冷凝吸收與氧化觸媒處理有機廢氣的淨化裝置與淨化處理方法
2023-05-27 15:01:16
專利名稱：：冷凝吸收與氧化觸媒處理有機廢氣的淨化裝置與淨化處理方法
技術領域：
：本發明是關於一種處理有機廢氣的淨化裝置及其淨化處理使用方法，尤其是關於一種使用高效能冷凝吸收與高級氧化觸媒技術處理有機廢氣的淨化裝置及其淨化處理方法。
背景技術：
：在半導體晶圓製造廠及TFT-LCD面板光電製造業面板製程中，去光致抗蝕劑程序(strippingprocess)所4吏用的去光致抗蝕劑剝離液(stripper)主要成分為高沸點且幾乎全溶於水的有機化合物，包括單乙醇胺(MEA)、二甲基亞碸(DMSO)以及乙二醇單丁醚(BDG)等。下表l為去光致抗蝕劑製程主要產生的揮發性有機化合物(VOCs)種類及物化特性，低沸點、高飽和蒸汽壓特性的有機溶劑易於揮發，但不易於冷凝；反之，高沸點、低飽和蒸汽壓特性的揮發性有機物不易於揮發，但易於冷凝，因此由表l中可看出，丙酮及IPA與其它主要溶劑成份相比屬低沸點、高飽和蒸汽壓特性，而MEA、DMSO及以及潤溼的N-曱基砒咯烷酮(1-methyl-2-pyrrolidinone,NMP)等屬中高沸點、低飽和蒸汽壓特性。表l高科技業去光致抗蝕劑製程主要產生的VOCs種類及物化特性溶劑化學式密度g/mL沸點rc)水溶性亨利常數(mol/kg*bar)AALG2(g/m3)備註"tableseeoriginaldocumentpage5—1.F:可燃性；T:毒性；疑似致癌物2.AALG:ambientairlevelgoal;AALG值來源Calabrese,E.J.;andKenyon,E.M.爿/rfoz/csai7dr/slassess/ne/2^LewisPublishers,Inc.:MA,USA;1991.上述去光致抗蝕劑剝離液的成分中，單乙醇胺(MEA)為會堵塞吸附劑微孔，而影響吸附劑使用壽命的聚合物，二甲基亞碸(DMSO)則殘存於沸石轉輪吸附劑微孔中，因沸石觸媒作用而將DMSO內析出的硫(S)觸發，而產生火星(Hotspark)而致使轉輪悶燃。此外，因基板尺寸逐漸增大，在去光致抗蝕劑程序會造成去光致抗蝕劑剝離液的大量揮發，並逸散至排放管道中，若不加以處理將會有造成嚴重的空氣汙染。目前科技業者多採用就地裝設冷凝器加以回收處理，此類冷凝回收系統對中高沸點且全溶於水的有機物質在正確的設計與操作下才可達到高的回收效率，除了所冷凝吸收下來的VOCs可回收純化再利用外，因於高沸點難處理VOCs濃度已大幅下降，可降低下遊端廢氣處理設備的負荷及延長溫變式在線再生型吸脫附濃縮設備的壽命，才可立即且有效提升其整體的處理效率。一般傳統以冷凝法控制VOCs，其原理是利用冷凍設備先將含VOCs廢氣的溫度冷卻至該有機物質的露點溫度(飽和溫度)以下，即可達到飽和冷凝的效果，一般常見的VOCs冷凝系統(Vatavuk，W.M.,EstimatingCostsofAirPollutionControl,LewisPublishers:ChelseaMI,1990.，其於本文一併作為參考)，主要包含除溼器及VOCs冷凝器兩項基本設備，裝設除溼器的目的在於將空氣中多餘的水氣去除，避免在VOCs冷凝區的溫度降至(TC(273K)以下時發生不利於冷凝的結;水凌支應。