微型尺蠖式壓電驅動旋轉關節機構的製作方法
2023-05-27 02:23:31 2
微型尺蠖式壓電驅動旋轉關節機構的製作方法
【專利摘要】本發明公開了一種微型尺蠖式壓電驅動旋轉關節機構，包括U型基座、軸承座、軸承支架、軸承套圈、壓電陶瓷片、旋轉軸、旋轉套筒和端蓋，軸承套圈分割為兩半圈，通過一對軸承支架與軸承座聯結；四個壓電陶瓷片一端固定於軸承座上，另一端與軸承套圈聯結，在電壓驅動下伸縮變形，驅動軸承套圈實現夾緊、鬆開、旋轉等微小運動；U型基座兩邊對稱各安裝一副軸承驅動模塊，旋轉軸支承於兩個軸承套圈上，通過控制兩個軸承驅動模塊的夾緊、鬆開和旋轉時序，實現旋轉軸步進運動。本發明結構改進巧妙，採用對稱結構布局，且採用雙箝位雙旋轉控制方式，夾持力保持穩定，提高了運行效率和穩定性，優化壓電陶瓷片布局，降低驅動電路的複雜性同時方便控制。
【專利說明】微型尺蠖式壓電驅動旋轉關節機構
【技術領域】
[0001]本發明涉及驅動器領域，主要是一種微型尺蠖式壓電驅動旋轉關節機構。
【背景技術】
[0002]近年來，隨著物理化學、信息電子、生物醫療、環境能源、材料製造、航空航天等學科的迅猛發展，涉及微米、納米尺度下精密測量、精密操作和精密加工的場合越來越多，人們對微納米級精密定位和微納米級精密驅動技術有著迫切的需求。作為精密定位驅動系統中的主要功能部件，驅動器的原理結構、製造裝配和驅動控制對整個系統的性能有著決定性的影響。因此，新型驅動器的開發研製成為微納米級精密定位驅動技術發展的關鍵環節之一 O
[0003]傳統的精密驅動器一般採用基於電磁原理的步進電機，它在大尺寸、普通精度要求下具有較大的優勢，但進入微米、納米級的定位精度以及毫米、亞毫米級的結構尺寸要求時失去了優勢，設計製造存在很大的難度，且發熱嚴重、效率低下，已無法滿足現代高新技術的發展需求。伴隨著壓電驅動技術的發展，以壓電陶瓷為核心功能材料的驅動器在超精密定位驅動領域脫穎而出。壓電陶瓷驅動器具有能量密度大、響應速度快、解析度高、抗電磁幹擾、耐低溫真空環境等優勢。壓電馬達利用摩擦傳動將壓電元件微振動轉換為輸出軸單向連續運動，克服了壓電元件自身行程小的缺陷，同時具有結構簡單、易於微型化、低速大力矩、能自鎖等特點。基於慣性衝擊、尺蠖等原理的壓電步進馬達，具有精密微步距調整的能力，有效緩解了大行程和高精度之間的矛盾，在大行程、超精密定位驅動系統中表現出良好的發展前景。
[0004]作為一種典型的精密定位驅動系統，微型精密操作手在諸如細胞注射、微粒搬運、微觀檢測等前沿科學研究、先進工業生產中的眾多場合都有應用價值，旋轉關節作為微型精密操作手的基本功能元件，旋轉關節機構的微型化和新型壓電驅動旋轉關節機構的發明具有重要的意義。
[0005]
【發明內容】
本發明所要解決的技術問題是提供一種微型尺蠖式壓電驅動旋轉關節機構，其結構改進巧妙，適宜於微型化，關節整體機構採用對稱結構布局，且採用雙箝位雙旋轉控制方式，夾持力保持穩定，提高了運行效率和穩定性，優化壓電陶瓷片布局，降低驅動電路的複雜性同時方便控制。
[0006]為解決上述技術問題，本發明採用的技術方案是:
