油潤滑軸承裝置以及真空泵的製作方法

2023-05-29 01:36:16

本發明涉及一種油潤滑軸承裝置以及真空泵(pump)。

背景技術：

在高速旋轉的滾動軸承中，是通過持續供給微量的潤滑油來維持轉動面的潤滑，且要求防止必要量以上的潤滑油附著於轉動面。若超過潤滑所需的潤滑油附著於轉動面，則會產生潤滑油的攪拌阻力，從而成為發熱的原因。

作為真空泵中的滾動軸承的潤滑方法，提出有專利文獻1中記載的方法。專利文獻1所記載的滾動軸承中採用了下述結構：在與內輪一同旋轉的軸(shaft)上設置圓錐(tapercone)狀的構件，使潤滑貯藏裝置中所設的氈(felt)狀構件接觸至該圓錐狀的面，通過離心力來將潤滑油供給至內輪。且設為下述結構：潤滑油經由轉動體(滾珠(ball))而從內輪的轉動面(也稱作軌道面)供給至外輪的轉動面，並使從外輪的轉動面溢出的剩餘潤滑油返回至潤滑貯藏裝置。

[現有技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1]日本專利第5303137號公報

技術實現要素：

[發明所要解決的問題]

但是，由於是使從轉動面溢出的剩餘潤滑油返回至潤滑貯藏裝置的結構，因此在潤滑油溢出的狀態下，轉動面上將會存在超過潤滑所需的潤滑油，從而無法避免攪拌阻力的產生。

[解決問題的手段]

本發明的優選實施方式的油潤滑軸承裝置包括：滾動軸承，具有內輪、外輪、轉動體以及維持所述轉動體的間隔的保持器，且支撐旋轉軸；錐形構件，設於固定有所述內輪的所述旋轉軸上，形成有朝向所述內輪而為上坡(以使旋轉半徑增加的方式而設的傾斜)的第1傾斜面；潤滑油貯藏部，相對於所述內輪而配置在設有所述錐形構件的一側；以及接觸部，接觸至所述第1傾斜面，以將所述潤滑油貯藏部的潤滑油供給至所述第1傾斜面，所述保持器包括：袋體，具有外輪側開口與內輪側開口，保持所述轉動體；潤滑油刮取部，形成於所述袋體的內周面，刮取附著於所述轉動體表面的潤滑油；以及第2傾斜面，沿著所述外輪側開口而形成於所述內周面，朝向所述潤滑油貯藏部而為上坡。

更優選的實施方式中，所述潤滑油刮取部具備多個凸部，所述多個凸部是在所述內周面的所述外輪側開口側的區域中以沿周方向排列的方式而形成。

更優選的實施方式中，在所述第2傾斜面上，形成有從所述傾斜面突出的突起。

更優選的實施方式中，所述錐形構件是裝卸自如地設於所述旋轉軸，以將所述內輪固定於所述旋轉軸的內輪固定構件。

更優選的實施方式中，包括：潤滑油引導部，較所述保持器而配置於外輪側，與所述潤滑油貯藏部以及所述外輪相接觸，將從所述第2傾斜面飛散的潤滑油引導至所述潤滑油貯藏部。

本發明的優選實施方式的油潤滑軸承裝置包括：滾動軸承，具有內輪、外輪、轉動體以及維持所述轉動體的間隔的保持器，且支撐旋轉軸；錐形構件，設於固定有所述內輪的所述旋轉軸上，形成有朝向所述內輪而為上坡的第1傾斜面；潤滑油貯藏部，相對於所述內輪而配置在設有所述錐形構件的一側；以及接觸部，接觸至所述第1傾斜面，以將所述潤滑油貯藏部的潤滑油供給至所述第1傾斜面，所述保持器包括：袋體，從保持器內周面貫穿至保持器外周面，保持所述轉動體；第2傾斜面，形成於所述保持器外周面，隨著接近所述潤滑油貯藏部，自軸芯的距離增加且為上坡；第3傾斜面，形成於所述保持器內周面，隨著遠離所述潤滑油貯藏部，自軸芯的距離增加且為下坡；以及連接面，形成於與所述潤滑油貯藏部為相反側的保持器端部，將所述第2傾斜面與所述第3傾斜面連接。

更優選的實施方式中，在所述第2傾斜面上，形成有通過鄰接的一對所述袋體之間並從所述連接面的一側朝向所述潤滑油貯藏部的方向呈峰狀地延伸的突起部。

更優選的實施方式中，所述袋體的至少一個部位從周圍封閉的內輪側開口向周圍封閉的外輪側開口貫穿。

更優選的實施方式中，所述保持器將兩個以上的構件接合而成一體化。

本發明的優選實施方式的真空泵包括：所述油潤滑軸承裝置；以及泵葉輪(pumprotor)，設置於所述旋轉軸上。

[發明的效果]