由Zeiss及Ibbetson(R.F.Zeiss,C.Ibbetson，CryogeniccondensationputsachillonVOCs，PollutionEngineering,29(9)(1997.)56-61.，其於本文一併作為參考)的研究指出，決定冷凝器去除一般VOCs的效能的最重要兩項關鍵因素為(l)冷凝系統需達足夠低溫(-40°C);(2)廢氣中含較高的VOC.s濃度(>10,OOOppmv);此外，Ganzevles(Ganzelves，F丄A.，CondensationforcontrollingVOCemission,Nov.，2001.,其於本文一併作為參考)研究結果顯示，冷凝器的處理效能與廢氣線速度的增加呈反比的趨勢，所以延長廢氣的停留時間將可提升去除效率。其主要缺陷在於1、由於傳統的冷凝器需利用冷凍設備將操作溫度控制在相當低溫以及夠長的停留時間，方能以冷凝機制去除V0Cs，並確保處理後廢氣所含VOCs濃度值達到最低；不過如此傳統冷凝方式應用於排放量相當大而VOCs濃度僅數十到數百PPMv(<<1，OOOppmv)的高科技業，為達到高冷凝效率而須降到極低溫(至少須低於零下2(TC)所需付出的能源耗損及設備維護成本將會相當高。國內許多業者基於傳統冷凝系統設計的限制，以及節省操作成本的考慮，往往面臨冷凝設備回收效率不佳的問題。2、此外，國內外法規對於工業廢氣都制定出嚴格的濃度及臭味排放標準。上述去光致抗蝕劑製程中，去光致抗蝕劑劑中的二曱基亞碸雖然是一種水溶性而且輝發性極低的液體，但在處理過程中，極容易形成惡臭的二曱基石克(dimethylsulfide,DMS)和二曱基二石克(dimethyldisulfide,DMDS)的氣態汙染物。然而，以冷凝法無法完全去除二甲基硫與二曱基二硫，且其在低濃度下即會產生惡臭，極易影響廠房周圍生活環境而引發民眾抗議。眾所周知，臭氧的氧化力極強，已應用於自來水及廢水處理，常用來消毒或去除部份有機物。臭氧與有機物的反應可分成直接反應或間接反應，通常在適當比例的氧化劑(例如11202、0H-等)存在下可加速反應，利用臭氧或與H202、0H—、紫外光等反應產生0H—自由基的技術一般稱為高級氧化技術(AdvancedOxidationProcesses;A0P)。現今工業上臭氧產生的方式主要有電暈放電式、UV照射式、電解硫酸式、輻射線照射式等，電暈放電的臭氧產生機最為常用，其進料氣體來源可為空氣或氧氣。非熱等離子體(nonthermalplasmas,NTPs)為高級氧化技術之一，於1990年後陸續被成功應用在空氣汙染物的破壞與控制，高去除效率為其特點。非熱等離子體其原理乃在兩電極間施加高電壓誘使放電，放電過程產生的高能電子與溶液分子碰撞產生自由基，部份自由基尚可生成臭氧，而電子、自由基及臭氧均具備高氧化能力，一旦與汙染物接觸，就可將其氧化或分解，達到淨化的目的。因此，希望藉由本發明的冷凝吸收與高級氧化觸媒技術來處理有機廢氣，以有效提升冷凝回收系統的效率，減少傳統冷凝器為達超低溫所增加的能源耗用，並藉由高級氧化觸媒技術有效去除廢氣中殘餘的V0Cs。
