離子濃度實時監測器的製作方法

2023-05-27 03:46:36 2

專利名稱：離子濃度實時監測器的製作方法
技術領域：
本實用新型是一種離子濃度測量裝置，尤其是一種離子濃度實時監測器。
2.背景技術在離子鍍膜、離子表面處理、離子摻雜和離子滅蟲滅菌等許多工業加工領域都需要實施對離子濃度的實時監測，以保證能更準確地實施加工工藝，保證工藝質量，由於氣體放電時產生的離子數量與電極電壓、電極距離、電極形狀、氣體介質成份及濃度溫度等諸多條件有關，用現有的測量離子電流的方法無法準確測定離子濃度，更談不上對每一瞬間容器內產生的離子濃度進行實時監測。
3.發明內容本實用新型的目的是提供一種能對離子濃度、離子產生的總量進行實時監測的離子濃度實時監測器。
實現本實用新型目的的技術方案是本實用新型包括有電度表、光電發送管、光電接收器、光電流處理器和顯示器，在電度表的轉盤外沿均勻設有若干通透小孔，光電發送管設在轉盤一側正對通透小孔的位置上，光電接收器與光電發送管相對應設在轉盤另一側，光電流處理器和顯示器依次與光電接收器串接。
本實用新型的積極效果在於它是利用電度表為主體改進而成，使用時，它的電度表與離子源(真空工作室)連接，向離子源供電電源和引導離子運動的直流供電電源輸出所需的功率，而離子源內離子產生的數量、成份、運動速度等均會隨離子源內的氣壓、氣體成份、環境溫度、溼度、外電路供電電壓等因素的變化而變化，所有這些變化均會引起該瞬間離子濃度的變化和某一工作時段離子總量的變化，此時電度表的瞬時輸出功率也隨之變化，其轉盤的轉速變化即會造成光電接收器接收到的光電流發生瞬時變化，並通過量化處理後，由顯示器顯示出來。所以本實用新型能通過監測光電接收器光電流的瞬時變化對離子濃度、離子產生的總量進行實時監測。
4.
附圖1為本實用新型的結構示意圖；附圖2為本實用新型使用時與離子源連接的接線框圖。
5.具體實施方式
以下結合附圖對本實用新型作進一步說明。
如圖1所示，本實用新型包括有電度表光電發送管4光電接收器5光電流處理器6和顯示器7，在電度表的轉盤3外沿均勻設有若干通透小孔2，通透小孔2的數量在100個以上，孔徑約在0.1～0.4毫米之間，光電發送管4設在轉盤3一側，其發射端正對通透小孔2，光電接收器5與光電發送管4相對應設在轉盤3另一側，當光電發送管4發射出來的光電子正好能穿過通透小孔2，光電接收器5即可接收到並形成光電流，轉盤3轉動速度越大，形成的光電流就越大，光電流放大器6和顯示器7依次與光電接收器5串接，這樣光電流經光電流處理器6處理後，即可通過顯示器7將其轉換成圖像。本實用新型在使用時，如圖2所示，本實用新型1中的電度表分別與離子源供電電源9和引導離子運動的直流供電電源10連接，離子源供電電源9與真空工作室11中的離子源8連接，以產生離子；引導離子運動的直流供電電源10則與真空工作室中的兩電極連接，以形成引導離子運動的電場。因此，本實用新型首先是作為功率計向離子源供電電源9和引導離子運動的直流供電電源10輸出所需的功率，而離子源8內離子產生的數量、成份、運動速度等均會隨離子源8內的氣壓、氣體成份、環境溫度、溼度、外電路供電電壓等因素的變化而變化，所有這些變化均會引起該瞬間離子濃度的變化和某一工作時段離子總量的變化，此時本實用新型中的電度表的瞬時輸出功率也隨之變化，其轉盤3的轉速變化即會造成光電接收器5接收到的光電流發生瞬時變化，將這些光電流進行放大及處理之後，便可通過顯示器7顯示出幅值不同的反映離子濃度隨時間坐標變化的離子濃度曲線和離子產生量隨時間積分的離子總量曲線來，這樣從顯示器7上的圖像可以一目了然的監測到真空工作室內每一瞬間離子的發生量及在某一時段內離子發生的總量，實現對離子濃度、離子產生的總量進行實時監測。
本實用新型中的電度表可採用單相或三相電度表，具體由主體設備的供電系統而定。
本實用新型可廣泛應用在離子鍍膜、離子表面處理、離子摻雜和離子滅蟲滅菌等許多需要實施對離子濃度實時監測的工業加工領域，以保證能更準確地實施加工工藝，保證工藝質量。
權利要求1.一種離子濃度實時監測器，其特徵是它包括有電度表、光電發送管(4)、光電接收器(5)、光電流處理器(6)和顯示器(7)，在電度表的轉盤(3)外沿均勻設有若干通透小孔(2)，光電發送管(4)設在轉盤(3)一側正對通透小孔(2)的位置上，光電接收器(5)與光電發送管(4)相對應設在轉盤(3)另一側，光電流處理器(6)和顯示器(7)依次與光電接收器(5)串接。
2.根據權利要求1所述的離子濃度實時監測器，其特徵是通透小孔(2)的數量在100個以上，孔徑約在0.1～0.4毫米之間。
3.根據權利要求1或2所述的離子濃度實時監測器，其特徵是其中的光電流處理器(6)為可對微弱光電流信號進行實時放大及處理的處理器。
專利摘要本實用新型是一種離子濃度實時監測器，它包括有電度表光電發送管光電接收器光電流處理器和顯示器，在電度表的轉盤外沿均勻設有若干通透小孔，光電發送管設在轉盤一側正對通透小孔的位置上，光電接收器與光電發送管相對應設在轉盤另一側，光電流處理器和顯示器依次與光電接收器串接使用時，它的電度表與離子源(真空工作室)連接，向離子源供電電源和引導離子運動的直流供電電源輸出所需的功率，電度表的瞬時輸出功率隨離子濃度的變化和某一工作時段離子總量的變化而變化，其轉盤的轉速變化即會造成光電接收器接收到的光電流發生瞬時變化，經過數據處理後通過顯示器顯示出來，實現對離子濃度、離子產生的總量進行實時監測。
文檔編號G01N21/27GK2539966SQ0222657
公開日2003年3月12日 申請日期2002年4月3日 優先權日2002年4月3日
發明者馮安文, 張生貴, 沈名 申請人:馮安文