根據本發明，能夠抑制攪拌阻力的產生。

附圖說明

圖1是渦輪(turbo)分子泵的剖面圖。

圖2是將油潤滑軸承裝置的部分放大表示的圖。

圖3是表示保持器的外觀形狀的立體圖。

圖4(a)、圖4(b)是對轉動體以及保持器的動作進行說明的圖。

圖5是對潤滑油的循環路徑進行說明的圖。

圖6(a)、圖6(b)是表示刮取部的形狀的具體例的圖。

圖7(a)、圖7(b)是表示刮取部的變形例的圖。

圖8(a)、圖8(b)、圖8(c)是表示刮取部的第3變形例的圖。

圖9是表示形成於錐形面的突起的圖。

圖10是表示形成於保持器的傾斜面的另一例的圖。

圖11(a)、圖11(b)是表示潤滑油引導部的其他例的圖。

圖12是表示第2實施方式的油潤滑軸承裝置的圖。

圖13是保持器的分解立體圖。

圖14是對保持器的面形狀進行說明的圖。

圖15是表示袋體的保持器軸向上側打開時的保持器。

圖16是表示第2實施方式的變形例的圖。

[符號的說明]

1：渦輪分子泵

2：基座

3：泵葉輪

4：馬達

4a：馬達轉子

4b：馬達定子

6：永磁鐵磁軸承

6a、6b：永磁鐵

8、9：滾珠軸承

10：軸

11：磁鐵支架

12：泵殼體

13、114：軸承支架

15：下蓋

20：固定葉片

21：圓筒狀定子

30：旋轉葉片

31：圓筒部

81：外輪

81a、82a：轉動面

82：內輪

83：轉動體

84：保持器

84a：下部保持器

84b：上部保持器

90：潤滑油

100：油潤滑軸承裝置

101：油芯

101a：接觸部

102：錐型螺母

102a、841、842：錐形面

103、106：軸承壓片

104：圓管構件

116：徑向緩衝部

840：袋體

840a：內周面

840b：刮取部

840c：外輪側開口

840d：內輪側開口

841a：下端

841b：突起部

843、843b：凸部

844：間隙

845：突起

845a、845b、851a、851b：斜面

845c：頂部

846：抵接面

847a：貫穿孔

847b：接合部

848a、848b：傾斜面

849、850：連接面

851：突起部

j：軸芯

p1：渦輪泵部

p2：霍爾威克泵部

r：旋轉體單元

具體實施方式

以下，參照圖式來對用於實施本發明的形態進行說明。

-第1實施方式-

圖1是表示本發明的油潤滑軸承裝置的一實施方式的圖，是搭載有油潤滑軸承裝置的渦輪分子泵1的剖面圖。另外，渦輪分子泵1上連接有供給電力的電源單元(unit)，圖1中省略了圖示。

圖1所示的渦輪分子泵1包括如下泵部作為排氣功能部：渦輪泵部p1，具備渦輪葉片；以及霍爾威克(holweck)泵部p2，具備螺旋型的槽。當然，本發明並不限於排氣功能部具備渦輪泵部p1以及霍爾威克泵部p2的真空泵，也能夠應用於僅具備渦輪葉片的真空泵、僅具備西格班(siegbahn)泵或霍爾威克泵等牽引泵(dragpump)的真空泵、或者將它們組合而成的真空泵。

渦輪泵部p1包括形成於泵葉輪3的多段旋轉葉片30、及配置在基座(base)2側的多段固定葉片20。另一方面，設在渦輪泵部p1的排氣下遊側的霍爾威克泵部p2包括形成於泵葉輪3的圓筒部31、及配置在基座2側的定子(stator)21。在圓筒狀定子21的內周面形成有螺旋槽。多段旋轉葉片30與圓筒部31構成旋轉側排氣功能部，多段固定葉片20與定子21構成固定側排氣功能部。

泵葉輪3緊固於軸10，該軸10由馬達(motor)4旋轉驅動。對於馬達4，例如使用直流(directcurrent，dc)無刷(brushless)馬達，在基座2上設有馬達定子4b，在軸10側設有馬達轉子4a。包含軸10和泵葉輪3的旋轉體單元r由使用永磁鐵6a、6b的永磁鐵磁軸承6與作為滾動軸承的滾珠軸承8旋轉自如地予以支撐。

永磁鐵6a、6b是沿軸向經磁化的環(ring)狀的永磁鐵。設於泵葉輪3的多個永磁鐵6a以同極彼此相向的方式而沿軸向配置有多個。另一方面，固定側的多個永磁鐵6b被安裝在固定於泵殼體(pumpcasing)12的磁鐵支架11上。這些永磁鐵6b也是以同極彼此相向的方式而沿軸向配置有多個。設於泵葉輪3的永磁鐵6a的軸向位置被設定成，較配置於其內周側的永磁鐵6b的位置而為稍上側。即，旋轉側的永磁鐵的磁極相對於固定側的永磁鐵的磁極而沿軸向偏離規定量。根據該規定量的大小，永磁鐵磁軸承6的支撐力不同。圖1所示的例子中，永磁鐵6a被配置在圖示上側，因此藉助永磁鐵6a與永磁鐵6b的斥力，徑(radial)向的支撐力與軸向朝上(泵排氣口側方向)的力作用於旋轉體單元r。

