矽片邊緣倒角方法
2023-05-27 02:59:11 2
專利名稱：矽片邊緣倒角方法
技術領域：
本發明涉及一種矽片邊緣倒角方法。
背景技術：
矽片倒角加工的目的是要消除矽片邊緣表面由於經切割加工後產生的稜角、毛刺、崩邊、裂縫或其他的缺陷和各種邊緣表面汙染，從而降低矽片表面的粗糙度，增加矽片邊緣表面的機械強度、減少顆粒的表面沾汙。現有技術中的倒角方法，產品良率低，造成生產成本高。在使用R型、11度砂輪、倒角面幅> 600um時，倒角加工的矽片倒角劃傷、倒角星點不良率總和為0. 09%。尤其是在使用R型、11度、砂輪槽口 0. 17R的倒角砂輪為重摻硼矽片倒角加工過程中倒劃不良率達到 0. 62%。
發明內容
本發明的目的是為了克服現有技術中的不足，提供一種可降低倒角不良率的矽片邊緣倒角方法。為實現以上目的，本發明通過以下技術方案實現矽片邊緣倒角方法，使用倒角砂輪磨削矽片邊緣進行倒角，其特徵在於，採用 4圈倒角的方法，第1至第3圈倒角速度為27 35mm/12 18s;第4圈倒角速度為 20-26mm/10 14s。優選地是，倒角砂輪磨削矽片之前，使用油石修整倒角砂輪槽口。優選地是，使用油石修整金剛石倒角砂輪時，油石與倒角砂輪邊緣切線之間的夾角為45° 60°。優選地是，對倒角砂輪修整金剛石倒角砂輪時，油石去除量為0. 5 1. 5cm。優選地是，使用Y型水槍分別向倒角砂輪和矽片邊緣噴射磨削液。優選地是，所述水槍噴射的磨削液的壓力為2. 5 3. 5KG/cm2左右。優選地是，所述倒角砂輪為R型11度砂輪。優選地是，倒角面幅彡600um。優選地是，所述矽片為重摻硼矽片，所述倒角砂輪為R型、11度砂輪，砂輪槽口為 0. 17R。本發明中的矽片邊緣倒角方法，可提高矽片倒角質量。使用本發明中的矽片邊緣倒角方法，倒角劃傷比率為0. 0502%。倒角不良率降為0. 063%。
圖1為使用油石修整倒角砂輪時的位置示意圖。圖2為本發明中使用的Y型水槍結構示意圖。
具體實施例方式下面結合附圖對本發明進行詳細的描述實施例1矽片邊緣倒角方法，矽片為重摻硼矽片，倒角面幅> 600um。使用倒角砂輪磨削矽片邊緣進行倒角，所述倒角砂輪為R型、11度砂輪，砂輪槽口為0. 17R。採用4圈倒角的方法，第1至第3圈倒角速度為25mm/15s ；第4圈倒角速度為20mm/12s。倒角砂輪磨削矽片之前，使用油石修整倒角砂輪槽口。如圖1所示，使用油石3修整金剛石倒角砂輪1時，油石3放置於陶瓷洗盤2上，油石3與倒角砂輪1邊緣切線之間的夾角為45°。對倒角砂輪修整金剛石倒角砂輪時，油石3去除量為0. 5cm。如圖2所示，Y型水槍4設置有噴嘴41和噴嘴42。分別向倒角砂輪和矽片邊緣噴射磨削液。水槍噴射的磨削液的壓力為2.5KG/cm2左右。因倒角過程中有矽屑產生，現有技術工藝無法及時排除矽屑，出現堵塞情況，致使倒角劃傷等出現。使用本發明中的Y型水槍，使用油石修正後能及時排屑。本發明中使用4圈倒角的工藝，可以減少每圈的排洩量。每一圈倒角均具有不同的作用，第1圈去除滾磨損傷層；第2圈去除第一圈產生的損傷層；第3圈精槽R值變更轉換；第四圈精槽修正。實施例2矽片邊緣倒角方法，矽片為重摻硼矽片，倒角面幅> 600um。使用倒角砂輪磨削矽片邊緣進行倒角，所述倒角砂輪為R型、11度砂輪，砂輪槽口為0. 17R。採用4圈倒角的方法，第1至第3圈倒角速度為30mm/15s ；第4圈倒角速度為25mm/12s。