空氣乾燥機的空氣乾燥裝置的製作方法
2023-07-14 05:27:01 1
專利名稱：空氣乾燥機的空氣乾燥裝置的製作方法
技術領域：
本發明是關於一種空氣乾燥機的空氣乾燥裝置，其是為一種使用於可將空氣變乾燥，再由空氣乾燥裝置輸出至放置晶圓的密閉櫃及一般防潮櫃使用。
背景技術：
臺灣屬於海島型氣候，於空氣中會帶有較多水份，再加上少數的油及灰塵等雜質，會使得晶圓於製成集成電路時產生相當程度的不良率。
為了解決上述問題，目前有兩種解決的方法，第一種是在一裝滿乾燥劑的容器，由進氣管路打入壓縮空氣，壓縮空氣中的水份擠入乾燥劑，乾燥空氣經出氣管路進入密閉櫃，待乾燥劑水份飽和，電磁閥關閉進/出氣管路，開啟洩壓閥，瞬間將乾燥劑的飽和水份帶走，以使乾燥劑可以重新做乾燥空氣使用，但此種做法為一般工業用，體積大、零件多、控制電路複雜且成本高，產生乾燥空氣速度慢，故一般晶圓廠多不使用。
第二種為在放置晶圓的密閉櫃不斷打入氮氣俗稱氮氣櫃，將原本櫃內帶有水份的空氣擠出，一般的晶圓廠都使用，但亦具有成本高的缺點，實有加以改良的必要。
發明內容
有鑑於現有構造所產生的缺點，本發明的目的即在提供一種空氣乾燥機的空氣乾燥裝置，主要可以達到零件少、成本低的目的。
基於前述目的，本發明所運用的技術手段是在於提供一種空氣乾燥機的空氣乾燥裝置，包括有加壓/洩壓循環裝置，其中具有一組並列的第一、第二管體，第一、第二管體內部的下、上側分別設有過濾件，位於一組相對的過濾件間設有多數的乾燥劑；三通閥，設置於第一、第二管體下側，三通閥設有一進氣管與三通閥內部相通，三通閥內設通道分別可與第一、第二管體相通；相對於進氣管的通道附近設置一鋼珠，通道兩側並位於鋼珠側邊設有密封圈與內部具通孔的螺絲；
閥座，設於第一、第二管體上側，其內部具有與第一、第二管體相通的信道，並設有一輸氣管；分別有一中空的單向閥，其上側與閥座固設，單向閥下側設置過濾件，於單向閥側邊設置旁通路。
本發明所提供的創新設計，可以獲得的具體功效增進包括有零件少與成本低由於本發明中的空氣乾燥裝置，其所必需要使用到的零件少，因而可達到成本低的目的。
圖1是本發明的立體外觀圖。
圖2是本發明的立體分解圖。
圖3是本發明當使用於空氣乾燥機上的側視平面圖。
圖4是本發明當使用於空氣乾燥機上的俯視平面圖。
圖5是本發明的使用實施例的剖面圖。
圖6是本發明的使用實施例的另一剖面圖。
主要組件符號說明10--第一管體11--過濾件12--過濾件20--第二管體30--乾燥劑40--三通閥 41--進氣管42--信道43--鋼珠44--密封圈 45--螺絲50--第一閥 60--第二閥61--排水管70--閥座71--信道72--輸氣管80--單向閥 81--旁通路82--彈簧83--珠體84--密封圈
90--過濾器91--進氣開關92--過濾器901--排水管具體實施方式
本發明是為一種空氣乾燥機的空氣乾燥裝置如圖1至圖4中所示，於本發明中所使用的空氣乾燥裝置是使用於一空氣乾燥機內，包括有加壓/洩壓循環裝置，其中具有一組並列的中空圓柱形第一、第二管體10/20，第一、第二管體10/20內部的下、上側分別設有呈半球形的過濾件11/12，其中一組相對的過濾件11/12的方向互為反向設置，並位於一組相對的過濾件11/12間設有多數的乾燥劑30如圖5；三通閥40，設置於第一、第二管體10/20下側，三通閥40設有一進氣管41與三通閥40內部相通，三通閥40內設通道42分別可與第一、第二管體10/20相通；相對於進氣管41的通道42附近設置一鋼珠43，通道42兩側並位於鋼珠43側邊設有密封圈44與內部具通孔的螺絲45，鋼珠43可受到密封圈4 4的止擋，而使空氣無法向一側流通；第一閥50、第二閥60分別設於三通閥40下側，其分別與三通閥40下側相通，第一閥50、第二閥60下側設有相通的排水管路61，可供於排水之用，並於排水管路61的外側端設置可供消音的消音器；閥座70，是設於第一、第二管體10/20上側，其內部具有與第一、第二管體10/20相通的通道71，並設有一輸氣管72可將乾燥後的空氣輸出至晶圓廠放置晶圓的密閉櫃使用；分別有一中空的單向閥80，其上側與閥座70固設，單向閥80下側設置過濾件12，於單向閥80側邊設置旁通路81，單向閥80內部由上至下依序設彈簧82與珠體83及密封圈84；如圖4所示，空氣於加壓之前是經由過濾器90、進氣開關91再連接至進氣管41，經過濾器90過濾後的空氣，並可經與過濾器90連接的排水管901將空氣中的水份於過濾後作初步排水，當空氣以壓縮機打入進氣管41，產生乾燥空氣，可以由流量表與壓力計顯示，同時，於儀錶板上可以顯示出相關的溫度及溼度讀數，當乾燥空氣經輸氣管72後，可以再經一過濾器92的過濾後，再輸入於放置晶圓的密閉櫃中。