在磁鐵支架11的中央，固定有保持滾珠軸承9的軸承支架(bearingholder)13。圖1中，對於滾珠軸承8、9使用深溝球軸承，但並不限於此，例如也可使用角接觸軸承(angularcontactbearing)。滾珠軸承9作為限制軸上部的徑向擺動的接觸停止軸承(touchdownbearing)發揮功能。在恆定旋轉狀態下，軸10與滾珠軸承9不會發生接觸，而在受到大的幹擾的情況、或者在旋轉的加速時或減速時軸10的偏擺變大的情況下，軸10會接觸到滾珠軸承9。

滾珠軸承8由被保持固定於基座2的軸承支架114予以保持。在滾珠軸承8的外周側，設有環狀的徑向緩衝部(radialdamper)116。對於徑向緩衝部116的材料，使用橡膠等彈性體(elastomer)。滾珠軸承8為油潤滑式的滾動軸承，具備用於對滾珠軸承8供給潤滑油的潤滑油貯藏部、即油芯101。油芯101被保持於軸承支架114與下蓋15之間。

圖2是將包含滾珠軸承8及油芯101等的油潤滑軸承裝置100的部分放大表示的圖。滾珠軸承8中，內輪82通過作為錐形構件發揮功能的錐型螺母102而固定於軸10。錐型螺母102被裝卸自如地設於形成有公螺紋的軸10的下端。滾珠軸承8的外輪81通過軸承壓片103而固定於軸承支架114。轉動體83由保持器84予以保持。

錐型螺母102的外周面成為從抵接於滾珠軸承8的內輪82的一側朝向前端而變細的錐形面102a。即，錐形面102a成為朝向內輪82而為上坡的傾斜面。在環狀油芯101的內周面，形成有朝內側突出的接觸部101a，該接觸部101a接觸至錐型螺母102的錐形面102a。油芯101包含可保持潤滑油的氈狀或海綿(sponge)狀的構件，保持有潤滑油。在滾珠軸承8的外輪81與油芯101之間，以與它們接觸的方式而設有圓管構件104。圓管構件104是利用毛細管現象來將外輪81的潤滑油傳遞至油芯101的構件。例如，既可在圓管的內周面形成有多孔質體，也可使用如氈之類的纖維狀者，還可由海綿或燒結金屬之類的多孔質物質等形成。

圖3是表示保持器84的外觀形狀的立體圖。在保持器84中，形成有多個保持轉動體83的袋體840。圖3所示的保持器84為冠型保持器，袋體840成為保持器84的軸向上側的一部分打開的貫穿孔。另外，本實施方式中是以冠型保持器為例來進行說明，但並不限定於該形式的保持器。

在保持器84的外周面，與袋體840的外輪側開口840c鄰接地形成有錐形面841。如圖2的剖面圖所示，錐形面841以隨著接近保持器84的潤滑油貯藏部(油芯101)側的端部840e(參照圖3)而遠離保持器841的中心軸(軸芯j)的方式而傾斜。即，錐形面841是形成於與外輪側開口840c鄰接的保持器外周面，且朝向油芯101而為上坡的傾斜面。錐形面841的下端841a更下側的外周面成為半徑減小的錐形面842，錐形面841的下端841a成為保持器84的最外徑。

而且，在袋體840的內周面840a，形成有刮取部840b，該刮取部840b用於刮取附著於轉動體83表面的潤滑油。另外，刮取部840b呈微小的凹凸形狀，圖3中，用虛線示出了形成有刮取部840b的範圍(後述的圖4(a)、圖4(b)的情況也同樣)。刮取部840b的具體形狀將後述。

圖4(a)、圖4(b)是對滾珠軸承8旋轉時的轉動體83以及保持器84的動作進行說明的圖。圖4(a)為平面圖，圖4(b)為a箭視圖。轉動體83接觸至內輪82的轉動面82a以及外輪81的轉動面81a。當內輪82如箭頭r1般逆時針旋轉時，轉動體83一邊順時針自轉一邊逆時針公轉運動。當轉動體83逆時針公轉運動時，保持器84也被轉動體83推著作逆時針旋轉。在袋體840的內周面840a上形成的刮取部840b是形成在公轉方向側的內周面840a。圖4(a)、圖4(b)也與圖3的情況同樣，標註有符號840b的虛線示出了形成有刮取部840b的範圍。

如上所述，沿r1方向作公轉運動的轉動體83一邊抵接於保持器84的形成有刮取部840b的一側的內周面840a，一邊沿r2方向自轉。因此，附著於轉動體83表面的潤滑油的一部分被刮取部840b刮取。由於保持器84是以高速沿r1方向旋轉，因此離心力作用於被刮取的潤滑油，從而通過轉動體83與保持器84的內周面840a的間隙而移動到外周面側。另外，保持器84是沿r1方向以內輪82的一半的角速度來旋轉。只要轉動體83不打滑而滾動旋轉，則轉動體83的內輪接觸點為與軸(軸10)相同的角速度，而在外輪接觸點角速度為零，因此其中間位置的轉動體中心的公轉速度為內輪82的一半的角速度。