發明內容為了改善上述傳統技術所面臨的問題，本發明提供一種高效能冷凝吸收與高級氧化觸媒技術處理有機廢氣的淨化裝置與淨化處理方法。本發明的裝置及淨化處理方法可有效處理有機廢氣，並節省維修成本與時間。本發明的主要目的為提供一種高效能冷凝吸收與高級氧化觸媒技術處理有機廢氣的淨化裝置，其包含(1)至少一冷凝除霧單元，包含一冷凝盤管及一除霧單元，其設置於該過濾單元的下遊端；及(2)—高級氧化處理單元。本發明的裝置是將冷凝除霧單元的冷凝盤管內以5至l(TC的水水實施循環操作，於此溫度條件下水氣包覆去光致抗蝕劑劑的微霧產生凝結核包覆成長現象及冷凝盤管壁面將有水份或V0Cs本身冷凝凝結所產生的液膜，利用去光致抗蝕劑液為大量高沸點且易溶於水的特性，當廢氣通過液膜時即可進行吸收並有效除霧去除之。如此設計是結合低溫冷凝與凝結核包覆及液膜吸收作用的多重效能，有別以往傳統冷凝器僅考慮利用低溫冷凝V0Cs的單純飽和凝結概念，可有效提升VOCs的冷凝回收效率，而應用在組成成分多樣化、大風量、具高沸點的高科技業VOCs廢氣特性的處理相當合適。本發明的高效能冷凝吸收與高級氧化觸媒技術處理有機廢氣的淨化裝置中，可例如至少包含二組串聯設置的冷凝除霧單元，該冷凝盤管中以5°C至l(TC的冰水循環，且前置的冷凝盤管以降溫為主，冷凝吸收及凝結核包覆為輔。後置的冷凝盤管以凝結核包覆及冷凝水膜汲水膜吸收廢氣中的V0Cs。除霧器可將廢氣中的水及V0Cs霧滴去除後，收集於除液槽中回收處理。因此，本發明的淨化裝置中，對於冷凝除霧單元的數量並無限制，可依據所欲處理的有機廢氣種類、氣流溫度、廢氣流量等因素，以多組串聯及/或並聯設置。本發明的高效能冷凝吸收與高級氧化觸媒技術處理有機廢氣的淨化裝置中，該過濾單元與冷凝除霧單元間可設置一熱回收熱交換器，可利用本發明淨化裝置末端所排出的冷氣流經由管線導引至該熱回收熱交換器，以冷卻進氣氣流的溫度，以增加冷凝效率並節省能源。本發明的高效能冷凝吸收與高級氧化觸媒技術處理有機廢氣的淨化裝置中，該裝置通過冷凝盤管的流場特性為層流(Laminarflow),有別於一般為混流(Turbulentflow),其表面風速約為1.5m/s以下，較佳約為1.0m/s。本發明的高效能冷凝吸收與高級氧化觸媒技術處理有機廢氣的淨化裝置中，對於該高級氧化處理單元並無特別限制，其可包含一臭氧供應器與一觸媒，或包含一非熱等離子體電極與一觸媒，其中以非熱等離子體電極較佳。本發明的第二目的為提供一種高效能冷凝吸收與高級氧化觸媒技術處理有機廢氣的淨化處理方法，其包含下列步驟(1)提供一高效能冷凝吸收與高級氧化觸媒技術處理有機廢氣的淨化裝置，該裝置包含至少一冷凝除霧單元及一高級氧化處理單元，而該冷凝除霧單元包含一冷凝盤管及一除霧單元；(2)將冷凝除霧單元中的冷凝盤管以約5'C至l(TC的冰水循環一段時間，使冷凝盤管壁面產生凝結核包覆及水份凝結的液膜；(3)將有機廢氣導入該淨化裝置，通過過濾單元以初步過濾有機廢氣並平均分布氣流；(.4)將有機廢氣通過冷凝除霧單元的冷凝盤管，冷凝並以液膜吸收有機廢氣，以除霧器將廢氣中的水及有機廢氣霧滴去除；及(5)以高級氧化處理單元氧化處理該冷凝除霧單元下遊端的有機廢氣。