一種微型尺蠖式壓電驅動旋轉關節機構，包括有U形基座，及水平夾持在U形基座上U形口中的旋轉套筒，其特徵在於:所述旋轉套筒的中心軸位置轉動安裝有旋轉軸，所述U形基座U形兩端分別連接有環形座，且兩環形座分別共中心軸對應連接在旋轉套筒兩端筒口處，每個環形座中分別安裝有環形軸承座，軸承座中內環壁沿某一徑向連接有軸承架，軸承架中間位置斷開並連接有由兩半圈構成的整環形軸承套圈，所述軸承套圈與軸承座共圓心，軸承套圈每個半圈所連接的軸承架兩側分別對稱設置有壓電陶瓷片，每個壓電陶瓷片分別平行於軸承架，且壓電陶瓷片一端分別連接在軸承座內壁、另一端分別連接在對應的軸承架所連接的軸承套圈半圈對應側圈端，每個壓電陶瓷片朝向軸承架的內側面以及遠離軸承架的外側面分別沉積有電極，由軸承座、軸承架、軸承套圈構成軸承單元，由軸承單元、壓電陶瓷片構成軸承驅動模塊，所述旋轉套筒中旋轉軸兩端分別穿過環形座內軸承單元的軸承套圈，且軸承套圈對旋轉軸施加一定的預夾緊力。
[0007]每側環形座遠離旋轉套筒的一端分別蓋合有端蓋。
[0008]所述壓電陶瓷片為單層結構，或者是多層疊片式結構。
[0009]所述軸承單元整體採用不鏽鋼材料製成，其中軸承套圈內圈作表面耐磨處理或噴塗耐磨材料。
[0010]所述壓電陶瓷片兩端分別採用環氧樹脂膠或AB膠與軸承座、軸承套圈粘結連接。
[0011]所述軸承座採用環氧樹脂膠或者AB膠粘結在環形座中，或者採用螺合方式螺入環形座中。
[0012]所述端蓋通過環氧樹脂膠或AB膠粘結在環形座一端，或者採用螺合方式螺合在環形座一端，或者採用卡環方式卡接於環形座一端。
[0013]本發明中，壓電陶瓷片在電壓驅動下伸縮變形，驅動軸承套圈實現夾緊、鬆開、旋轉等微小運動，通過控制壓電陶瓷片的夾緊、鬆開和旋轉時序，實現旋轉軸步進運動。
[0014]本發明中，軸承座、軸承支架、軸承套圈構成軸承單元,採用整體加工成型；軸承單元和壓電陶瓷片構成軸承驅動模塊，壓電陶瓷片與軸承座、軸承套圈連接並對稱分布於軸承單元內部；軸承驅動模塊通過軸承座與環形座連接；軸承套圈和旋轉軸在未施加電壓情況下保持一定的預夾緊力；旋轉軸轉動安裝於旋轉套筒內，並用於安裝後續操作部件；端蓋用於保護基座中的軸承驅動模塊。
[0015]本發明中，軸承驅動模塊在電壓驅動下，壓電陶瓷片同時伸長實現軸承套圈夾緊旋轉軸的運動；四個壓電陶瓷片同時縮短實現軸承套圈鬆開旋轉軸的運動；壓電陶瓷片交錯伸長和縮短實現軸承套圈旋轉位移，帶動旋轉軸正向或反向微小旋轉運動。
[0016]本發明的優點是:
本發明將尺蠖式壓電步進馬達技術應用於微型精密操作手關節驅動機構，箝位和旋轉功能部件集成在一個軸承驅動模塊內，結構簡單，適宜於微型化，關節整體機構採用對稱結構布局，採用雙箝位雙旋轉控制方式，夾持力保持穩定，提高運行效率和穩定性，優化壓電陶瓷片布局，降低驅動電路的複雜性同時方便控制。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0017]圖1為本發明微型尺蠖式壓電驅動旋轉關節機構的軸測圖。
[0018]圖2為本發明微型尺蠖式壓電驅動旋轉關節機構的主剖視圖。
[0019]圖3為本發明微型尺蠖式壓電驅動旋轉關節機構中軸承驅動模塊的主剖視圖。
[0020]圖4為本發明微型尺蠖式壓電驅動旋轉關節機構的第一種驅動方案的電極布局圖。
[0021]圖5為本發明微型尺蠖式壓電驅動旋轉關節機構的第一種驅動方案的極化方向圖。
[0022]圖6為本發明微型尺蠖式壓電驅動旋轉關節機構的第一種驅動方案的驅動方式示意圖。[0023]圖7為本發明微型尺蠖式壓電驅動旋轉關節機構的第二種驅動方案的電極布局圖。
[0024]圖8為本發明微型尺蠖式壓電驅動旋轉關節機構的第二種驅動方案的極化方向圖。