圖5是對潤滑油的循環路徑進行說明的圖。箭頭r3表示潤滑油的移動路徑(循環路徑)。如上所述，潤滑油被貯藏在油芯101中。通過形成於油芯101的接觸部101a接觸至錐型螺母102的錐形面102a，從而接觸部101a的潤滑油附著於錐形面102a。錐形面102a是從錐型螺母102的前端越接近內輪82則直徑越大的錐形面，即，是朝向內輪82而為上坡的錐形面。因此，當錐型螺母102與軸10一體地高速旋轉時，在離心力的作用下，錐形面102a上的潤滑油將朝半徑更大的方向移動。即，潤滑油如箭頭r3般，在錐形面102a上朝內輪82的方向移動。

從錐形面102a移動至內輪82的潤滑油進入內輪82的轉動面82a，對轉動面82a進行潤滑，並且也附著於轉動體83。當附著有潤滑油的轉動體83自轉時，如上所述，附著於轉動體83的潤滑油的一部分被形成於保持器84的刮取部840b刮取。當被刮取的潤滑油移動至保持器84的外周側所形成的錐形面841時，在離心力的作用下，在錐形面841上朝直徑更大的圖示下側(油芯側)移動。當在錐形面841上朝下側移動的潤滑油到達下端841a時，潤滑油因離心力而飛散，從而附著於外輪81的內周面或圓管構件104。

如上所述，圓管構件104是利用毛細管現象來將外輪81的內周面或者朝向該面飛散而來的潤滑油引導至油芯101的構件，因此能夠不受渦輪分子泵1的安裝姿勢影響地，使從保持器84飛散的潤滑油返回至油芯101。這樣，潤滑油從油芯101被供給至滾珠軸承8，並從滾珠軸承8被回收至油芯101。

在未設刮取部840b的與以往同樣的保持器的情況下，被供給至內輪82的轉動面82a的潤滑油通過轉動體83的旋轉而移動至外輪81的轉動面81a。而且，外輪81的轉動面81a的潤滑油也附著於旋轉的轉動體83而移動至內輪側，但由於滾珠軸承8的內輪82或保持器84高速旋轉，因此，由於作用於潤滑油的離心力，潤滑油容易積留在外輪側。其結果，在外輪81的轉動面81a上，潤滑油容易變得過剩，從而因攪拌阻力的產生而引起的發熱將成為問題。

另一方面，本實施方式中，通過刮取部840b，對於附著於轉動體83的潤滑油的一部分，尤其若潤滑油量變多，形成於轉動體83表面的油膜厚度增加，則會與此相應地予以刮取，因此能夠抑制外輪81的轉動面81a上的潤滑油變得過剩的現象，從而能夠降低攪拌阻力的產生。

而且，由於在保持器84的外周面形成有朝油芯側擴展的形狀(即，朝油芯側為上坡)的錐形面841，因此被刮取部840b刮取的潤滑油將在離心力的作用下，在錐形面841上朝油芯側移動。移動至油芯側的潤滑油將從錐形面841的下端841a飛散，最終被回收至油芯101。

(刮取部840b的具體形狀)

圖6(a)、圖6(b)是表示刮取部840b的形狀的具體例的圖。圖6(a)是表示保持器84的一部分，即，形成有袋體840的刮取部840b的部分的圖。圖6(b)是形成有刮取部840b並將內周面840a展開成平面狀所示的圖。以兩點鏈線所示的圓表示轉動體83。袋體840的內周面840a對應於轉動體83的球面而彎曲，但在圖6(b)中將該彎曲的內周面840a描繪成平面。

圖6(a)、圖6(b)所示的例子中，刮取部840b是在內周面840a的周方向上空開間隔地配置有多個具有矩形剖面的細長的凸部843者。另外，圖6(a)中，對於多個凸部843的一部分省略了圖示。凸部843的延伸方向(長邊方向)成為與保持器84的軸向大致正交的方向。多個凸部843是配置成，沿著內周面840a的邊緣而沿外輪側開口840c的周方向排列。轉動體83如虛線箭頭r2所示般，朝相對於軸向正交的方向自轉。符號830所示的一點鏈線是相當於自轉的轉動體83的所謂赤道的線(line)，轉動體表面的朝向旋轉方向的移動速度在赤道附近為最大，且從該赤道越朝上下遠離則變得越小。因此，多個凸部843是以線830為中心而上下配置，以有效地進行潤滑油的刮取。

由刮取部840b的凸部843所刮取的潤滑油90在轉動體表面與潤滑油90之間的粘性力或作用於潤滑油的離心力的作用下，通過凸部843之間的間隙844而移動至錐形面841側。移動至錐形面841的潤滑油90在離心力的作用下，朝向錐形面841的直徑更大的方向(圖示下側)移動。如圖5所示，在圖示下側配置有油芯101。另外，間隙844的槽深也可如圖6(a)、圖6(b)所示般為固定，但在潤滑油的刮取量增加的情況下，也可構成為越接近錐形面841則變得越深，以便能夠進行應對。

