滑塊的製造方法和製造用輔件的製作方法
2023-06-14 11:19:01 2
專利名稱：滑塊的製造方法和製造用輔件的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種薄膜磁頭等所使用的滑塊的製造方法以及在滑塊的製造工序中使用的滑塊製造用輔件。
磁碟裝置等所使用的懸浮型薄膜磁頭一般是由後端部形成有薄膜磁頭器件的薄膜磁頭滑塊(以下簡稱為滑塊)構成。一般來說，滑塊具有表面為媒體相向面(空氣軸承面)的導軌部，並且，在空氣流入側端部的附近具有錐形部或階梯部，利用經由錐形部或階梯部流入的空氣，導軌部自磁碟等記錄媒體的表面微微上浮。
而作為薄膜磁頭器件，廣泛使用將寫入用感應式磁性轉換器件和讀出用磁阻(以下寫作MR(Magnetoresistive))器件層疊起來構成的複合型薄膜磁頭器件。
薄膜磁頭器件一般這樣製造，將排列有多列將成為各自包含有薄膜磁頭器件的滑塊的部分(以下稱作滑塊部分)的片料朝一個方向切斷，形成排列有一列滑塊部分的被稱作條塊的塊，在該條塊上製作出導軌部後，將條塊切斷而分離成各個滑塊。
上述滑塊製造工序包括對條塊的媒體相向面實施磨削或研磨等加工的媒體相向面加工工序、以及將片料切成條塊的條塊切斷工序。條塊媒體相向面加工工序和條塊切斷工序的順序如後所述，因媒體相向面加工及片料切成條塊的方法的不同而不同。
在媒體相向面加工工序中，不僅要求包含於條塊中的薄膜磁頭器件的MR高度和喉部高度均在允許範圍內，而且，還要求被加工面的加工精度在允許範圍內。MR高度是指MR器件的媒體相向面一側的端部到相反一側端部的長度(高度)。而喉部高度是指感應式磁性轉換器件中磁極部分的長度(高度)。
現有技術在加工條塊的媒體相向面及將片料切成條塊時，多採用下述方法。其方法為從片料上切下包含有一列滑塊部分的條塊，通過將該條塊的媒體相向面相反一側的面粘接在既定的夾具上而將條塊固定在夾具上，對固定在該夾具上的條塊的媒體相向面進行加工。以下，稱這種方法為第1方法。
另外，現有技術中，作為條塊媒體相向面的加工及將片料切成條塊的方法，除了上述第1方法之外，還有下述第2至第6方法。
第2方法是例如美國專利第5406694號的圖7所示，從片料上切下包含有數列滑塊部分的既定長度的塊，將該塊的媒體相向面相反一側的面粘接在既定的夾具上而將塊固定在夾具上，對固定在該夾具上的塊的媒體相向面進行加工後，從塊上切下媒體相向面已完成加工的條塊。
第3方法是例如日本特開平4-289511號公報的圖3所示，將片料固定在既定的夾具上，對安裝在該夾具上的片料的媒體相向面進行加工後，從片料上切下媒體相向面已完成加工的條塊。
第4方法如日本特開平4-289511號公報的圖7所示，在片料或從片料上切下的包含有數列滑塊部分的既定長度的塊上加工出媒體相向面相反一側的基準面之後，將該基準面粘接在既定的夾具上，從而將片料或塊固定在夾具上，之後，從將要成為媒體相向面的位置切斷片料或塊，在被固定在夾具上的狀態下切制出條塊，並對該條塊的媒體相向面進行加工。
第5方法如日本特開平4-289511號公報的圖8及圖9所示，將相鄰列之間彼此的媒體相向面或彼此的媒體相向面相反一側的面相向地形成的滑塊部分的片料從彼此的媒體相向面相反一側的面相向的位置切斷，從而從片料上切制出包含有兩列滑塊部分的塊，在該塊的兩個端面上通過粘接分別固定住既定的夾具，之後，通過將塊從彼此的媒體相向面相向的位置處切斷，使之分離成固定在各自夾具上的兩個條塊，並對各條塊的媒體相向面進行加工。
第6方法如日本特開平4-289511號公報的
圖10及圖11所示，將相鄰列之間彼此的媒體相向面或彼此的媒體相向面相反一側的面相向地形成有滑塊部分的片料從彼此的媒體相向面相向的位置切斷，從而從片料上切制出包含有兩列滑塊部分的塊，在該塊的一個媒體相向面上通過粘接固定住既定的夾具，對另一個媒體相向面進行加工，之後，在完成加工的該媒體相向面上通過粘接固定住既定的夾具，從所述前一個媒體相向面一側卸下夾具，對該媒體相向面進行加工，將塊從彼此的媒體相向面相反一側的面相向的位置切斷，從而分離成兩個條塊。