本發明的高效能冷凝吸收與高級氧化觸媒技術處理有機廢氣的淨化處理方法中，可包含二組以上串聯的冷凝除霧單元，該冷凝盤管中以5至l(TC的水水循環，使冷凝盤管壁面產生凝結核包覆及水份凝結的液膜，藉由此時冷凝進行中的凝結核的結核包覆作用，以及冷凝後液、氣間相平衡的液膜吸收機制，可對廢氣中V0Cs進行極為有效的吸收去除機制。而前置的冷凝盤管以降溫為主凝結核包覆及冷凝吸收為輔，後置的冷凝盤管以冷凝凝結核包覆及及水膜吸收廢氣中的V0Cs。除霧器可將廢氣中的水及V0Cs霧滴去除後，收集於除液槽中回收處理。因此，本發明的淨化裝置中，對於該冷凝除霧單元的數量並無特別限制，可依據所欲處理的有機廢氣種類、氣流溫度、廢氣流量等因素，以多組串聯及/或並聯設置。本發明的高效能冷凝吸收與高級氧化觸媒技術處理有機廢氣的淨化處理方法中，該單元入出口之間可設置一熱回收熱交換器，可將本發明淨化裝置末端所排出的冷氣流經由管線導引至該熱回收熱交換器，以冷卻進氣氣流的溫度，增加冷凝效率並節省能源。本發明的高效能冷凝吸收與高級氧化觸媒技術處理有機廢氣的淨化處理方法中，該裝置通過冷凝盤管的流場特性為層流，其表面風速約為1.5m/s以下，較佳約為1.0m/s。本發明的高效能冷凝吸收與高級氧化觸媒技術處理有機廢氣的淨化處理方法中，對於一高級氧化處理單元並無特別限制，其可包含一臭氧供應器與一觸媒，或包含一非熱等離子體電極與一觸媒，其中以非熱等離子體電極較佳。本發明的高效能冷凝吸收與高級氧化觸媒技術處理有機廢氣的淨化處理方法中，經由冷凝除霧單元處理後，有機廢氣中大部分有機物已敵冷凝吸收，且其出口端所排放的氣體溼度高，更有利於下遊端高級氧化處理單元中所提供的臭氧的氧化作用。藉由臭氧及觸媒的氧化作用，可將冷凝吸收無法完全去除的殘餘二曱基硫(DMS)和二曱基二硫(DMDS)等惡臭氣體氧化去除。本發明的高效能冷凝吸收與高級氧化觸媒技術處理有機廢氣的淨化方法中，該高級氧化處理單元可包含一非熱等離子體電極與一觸媒，非熱等離子體電極高壓放電後可將氣體分子激發、解離、或游離成為介穩態分子(metastable)、自由基、或離子等具高活性的粒子，這些粒子可克服能階的障礙，使得氣流中原本相當穩定的氣體分子斷鍵，促使氣態解離反應快速進行。此外，非熱等離子體電極高壓放電亦可產生臭氧，藉由臭氧及觸媒的氧化作用分解去除廢氣中的V0Cs及惡臭氣體。本發明的第三目的為提供一種高效能冷凝吸收處理有機廢氣的淨化處理裝置，其包含至少一冷凝除霧單元，包含一冷凝盤管及一除霧單元，其設置於過濾單元下遊端。本發明的高效能冷凝吸收處理有機廢氣的淨化裝置中，可例如至少包含二組串聯設置的冷凝除霧單元，該冷凝盤管中以5至l(TC的冰水循環，且前置的冷凝盤管以降溫為主，凝結核包覆及冷凝吸收為輔。後置的冷凝盤管以凝結核包覆及冷凝水膜及水膜吸收廢氣中的V0Cs。除霧器可將廢氣中的水及VOCs霧滴去除後，收集於除液槽中回收處理。因此，本發明的淨化裝置中，對於冷凝除霧單元的數量並無限制，可依據所欲處理的有機廢氣種類、氣流溫度、廢氣流量等因素，以多組串聯及/或並聯設置。本發明的高效能冷凝吸收處理有機廢氣的淨化裝置中，該單元入出口間可設置一熱回收熱交換器，可利用本發明淨化裝置末端所排出的冷氣流經由管線導引至該熱回收熱交換器，以冷卻進氣氣流的溫度，以增加冷凝效率並節省能源。