子中，在I個圓周上以45度間隔配置有8個(8極)線圈，但線圈配置或者極數並不限於此，能夠任意地設計。例如在定子部10的I個圓周上以90度間隔配置4極的線圈的例子在圖3中示出。在圖3的例子中，針對每I極,將兩個線圈雙重(例如雙繞)配置。具體而言，在一個正的正弦極上配置正的正弦相的線圈11、15，在一個正的餘弦極上配置正的餘弦相的線圈12、16，在一個負的正弦極上配置負的正弦相的線圈13、17，在一個負的餘弦極上配置負的餘弦相的線圈14、18。轉子部20的磁響應部件21是偏心圓形狀，由此，在旋轉軸22每旋轉I圈時以I個循環(I個周期)的比例產生各線圈11?18中的電感(阻抗)變化。
[0046]在圖3的配置中，以機械角依次錯開90度地配置的各線圈11?18的阻抗變化的周期特性成為如下述Α(θ)?Η(θ)所示的關係。
[0047]Α( Θ ) = P^+Psin Θ (線圈 11)
[0048]Β( Θ ) = Pc^Pcos Θ (線圈 12)
[0049]C( θ ) = P。一 Psin Θ (線圈 13)
[0050]D( θ ) = P。一 Pcos Θ (線圈 14)
[0051]Ε( θ ) = PQ+Psin θ (線圈 15)
[0052]F( θ ) = Pq+Pcos θ (線圈 16)
[0053]G( θ ) = P。一 Psin θ (線圈 17)
[0054]Η( θ ) = P。一 Pcos θ (線圈 18)
[0055]在圖3的配置中的成對的各線圈11?18的連接方式與圖2所示的方式相同。但是，在圖3的配置中，從各線圈對11、13 ;15、17 ;12、14 ;16、18的分壓輸出點獲取的各檢測輸出信號Vs、V-s、VC、V-C分別等價地表示為，
[0056]Vs = +sin Θ sin cot
[0057]V-s = — sin Θ sin cot
[0058]Vc = +cos Θ sin cot
[0059]V-c = — cos Θ sin cot。
[0060]其原因在於，在圖3的配置中，相對於檢測對象位置Θ的位移的各線圈11?18的阻抗變化，將I圈(360度)作為I個循環。
[0061]並不限於上述例子，能夠以在旋轉軸22每旋轉I圈時以任意的N個循環(N個周期)的比例產生各線圈中的電感(阻抗)變化的方式，設計線圈配置或者極數。
[0062]各線圈11?18並不限於繞組式線圈，也可以是由形成在印刷基板上的扁平線圈構成。設在轉子部20上的磁響應部件21的材質並不限於磁性體，也可以是像銅這樣的非磁性良導電體，或者也可以是將磁性體和非磁性良導電體組合而成的混合類型。此外，本發明並不限於旋轉位置檢測裝置，也能夠應用於直線位置檢測裝置。
[0063]另外，在上述實施例中，使用了 4對線圈對11、13 ;15、17 ;12、14 ;16、18，但並不限於此。只要構成為設置至少兩對線圈並至少生成正弦相的檢測輸出信號Vs和餘弦相的檢測輸出信號Vc即可。
[0064]在上述實施例中，對各線圈11?18分別配置(卷繞)於I個部位的例子進行了說明。但並不限於此，各線圈11?18也可以由利用公知的分布卷繞技術在規定範圍內分布卷繞而成的結構構成。已知根據這種分布卷繞技術，在各線圈11?18中容易實現所期望的正弦特性或者餘弦特性的阻抗變化。
[0065]另外,在上述實施例中，各線圈11?18通過I相的交流信號sinω?進行勵磁,但並不限於此，也可以使用公知的多相勵磁技術。例如也可以通過錯開90度相位的兩相的交流信號(sincot和coscot)進行勵磁、或者通過錯開120度相位的3相的交流信號(sincot、sin (ω t — 120° )、sin (ω t — 240° )進行勵磁。例如在如圖3所不的配置中設有兩個線圈對的情況下，能夠採用一個線圈對11、13以sin ω?進行勵磁、另一個線圈對12、14以cos ω t進行勵磁這樣的勵磁法。
[0066]如上述說明，根據本發明，構成為以交流信號進行勵磁的一個線圈對中的各線圈的阻抗變化呈現彼此反相的特性，將構成該對的兩個線圈串聯連接並從該兩個線圈的連接點將與該兩個線圈的阻抗相對應的分壓輸出電壓作為該對的檢測輸出信號而獲取，因此，實現能夠增大檢測輸出電壓的動態範圍這樣的效果。另外，不需要將作為電氣部件的固定電阻元件組裝於傳感部側，因此，傳感部的物理配置環境不會對電路構成部件的可靠性帶來不良影響。另外，在來自各線圈對的輸出電線中能夠形成對絞，因此能夠獲得噪聲消除效果O
【權利要求】
1.一種位置檢測裝置，其具有: 線圈部，其是將以交流信號進行勵磁的至少兩對線圈配置而成的，在所述線圈部中，一個線圈對中的各線圈以規定間隔分離而配置； 磁響應部件，其配置為相對於所述線圈部相對地位移，對應於檢測對象位置，該磁響應部件和所述線圈部之間的相對位置變化，與該相對位置相對應地使所述線圈的阻抗變化，一個線圈對中的各線圈的阻抗變化呈現彼此反相的特性；以及 針對各線圈對，構成將構成該線圈對的兩個線圈串聯連接而成的線圈串聯連接電路，向該線圈串聯連接電路施加所述交流信號，並且，從該線圈串聯連接電路中的所述兩個線圈的連接點將與該兩個線圈的阻抗相對應的分壓輸出電壓作為該對的檢測輸出信號而分別獲取的電路。
2.根據權利要求1所述的位置檢測裝置，其特徵在於， 所述至少兩對線圈中的、第I對的所述檢測輸出信號相對於所述檢測對象位置呈現正弦相的振幅特性，第2對的所述檢測輸出信號相對於所述檢測對象位置呈現餘弦相的振幅特性。
3.根據權利要求1所述的位置檢測裝置，其特徵在於， 所述至少兩對線圈中的、第I對的所述檢測輸出信號相對於所述檢測對象位置呈現正的正弦相的振幅特性，第2對的所述檢測輸出信號相對於所述檢測對象位置呈現負的正弦相的振幅特性，第3對的所述檢測輸出信號相對於所述檢測對象位置呈現正的餘弦相的振幅特性，第4對的所述檢測輸出信號相對於所述檢測對象位置呈現負的餘弦相的振幅特性。
4.根據權利要求1至3中任一項所述的位置檢測裝置，其特徵在於， 該位置檢測裝置具有定子部、和與檢測對象的旋轉位移對應地旋轉的轉子部，所述磁響應部件設於所述轉子部上，所述線圈部設於所述定子部上。
5.根據權利要求1至4中任一項所述的位置檢測裝置，其特徵在於， 所述各線圈對的所述檢測輸出信號經由對絞電纜傳輸。
【文檔編號】G01D5/20GK104303019SQ201380025415
【公開日】2015年1月21日 申請日期:2013年5月13日 優先權日:2012年5月14日
【發明者】後藤忠敏, 後藤太輔, 坂元和也, 田中秀一 申請人:株式會社阿米泰克