上述各種方法中，第1方法是將片料切成包含有一列滑塊部分的條塊，並將該條塊固定在夾具上，以條塊為單位進行媒體相向面的加工，因此，條塊容易受到與夾具之間的粘接面的狀態或粘接不正等影響而產生彎曲等變形。因而存在著如下問題，即容易導致條塊被加工面加工精度低、條塊內構成薄膜磁頭器件的各層(圖形)發生彎曲等變形，並且，難以對MR器件的電阻值以及MR高度、喉部高度進行高精度控制，難以高精度地製造出特性良好的薄膜磁頭滑塊。
在第5和第6方法中，雖然是從片料上切下包含有兩列滑塊部分的塊並將該塊固定在夾具上，但即使在該場合下，由於塊薄而容易變形，因此，也存在與上述第1方法同樣的問題。
與此相比，在第2至第4各方法中不具有將從片料上切下的條塊或包含有兩列滑塊部分的塊以獨立狀態固定在夾具上的工序，故減少了上述問題。但是，在這幾種方法中，當不斷從片料或塊上切下條塊，片料或塊上所剩的滑塊部分的列數減少時也會出現上述問題。特別是在第3和第4方法中，每次切斷條塊時都要進行條塊或塊與夾具的固定以及條塊或塊與夾具的分離，因此，隨著不斷從片料或塊上切下條塊，片料或塊上所剩的滑塊部分的列數將減少時，不得不將包含有列數較少的滑塊部分的較薄的塊以獨立狀態固定在夾具上，因而問題將突出地顯現出來。
並且，在第3和第4方法中，每次切斷條塊時都要進行條塊或塊與夾具的固定以及條塊或塊與夾具的分離，因此，存在作業繁雜且生產效率低的缺點。另外，在第3方法中，由於片料上所剩滑塊部分的列數不同，媒體相向面加工時作為被加工物的片料的形狀將改變，因此，加工時對媒體相向面處理起來不方便，並且，切下的條塊的長度也不一致，因此，不便於向後續工序轉送或在後續工序中進行處理。
此外，在第1至第6方法的任意一種中，由於都是將媒體相向面加工後的條塊從夾具上卸下，並以獨立的狀態向後續工序轉送，因此，在向後續工序轉送時和在後續工序中，輸送用的臂和固定用的部件將直接接觸條塊，故均存在著容易因此而影響薄膜磁頭質量的問題。
本發明的目的是提供一種能夠高精度製造特性良好的滑塊，並且能夠使生產效率得到提高、對滑塊製造工序中中間製造物的處理變得容易的滑塊製造方法和製造用輔件。
本發明的滑塊製造方法為一種以排列有多列將成為具有媒體相向面的滑塊的部分的坯料製造排列有一列將成為滑塊的部分、媒體相向面已實施既定加工的滑塊集合體的滑塊製造方法，包括第1工序以及第2工序，其中在第1工序中，將用來對坯料上所有將成為滑塊的部分進行支承的支承部件接合在坯料上包含有所有將成為滑塊的部分的一個面的面上，在第2工序中包含有加工工序以及切斷工序，在加工工序中，對接合在支承部件上的坯料其一端的一列將成為滑塊的部分的媒體相向面實施既定加工，在切斷工序中，將坯料與支承部件一起切斷、以使媒體相向面已實施既定加工的一列將成為滑塊的部分自坯料分離而成為滑塊集合體。
在本發明的滑塊製造方法中，通過第1工序，將用來對坯料上所有將成為滑塊的部分進行支承的支承部件接合在坯料上包含有所有將成為滑塊的部分的一個面的面上，通過第2工序，反覆實施對接合在支承部件上的坯料其一端的一列將成為滑塊的部分的媒體相向面實施既定加工的加工工序，以及將坯料與支承部件一起切斷、以使媒體相向面已實施既定加工的一列將成為滑塊的部分自坯料分離而成為滑塊集合體的切斷工序，從而製造出滑塊集合體。
在本發明的滑塊製造方法中，第1工序也可包括將輔助支承坯料的輔助支承部件配置在坯料的另一端側，將坯料的所說另一端的面與輔助支承部件二者接合，並將支承部件與輔助支承部件二者接合。
此外，在本發明的滑塊製造方法中，支承部件在坯料的各列將成為滑塊的部分的排列方向上的寬度最好大於坯料的寬度。
此外，在本發明的滑塊製造方法中，輔助支承部件在坯料的各列將成為滑塊的部分的排列方向上的寬度最好與坯料的寬度相等。
此外，在本發明的滑塊製造方法中，支承部件最好是由與坯料的主要部分相同的材質形成。
此外，在本發明的滑塊製造方法中，加工工序包括例如媒體相向面的研磨。
此外，在本發明的滑塊製造方法中，將成為滑塊的部分包含有例如薄膜磁頭器件。
本發明的滑塊製造用輔件為一種以排列有多列將成為具有媒體相向面的滑塊的部分的坯料製造排列有一列將成為滑塊的部分、媒體相向面已實施既定加工的滑塊集合體時所使用的滑塊製造用輔件，具有支承部件，該支承部件在為了對坯料的所有將成為滑塊的部分進行支承而被接合在坯料上包含有所有將成為滑塊的部分的一個面的面上、並在將坯料一端的媒體相向面已實施既定加工的一列將成為滑塊的部分自坯料分離而成為滑塊集合體時，與坯料一起被切斷。