圖7(a)、圖7(b)是表示圖6(a)、圖6(b)所示的刮取部840b的變形例的圖。圖6(a)、圖6(b)所示的結構中，將在圖示上下排列的多個凸部843以沿著錐形面841的方式，沿著內周面840a的右端(外輪側開口840c)而排列配置。另一方面，圖7(a)所示的第1變形例中，將多個凸部843沿著保持器84的軸向而配置。但是，若凸部843與錐形面841的距離過遠，則通過間隙844而移動至圖示右側的潤滑油不附著於錐形面841，而再次附著於轉動體83的可能性變高，因此優選如圖6(a)、圖6(b)所示般靠近錐形面841來配置凸部843。

圖7(b)是表示刮取部840b的第2變形例的圖，表示將凸部843的剖面形狀設為三角形的情況。另外，轉動體83與袋體840的內周面840a嚴格來說並非整個曲面接觸，一般是在自轉的轉動體83的赤道部分(圖6(a)、圖6(b)的符號830所示的部分)與內周面840a接觸。因此，當僅在與赤道部分對應的區域中設有凸部843時，若轉動體83與內周面840a相對地沿軸向(圖示上下方向)移動，則凸部843對潤滑油的刮取將變得不夠充分。因此，本實施方式中，不僅在與赤道部分對應的中央位置，而且在從中央位置朝上下偏離的區域中，也配置有凸部843。

圖8(a)、圖8(b)、圖8(c)表示了刮取部的第3變形例，圖8(b)為c-c剖面圖。第3變形例中，形成有半球形狀的凸部843b。圖8(a)的展開圖所示的例子中，使沿著內周面840a而配置的多個凸部843b沿轉動體83的自轉方向r2配置有兩列。另外，自轉方向r2的列數並不限於兩列，也可如圖8(c)般為一列，還可設置三列以上。

另外，刮取部840b的形狀並不限定於圖6(a)、圖6(b)至圖8(a)、圖8(b)、圖8(c)所示的結構，可採用各種形狀。

根據所述的實施方式，可獲得如下的作用效果。

(1)油潤滑軸承裝置100包括：作為錐形構件的錐型螺母102，設於固定有內輪82的軸10上，且形成有朝向內輪82為上坡的錐形面102a；油芯101，相對於內輪82而配置在設有錐型螺母102的一側；以及接觸部101a，接觸至錐形面102a，以將油芯101的潤滑油供給至錐形面102a。並且，保持器84如圖3所示般包括：袋體840，具有外輪側開口840c與內輪側開口840d，保持轉動體83；刮取部840b，形成於袋體840的內周面840a，刮取附著於轉動體83表面的潤滑油；以及錐形面841，形成在與外輪側開口840c鄰接的保持器外周面，朝向油芯101為上坡。

這樣，通過在保持器84上設置刮取部840b，能夠抑制從轉動體83移動至外輪81的轉動面81a的潤滑油。其結果，能夠防止在外輪81的轉動面81a上潤滑油變得過剩的現象，從而能夠抑制因攪拌阻力造成的發熱。尤其，在根據排氣負載而變更旋轉速度來運轉的泵中，錐型螺母102對潤滑油的輸送液量也會發生變動，因此，如果採用無論在何種條件下都能確保潤滑油量的設計，則在最高轉速下將會造成超過必要的輸送液量，另一方面，因攪拌阻力造成的溫度上升將變得顯著。因此，在旋轉速度高的情況下也能確保刮取量對於旋轉的維持而言是重要的要素，而在旋轉速度高的情況下，轉動體83與保持器84的刮取部840b接觸的次數也會增加，因此恰到好處。

進而，在與袋體840的外輪側開口840c鄰接的保持器外周面，形成有朝向油芯101為上坡的錐形面841，因此被刮取部840b刮取而附著於錐形面841的潤滑油朝向油芯101的方向移動而飛散。其結果，作為多餘的潤滑油而從滾珠軸承8排出的潤滑油將被回收至油芯101，從而能夠構成可實現潤滑油的供給及回收的潤滑油循環系統。

而且，在如專利文獻1所記載的裝置般，潤滑油朝與潤滑油貯藏部不同的方向排出的結構中，必須在泵基座側形成用於使排出的潤滑油返回至潤滑油貯藏部的路徑，從而結構變得複雜，並且會導致成本上升。但是，所述的實施方式中，是將從形成有刮取部840b的保持器84所刮取的潤滑油排出至潤滑油貯藏部(油芯101)側，因此不需要在泵基座側形成複雜的路徑。

另外，圖3所示的保持器84中，遍及保持器84的外周面的一周而形成有錐形面841。但是，也可如圖10所示，僅將與袋體840的外輪側開口840c鄰接的周圍外周面設為朝向油芯101而為上坡的傾斜面(錐形面841)。

