一種定點鎖固式內傳輸框架結構的製作方法

2023-05-29 09:49:46

專利名稱：一種定點鎖固式內傳輸框架結構的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種框架組裝時鎖固的結構，特別指一種應用於真空賊鍍 的框架在組裝時，簡化鎖固設計而更能適用於作業環境的鎖固結構。
背景技術：
真空濺鍍技術是真空薄膜製程中應用層面相當廣泛的 一項重要技術，近年 來己逐漸取代噴導電漆或電解電鍍等方式，大量應用在光電、通信及半導體等 產業，成為相當重要的表面處理技術。
請參閱圖1所示， 一般真空濺鍍技術利用磁控濺鍍陰極板1 1 ,將離子化
的氣體分子1 3以高速轟擊激發鍍材1 8 ，使鍍膜分子1 2均勻散布在真空腔 體l 0內各個角落，再通過電位差高速濺射在被鍍物1 9表面上，進而達到鍍 膜的目的。
而因應真空濺鍍製程應用層面日廣，為增加相關鍍膜產品的產業竟爭力， 目前大部分濺鍍設備為連續式多腔體型式，以取代傳統批次式或晶圓式生產方
式。如圖2所示，連續式傳輸作業流程如可概分為進料區、濺鍍區及出料區三
個區域。每一個區域都至少由一真空腔體1 O組成，再利用傳輸機構將被鍍物 1 9輸送至不同區域的真空腔體1 0內進行各項程序作業。而一般連續式真空
賊鍍設備其自動化傳輸機構皆利用極限開關及摩擦原理來完成不同腔體之間
傳輸順序。
請再參閱圖3、圖4,每個腔體內設置有由兩個輪軸固定座1 5及若干輪 軸1 4等構件組成的框架，以及由伺服馬達1 3及若干鏈條1 7組成的傳動機 構。其中兩國輪軸固定座l 5利用若干螺絲鎖固於該中空腔體1 O底部，而輪 軸l 4則等間隔樞組於兩個輪軸固定座1 5之間，並於各輪軸1 4上套設兩個 膠環1 6 。輸送傳動時，伺服馬達1 3帶動位於框架前端的第一個輪軸1 4轉 動後，再通過該鏈條l 7帶動後半部的輪軸1 4轉動。而用以承載被鍍物l 9
3的託盤1 2置於輪軸1 4兩側的膠環1 6上方，通過該託盤1 2與膠環1 6之 間摩擦力的作用下，將託盤l 2帶動至下一個真空腔體1 0，而能連續進行真 空 賊鍍的各項作業程序。
因此，真空濺鍍作業在進行時，必須將該真空腔體l 0內的空氣抽出，使 其呈現真空狀態，然而上述現有結構設計中，因為兩個輪軸固定座l 5用以將 其鎖固於真空腔體l 0的螺絲，等間隔布滿於各該輪軸固定座1 5上，因此不 僅容易在抽真空時對框架結構造成不良影響，更增加了零件成本、鎖固作業， 以及結構設計上的負擔。

實用新型內容
為了減少真空濺鍍作業對框架結構造成的不良影響，本實用新型提供了 一 種定點鎖固式內傳輸框架結構，包含一真空濺鍍用的腔體，以及鎖固組設於所 述腔體內的框架，
所述框架鎖固於腔體內，鎖固位置限於框緣的四角隅處，即所述腔體內底 部四角落適當處各凸設一鎖置座，而所述框架對應所述四個鎖置座的位置，則 分別貫穿形成一第一鎖孔，若干定位調整單元一端分別穿設所述第一鎖孔鎖固 於鎖置座處。
所述各定位調整單元由一調整螺絲、螺帽及定位螺絲組成，所述調整螺絲 內緣呈貫通結構，上端形成有六角孔，螺組於該框架第一鎖孔處，所述螺帽螺 設於作完框架的水平調整後的所述調整螺絲上，而所述定位螺絲由所述螺帽鎖 固後的所述調整螺絲內緣往外穿出而螺組於所述腔體的鎖置座內。
所述框架兩側底部前後的第一鎖孔間，等間隔形成有若干第二鎖孔，各第 二鎖孔處分別螺設一由用作水平調整的調整螺絲及鎖緊固定水平高的螺帽組 成的水平調整單元。
與現有技術相比，本實用新型具有以下有益效果
利用本實用新型的，限定該框架鎖固於腔體內的位置與鎖固數之結構設 計，將框架鎖固於腔體內時，不僅能節省框架拆卸或組裝的時間與程序，節省 鎖固作業的時間，也能使其結構更適應於真空作業環境。