本發明的滑塊製造用輔件中的支承部件支承坯料的所有將成為滑塊的部分，並且，在將媒體相向面已實施加工的一列將成為滑塊的部分自坯料分離而成為滑塊集合體時，與坯料一起被切斷。
本發明的滑塊製造用輔件也可以具有為了對坯料進行輔助支承而配置在坯料的另一端、並與坯料的該端的面以及支承部件相接合的輔助支承部件。
在這種場合下，支承部件對坯料上的所有將成為滑塊的部分進行支承，輔助支承部件接合在坯料的另一端的面上，對坯料進行輔助性支承。
此外，在本發明的滑塊製造用輔件中，支承部件在坯料的各列將成為滑塊的部分的排列方向上的寬度最好大於坯料的寬度。
此外，在本發明的滑塊製造用輔件中，輔助支承部件在坯料的各列將成為滑塊的部分的排列方向上的寬度最好與坯料的寬度相等。
此外，在本發明的滑塊製造用輔件中，支承部件最好是由與坯料的主要部分相同的材質形成。
此外，在本發明的滑塊製造用輔件中，支承部件中與坯料相接合的面上最好形成有供與坯料相接合用的粘接劑逃逸的槽。
此外，在本發明的滑塊製造用輔件中，輔助支承部件中與坯料相接合的面上最好形成有供與坯料相接合用的粘接劑逃逸的槽。
關於本發明的其它目的、特徵以及效果，通過下面的說明可得到充分的了解。
圖1是實施本發明一實施形式所涉及的滑塊製造方法時所使用的滑塊製造裝置一例的立體圖。
圖2是本發明一實施例所涉及的滑塊製造方法的流程圖。
圖3是對本發明一實施例的片料塊形成工序進行說明的說明圖。
圖4A和圖4B是對本發明一實施例中將片料塊接合在支承板上的工序進行說明的立體圖。
圖5A和圖5B是對本發明一實施例中不同寬度片料塊的處理進行說明的說明圖。
圖6是展示本發明一實施例中片料塊、支承板以及輔助塊的接合作業時的狀態的俯視圖。
圖7是圖6的7-7線剖視圖。
圖8A和圖8B是展示本發明一實施例的支承板表面形狀一例的說明圖。
圖9A和圖9B是展示本發明一實施例的輔助塊表面形狀一例的說明圖。
圖10是本發明一實施例中將片料塊、支承板以及輔助塊固定在保持架上的狀態的立體圖。
圖11是說明對本發明一實施例中片料塊的媒體相向面實施既定加工的工序的立體圖。
圖12是展示本發明一實施例的將帶子粘貼在片料塊的媒體相向面上時的狀況的立體圖。
圖13是圖1所示加工裝置的支承板保持部和帶子保持部的立體圖。
圖14是圖1所示加工裝置的支承板保持部和帶子保持部的剖視圖。
圖15是本發明一實施例中帶子的一個例子的剖視圖。
圖16是本發明一實施例中帶子的另一個例子的剖視圖。
圖17是本發明一實施例中帶子的又一個例子的剖視圖。
圖18是本發明一實施例中利用帶子自動傳送條塊的例子的說明圖。
圖19是本發明一實施例中帶子的又一個例子的剖視圖。
圖20是本發明一實施例中帶子的又一個例子的俯視圖。
圖21是本發明一實施例中片料塊媒體相向面的加工與切斷工序的說明圖。
圖22是本發明一實施例的條塊和支承板的切片的立體圖。
圖23是本發明一實施例中為修整切斷後的條塊而將條塊裝在研磨用夾具中時的狀態的剖視圖。
圖24是對本發明一實施例的切斷後條塊的修整工序進行說明的立體圖。
圖25是本發明一實施例中將帶子自條塊和支承板切片上剝離的工序的立體圖。
圖26是本發明一實施例中將條塊和支承板切片二者分離的工序的立體圖。
圖27是對本發明一實施例中利用帶子形成導軌部的工序進行說明的剖視圖。
圖28是對本發明一實施例中利用帶子形成導軌部的工序進行說明的剖視圖。
圖29是對本發明一實施例中利用帶子形成導軌部的工序進行說明的剖視圖。
下面，參照附圖對本發明的實施形式進行詳細的說明。首先，參照圖1對本發明一實施形式所涉及的滑塊的製造方法作簡單說明。圖1是實施本實施形式所涉及的滑塊製造方法時所使用的滑塊加工裝置的一例的立體圖。
本實施例所涉及的滑塊的製造方法是由作為排列有多列包含有各自的薄膜磁頭器件且成為具有媒體相向面的滑塊的部分(以下稱作滑塊部分)的片料塊21，製造作為排列有一列滑塊部分、媒體相向面已實施既定加工的作為滑塊集合體的條塊51的方法。本實施例所涉及的滑塊製造方法包括第1工序和第2工序。