本發明的高效能冷凝吸收處理有機廢氣的淨化裝置中，該裝置通過冷凝盤管的流場特性為層流，其表面風速約為1.5m/s以下，較佳約為1.0m/s。本發明的主要優點是有機廢氣經由本發明的淨化裝置中的冷凝除霧單元處理後，有機廢氣中大部分揮發性有機化合物(V0Cs)已被冷凝吸收，再以下遊端高級氧化處理單元氧化有機廢氣中剩餘的有機物，藉此可將有機廢氣中大部分的VOCs冷凝回收及氧化分解，同時去除有機廢氣的惡臭。因此，本發明的淨化裝置及方法兼具高VOCs冷凝回收效率、價值及低能耗等優點，亦可有效降低操作成本，相當符合環保及節能需求，值得應用於高科技業產業。下面結合較佳實施例和附圖進一步說明。圖1為本發明高效能冷凝吸收與高級氧化觸媒技術處理有機廢氣的淨化裝置的示意圖。圖2為以本發明的淨化裝置處理有機廢氣的去除效率與化合物沸點的關係圖。圖3為以本發明的淨化裝置處理有機廢氣的去除效率與化合物亨利常數的關係圖。具體實施方式本發明以下列實施例進一步說明，但是，實施例不應限制本發明的保護範圍，熟悉此項技藝者，於不背離本發明的保護範圍及精神下所進行的合理的變化都應屬於本發明的保護範圍。實施例1圖1為本發明高效能冷凝吸收與高級氧化觸媒技術處理有機廢氣的淨化裝置較佳具體例的示意圖。如圖1所示，該裝置包含一風車10;二組冷凝除霧單元30、31，其各包含冷凝盤管301及311、除霧單元302及312、與儲液槽303及313;—氧化處理單元40，其包含一臭氧供應器42及一觸媒氧化單元41;及一旁通風管50。如圖l所示，在進行冷凝吸收與高級氧化處理有機廢氣淨化程序時，首先將冷凝除霧單元30及31中的第一道及第二道冷凝盤管301及311以約5。C至l(TC的冰水循環一段時間，使冷凝盤管壁面產生水份凝結的液膜，開啟風機10，將有機廢氣導入，通過過濾單元20,以初步過濾有機廢氣並平均分布氣流；將有機廢氣通過冷凝除霧單元301以降低有機廢氣的溫度，亦可在過濾單元20上遊處裝設一熱回收熱交換器(圖未示)，以迅速降低氣流溫度並增加冷凝效率。在此溫度條件下冷凝盤管301壁面將有水份凝結的液膜產生，藉由此時冷凝進行中的凝結核的結核包覆作用，以及冷凝後液、氣間相平衡的液膜吸收機制，可對廢氣中V0Cs進行有效的吸收去除機制，而冷凝盤管301處理後的氣流則再經特別選定的第一道除霧單元302，將廢氣中的水及VOCs霧滴去除後，再將氣流導入第二道冷凝盤管311並通過第二道除霧單元312，進行再次冷凝吸收及再除霧程序。此時排出的氣流含有少量難溶於水及沸點低的V0Cs，且氣流溼度高，將此氣流導入氧化處理單元40，以臭氧供應器42所供應的臭氧並配合觸々某氧化單元41，以氧化處理氣流中剩餘的難溶於水及沸點低的V0Cs,處理後達排放標準的氣流在經由排放裝置排放至大氣中。冷凝吸收後的有機溶劑收集至儲液槽303及313，再回收處理或由廠設純化設備純化再利用。檢測分析方法本發明以氣相層析及質譜儀進行去光致抗蝕劑製程汙染定性、定量及冷凝吸收器效率分析。本發明以環署檢字第14374號公告"空氣中揮發性有機化合物檢測方法-不鏽鋼採樣筒/氣相層析質譜儀法"(NIEAA715.11B)，偵測極限屬於ppb等級的檢測方法進行效能分析。