而且，圖3所示的例子中，在內周面840a內，在自轉方向r2從內輪側變成外輪側的區域中形成有刮取部840b。其理由是：當如圖4(b)所示般內輪82沿r1方向旋轉時，一般而言，轉動體83會抵接於該區域。但是，當內輪82沿r1方向旋轉時，轉動體83並不限定於始終抵接於圖3的形成有刮取部840b的一側，也有相對於保持器84而相對緩慢地公轉的轉動體83。因此，也可如圖9所示，不僅在旋轉方向r1(正轉時的保持器84的旋轉方向)側的內周面840a，而且在與旋轉方向r1為相反側的內周面840a也形成刮取部840b。

(2)刮取潤滑油的刮取部840b例如如圖6(a)、圖6(b)所示，具備在內周面840a的外輪側開口840c側的區域中以沿周方向排列的方式而形成的多個凸部843。通過在外輪側開口840c側的區域中形成刮取部840b的凸部843，從而所刮取的潤滑油將有效地移動至錐形面841。而且，轉動體83中，以其軸向中央部分為中心的區域與外輪81以及內輪82的轉動面81a、82a相接觸，因此通過以沿周方向排列的方式形成多個凸部843，從而能夠效率良好地刮取附著於轉動體83的潤滑油。另外，刮取部840b的形狀並不限定於圖6(a)、圖6(b)至圖8(a)、圖8(b)、圖8(c)所記載的結構，能夠應用各種凹凸形狀。

(3)進而，如圖9所示，也可在錐形面841上形成突起845。圖9所示的例子中，在錐形面841的油芯101側的端部形成有突起845。突起845具有斜面845a、845b，且在最接近油芯101的一側(圖示下端)具備尖尖的頂部845c。由刮取部840b刮取而附著於錐形面841的潤滑油90在離心力的作用下，例如箭頭d所示般沿著錐形面841下降，並沿著突起845的斜面845a、845b上升而移動至頂部845c。此種附著於頂部845c的潤滑油比附著於面上的潤滑油更容易飛散。另外，圖9所示的例子中，頂部845c是尖的，但也可並非為尖的。

作為形成突起845的部位，優選由刮取部840b所刮取的潤滑油容易集中的區域，例如可形成在靠近刮取部840b的錐形面841上且錐形面841的直徑達到最大的端部區域。

(4)而且，如圖5所示，優選具備作為潤滑油引導部的圓管構件104，該圓管構件104是較保持器84的外周面更靠外周側配置並與油芯101以及外輪81相接觸，將從錐形面841飛散的潤滑油引導至油芯101。通過設置此種圓管構件104，能夠將從錐形面841飛散的潤滑油切實地回收至油芯101。其結果，無論泵姿勢如何，例如即使在以橫向姿勢或倒立姿勢來使用泵的情況下，也能夠將潤滑油切實地回收至油芯101中。

另外，圖5所示的圓管構件104是以到達外輪81的內周面為止的方式而構成，但也可如圖11(a)所示，以接觸至外輪81的下端面和油芯101的方式來設置圓管構件104。而且，也可如圖11(b)所示，在外輪81的下側設置軸承壓片106，使該軸承壓片106由燒結金屬之類的多孔質材料所形成。或者，也可使用實施有多孔性電鍍的金屬板來作為軸承壓片106。潤滑油由多孔性電鍍層而引導至油芯101。

另外，在應用多孔性電鍍的情況下，在圖2所示的結構中，只要在介隔於外輪81與油芯101之間的基座部形成多孔性電鍍層，便可將該電鍍層用作潤滑油引導部。

-第2實施方式-

在進行高速旋轉的軸承中，轉動體的移動速度非常快。並且，存在由於此時的條件，利用轉動體從內輪的轉動面濺起的潤滑油的量比附著於轉動體的潤滑油的量多的情況。由於離心力作用於內輪的轉動面，因此，尤其是若存在多個靠近轉動面的槽端部的位置的潤滑油比其他位置稍多的部位，則轉動體的通過成為觸發，而容易產生此種現象。這樣，若由轉動體濺起的潤滑油附著於外輪側內周面，則有外輪轉動面上的潤滑油量變得過剩之虞。

第2實施方式中，對能夠有效地防止因此種濺起的潤滑油而引起的外輪側轉動面的潤滑油過剩的潤滑油軸承裝置進行說明。圖12是表示第2實施方式的油潤滑軸承裝置100的剖面圖。圖12是與所述圖5為同樣部分的剖面圖。油潤滑軸承裝置100包括：滾珠軸承8、形成有錐形面102a的錐型螺母102、具有接觸部101a的油芯101及圓管構件104。

第2實施方式中，關於錐型螺母102、油芯101及圓管構件104，與所述第1實施方式的對應的構件為相同構成，滾珠軸承8的保持器84的構成與第1實施方式不同。

圖13是保持器84的分解立體圖。保持器84包含兩個零件(84a，84b)。以下，將這兩個零件稱為下部保持器84a及上部保持器84b。下部保持器84a及上部保持器84b可包含各種材料，例如由聚醯亞胺等合成樹脂材形成。

在下部保持器84a與上部保持器84b彼此抵接的一對面的其中一面上，形成有貫穿孔847a，在另一面上形成有扣合式的接合部847b。圖12、圖13所示的例子中，在下部保持器84a的抵接面846上形成有貫穿孔847a，在上部保持器84b的抵接面846(圖中不可見)上形成有接合部847b。接合部847b接合於貫穿孔847a，由此下部保持器84a與上部保持器84b成一體化。