在第1工序中，首先，以排列有多列滑塊部分的片料形成片料塊21。其次，將作為用來支承片料塊21上所有滑塊部分的作為支承部件的支承板22與片料塊21的包含有所有滑塊部分的一個面的面中與形成有薄膜磁頭器件的面相反一側的面相接合。另外，在第1工序中，在片料塊21的媒體相向面相反一側配置作為輔助支承片料塊21的輔助支承部件的輔助塊23，將片料塊21的媒體相向面相反一側的面與輔助塊23二者接合，並將支承板22與輔助塊23二者接合。
第2工序包括加工工序和切斷工序，其中，加工工序對接合在支承板22上的片料塊21其媒體相向面一側一列滑塊部分的媒體相向面實施既定的加工，切斷工序將片料塊21和支承板22二者一起切斷、以使媒體相向面已實施既定加工的一列滑塊部分自片料塊21上分離而成為條塊51，加工工序和切斷工序重複進行。
本實施形式中的滑塊製造用輔件由支承板22和輔助支承板23構成。
圖1所示滑塊加工裝置是在上述第2工序中實施切斷工序時所使用的裝置。該加工裝置具有對片料塊21進行切斷作業的切斷機構部1和對自片料塊21分離的條塊51進行收容作業的收容部2。
切斷機構部1具有裝置本體3，設置在該裝置本體3上、向左右方向延伸的導軌4，靠未圖示的驅動裝置驅動、可沿導軌4移動的可動部5，設置在該可動部5上、對接合有片料塊21的支承板22進行吸持的支承板保持部6，設置在該支承板保持部6上的一側、在將片料塊21與支承板22二者一起切斷時用來對粘貼在片料塊21中媒體相向面上的帶子24進行吸持的帶子保持部7，用來將片料塊21與支承板22二者一起切斷的切斷刀片8，以及支承該切斷刀片8的旋轉軸8a的刀片支承部9。刀片支承部9內設有驅動切斷刀片8的旋轉軸8a旋轉的未圖示的電機。另外，支承板保持部6上連接有用來吸持支承板22的吸管10。
收容部2具有底座11，設置在該底座11上、載有託盤13並能夠在未圖示的驅動裝置驅動下向前後方向移動的託盤臺12，將自片料塊21分離的條塊51收容到託盤13中的真空鑷子14，以及設置在底座11上、驅動真空鑷子14向上下左右方向移動的驅動裝置15。真空鑷子14上連接有吸管16。
下面，參照圖2的流程圖對本實施例所涉及的滑塊製造方法進行說明。在本發明所涉及的滑塊製造方法中，首先，以排列有多列各自包含有薄膜磁頭器件的滑塊部分的片料形成片料塊21(步驟S101)，其次，將該片料塊21接合到支承板22上(步驟S102)。之後，對接合在支承板22上的片料塊21其媒體相向面一側的一列滑瑛部分的媒體相向面實施既定的加工(步驟S103)，將片料塊21與支承板22一起切斷、以使媒體相向面已實施既定加工的一列滑塊部分自片料塊21分離而成為條塊51(步驟S104)。然後，判斷是否還有片料塊21(步驟S105)，還有時(是)，返回步驟S103，沒有時(否)，結束與條塊51的製造有關的處理。圖2中，步驟S101和步驟S102對應於第1工序，步驟S103至步驟S105對應於第2工序。
下面，對圖2中的各工序按順序詳細進行說明。
首先，參照圖3對形成片料塊21的工序(圖2的步驟S101)進行說明。圖3示出排列有多列各自包含有薄膜磁頭器件18的滑塊部分的片料20。該片料20的主要部分由例如氧化鋁·碳化鈦(Al2O3·TiC)形成，薄膜磁頭器件18周圍的局部由例如氧化鋁(Al2O3)形成。本實施例中，是將片料20切斷而形成排列有多列滑塊部分的多個片料塊21的。各片料塊21呈包含有所有滑塊部分的一個面的面(圖3中向讀者展現的面)為矩形的片狀。本實施形式中，包含於片料塊21的滑塊部分的列數隻要大於或等於2即可，但最好是大於或等於4，在10～20的範圍內則更好。
下面，參照圖4A及圖4B、圖5A及圖5B、圖6、圖7、圖8A及圖8B、圖9A及圖9B對將片料塊21接合到支承板22上的工序(圖2的步驟S102)進行說明。在該工序中，如圖4A所示，事先準備好片料塊21、用來支承片料塊21上的所有滑塊部分的支承板22、以及用來對片料塊21進行輔助性支承的輔助塊23，並如圖4B所示，將它們彼此接合。具體地說，就是在支承板22上放置片料塊21，使片料塊21中包含所有滑塊部分的一個面的面與支承板22的上表面相對，並且，將輔助塊23放置在支承板22上片料塊21媒體相向面21a相反一側，將片料塊21與支承板22彼此相向的面、片料塊21與輔助塊23的彼此相向的面、以及輔助塊23與支承板22的彼此相向的面分別以粘接劑接合。在將片料塊21接合到支承板22上時，使形成有薄膜磁頭器件18的面的相反一側的面與支承板22相對。