本發明於使用時如圖1、5所示，由於本發明是使用加壓/洩壓循環裝置，主要是於放置晶圓的密閉櫃處設有感應器，以偵測密閉櫃內的溼度，若溼度過高，則必需要使乾燥空氣輸入放置晶圓的密閉櫃內，並位於密閉櫃內設有靜電消除器，於乾燥空氣輸入同時可供消除進入密閉櫃後幹空氣流動所產生的靜電；於本發明中當空氣以壓縮機打入進氣管41，並可通至三通閥40內，空氣將鋼珠43推向左側或右側，堵住第二管體的信道，空氣可經信道42、具有通孔的螺絲45輸入第一管體10內，空氣可被過濾件11作初步的過濾，並可使裝滿乾燥劑30的第一管體10呈加壓狀態，將原本加壓空氣中所帶的水份擠壓入乾燥劑內部，空氣因而乾燥，再經過濾件12、單向閥80、閥座70內部信道71再由輸氣管72輸出，以供晶圓廠放置晶圓的密閉櫃使用，部份空氣經單向閥80的旁通路81緩緩進入第二管體，使得第二管體內的壓力逐漸與第一管體內的壓力相同。
如圖1、6所示，當第一閥50進行洩壓時，第一管體內的壓力劇降，將管體內乾燥劑的飽和水份帶走，待乾燥劑重生後，第一閥50停止洩壓，待下一次加壓可再進行吸收空氣水份的功用，帶走的水份經排水管排出，又由於洩壓會產生噪音，因此可在排水管末端加一消音裝置；當第一管體的壓力因洩壓下降時，原堵住第二管體信道的鋼珠43，因第二管體20的壓力大於第一管體，將鋼珠43推擠向另一側，堵住第一管體的信道42，進氣管的空氣即可通過第二管體的信道42進入裝滿乾燥劑30的第二管體20進行加壓，並可使乾燥空氣由單向閥80及信道71與輸氣管72輸出，以供晶圓廠放置晶圓的密閉櫃使用，當第一管體洩壓至乾燥劑重生時，第一閥50既停止洩壓，部份空氣經單向閥80的旁通路81作用又變成與第二管體10內部空間壓力相等，當第二管體20內部空間於洩壓之後，即可再使第一管體10加壓。
因此，本發明是可經由第一、第二管體10/20一邊加壓產生乾燥空氣，一邊洩壓排洩乾燥劑水份不斷的交替使用，可以將乾燥空氣不斷輸送至放置晶圓的密閉櫃使用，本發明可以達到零件少與成本低的目的。
綜上所述，本發明是利用前述的空間結構型態下，藉由上述結構的設置，可以達到所使用的零件少與降低成本的目的，本發明已符合發明專利要件，爰依法提起申請。
權利要求
1.一種空氣乾燥機的空氣乾燥裝置，空氣乾燥機具有一過濾器、進氣開關，與過濾器連接設排水管，空氣乾燥機設有流量表與壓力計，於空氣乾燥機所設的儀錶板上可顯示相關的讀數，乾燥空氣可再經一過濾器再輸入於放置晶圓的密閉櫃；其特徵在於加壓/洩壓循環裝置，其中具有一組並列的第一、第二管體，第一、第二管體內部的下、上側分別設有過濾件，位於一組相對的過濾件間設有多數的乾燥劑；三通閥，設置於第一、第二管體下側，三通閥設有一進氣管與三通閥內部相通，三通閥內設信道分別可與第一、第二管體相通；相對於進氣管的信道附近設置一鋼珠，信道兩側並位於鋼珠側邊設有密封圈與內部具孔的螺絲；閥座，設於第一、第二管體上側，其內部具有與第一、第二管體相通的信道，並設有一輸氣管；分別有一中空的單向閥，其上側與閥座固設，單向閥下側設置過濾件，於單向閥側邊設置旁通路。
2.如權利要求第1項所述的空氣乾燥機的空氣乾燥裝置，其特徵在於，其中的過濾件呈半球形，一組相對的過濾件互為反向設置。
3.如權利要求第1或2項所述的空氣乾燥機的空氣乾燥裝置，其特徵在於，進一步包括第一閥、第二閥分別設於三通閥下側，其分別與三通閥下側相通，第一閥、第二閥下側設有相通的排水管路。
4.如權利要求第3項所述的空氣乾燥機的空氣乾燥裝置，其特徵在於，其中於單向閥內部由上至下依序設彈簧與珠體及密封圈。
全文摘要
本發明是關於一種空氣乾燥機的空氣乾燥裝置，本發明是使用加壓/洩壓循環裝置，以使裝滿乾燥劑的第一管體於加壓，產生一段時間的乾燥空氣後，可使乾燥空氣輸出供晶圓廠放置晶圓的密閉櫃使用，洩壓以使連通二裝滿乾燥劑的管體的閥於關閉先前加壓第二管體內部空間，再打開另一裝滿乾燥劑的第二管體進行加壓，並可使乾燥空氣輸出供晶圓廠放置晶圓的密閉櫃使用，當洩壓的空間經單向閥的旁通路變成與第一管體內部空間壓力相等，當第二管體內部空間於洩壓後，再使第一管體加壓，經由第一、第二管體不斷交替使用，可以將乾燥空氣不斷輸送至放置晶圓的密閉櫃而使用，可達到零件少與成本低的目的。
文檔編號F24F3/14GK101091865SQ20061008289
公開日2007年12月26日 申請日期2006年6月19日 優先權日2006年6月19日
發明者吳進明 申請人:博士門股份有限公司