圖12、圖13所示的例子中，可將保持器84設為使兩個零件接合而成一體的構成，但也可為利用一個零件而成一體，還可為使三個以上的零件接合而成一體。而且，接合結構並非限於接合部847b及貫穿孔847a所示的扣合方式，可使用各種方式。

圖14是對保持器84的面形狀進行說明的圖。在與外輪81相向的保持器84的外周面、即成一體的下部保持器84a及上部保持器84b的外周面上，形成有作為與第1實施方式同樣形狀的傾斜面的錐形面841。即，錐形面841隨著接近作為潤滑油貯藏部的油芯101，自保持器84的軸芯j的距離增加，朝向油芯101而成為上坡的傾斜面。並且，在下部保持器84a的錐形面841的下端形成有從錐形面841朝向外側突出的環狀的突起部841b。

另一方面，在與內輪82相向的保持器84的內周面、即下部保持器84a及上部保持器84b的內周面上，形成有隨著在軸向上遠離油芯101，自軸芯j的距離增加且朝向圖示上側而為下坡的傾斜面(848a，848b)。圖14所示的例子中，在下部保持器84a的內周面上，形成有傾斜面848a，在上部保持器的84b的內周面上，形成有傾斜面848b。進而，在與油芯101為相反側的保持器端部(圖14的圖示上側的保持器端部)，形成有將錐形面841與傾斜面848b連接的彎曲的連接面849。

從油芯101供給至錐型螺母102的錐形面102a的潤滑油在離心力的作用下，如圖14的虛線箭頭r3所示般，在錐形面102a上朝向內輪82側的方向移動。從錐形面102a移動至內輪82的潤滑油進入至內輪82的轉動面82a。積留在內輪82的轉動面82a的潤滑油利用在高速下移動的轉動體83而被濺起，如箭頭r4、箭頭r5般，自轉動面82a的邊緣飛散。飛散的潤滑油附著於在與內輪82相向的保持器84的內周面上所形成的傾斜面848a及傾斜面848b。

保持器84與轉動體83一同在高速下旋轉，因此附著於傾斜面848a的潤滑油在離心力的作用下，朝向自軸芯的距離增加的圖示上方向移動。移動的潤滑油附著於轉動體83。另外，關於下部保持器84a的傾斜面848a，可並不存在該部分。即，在傾斜面848a的部分不存在的情況下或短的情況下，朝向箭頭r4方向飛散的潤滑油大部分朝向油芯101方向飛散，因此不會對外輪中的潤滑油過剩造成影響。

另一方面，附著於傾斜面848b的潤滑油在離心力的作用下，朝向自軸芯j的距離增加的圖示上方向移動，如箭頭r7所示般，從傾斜面848b朝向連接面849移動。連接面849連接至形成於保持器84的外周面的錐形面841，因此連接面849上的潤滑油如箭頭r7所示般移動而朝向錐形面841移動。

錐形面841隨著接近油芯101，自軸芯j的距離增加，朝向油芯101而成為上坡的傾斜面。因此，錐形面841上的潤滑油通過離心力而朝向自軸芯j的距離增加的圖示下方向移動。到達錐形面841的下端的潤滑油通過離心力而集中於突起部841b的前端，如箭頭r8般，朝向外輪方向飛散。飛散的潤滑油如箭頭r9般經由圓管構件104而返回至油芯101。

這樣，從內輪82的轉動面82a飛散的潤滑油由傾斜面848a、傾斜面848b捕捉。尤其是朝向箭頭r5方向飛散的潤滑油若在未安裝上部保持器84b，未由傾斜面848b捕捉的情況下，到達外輪81而附著於此處的可能性高。該情況下，會產生外輪81的轉動面81a處潤滑油變得過剩，而攪拌阻力增大這一問題。

本實施方式的情況下，由傾斜面848b捕捉的潤滑油經由連接面849而連接至錐形面841，因此附著於傾斜面848b的潤滑油通過離心力，以「傾斜面848b→連接面849→錐形面841→突起部841b→圓管構件104」的方式移動。其結果，可利用保持器84的表面使朝向r5方向飛散的潤滑油返回至油芯101。這樣，本實施方式中，能夠防止因飛散的潤滑油而引起的轉動面81a的潤滑油過剩。

另外，本實施方式中，由上下分割的兩個零件(下部保持器84a與上部保持器84b)構成保持器84。一般而言，在深溝球軸承的情況下，能夠通過如所述方式般設為分割結構而組裝。當然也可一體地形成保持器84，尤其是在角接觸型的球軸承的情況下，即使為一體型，也可容易地組裝。