其中，因支承板22要支承片料塊21的所有滑塊部分，故片料塊21中各列滑塊部分的排列方向上的寬度必須等於或大於片料塊21的寬度。特別是，支承板22的寬度最好大於片料塊21的寬度。這是因為若支承板22的寬度大於片料塊21的寬度，則對片料塊21的操作變得容易，例如在對呈接合在支承板22上狀態的片料塊21實施既定的加工時，可不與片料塊21直接接觸地將片料塊21通過支承板22固定在夾具上。支承板22的寬度相對於片料塊21的寬度，最好是單側至少大2～3mm，總體至少大4～6mm。支承板22的厚度可根據強度和操作的方便性適當設定。
此外，關於支承板22的材質，從將支承板22與片料塊21一起切斷考慮，最好是能夠高精度地進行切斷的陶瓷。另外，由於在片料塊21與支承板22二者以較大接觸面積相接合併採用熱塑性粘接劑作為粘接劑的場合，需要對片料塊21與支承板22加熱，因此，支承板22的材質最好是熱膨脹係數與片料塊21相近的材質，特別是，最好是與片料塊21的主要部分的材質例如氧化鋁·碳化鈦相同的材質。此外，被加工物不同其切斷條件也不同，而當支承板22的材質為與片料塊21主要部分相同的材質時，切斷條件易於設定，從這一點來說，也最好是支承板22的材質與片料塊21主要部分的材質相同。
而作為輔助塊23，其在片料塊21各列滑塊部分的排列方向上的寬度只要接近片料塊21的寬度即可，但特別是從易於處理考慮，最好是與片料塊21的寬度相等。而輔助塊23的厚度最好是片料塊21的同等程度。
如圖3所示，片料塊21是從圓形的片料20上切下來的，故有如圖5A所示寬度較大的和圖5B所示寬度較小的。為此，最好是與片料塊21的寬度相應地準備好寬度不同的多個輔助塊23，如圖5A和圖5B所示地將寬度與片料塊21的寬度相同的輔助塊23接合在片料塊21上。
另外，關於輔助塊23的材質，雖說只要具有一定強度而不易變形的材質即可，但最好是能夠以高精度形成的陶瓷，例如氧化鋁·碳化鈦、氧化鋁、氧化鋯(ZrO2)等。以熱塑性粘接劑作為粘接劑使用的場合需對片料塊21與輔助塊23加熱，因此，輔助塊23的材質最好是熱膨脹係數與片料塊21相近的材質，特別是，最好是與片料塊21的主要部分的材質、例如氧化鋁·碳化鈦相同的材質。
下面，參照圖6和圖7，針對在片料塊21、支承板22以及輔助塊23的接合作業中進行定位的方法舉一例進行說明。圖6是展示片料塊21、支承板22以及輔助塊23的接合作業作業狀態的俯視圖，圖7是圖6的7-7線剖視圖。在該例中，使用了片料塊21、支承板22以及輔助塊23定位用定位臺32。在該定位臺32上設有在與片料塊21各列滑塊部分的排列方向相垂直的方向上對片料塊21和支承板22的位置進行限定的限定部33，以及在滑塊部分排列方向上對片料塊21和輔助塊23的位置進行限定的限定部34、34。
在對片料塊21、支承板22以及輔助塊23進行固定時，在它們彼此相接合的面的至少一個面上塗敷粘接劑後，如圖6和圖7所示，將支承板22放置在定位臺32上，在該支承板22上放置片料塊21和輔助塊23。並且，使與滑塊部分排列方向相垂直的方向上的片料塊21和支承板22的端部與限定部33相牴觸，同時，使滑塊部分排列方向上的片料塊21和輔助塊23的各端部分別與限定部34、34相牴觸。這樣，可使與滑塊部分排列方向相垂直的方向上的片料塊21和支承板22的端部位置對齊，並且使滑塊部分排列方向上的片料塊21和輔助塊23的端部位置對齊，在該狀態下，將片料塊21、支承板22以及輔助塊23彼此接合。如圖7所示，作為限定部33，是配置在與片料塊21的端部及支承板22的端部相接觸的位置上，並且，在其與片料塊21及支承板23相接觸的端部上、與片料塊21和支承板22的交界部分相對應的部位形成有供粘接劑逃逸的槽33a。而限定部34、34不與支承板22接觸，分別配置在僅與片料塊21的端部和輔助塊23的端部相接觸的位置上。
在這裡，作為將片料塊21、支承板22以及輔助塊23接合的粘接劑，可根據片料塊21、支承板22以及輔助塊23的材質，選用適當的熱塑性粘接劑或氰基丙烯類粘接劑等。