[0025]圖9為本發明微型尺蠖式壓電驅動旋轉關節機構的第二種驅動方案的驅動方式示意圖。
[0026]圖10為本發明微型尺蠖式壓電驅動旋轉關節機構用於箝位和旋轉控制的信號波形圖。
【具體實施方式】
[0027]參見圖1、2、3、4，一種微型尺蠖式壓電驅動旋轉關節機構，包括有U形基座5，及水平夾持在U形基座5上U形口中的旋轉套筒7，旋轉套筒7上中心軸位置轉動安裝有旋轉軸6，U形基座5上U形兩端分別連接有環形座10，且兩環形座10分別共中心軸對應連接在旋轉套筒7兩端筒口處，每個環形座中分別安裝有環形軸承座1，軸承座I中內環壁沿某一徑向連接有軸承架2，軸承架2中間位置斷開並連接有由兩半圈構成的整環形軸承套圈3，軸承套圈3與軸承座I共圓心，軸承套圈3每個半圈所連接的軸承架2兩側分別對稱設置有壓電陶瓷片4，每個壓電陶瓷片4分別平行於軸承架2，且壓電陶瓷片4 一端分別連接在軸承座I內壁、另一端分別連接在對應的軸承架2所連接的軸承套圈3半圈對應側圈端，每個壓電陶瓷片4朝向軸承架2的內側面以及遠離軸承架2的外側面分別沉積有電極，由軸承座1、軸承架2、軸承套圈3構成軸承單元9，由軸承單元9、壓電陶瓷片4構成軸承驅動模塊，旋轉套筒7中旋轉軸6兩端分別穿過環形座10內軸承單元9的軸承套圈3，且軸承套圈3對旋轉軸6施加一定的預夾緊力。
[0028]每側環形座10遠離旋轉套筒7的一端分別蓋合有端蓋8。
[0029]壓電陶瓷片4為單層結構，或者是多層疊片式結構。
[0030]軸承單元9整體採用不鏽鋼材料製成，其中軸承套圈3內圈作表面耐磨處理或噴塗耐磨材料。
[0031]壓電陶瓷片4兩端分別採用環氧樹脂膠或AB膠與軸承座1、軸承套圈3粘結連接。
[0032]軸承座I採用環氧樹脂膠或者AB膠粘結在環形座10中，或者採用螺合方式螺入環形座10中。
[0033]端蓋8通過環氧樹脂膠或AB膠粘結在環形座10 —端，或者採用螺合方式螺合在環形座20 —端，或者採用卡環方式卡接於環形座10 —端。
[0034]本發明根據微型操作手的結構特點，將尺蠖式壓電步進馬達技術應用於微型精密操作手，提出一種新型微型化壓電驅動旋轉關節機構。
[0035]本發明壓中壓電陶瓷片4在一定的電壓驅動下能實現長度方向的伸縮變形，驅動軸承套圈3帶動旋轉軸6實現夾緊、鬆開、旋轉等微小運動。單個軸承驅動模塊同時具有箝位和旋轉功能，兩個軸承驅動模塊11、12分別安裝於兩基座5的兩側，並以一定預夾緊力支承旋轉軸6，通過控制兩個軸承驅動模塊11、12的夾緊、鬆開和旋轉的時序，實現旋轉軸6步進運動。調整箝位信號和旋轉信號電壓的幅值，則可以調整夾緊力和步進旋轉角；調整控制信號的頻率，則可以調整步進運動的頻率。[0036]軸承驅動模塊包含兩種控制方案，如圖2所示，其一為兩個軸承驅動模塊11、12同時完成箝位和旋轉的功能，交替帶動旋轉軸6旋轉，則一個工作循環可實現兩次步進運動，其二為其中一個軸承驅動模塊負責箝位和旋轉功能，另一個軸承驅動模塊僅負責箝位功能，則一個工作循環僅實現一次步進運動。
[0037]對於第一種控制方案，其具體的實現方式是:
初始狀態兩個軸承驅動模塊以一定預夾緊力支承旋轉軸；工作循環開始，軸承驅動模塊11夾緊旋轉軸，軸承驅動模塊12鬆開旋轉軸同時產生微小旋轉位移；軸承驅動模塊11保持夾緊狀態並帶動旋轉軸實現微小步進旋轉，軸承驅動模塊12保持鬆開狀態並旋轉返回初始位置；軸承驅動模塊11鬆開旋轉軸，軸承驅動模塊12夾緊旋轉軸；軸承驅動模塊12保持夾緊狀態並帶動旋轉軸實現微小步進旋轉，軸承驅動模塊11保持鬆開狀態並旋轉返回初始位置；進入下一個工作循環，軸承驅動模塊11夾緊旋轉軸，同時軸承驅動模塊12鬆開旋轉軸，依時序交替運行，一個工作循環實現兩次步進旋轉運動。
[0038]對於第二種控制方案，其具體的實現方式是:
初始狀態兩個軸承驅動模塊以一定預夾緊力支承旋轉軸；工作循環開始，軸承驅動模塊11夾緊旋轉軸，軸承驅動模塊12鬆開旋轉軸；軸承驅動模塊11保持夾緊狀態並帶動旋轉軸實現微小步進旋轉，軸承驅動模塊12保持鬆開狀態；軸承驅動模塊11鬆開旋轉軸，軸承驅動模塊12夾緊旋轉軸；軸承驅動模塊11保持鬆開狀態並旋轉返回初始位置，軸承驅動模塊12保持夾緊狀態；進入下一個工作循環，軸承驅動模塊11夾緊旋轉軸，同時軸承驅動模塊12鬆開旋轉軸，同樣依時序交替運行，一個工作循環僅實現一次步進旋轉運動。與第一種控制方案相比，失去一半的步進旋轉速度，但避免了兩個軸承驅動模塊由於步進位移差異帶來的問題。
[0039]本發明軸承驅動模塊包含四個壓電陶瓷片，如圖3所示，四個壓電陶瓷片4-1，4-2,4-3,4-4同時伸長實現軸承套圈夾緊旋轉軸的運動，四個壓電陶瓷片4-1，4-2，4-3，4-4同時縮短實現軸承套圈鬆開旋轉軸的運動，壓電陶瓷片4-1，4-3伸長、壓電陶瓷片4-2，4-4縮短實現軸承套圈正向微小旋轉運動，壓電陶瓷片4-1，4-3縮短、壓電陶瓷片4-2，4-4伸長實現軸承套圈反向微小旋轉運動。由於軸承驅動模塊同時具有箝位和旋轉功能，採用不同的壓電陶瓷片的電極分割方式、極化方式以及電壓驅動方式，存在兩種基本的驅動方案，其一為箝位和旋轉功能由整個壓電陶瓷片完成，施加箝位和旋轉控制的疊加信號，其二為箝位和旋轉功能分別由壓電陶瓷片兩部分完成，分別施加箝位和旋轉控制信號。
[0040]對於第一種驅動方案，其具體的實現方式是:
四個壓電陶瓷片每片的電極為一個整體，如圖4所示，壓電陶瓷片兩面整體鍍有電極13，其極化方式如圖5所示，採用統一的極化方式，其電壓驅動方式如圖6所示。驅動過程中，壓電陶瓷片的內電極統一接地，由於極化方式一致，四個壓電陶瓷片的箝位控制信號相同，而相鄰壓電陶瓷片的旋轉控制信號相反，故需要兩路驅動電路分別激勵。A為箝位控制信號，B為旋轉控制信號，壓電陶瓷片4-1，4-3的驅動信號為A+B，則壓電陶瓷片4-2，4-4的驅動信號為A-B。A+B、A-B信號的電壓範圍應在壓電陶瓷片的許用範圍內，A、B信號的幅值分配可根據夾緊力和步進旋轉角的需求調整。
[0041]對於第二種驅動方案，其具體的實現方式是:
四個壓電陶瓷片每片的電極分割為兩個部分，如圖7所示，每個部分分別鍍有電極14，15，一部分電極14用於箝位控制，一部分電極15用於旋轉控制，兩部分的比例可根據夾緊力和步進旋轉角的需求調整，其極化方式如圖8所示，為了使四個陶瓷片的箝位控制共用一路信號，則極化方式一致，為了使四個陶瓷片的旋轉控制共用一路信號，則相鄰陶瓷片的極化方式相反，其電壓驅動方式如圖9所示。驅動過程中，壓電陶瓷片的內電極統一接地，由於箝位部分極化方式一致，四個壓電陶瓷片的箝位控制信號相同，由於旋轉部分極化方式交錯方向，四個壓電陶瓷片的旋轉控制信號也相同，故僅需要兩路驅動電路分別控制箝位和旋轉運動。A為箝位控制信號，B為旋轉控制信號。A、B信號的電壓範圍應在壓電陶瓷片的許用範圍內，A、B信號的幅值可根據夾緊力和步進旋轉角的需求調整。