而且，如圖15所示般，在袋體840成為保持器84的軸向上側的一部分打開的貫穿孔的情況下，也可同樣地應用。即，在保持器84的內周面上，形成傾斜面848a、848b。在錐形面841的下端部分形成有突起部841b。另外，形成於保持器84的上端的連接面850為平面狀，因此連接面850與錐形面841及傾斜面848b的連接部分成為尖尖的形狀。這樣，若存在尖尖的部分，則潤滑油容易集中，並容易從此處飛散。因此，優選為設為以兩點鏈線所示的連接面849般彎曲的面形狀，而平滑地將連接面849與錐形面841及傾斜面848b連接。另外，該圖中，以兩點鏈線所示的連接面849以圓輪狀表示，但也可為殘留袋體840的開口部的形狀。與通過開口部的飛散油無法捕捉的部分相應地，效果減小，但即使如此也可期待某種程度的使飛散油返回的效果。

(變形例)

圖16是表示第2實施方式的變形例的圖。在所述第2實施方式中，在保持器84的外周面上形成錐形面841，在內周面上形成傾斜面848a、848b，並且形成將錐形面841與傾斜面848b連接的連接面849。圖16所示的變形例中，進而在外周側的錐形面841上形成突起部851。突起部851在從連接面849側向油芯101側的端部(形成有突起的端部)的方向呈峰狀地延伸而形成。

在圖16所示的突起部851的情況下，是從連接面849起形成至突起部841b為止，但可使軸向長度更短。而且，突起部851成為具有兩個斜面851a、851b交叉的尖尖的頂部的凸形狀，但也可為具有平緩的頂部的凸形狀。

如圖16的虛線箭頭r10般，從內周面側的傾斜面848b經由連接面849而移動至外周面側的潤滑油從連接面849朝向突起部851的斜面851a移動。這是因為，與錐形面841相比，突起部851自軸芯j的距離大，因此更大的離心力作用於潤滑油。斜面851a上的潤滑油通過離心力而接近突起部851的頂部且朝向突起部841b的方向移動。並且，最終會從突起部841b朝向外輪方向飛散。

因此，從保持器84的內周面側移動至外周面側的潤滑油再次附著於袋體840內的轉動體(未圖示)的概率小，大部分通過突起部851而朝向外輪方向飛散，如圖14的箭頭r9般，返回至油芯101。這樣，通過設置突起部851，由傾斜面848b而被引導至外周面側的潤滑油不會積流在外輪81的轉動面81a，而是有效地返回至油芯101。另外，即使在圖15所示的保持器形狀的情況下，通過在外周側的錐形面841上設置突起部851，也能夠發揮同樣的效果。

如上所述，第2實施方式中，如圖14所示般，從內輪82的轉動面82a朝向箭頭r5方向飛散的潤滑油附著於形成在保持器內周面上的傾斜面848b。傾斜面848b成為隨著遠離作為潤滑油貯藏部的油芯101，自軸芯j的距離增加的下坡的傾斜面，因此以遠離油芯101的方式朝向連接面849移動。形成於與油芯101為相反側的保持器端部的連接面849將形成於保持器外周面的錐形面841與傾斜面848b連接，因此朝向連接面849方向移動的潤滑油通過連接面849而朝向錐形面841移動。錐形面841成為隨著接近油芯101，自軸芯的距離增加的上坡的傾斜面，因此移動至錐形面841的潤滑油在錐形面841上朝向油芯101方向移動，並從錐形面841的油芯側端部(軸向下側的端部)飛散。

這樣，從內輪82的轉動面82a飛散而附著於傾斜面848b的潤滑油從外周面側的錐形面841的油芯側端部飛散，因此能夠防止外輪81的轉動面81a的潤滑油變得過剩。

進而，如圖16所示般，在錐形面841上形成有通過鄰接的一對袋體840之間並從連接面849一側朝向油芯101的方向呈峰狀地延伸的突起部851。其結果，從內周面側的傾斜面848b移動至錐形面841的潤滑油通過離心力而朝向突起部851方向移動，並沿著突起部851的山峰朝向油芯側的端部移動。因此，能夠抑制潤滑油從錐形面841進入至袋體840的外輪側開口。

進而，圖16中，袋體840是從周圍封閉的內輪側開口向周圍封閉的外輪側開口貫穿，因此，如圖15所示般，與袋體840的上側(與配置有油芯101的一側為相反側)打開的袋體840的情況相比，保持器的強度提高。而且，若如圖15所示般袋體840上側打開，則有飛散至該部分的潤滑油容易到達外輪側這一缺點，但如圖16所示般封閉的情況下，能夠防止所述朝向外輪側的飛散。袋體840無須所有的袋體840均從周圍封閉的內輪側開口向周圍封閉的外輪側開口貫穿，可一部分的袋體840上側打開。袋體840的開放個數根據保持器的強度與潤滑油的飛散防止效果來選擇。

以上對各種實施方式以及變形例進行了說明，但本發明並不限定於這些內容。例如，所述實施方式中，以渦輪分子泵為例進行了說明，但並不限於渦輪分子泵，本發明能夠應用於各種真空泵的油潤滑軸承裝置，進而，本發明也能夠應用於真空泵以外的裝置的油潤滑軸承裝置。在本發明的技術思想的範圍內想到的其他形態也包含在本發明的範圍內。