一種具有強抗靜電能力的阻抗元型聲表面波濾波器的製造方法
2023-05-29 05:11:46 2
一種具有強抗靜電能力的阻抗元型聲表面波濾波器的製造方法
【專利摘要】本發明為一種具有強抗靜電能力的阻抗元型聲表面波濾波器，涉及通信【技術領域】。所述具有強抗靜電能力的阻抗元型聲表面波濾波器包括一個叉指換能柵陣和兩個反射柵陣，這兩個反射柵陣分別位於叉指換能柵陣的兩側，為了提高阻抗元型聲表面波濾波器的抗靜電燒毀能力，本發明將等效電阻並聯與叉指換能柵陣並聯，以達到給叉指換能柵陣分流的作用，從而起到保護叉指換能柵陣的作用。
【專利說明】一種具有強抗靜電能力的阻抗元型聲表面波濾波器
【技術領域】
[0001]本發明涉及通信【技術領域】，尤其涉及一種具有十分強的抗靜電燒毀能力的阻抗元型聲表面波濾波器。
【背景技術】
[0002]聲表面波濾波器(SAWF: Surface Acoustic Wave Filter)廣泛的應用在射頻移動通信中，隨著第四代移動通信(4G)時代的來臨，移動基站中使用的聲表面波濾波器的頻率也提升到了 2595MHZ。高頻化是移動通信發展的趨勢要求，然而SAWF本身是靜電易損器件，且隨著頻率的升高，聲表面波濾波器越容易在生產和使用的過程中因靜電而導致其關鍵部件叉指換能柵陣(IDT)的燒毀，進而導致器件聲表面波濾波器失效。因此，如何在高頻化的趨勢下，儘可能的改善和提高聲表面波濾波器的抗靜電燒毀的能力，成為了行業內迫切需要解決的問題。
【發明內容】
[0003]本發明的目的是為了解決上述問題而提出一種具有強抗靜電能力的阻抗元型聲表面波濾波器；該種具有強抗靜電能力的阻抗元型聲表面波濾波器採用的技術方案中，將由反射柵陣構成的等效電阻以並聯的方式電性能連接於叉指換能柵陣，起到分流的作用，從而極大地提高了聲表面波濾波器的抗靜電能力。
[0004]本發明的技術方案如下:
本發明為一種具有強抗靜電能力的阻抗元型聲表面波濾波器，包括一個叉指換能柵陣和兩個反射柵陣，這兩個反射柵陣分別位於叉指換能柵陣的兩側。
[0005]在將等效電阻以並聯的方式電性能連接於叉指換能柵陣時，有三種較優的方式: 第一種較優的方式，將上述的兩個反射柵陣各自的指電極之間首尾相連以構成等效電阻，由這兩個反射柵陣各自構成的兩個等效電阻，其都與所述的叉指換能柵陣以並聯的方式電性能連接。
[0006]第二種較優的方式，再增加額外的兩個反射柵陣，這兩個反射柵陣各自的指電極之間首尾相連以構成等效電阻；由這兩個反射柵陣各自構成的兩個等效電阻，其分別位於叉指換能柵陣的兩側，且都與叉指換能柵陣以並聯的方式電性能連接。
[0007]第三種較優的方式，也同第二種較優的方式一樣，再增加額外的兩個反射柵陣，這兩個額外的反射柵陣分別位於上述的叉指換能柵陣的兩側；這樣，一共具有四個反射柵陣，這四個反射柵陣各自的指電極之間首尾相連以構成等效電阻；由這四個反射柵陣各自構成的四個等效電阻中，位於叉指換能柵陣同側的兩個等效電阻互相以串聯的方式電性能連接後，此互相串聯的兩個等效電阻形成的電氣結構再與叉指換能柵陣以並聯的方式電性能連接。
[0008]本發明的有益效果:
在充分考慮到原來阻抗元型聲表面波濾波器的設計下，將阻抗元型聲表面波濾波器中的反射柵陣的指電極之間首尾相連以構成等效電阻，再將此等效電阻並聯於阻抗元型聲表面波濾波器中的叉指換能柵陣，在不增加阻抗元型聲表面波濾波器尺寸的情況下，對高頻下可能產生的高靜電導致的電流，起到分流的作用，減少了高靜電導致的電流對叉指換能柵陣的破壞，極大地提高了聲表面波濾波器的抗靜電能力，尤其是在高頻的情況下。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0009]圖1為阻抗元型聲表面波濾波器的基本結構示意圖；
圖2為叉指換能柵陣的結構示意圖；
圖3為並聯電路中小大電阻電流分流示意圖；
圖4為等效電阻示意圖；
圖5為實施例一；
圖6為實施例二；
圖7為實施例三。
【具體實施方式】
[0010]為了更好地說明本發明，現結合實施例與附圖作進一步說明。
[0011]本發明為一種具有強抗靜電能力的阻抗元型聲表面波濾波器。