[0042]下面結合附圖和具體實施例進一步說明本發明如下:
這裡以第一種控制方案和第二種驅動方案為典型實例，說明本發明微型尺蠖式壓電驅動旋轉關節機構的具體製作過程和驅動方法。
[0043]軸承座、軸承支架和軸承套圈構成軸承單元，每個旋轉關節機構需要兩個軸承單元，如圖3所示。軸承單元直徑為10?25mm，厚度為I?5mm，軸承座為圓環結構，有凹口結構用於聯結壓電陶瓷片，圓環寬度為I?4_，軸承支架為矩形截面梁結構，用於連接軸承座與軸承套圈，寬度為0.5?2mm，軸承套圈為圓環結構，兩邊有凸臺結構用於聯結壓電陶瓷片，內徑為0.5?5_，與旋轉軸直徑匹配。軸承單元為整體加工成型結構，可採用線切害I]、精密銑床等方法加工得到，軸承套圈內圈可作表面耐磨處理或噴塗耐磨材料，軸承套圈採用線切割分割為兩半圈，間隙為0.1?0.5mm。
[0044]壓電陶瓷片為基本驅動輸出元件，每個旋轉關節結構需要八個壓電陶瓷片，分別安裝於兩個軸承單元上，構成軸承驅動模塊，如圖3所示。壓電陶瓷片長度為3?10mm，寬度為I?5mm,厚度為0.2?2mm,兩面電極分割為兩部分，電極14用於箝位控制，電極15用於旋轉控制，可採用電鍍工藝沉積在陶瓷片的表面，電極材料為銀，如圖7所示，陶瓷表面邊緣預留絕緣空間用於安裝陶瓷片。安裝前，壓電陶瓷片需進行極化處理，極化在80° C的矽油環境中進行，極化電場為厚度方向，大小為2000?2500V/mm，持續25分鐘以上。分兩類極化形式，一類兩部分極化方向相同，一類兩部分極化方向相反，標記電極極化時的正負極。極化後壓電陶瓷片使用丙酮等清洗乾淨，對照圖8極化布局形式，安裝於軸承單元上，兩端用環氧樹脂膠或AB膠分別固定於軸承座的凹口裡和軸承套圈的凸臺上。四片壓電陶瓷片的內電極統一連接引出線並接地，用於箝位的四個外電極統一連接引出線，用於旋轉的四個外電極統一連接引出線。
[0045]U型基座具體尺寸可以根據需要靈活設計，採用鋁合金或不鏽鋼等材料。兩個軸承驅動模塊分別安裝於U型基座兩側，左側為軸承驅動模塊11，右側為軸承驅動模塊12，如圖2所示，使用環氧樹脂膠或AB膠將軸承座與U型基座剛性聯結。旋轉軸採用不鏽鋼光軸材料，其長度與U型基座兩端跨度匹配，直徑與軸承套圈匹配，使得軸承套圈和旋轉軸在未施加電壓情況下保持一定的預夾緊力，具有自鎖功能。旋轉套筒用於保護軸承驅動模塊，可設計安裝其他後續操作部件，旋轉套筒與旋轉軸可採用環氧樹脂膠、AB膠或焊接方式固結。兩個端蓋通過環氧樹脂膠、AB膠或卡環結構安裝在環形座上，用於保護軸承驅動模塊
兩個軸承驅動模塊所加的控制信號如圖10所示，初始狀態兩個軸承驅動模塊以一定預夾緊力支承旋轉軸，一個工作循環包含以下分解過程:
I)工作循環開始，左箝位施加反向電壓，左側四個壓電陶瓷片由d31壓電效應伸長，左側軸承驅動模塊11夾緊旋轉軸；右箝位施加正向電壓，右側四個壓電陶瓷片縮短，右側軸承驅動模塊12鬆開旋轉軸；右旋轉初始為正向電壓，右側軸承驅動模塊存在微小旋轉位移，但由於脫離旋轉軸，對旋轉軸影響可以忽略。
[0046]2)左箝位保持反向電壓，左側軸承驅動模塊11保持夾緊狀態；左旋轉施加正向電壓，左側軸承驅動模塊11在靜摩擦力作用下帶動旋轉軸實現微小步進旋轉；右箝位保持正向電壓，右側軸承驅動模塊12保持鬆開狀態；右旋轉電壓降為零，右側軸承驅動模塊12旋轉返回初始位置。