上述檢測方法對於單乙醇氨(MEA)似乎無法偵測，因此以搭配衝擊瓶(impinger)方式因應，對MEA/DMSO/BDG三種完全溶於水的高沸點VOCs由氣相轉為溶於去離子水的液相，再經氣相層析儀搭配火焰離子偵測器(GC-FID)與離子層析儀(IC)來進行分析。實施例2關於VOCs去除效率與沸點及亨利常數本實驗共進行四次去光致抗蝕劑製程產能增減變化的採樣分析，本實驗結果均是以四次取樣分析樣品，平均後所計算出的結果。由分析結果顯示，去光致抗蝕劑製程廢氣中，含量最大比例物種為MEA，佔了高達92.3%，其次為DMSO(4.86%)及DMS(1.2%),其它還包括IPA(O.88%)、,S(O.5%)、NMP(0.13%),及一些微量的曱笨、N,N-二曱基乙醯胺與丙酮等物質。圖2為以本發明的淨化裝置處理有機廢氣的去除效率與化合物沸點的關係圖。以如實施例1的方式處理後，經由GC/MS分析本發明的淨化裝置出口VOCs的濃度值，發現所有VOCs中以MEA、DMSO、NMP等高沸點物質去除率最佳，均有80%以上的效率。其它VOCs分析所得的去除效率有隨著沸點增大而增加趨勢。圖3為以本發明的淨化裝置處理有機廢氣的去除效率與化合物亨利常數的關係圖。由於本發明新穎設計的冷凝器是藉由液膜吸收機制去除VOCs,故除了降溫冷凝的去除機制外，VOCs亦會被空氣中所含水分所冷凝下的液膜藉由冷凝核包覆及吸收機制去除，因此本發明的冷凝吸收器對VOCs去除效率亦與VOCs本身的亨利常數有極大的關係。此外在第三圖中可看出大部分的VOCs去除效率與其亨利常數成正比，這可說明本研究所設計的冷凝吸收系統當中，藉由空氣溼度(水分)及高沸點V0Cs冷凝下所形成的液膜，亦是本系統重要的V0Cs吸收去除機制。由圖2及圖3中可發現，雖然極惡臭物DMS的沸點是所有V0Cs最低者，且在25。C、水中的亨利常數僅為0.48mole/(kgxbar)，不過DMS(及DMDS)經冷凝吸收器處理後的去除效率仍然優於其它沸點及亨利常數相近的V0Cs，此由於DMS(及DMDS)本身極溶於DMSO所導致的結果；亦即，液相中的DMSO易產生吸收DMS(及DMDS)的作用而促使其仍然有50%左右的去除效率(圖中白色標示)。若再經由後端的高級氧化處理單元處理後，DMS及DMDS更可達到80°/。以上的去除效率(圖中黑色標示)。實施例3VOCs去除效率與氣體流速分別檢測九次去光致抗蝕劑製程產能增減變化下，冷凝吸收器處理不同進流風速的VOCs處理效率(以THC計算)。由實驗結果顯示，當所處理的VOCs廢氣風速為3.0m/s時，此時冷凝吸收器的VOCs平均去除效率將近58%;當風速為1.5m/s時，平均VOCs平均去除則達83°/。左右，風速為1.0m/s時，其平均VOCs平均去除效率則高達85%以上，因此本系統的Wefl/,雷諾數(水力直徑)設計值需在514(1.5ffl/s)以下，才利於使得高沸點的親水性VOCs可有效吸收於水份或VOCs冷凝所形成的液膜上，且出口濃度可因凝結核的包覆作用及液膜的吸收作用而遠低於出口飽和濃度，因此選擇較低的進流風速將有利於冷凝系統處理效率的提升。