圖1為真空濺鍍原理示意圖。
圖2為現有連續式濺渡作業流程示意圖。
圖3為現有真空腔體立體分解圖。
圖4為現有框架鎖固於真空腔體的組合剖面圖
圖5為本實用新型的立體組合圖。
圖6為本實用新型的立體分解圖。
圖7為本實用新型的組合剖面圖。
其中，
腔體2 0 框架3 0
第一鎖孔3 2 定位調整單元4 0 六角孔411
定位螺絲4 3
調整螺絲5 1 六角孔511
鎖置座2 1 容置槽3 1 第二鎖孔3 3 調整螺絲41 螺帽4 2
水平調整單元5 0 螺帽5 具體實施方式
以下結合附圖對本實用新型的具體實施方式
作進一步詳細說明。
參閱圖5~圖7所示，本實用新型由一真空濺鍍用的腔體2 0 、框架3 0 ，
以及若干定位調整單元4 0與水平調整單元5 0等構件組成，其中
該腔體2 0內緣中空的矩形框體，其底部四個預定的角隅位置凸設有鎖置
座2 1 ，用以供該定位調整單元4 0鎖固該框架3 0。由於腔體2 0為一^:現
有結構，不再贅述。
該框架3 O—矩形框架，由若干框板組成，兩側之間等間隔形成有成若千 供輪軸樞組(圖中未顯示)的容置槽3 1。主要框架3 0兩側底部對應四個鎖 置座2 1的位置，各貫穿形成一第一鎖孔3 2 ，並於前、後的第一鎖孔3 2間， 等間隔形成有若干第二鎖孔3 3。各第一鎖孔3 2處，可供定位調整單元4 0一端分別穿設後鎖固於鎖置座2 l處，用以固定框架3 0。而各第二鎖孔3 3 處則分別供一水平調整單元5 0螺設，作為框架3 0水平調整用。
定位調整單元4 0由一調整螺絲4 1、螺帽4 2 ,以及定位螺絲4 3等構 件組成。調整螺絲4 l外緣設有螺紋，內緣呈貫通結構，且內緣上端形成六角
孔41 i,方^_調整螺絲4 i的螺轉，中^a處則為圓徑結構，其可螺組於該框
架3 0的第一鎖孔3 2處，具有水平調整的功用。螺帽4 2則在調整螺絲4 1 作完框架3 O的水平調整後，旋緊於調整螺絲4 l上，使其固定框架3 O水平 高度。而該定位螺絲4 3則在螺帽4 2鎖固後，由調整螺絲4 1內緣往外穿出 而螺組於該腔體2 0的鎖置座2 1內，用以固定框架3 0 。
各水平調整單元5 0螺設於框架3 0的第二鎖孔3 3處，由調整螺絲5 1 及螺帽5 2組成。調整螺絲5 l外緣也形成螺紋，內緣上端具有六角孔5 1 1， 中段處則為圓徑結構。將各調整螺絲5 l螺組於第二鎖孔3 3處作完水平調整 後，再利用螺帽5 2鎖緊固定其水平高度。
通過上述構件組成，利用限定框架3 0鎖固於腔體2 O內的位置與鎖固數 的結構設計，不僅能節省框架3 O拆卸或組裝的時間與程序，同時使其結構更
能適應於真空作業環境。
以上所述僅是本實用新型的優選實施方式，應當指出，對於本技術領域的 普通技術人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以作出若干改進 和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本實用新型的保護範圍。
權利要求1. 一種定點鎖固式內傳輸框架結構，包含一真空濺鍍用的腔體，以及鎖固組設於所述腔體內的框架，其特徵在於所述框架鎖固於腔體內，鎖固位置限於框緣的四角隅處，即所述腔體內底部四角落適當處各凸設一鎖置座，而所述框架對應所述四個鎖置座的位置，則分別貫穿形成一第一鎖孔，若干定位調整單元一端分別穿設所述第一鎖孔鎖固於鎖置座處。
2. 如權利要求1所述的定點鎖固式內傳輸框架結構，其特徵在於，所述 各定位調整單元由一調整螺絲、螺帽及定位螺絲組成，所述調整螺絲內緣呈貫 通結構，上端形成有六角孔，螺組於該框架第一鎖孔處，所述螺帽螺設於作完 框架的水平調整後的所述調整螺絲上，而所述定位螺絲由所述螺帽鎖固後的所 述調整螺絲內緣往外穿出而螺組於所述腔體的鎖置座內。
3. 如權利要求1所述的定點鎖固式內傳輸框架結構，其特徵在於，所述 框架兩側底部前後的第一鎖孔間，等間隔形成有若干第二鎖孔，各第二鎖孔處 分別螺設一由用於水平調整所述框架的調整螺絲及鎖緊固定所述框架水平高 度的螺帽組成的水平調整單元。
專利摘要本實用新型提供了一種定點鎖固式內傳輸框架結構，該結構在真空濺鍍作業的腔體內鎖固一框架，且該框架鎖固於腔體內時，其鎖固位置限於其框緣的四角隅處。即該腔體內底部四角落適當處各凸設一鎖置座，而該框架對應該四個鎖置座的位置，則各貫穿形成一第一鎖孔，用以供若干定位調整單元一端分別穿設第一鎖孔而鎖固於鎖置座處。該框架於兩側底部前後的第一鎖孔間，另等間隔形成有若干第二鎖孔，各第二鎖孔處可分別供一調整螺絲螺設，作為框架水平調整之用，並於水平調整完畢後，利用螺帽鎖緊固定其水平高度。本實用新型不僅精簡了框架鎖固的作業，方便了框架的水平調整，更能改善框架承受真空壓力的結構性。
文檔編號C23C14/34GK201272829SQ20082012948
公開日2009年7月15日 申請日期2008年8月18日 優先權日2008年8月18日
發明者黎瑞海 申請人:凌嘉科技股份有限公司