下面，參照圖8A及圖8B、圖9A及圖9B對支承板22和輔助塊23的表面形狀的一例進行說明。圖8A是支承板22的俯視圖，圖8B是支承板22的側視圖。圖9A是輔助塊23的俯視圖，圖9B是輔助塊23的側視圖。如這些附圖所示，本例中，支承板22中與片料塊22相接合的面上形成有多個供與片料塊21實現接合的粘接劑逃逸的槽36。而輔助塊23中與片料塊21相接合的面上形成有多個供與片料塊21實現接合的粘接劑逃逸的槽37。
由於設置這些槽36、37，可使片料塊21與支承板22之間以及片料塊21與輔助塊23之間的粘接劑層較薄，提高呈接合狀態的片料塊21、支承板22以及輔助塊23的強度。
其中，支承板22上的槽36最好是向與片料塊21中各列滑塊部分排列方向相垂直的方向延伸而形成。這是因為，通過這樣形成槽36在將片料塊21切成條塊51後，對於各個條塊51而言，條塊51與支承板22的切片之間的接合面積均相同。
另外，支承板22上的多個槽36最好是以與片料塊21上各列滑塊部分的配置間距相等的間距形成。並且，最好是使這樣形成的槽36位於片料塊21的各列滑塊部分中相鄰滑塊部分相分離的位置上地確定片料塊21和支承板22的位置。這是因為，這樣做的結果，對於各個滑塊部分來說，滑塊部分與支承板22之間的接合面積均相同。各列滑塊部分的配置間距例如為1mm左右。
輔助塊23上的多個槽37與支承板22上的多個槽36同樣，最好是以與片料塊21上各列滑塊部分的配置間距相等的間距形成，並且，最好是使這樣形成的槽37位於片料塊21各列滑塊部分之相鄰滑塊部分相分離的位置上地確定片料塊21和輔助塊23的位置。
各槽36、37的深度與寬度以均為0．1～0．2mm左右為宜。
下面，參照圖10和圖11，對接合在支承板22上的片料塊21其媒體相向面一側的一列滑塊部分的媒體相向面進行既定加工的工序(圖2的步驟S103)進行說明。在該工序中進行諸如使用磨削裝置進行的磨削和使用研磨裝置進行的研磨等加工，最終準確地加工出MR器件的電阻值以及MR高度和喉部高度。
作為本實施形式，在進行上述工序時，如圖10所示，將接合為一體的片料塊21、支承板22以及輔助塊23固定在作為加工用夾具的保持架38上。進行這一固定時，例如使用壓板(緊固工具)39、39將支承板22壓住。這樣，可不直接接觸片料塊21而將片料塊21固定在保持架38上。
圖11簡略示出對片料塊21媒體相向面一側的一列滑塊部分的媒體相向面進行研磨的工序。該工序中，如圖10所示地固定有片料塊21、支承板22以及輔助塊23的保持架38安裝在研磨裝置的被研磨物保持部40上，並放置到研磨卡盤41上，通過旋轉的研磨卡盤41，對片料塊21媒體相向面一側的一列滑塊部分的媒體相向面進行研磨。進行該研磨時，為了能夠準確地加工出MR器件的電阻值以及MR高度和喉部高度，採用電導引研磨或光學導引研磨方式控制研磨量。
下面，參照圖12至圖22對片料塊21和支承板22的切斷工序(圖2的步驟S104)進行說明。
在該工序中，如圖12所示，將片料塊21和支承板22一起切斷、以使媒體相向面21a已實施既定加工的一列滑塊部分31自片料塊21分離而成為條塊51。本實施形式中，為了在進行該切斷時對媒體相向面21a加以保護，進行切斷時，將片料塊21的媒體相向面21a和與該媒體相向面21a一起進行過加工的支承板22的端面以帶子24覆蓋。此時，最好是使用帶有粘接力的帶子作為帶子24，並在進行切斷之前，將帶子24粘貼在片料塊21的媒體相向面21a和支承板22的端面上。另外，帶子24最好是能夠緩和對片料塊21的媒體相向面21a的衝擊的、具有彈性的帶子。
粘貼有帶子24的片料塊21、支承板22以及輔助塊23放置在圖1所示加工裝置的支承板保持部6上。
圖13是圖1所示加工裝置的支承板保持部6和帶子保持部7的立體圖，圖14是圖1所示加工裝置的支承板保持部6和帶子保持部7的剖視圖。如這些附圖所示，在支承板保持部6上表面放置支承板22的位置處形成有由長圓形凹部構成的吸附部55。該吸附部55上連通有吸管10。而帶子保持部7的與帶子24相接觸的位置上形成有由長圓形凹部構成的吸附部56。該吸附部56上連通有吸管57。圖13所示的例子中，吸管57的端部一側分為3個分支，各分支部分的端部連接在吸附部56上。吸管10、57分別與未圖示的抽氣裝置相連接。