產業可利用性去光致抗蝕劑製程所產生的高沸點V0Cs如MEA、DMSO、BDG及NMP等經本發明的裝置處理之後，其去除效率可達80°/。以上，而這些VOCs佔了研究所選擇的半導體晶圓製造去光致抗蝕劑製程60°/。以上VOCs排放比重，經由上述測試及檢測分析結果證實，結合低溫表面冷凝及凝結核包覆作用及液膜吸收機制與高級氧化觸媒技術，是處理高沸點VOCs的良好設備，兼具高V0Cs冷凝回收效率、價值及低能耗等優點，亦可有效降低操作成本，相當符合環保及能源需求的優良技術，值得應用於高科技業產業。權利要求1.一種高效能冷凝吸收與高級氧化觸媒技術處理有機廢氣的淨化裝置，其特徵是它包含有(1)至少一冷凝除霧單元，包含一冷凝盤管及一除霧單元，其設置於該過濾單元的下遊端；(2)一高級氧化處理單元。2、根據權利要求1所述的淨化裝置，其特徵是該冷凝除霧單元為串聯和/或並聯設置。3、根據權利要求1所述的淨化裝置，其特徵是該冷凝盤管中以5至l(TC的水水循環。4、根據權利要求1所述的淨化裝置，其特徵是該過濾單元與冷凝除霧單元之間設置一熱回收熱交換器。5、根據權利要求1所述的淨化裝置，其特徵是該裝置通過冷凝盤管的流場特性為層流，其表面風速約為1.5m/s以下。6、根據權利要求1所述的淨化裝置，其特徵是該高級氧化處理單元包含一臭氧供應器及一觸媒單元。7、根據權利要求1所述的淨化裝置，其特徵是該高級氧化處理單元包含一非熱等離子體電極及一觸i某單元。8、一種高效能冷凝吸收與高級氧化觸媒技術處理有機廢氣的淨化處理方法，其特徵是它包含下列步驟(1)提供一高效能冷凝吸收與高級氧化觸媒技術處理有機廢氣的淨化裝置，該裝置包含至少一冷凝除霧單元及一高級氧化處理單元，而該冷凝除霧單元包含一冷凝盤管及一除霧單元；(2)將冷凝除霧單元中的冷凝盤管以5。C至l(TC的冰水或滷水或冷媒循環一段時間，使冷凝盤管壁面產生凝結核包覆及水份凝結的液膜吸收；(3)將有機廢氣通過冷凝除霧單元的冷凝盤管，產生凝結核包覆微霧尺寸成長增大及冷凝，並以液膜吸收有機廢氣，以除霧器將廢氣中的水及有機廢氣霧滴有效去除；(4)以高級氧化處理單元氧化處理該冷凝除霧單元下遊端的有機廢氣。9、一種高效能冷凝吸收處理有機廢氣的淨化裝置，其特徵是包含(1)至少一冷凝單元，包含至少一冷凝盤管；(2)至少一除霧單元，包含至少一除霧單元，其設置於該冷凝單元的下遊端。全文摘要本發明是一種高效能冷凝吸收與高級氧化觸媒技術處理有機廢氣的淨化裝置及其淨化處理方法，裝置包含至少一冷凝除霧單元及一高級氧化處理單元。有機廢氣經由本發明淨化裝置中的冷凝除霧單元處理後，有機廢氣中大部分揮發性有機化合物(VOCs)已被冷凝吸收，再以下遊端高級氧化處理單元氧化有機廢氣中剩餘的有機物，藉此可將有機廢氣中大部分的VOCs冷凝回收及氧化分解，同時去除有機廢氣的惡臭。因此，本發明的淨化裝置及方法兼具高VOCs冷凝回收效率、價值及低能耗等優點，亦可有效降低操作成本，相當符合環保及節能需求，值得應用於高科技業產業。文檔編號B01D53/72GK101274149SQ20071009094公開日2008年10月1日申請日期2007年3月28日優先權日2007年3月28日發明者張豐堂,張智能申請人:傑智環境科技股份有限公司;華智智財技術服務有限公司