太陽電池擴散工藝用石英舟的製作方法

2023-07-29 04:42:56 3

專利名稱：：太陽電池擴散工藝用石英舟的製作方法
技術領域：
：本實用新型涉及太陽電池製造工藝用的工具，特別涉及一種太陽電池擴散工藝用石英舟。
背景技術：
：太陽電池作為新興的清潔可再生能源，因具有直接將太陽能轉換為電能，且壽命長、維護簡單、可實現無人值守等優勢而備受矚目。太陽能電源系統取得了越來越廣泛的應用。擴散工藝作為晶體矽太陽能電池的生產過程中的關鍵工序，需要使用一種裝置用於裝載矽片。該工裝由石英製成，稱為石英舟，以適合擴散工藝900°C左右的高溫。現有技術晶體矽太陽電池領域所使用的擴散爐多為水平式擴散爐，與之相配套使用的石英舟為水平式石英舟，在水平式石英舟的水平橫杆上設有多個豎槽，矽片豎直放置，擴散工藝時一個槽內插入兩片矽片，以便在矽片的一面形成PN結。由於擴散爐管的長度有限，在此方式下，存在如下問題1、每批次工藝片數有限，現有的設備及工藝方式下，每根爐管每小時產量在200片左右。2、由於矽片是豎直放置的，所以，在工藝過程中受重力影響，在高溫環境下產生大量應力若不能及時釋放，易於造成碎片。現有的設備及工藝方式下，擴散工藝碎片率在0.2%左右。
實用新型內容本實用新型的目的，在於提供一種新型結構的太陽電池擴散工藝用石英舟。本實用新型的目的是這樣實現的一種太陽電池擴散工藝用石英舟，包括底架、頂架和四根載片杆，四根載片杆豎立設置在底架和頂架之間並圍合成矩形，在四根載片杆的多個不同水平面上分別設有用於插入電池片的水平槽。所述的設置在四根載片杆的多個不同水平面上的水平槽為40個。採用本實用新型太陽電池擴散工藝用石英舟裝載電池片，可提高擴散爐每小時處理電池片的產量，而且減少了碎片率。圖1是本實用新型太陽電池擴散工藝用石英舟的立體結構示意圖。具體實施方式參見圖1，本實用新型太陽電池擴散工藝用石英舟，包括底架1、頂架2和四根載片杆3，四根載片杆3豎立設置在底架和頂架之間並圍合成矩形，在四根載片杆的40個不同水平面上分別設有用於插入電池片的水平槽(未圖示出來)。本實用新型將石英舟由原先的水平式改為垂直式，從而避免了工藝過程中重力因素造成的碎片。由於石英舟垂直放置，石英舟佔的水平面積縮減至原先的二分之一以下，使得一個擴散爐一次工藝可同時放置四個石英舟，使得每根爐管每小時產量可提高到320片電池片(一個石英舟40個水平槽，每槽放兩片電池片)。表1為水平式石英舟在其他工藝不變的情況下，得到的200片電池片的電性能數據的平均值；以及通過工藝改進後，垂直式石英舟在其他工藝不變的情況下，得到的300片電池片的電性能數據的平均值。表1tableseeoriginaldocumentpage4權利要求1、一種太陽電池擴散工藝用石英舟，其特徵在於包括底架、頂架和四根載片杆，四根載片杆豎立設置在底架和頂架之間並圍合成矩形，在四根載片杆的多個不同水平面上分別設有用於插入電池片的水平槽。2、如權利要求1所述的太陽電池擴散工藝用石英舟，其特徵在於所述的設置在四根載片杆的多個不同水平面上的水平槽為40個。專利摘要一種太陽電池擴散工藝用石英舟，包括底架、頂架和四根載片杆，四根載片杆豎立設置在底架和頂架之間並圍合成矩形，在四根載片杆的多個不同水平面上分別設有用於插入電池片的水平槽。採用本實用新型太陽電池擴散工藝用石英舟裝載電池片，可提高擴散爐每小時處理電池片的產量，而且減少了碎片率。文檔編號H01L31/18GK201222507SQ20082005946公開日2009年4月15日申請日期2008年6月6日優先權日2008年6月6日發明者許瑞峰申請人:上海太陽能科技有限公司