粘貼有帶子24並放置在支承板保持部6上的片料塊21、支承板22以及輔助塊23，其支承板22受吸附部55吸附、帶子24受吸附部56吸附，故而被固定在支承板保持部6和帶子保持部7上。在該狀態下，如圖14所示，為將媒體相向面21a已實施既定加工的一列滑塊部分31自片料塊21分離而成為條塊51，以刀具8將片料塊21和支承板22一起切斷。進行切斷時，向切斷部位供給磨削液。進行該切斷之後，條塊51及支承板22的切片52將與帶子24一起受到帶子保持部7的保持。在支承板保持部6與帶子保持部7之間與刀具8相向的位置處形成有用來容納刀具8的前端部的凹部58。
圖15至圖20示出帶子24的幾個種類。圖15、圖16、圖17及圖19示出帶子中與長度方向相垂直的剖面。圖20是與之相應的帶子的俯視圖。
圖15所示的帶子24A從一個面開始按基底材料241、粘接劑層242、隔離膜(覆蓋膜)243的順序層疊而成。帶子24A的整體厚度為0．1mm左右。作為構成基底材料241的材質，除了聚氯乙烯(PVC)、聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚烯烴類等有機材質之外，還可以使用紙或布等材質。構成粘接劑層242的粘接劑可以使用例如一般的丙烯酸類粘接劑等有機粘接劑。
圖15所示的帶子24A在使用時，剝去隔離膜243，將片料塊21和支承板22的端面粘貼到因此而露出的粘接劑層242上。
另外，作為帶子24A，也可以是粘接劑層242為紫外線(UV)固化型材質構成的紫外線固化型帶子。作為這樣一種紫外線固化型帶子，例如有林特克(LINTEC)株式會社製造的UV固化型Daishingu帶子「D系列(D-series)」(商品名)。這種紫外線固化型帶子當受到紫外線的照射時，粘接劑層242的粘接力將降低。因此，使用這種紫外線固化型帶子作為帶子24A時，在將帶子24A自條塊51上剝離時，可用紫外線照射帶子24A，從而能夠很容易地將帶子24A從條塊51上剝離而不會殘留粘接劑(以下稱作殘留膠)。
此外，作為帶子24A，也可以使用粘接劑層242由熱剝離型材質構成的熱剝離型帶子。作為這種熱剝離型帶子，例如有日化精工(NIKKASEIKO)株式會社製造的「SKY SHEET」(商品名)，和日東電工(NITTODENKO)株式會社製造的「REVALPHA」(商品名)。這種熱剝離型帶子受熱時，粘接劑層242的粘接力將降低。因此，使用這種熱剝離型帶子作為帶子24A時，在將帶子24A從條塊51上剝離時，可通過加熱帶子24A很容易地將帶子24A從條塊51上剝離而不會有殘留膠。
此外，作為帶子24A，也可以使用基底材料241含有導電性物質而具有防帶電功能的防帶電帶子。作為這種防帶電帶子，有東洋化學(TOYOCHEMICAL)株式會社製造的ELEGRIP「E系列」(商品名)。使用這種防帶電帶子作為帶子24A並以該帶子保護滑塊部分的媒體相向面，則能夠防止條塊51內滑塊的靜電擊穿，特別是，能夠避免人員手工操作導致條塊51內薄膜磁頭器件靜電擊穿。
圖16所示帶子24B是基底材料241中添加有增加強度的增強絲244、244的帶子，其它結構與功用與圖15所示的帶子24A相同。作為增強絲244的材質，可使用尼龍(Nylon)(商品名)或金屬等。
圖17所示的帶子24C是基底材料241中與粘接劑層242相反一側的面上粘貼有增加強度的增強層245的帶子，其它結構與功用與圖15所示的帶子24A相同。作為增強層245的材質，可使用尼龍(Nylon)(商品名)或紙等。
在使用圖16和圖17所示強度得到提高的帶子24B、24C的場合，如圖18所示，帶子24B、24C可通過將卷繞在一個捲軸246上的帶子24B、24C卷送到另一個捲軸247上的形式進行輸送，若以條塊51和支承板22的切片52接合在帶子24B、24C上的狀態下輸送帶子24B、24C，則能夠自動輸送切斷後的條塊51和支承板22的切片52。
圖19所示的帶子24D是利用用於光蝕刻的乾式抗蝕膜而製成的帶子。該帶子24D是將光致抗蝕材料構成的抗蝕層248及覆蓋膜249層疊而構成的。作為這種乾式抗蝕膜，例如有FUJIFILM OLIN株式會社製造的VANX DRY FILM PHOTORESIST U-120(商品名)。在使用這種乾式抗蝕膜作為帶子24D的場合，是將片料塊21和支承板22的端面通過例如熱壓粘接在抗蝕層248上。