倒角砂輪磨削矽片之前，使用油石修整倒角砂輪槽口。如圖1所示，使用油石3修整金剛石倒角砂輪1時，油石3放置於陶瓷洗盤2上，油石3與倒角砂輪1邊緣切線之間的夾角為45°。對倒角砂輪修整金剛石倒角砂輪時，油石3去除量為lcm。如圖2所示，Y型水槍4設置有噴嘴41和噴嘴42。分別向倒角砂輪和矽片邊緣噴射磨削液。水槍噴射的磨削液的壓力為3KG/cm2左右。因倒角過程中有矽屑產生，現有技術工藝無法及時排除矽屑，出現堵塞情況，致使倒角劃傷等出現。使用本發明中的Y型水槍， 使用油石修正後能及時排屑。本發明中使用4圈倒角的工藝，可以減少每圈的排洩量。每一圈倒角均具有不同的作用，第1圈去除滾磨損傷層；第2圈去除第一圈產生的損傷層；第3圈精槽R值變更轉換；第四圈精槽修正。實施例3矽片邊緣倒角方法，矽片為重摻硼矽片，倒角面幅> 600um。使用倒角砂輪磨削矽片邊緣進行倒角，所述倒角砂輪為R型、11度砂輪，砂輪槽口為0. 17R。採用4圈倒角的方法，第1至第3圈倒角速度為33mm/15s ；第4圈倒角速度為25mm/12s。倒角砂輪磨削矽片之前，使用油石修整倒角砂輪槽口。如圖1所示，使用油石3修整金剛石倒角砂輪1時，油石3放置於陶瓷洗盤2上，油石3與倒角砂輪1邊緣切線之間的夾角為60°。對倒角砂輪修整金剛石倒角砂輪時，油石3去除量為1. 5cm。如圖2所示，Y型水槍4設置有噴嘴41和噴嘴42。分別向倒角砂輪和矽片邊緣噴射磨削液。水槍噴射的磨削液的壓力為3KG/cm2左右。因倒角過程中有矽屑產生，現有技術工藝無法及時排除矽屑，出現堵塞情況，致使倒角劃傷等出現。使用本發明中的Y型水槍， 使用油石修正後能及時排屑。本發明中使用4圈倒角的工藝，可以減少每圈的排洩量。每一圈倒角均具有不同的作用，第1圈去除滾磨損傷層；第2圈去除第一圈產生的損傷層；第3圈精槽R值變更轉換；第四圈精槽修正。實施例4矽片邊緣倒角方法，矽片為重摻硼矽片，倒角面幅> 600um。使用倒角砂輪磨削矽片邊緣進行倒角，所述倒角砂輪為R型、11度砂輪，砂輪槽口為0. 17R。採用4圈倒角的方法，第1至第3圈倒角速度為30mm/13s ；第4圈倒角速度為25mm/10s。倒角砂輪磨削矽片之前，使用油石修整倒角砂輪槽口。如圖1所示，使用油石3修整金剛石倒角砂輪1時，油石3放置於陶瓷洗盤2上，油石3與倒角砂輪1邊緣切線之間的夾角為45°。對倒角砂輪修整金剛石倒角砂輪時，油石3去除量為lcm。如圖2所示，Y型水槍4設置有噴嘴41和噴嘴42。分別向倒角砂輪和矽片邊緣噴射磨削液。水槍噴射的磨削液的壓力為2.8KG/cm2左右。因倒角過程中有矽屑產生，現有技術工藝無法及時排除矽屑，出現堵塞情況，致使倒角劃傷等出現。使用本發明中的Y型水槍，使用油石修正後能及時排屑。本發明中使用4圈倒角的工藝，可以減少每圈的排洩量。每一圈倒角均具有不同的作用，第1圈去除滾磨損傷層；第2圈去除第一圈產生的損傷層；第3圈精槽R值變更轉換；第四圈精槽修正。實施例5矽片邊緣倒角方法，矽片為重摻硼矽片，倒角面幅> 600um。使用倒角砂輪磨削矽片邊緣進行倒角，所述倒角砂輪為R型、11度砂輪，砂輪槽口為0. 17R。採用4圈倒角的方法，第1至第3圈倒角速度為^mm/15s ；第4圈倒角速度為25mm/12s。倒角砂輪磨削矽片之前，使用油石修整倒角砂輪槽口。如圖1所示，使用油石3修整金剛石倒角砂輪1時，油石3放置於陶瓷洗盤2上，油石3與倒角砂輪1邊緣切線之間的夾角為45°。對倒角砂輪修整金剛石倒角砂輪時，油石3去除量為1. 