[0012]如圖1所示，為阻抗元型聲表面波濾波器的基本結構，其包括一個叉指換能柵陣I和兩個反射柵陣2、3。這兩個反射柵陣2、3位於叉指換能柵陣I的兩側，即這兩個反射柵陣
2、3將叉指換能柵陣I夾在中間。
[0013]如上所述，本發明為一種具有強抗靜電能力的阻抗元型聲表面波濾波器，故其也具備如圖1所示的阻抗元型聲表面波濾波器的基本結構。本發明採用阻抗元型聲表面波濾波器的原因是，相比縱向耦合模式等聲表面波濾波器，阻抗元型聲表面波濾波器具有更強的抗靜電能力。
[0014]另外，為了進一步提高阻抗元型聲表面波濾波器的抗靜電能力，保護其關鍵部件叉指換能柵陣1，本發明採用了將等效電阻以並聯的方式電性能連接於叉指換能柵陣1，其原理是並聯電路中的小電阻對大電阻的強力分流作用，使高靜電產生的電流大部分被等效電阻分流，減少靜電對叉指換能柵陣I的破壞。具體地，如圖2所示為叉指換能柵陣I的結構，其輸入端指條4和輸出端指條5並不接觸，只是在耦合場中交換能量，因此叉指換能柵陣I可以等效為一個阻值接近無限大的電阻。另一方面，給叉指換能柵陣I並聯上一個等效電阻後，如圖3所示，在進行電路中電流流向分析時，叉指換能柵陣I因為其阻值接近無限大故相當於一個大電阻，相應地，與叉指換能柵陣I並聯的等效電阻就相當於一個小電阻，從而實現了等效電阻這個小電阻對叉指換能柵陣I這個大電阻的強力分流作用，在高靜電的情況下，對叉指換能柵陣I起到了保護作用。
[0015]本發明採用的與叉指換能柵陣I並聯的等效電阻是由諸如反射柵陣1、2這樣的反射柵陣來構成的。
[0016]具體地，如圖4所示，反射柵陣是由若干根指電極構成。指電極之間首尾相連——即任意一根指電極與其前一根指電極的首端相連，與其後一根的指電極的尾端相連——即構成了一個等效電阻。因指電極的長寬比值非常大，因此可以等效成電阻。此等效電阻的阻值R=KL/W，其中K為近似常數，L為反射柵陣指電極的總長度——即指電極的長度與指電極的數量的乘積，W為指電極的寬度。由公式R=KL/W可以看出，此等效電阻的大小可以根據實際需要通過增減指電極的數量和指電極的寬度來調節。
[0017]在將上述由若干指電極構成的等效電阻與叉指換能柵陣並聯時，有三種較優的方式。
[0018]實施例一為第一種較優的方式。
[0019]如圖5所示，本發明包括包括第一叉指換能柵陣11、第一反射柵陣12和第二反射柵陣13，其中第一反射柵陣12和第二反射柵陣13分別位於第一叉指換能柵陣11的兩側。第一反射柵陣12和第二反射柵陣13各自的指電極之間首尾相連以構成等效電阻，由第一反射柵陣12和第二反射柵陣13各自構成的這兩個等效電阻，其都與第一叉指換能柵陣11以並聯的方式電性能連接。
[0020]實施例一中的第一反射柵陣12和第二反射柵陣13不僅起到反射器的作用，還相當於等效電阻用於分流以提高本發明的抗靜電燈燒毀能力。
[0021]實施例二為第二種較優的方式。
[0022]如圖6所示，本發明包括第二叉指換能柵陣21、第三反射柵陣22和第四反射柵陣23，其中第三反射柵陣22和第四反射柵陣23分別別位於第二叉指換能柵陣21的兩側。
[0023]該具有強抗靜電能力的阻抗元型聲表面波濾波器還包括第五反射柵陣24和第六反射柵陣25，第五反射柵陣24和第六反射柵陣25各自的指電極之間首尾相連以構成等效電阻；由第五反射柵陣24和第六反射柵陣25各自構成的這兩個等效電阻，其分別位於第二叉指換能柵陣21的兩側，且都與第二叉指換能柵陣21以並聯的方式電性能連接。
[0024]實施例二中第三反射柵陣22和第四反射柵陣23起到反射器的作用，第五反射柵陣24和第六反射柵陣25相當於等效電阻用於分流以提高本發明的抗靜電燈燒毀能力。
[0025]實施例三為第三種較優的方式。
[0026]如圖7所示，本發明包括第三叉指換能柵陣31、第七反射柵陣32和第八反射柵陣33，其中第七反射柵陣32和第八反射柵陣33分別位於第三叉指換能柵陣31的兩側。
[0027]該具有強抗靜電能力的阻抗元型聲表面波濾波器還包括第九反射柵陣34和第十反射柵陣35，第九反射柵陣34和第十反射柵陣35也分別位於第三叉指換能柵陣31的兩側。