[0047]3)左箝位施加正向電壓，左側軸承驅動模塊11鬆開旋轉軸；右箝位施加反向電壓，右側軸承驅動模塊12夾緊旋轉軸；兩邊旋轉控制電壓保持不變，兩邊軸承驅動模塊和旋轉軸位置不變。
[0048]4)左箝位保持正向電壓，左側軸承驅動模塊11保持鬆開狀態；左旋轉電壓降為零，左側軸承驅動模塊11旋轉返回初始位置；右箝位保持反向電壓，右側軸承驅動模塊12保持夾緊狀態；右旋轉施加正向電壓，右側軸承驅動模塊12在靜摩擦力作用下帶動旋轉軸實現微小步進旋轉。
[0049]5)左箝位施加反向電壓，左側軸承驅動模塊11夾緊旋轉軸；右箝位施加正向電壓，右側軸承驅動模塊12鬆開旋轉軸；兩邊旋轉控制電壓保持不變，兩邊軸承驅動模塊和旋轉軸位置不變，開始下一個工作循環。
[0050]可見，兩個軸承驅動模塊同時完成箝位和旋轉的功能，交替帶動旋轉軸旋轉，一個工作循環可實現兩次步進運動。當兩邊施加反向旋轉電壓，則可帶動旋轉軸反向步進運動。
【權利要求】
1.一種微型尺蠖式壓電驅動旋轉關節機構，包括有U形基座，及水平夾持在U形基座上U形口中的旋轉套筒，其特徵在於:所述旋轉套筒的中心軸位置轉動安裝有旋轉軸，所述U形基座上U形兩端分別連接有環形座，且兩環形座分別共中心軸對應連接在旋轉套筒兩端筒口處，所述每個環形座中分別安裝有環形軸承座，軸承座中內環壁沿某一徑向連接有軸承架，所述的軸承架中間位置斷開並連接有由兩半圈構成的整環形軸承套圈，所述軸承套圈與軸承座共圓心，軸承套圈每個半圈所連接的軸承架兩側分別對稱設置有壓電陶瓷片，每個壓電陶瓷片分別平行於軸承架，且壓電陶瓷片一端分別連接在軸承座內壁、另一端分別連接在對應的軸承架所連接的軸承套圈半圈對應側圈端，所述每個壓電陶瓷片朝向軸承架的內側面以及遠離軸承架的外側面分別沉積有電極，由軸承座、軸承架、軸承套圈構成軸承單元，由軸承單元、壓電陶瓷片構成軸承驅動模塊，所述旋轉套筒中旋轉軸兩端分別穿過環形座內軸承單元的軸承套圈，且軸承套圈對旋轉軸施加一定的預夾緊力。
2.根據權利要求1所述的一種微型尺蠖式壓電驅動旋轉關節機構，其特徵在於:所述每側環形座遠離旋轉套筒的一端分別蓋合有端蓋。
3.根據權利要求1所述的一種微型尺蠖式壓電驅動旋轉關節機構，其特徵在於:所述壓電陶瓷片為單層結構或者是多層疊片式結構。
4.根據權利要求1所述的一種微型尺蠖式壓電驅動旋轉關節機構，其特徵在於:所述軸承單元整體採用不鏽鋼材料製成，其中軸承套圈內圈作表面耐磨處理或噴塗耐磨材料。
5.根據權利要求1所述的一種微型尺蠖式壓電驅動旋轉關節機構，其特徵在於:所述壓電陶瓷片兩端分別採用環氧樹脂膠或AB膠與軸承座、軸承套圈粘結連接。
6.根據權利要求1所述的一種微型尺蠖式壓電驅動旋轉關節機構，其特徵在於:所述軸承座採用環氧樹脂膠或者AB膠粘結在環形座中，或者採用螺合方式螺入環形座中。
7.根據權利要求1所述的一種微型尺蠖式壓電驅動旋轉關節機構，其特徵在於:所述的端蓋通過環氧樹脂膠或AB膠粘結在環形座一端，或者採用螺合方式螺合在環形座一端，或者採用卡環方式卡接於環形座一端。
【文檔編號】H02N2/10GK103973159SQ201410174406
【公開日】2014年8月6日 申請日期:2014年4月26日 優先權日:2014年4月26日
【發明者】於連棟, 潘成亮, 韓麗玲, 鄧華夏, 李維詩, 夏豪傑, 張煒, 魯思穎 申請人:合肥工業大學