5cm。如圖2所示，Y型水槍4設置有噴嘴41和噴嘴42。分別向倒角砂輪和矽片邊緣噴射磨削液。水槍噴射的磨削液的壓力為2.5KG/cm2左右。因倒角過程中有矽屑產生，現有技術工藝無法及時排除矽屑，出現堵塞情況，致使倒角劃傷等出現。使用本發明中的Y型水槍，使用油石修正後能及時排屑。本發明中使用4圈倒角的工藝，可以減少每圈的排洩量。每一圈倒角均具有不同的作用，第1圈去除滾磨損傷層；第2圈去除第一圈產生的損傷層；第3圈精槽R值變更轉換；第四圈精槽修正。對比實施例1矽片邊緣倒角方法，矽片為重摻硼矽片，倒角面幅> 600um。使用倒角砂輪磨削矽片邊緣進行倒角，所述倒角砂輪為R型、11度砂輪，砂輪槽口為0. 17R。採用2圈倒角的方法，第1圈倒角速度為15mm/10s ；第2圈倒角速度為10mm/7s。未使用砂石修整槽口。使用單噴嘴噴槍噴射磨削液。使用實施例2和對比實施例1倒角加工矽片，並對加工結果測試如下
使用對比實施例1中的方法倒角，倒角加工168136片，倒角星點274片，倒角不良 $0. 16% ；倒角劃傷1049片，倒角劃傷不良率0.62%。倒角不良率總和為0. 09%。 使用實施例2中的方法倒角，倒角加工1756337片，倒角星點391片，倒角星點不良率為0. 022%;倒角劃傷772片。倒角劃傷不良率0. 044%。倒角不良率總和為0. 063%。除水槍不同外，其他工藝步驟均相同，使用單水槍與Y型水槍的生產的倒角矽片性能測試結果如下
權利要求
1.矽片邊緣倒角方法，使用倒角砂輪磨削矽片邊緣進行倒角，其特徵在於，採用4圈倒角的方法，第1至第3圈倒角速度為27 35mm/12 18s ；第4圈倒角速度為20_26mm/10 14s。
2.根據權利要求1所述的矽片邊緣倒角方法，其特徵在於，倒角砂輪磨削矽片之前，使用油石修整倒角砂輪槽口。
3.根據權利要求2所述的矽片邊緣倒角方法，其特徵在於，使用油石修整金剛石倒角砂輪時，油石與倒角砂輪邊緣切線之間的夾角為45° 60°。
4.根據權利要求3所述的矽片邊緣倒角方法，其特徵在於，對倒角砂輪修整金剛石倒角砂輪時，油石去除量為0. 5 1. 5cm。
5.根據權利要求1所述的矽片邊緣倒角方法，其特徵在於，使用Y型水槍分別向倒角砂輪和矽片邊緣噴射磨削液。
6.根據權利要求4所述的矽片邊緣倒角方法，其特徵在於，所述水槍噴射的磨削液的壓力為2. 5 3. 5KG/cm2左右。
7.根據權利要求1所述的矽片邊緣倒角方法，其特徵在於，所述倒角砂輪為R型11度砂輪。
8.根據權利要求1所述的矽片邊緣倒角方法，其特徵在於，倒角面幅>600um。
9.根據權利要求1所述的矽片邊緣倒角方法，其特徵在於，所述矽片為重摻硼矽片，所述倒角砂輪為R型、11度砂輪，砂輪槽口為0. 17R。
全文摘要
本發明公開了一種矽片邊緣倒角方法，使用倒角砂輪磨削矽片邊緣進行倒角，其特徵在於，採用4圈倒角的方法，第1至第3圈倒角速度為27～35mm/12～18s；第4圈倒角速度為20-26mm/10～14s。本發明中的矽片邊緣倒角方法，可提高矽片倒角質量。使用本發明中的矽片邊緣倒角方法，倒角劃傷比率降為0.0502％。倒角不良率降為0.063％。
文檔編號B24B9/06GK102343538SQ20111023182
公開日2012年2月8日 申請日期2011年8月14日 優先權日2011年8月14日
發明者沈輝輝, 趙林, 黃春峰 申請人:上海合晶矽材料有限公司