[0028]第七反射柵陣32、第八反射柵陣33、第九反射柵陣34和第十反射柵陣35各自的指電極之間首尾相連以構成等效電阻；由第七反射柵陣32、第八反射柵陣33、第九反射柵陣34和第十反射柵陣35各自構成的四個等效電阻中，位於第三叉指換能柵陣31同側的兩個等效電阻互相以串聯的方式電性能連接後，此互相串聯的兩個等效電阻形成的電氣結構再與第三叉指換能柵陣31以並聯的方式電性能連接。
[0029]實施例三中第七反射柵陣32、第八反射柵陣33、第九反射柵陣34和第十反射柵陣35相當於等效電阻用於分流以提高本發明的抗靜電燈燒毀能力，其中第七反射柵陣32和第八反射柵陣33還起到反射器的作用。
[0030]上述三種較優的方式中，如圖5所示的第一種方式，是以反射柵陣變形的形式嵌入等效電阻，其優點是可以節省晶片面積——反射柵陣有其自身作為反射柵陣的作用，同時又能起到等效電阻的作用，缺點是反射柵陣的指電極數目是特定的，所以由反射柵陣構成的等效電阻的阻值大小有限；如圖6所示的第二種方式，是在原來阻抗元型聲表面波濾波器的基本結構上再獨立地嵌入由若干指電極構成的等效電阻，其缺點是需要額外的區域，增加了晶片的面積，優點是靈活，即可以隨意調節等效電阻阻值的大小；第三種方式是參考了前二種方式，能有效的在晶片尺寸和電阻可調範圍內變化取捨，達到抗靜電能力、成本和晶片封閉尺寸的最佳結合。
[0031]本發明中等效電阻與叉指換能柵陣並聯時，都是以對稱的方式並聯，實際上還可以以非對稱的方式並聯，即等效電阻數量可以為奇數個。
[0032]綜上所述，本發明在傳統的阻抗元型聲表面波濾波器的晶片設計層面上加以改進，在晶片結構單元的信號傳輸部分與地之間等效電阻，以分流高靜電產生的電流，減少靜電對聲表面波濾波器中的叉指換能柵陣的破壞。同時在生產工藝過程中在鍍膜工序摻雜重金屬，比如在鍍層材料中摻入金屬銅通過蒸發或者濺射的方法進行鍍膜，進一步提高了聲表面波濾波器的抗靜電燒毀的能力。
【權利要求】
1.一種具有強抗靜電能力的阻抗元型聲表面波濾波器，包括第一叉指換能柵陣(11)、第一反射柵陣(12)和第二反射柵陣(13)，所述第一反射柵陣(12)和第二反射柵陣(13)分別位於第一叉指換能柵陣(11)的兩側，其特徵在於: 所述第一反射柵陣(12)和第二反射柵陣(13)各自的指電極之間首尾相連以構成等效電阻，由第一反射柵陣(12)和第二反射柵陣(13)各自構成的兩個等效電阻，其都與第一叉指換能柵陣(11)以並聯的方式電性能連接。
2.一種具有強抗靜電能力的阻抗元型聲表面波濾波器，包括第二叉指換能柵陣(21)、第三反射柵陣(22)和第四反射柵陣(23)，所述第三反射柵陣(22)和第四反射柵陣(23))分別位於第二叉指換能柵陣(21)的兩側，其特徵在於: 該具有強抗靜電能力的阻抗元型聲表面波濾波器還包括第五反射柵陣(24)和第六反射柵陣(25)，第五反射柵陣(24)和第六反射柵陣(25)各自的指電極之間首尾相連以構成等效電阻；由第五反射柵陣(24)和第六反射柵陣(25)各自構成的兩個等效電阻，其分別位於第二叉指換能柵陣(21)的兩側，且都與第二叉指換能柵陣(21)以並聯的方式電性能連接。
3.一種具有強抗靜電能力的阻抗元型聲表面波濾波器，包括第三叉指換能柵陣(31)、第七反射柵陣(32)和第八反射柵陣(33)，第七反射柵陣(32)和第八反射柵陣(33)分別位於第三叉指換能柵陣(31)的兩側，其特徵在於: 該具有強抗靜電能力的阻抗元型聲表面波濾波器還包括第九反射柵陣(34)和第十反射柵陣(35)，第九反射柵陣(34)和第十反射柵陣(35)也分別位於第三叉指換能柵陣(31)的兩側； 所述的第七反射柵陣(32)、第八反射柵陣(33)、第九反射柵陣(34)和第十反射柵陣(35)各自的指電極之間首尾相連以構成等效電阻；由第七反射柵陣(32)、第八反射柵陣(33)、第九反射柵陣(34)和第十反射柵陣(35)各自構成的四個等效電阻中，位於第三叉指換能柵陣(31)同側的兩個等效電阻互相以串聯的方式電性能連接後，此互相串聯的兩個等效電阻形成的電氣結構再與第三叉指換能柵陣(31)以並聯的方式電性能連接。
【文檔編號】H03H9/64GK104467735SQ201410621940
【公開日】2015年3月25日 申請日期:2014年11月7日 優先權日:2014年11月7日
【發明者】姚豔龍, 劉紹侃, 李善斌 申請人:深圳華遠微電科技有限公司