圖20所示的帶子24E是沒有粘接劑層的帶子，即不具有粘接力的帶子。作為這種帶子24E的材質，例如可以使用與帶子24A的基底材料241相同的材質。該帶子24E上，沿長度方向形成有多個孔250。在切斷片料塊21和支承板22時，將該帶子24E插在片料塊21和支承板22的端面與帶子保持部56的吸附部56之間。在該狀態下，當通過吸管57從吸附部56抽走空氣時，通過帶子24E的孔250，將片料塊21和支承板22的端面吸向吸附部56側。其結果，帶子24E被保持在吸附部56與片料塊21及支承板22的端面之間。
在切斷片料塊21和支承板22、獲得條塊51和支承板22的切片52後，只要還有片料塊21存在，則對剩下的片料塊21再次重複進行媒體相向面的加工(圖2的步驟S103)和片料塊21和支承板22的切斷(圖2的步驟S104)。另外，在片料塊21的形成有薄膜磁頭器件的面上形成有作為切斷位置基準的加工標識，在切斷片料塊21和支承板22時，以該加工標識作為基準對準切斷位置。
圖21示出上述步驟S103和步驟S104的重複進行。圖21的上圖示出處於接合在支承板22上的狀態下的片料塊21的媒體相向面的加工，該加工結束之後，如圖21的中圖所示，將片料塊21和支承板22二者一起切斷、以使媒體相向面已實施加工的一列滑塊部分自片料塊21分離而成為條塊51。之後，如圖21的下圖所示，所獲得的條塊51和支承板22的切片52轉入下一道工序。並且，在還有片料塊21存在的場合，對剩下的片料塊21再次進行圖21的上圖所示的媒體相向面的加工。
圖22示出將片料塊21和支承板22一起切斷後所獲得的條塊51和支承板22的切片52。在圖1所示的加工裝置中，將片料塊21和支承板22切斷後，條塊51和支承板22的切片52與帶子24一起受到帶子保持部7的保持。在圖1所示的加工裝置中，此後，可動部5向收容部2側移動，真空鑷子14向切斷機構部1側移動，真空鑷子14對條塊51和支承板22的切片52進行保持，並收容到託盤13內。其中，真空鑷子14對條塊51和支承板22的切片52的保持是通過吸附支承板22的切片52進行的。
下面，參照圖23至圖29對針對條塊51的後續工序進行說明。
在本實施形式中，首先，為了修整切斷後的條塊51的切斷部位即媒體相向面相反一側的面，對媒體相向面相反一側的面進行研磨。圖23和圖24是將條塊51裝在研磨用夾具時的剖視圖。如該圖所示，研磨用夾具具有載體61和施重部件62。載體61具有厚壁圓筒形圓筒部63以及呈可將該圓筒部63的下端部閉塞的狀態形成的圓板狀圓板部64。圓板部64上形成有用來收容被加工物的多個孔65。施重部件62具有插入載體61圓筒部63內的凸部66。該凸部66的下端部上安裝有襯墊67。
在研磨條塊51的媒體相向面相反一側的面時，將載體61放置在研磨卡盤68上，將條塊51和支承板22的切片52以媒體相向面相反一側的面朝下的狀態收容在載體61圓板部64的孔65內。並且，將施重部件62的凸部66插入載體61的圓筒部63內。圓板部64的厚度例如為0．2mm左右，條塊51的厚度例如為0．3mm左右。因此，施重部件62的凸部66的下端部不會接觸到圓板部64。這樣，施重部件62產生的負荷將施加在條塊51上。並且，在該狀態下，載體61在旋轉的研磨卡盤68上旋轉，從而對條塊51的媒體相向面相反一側的面進行研磨。
經過上述研磨，對條塊51的媒體相向面相反一側的面進行修整後，如圖25所示，將帶子24從條塊51和支承板22的切片52上剝離。此時，在使用紫外線固化型帶子作為帶子24的場合，以紫外線照射帶子24，在使用熱剝離型帶子作為帶子24的場合，對帶子24進行加熱，待帶子24的粘接力降低後，將帶子24剝離。對於使用圖20所示帶子24E的場合，不需要將帶子24從條塊51和支承板22的切片52上剝離的工序。
其次，如圖26所示，根據將片料塊21、支承板22以及輔助塊23接合的粘接劑的種類，以相應的方法將條塊51與支承板22的切片52二者分離，從而獲得單獨的條塊51。之後，將該條塊51以在丙酮中進行超聲波清洗或擦刷清洗等方法簡單清洗。然後，在條塊51的媒體相向面上形成導軌部。導軌部的形成可採用例如反應性離子蝕刻、離子銑削等乾式蝕刻法。
而使用圖19所示帶子(乾式抗蝕膜)24D的場合，由於帶子24D可在導軌部形成工序中作為光致抗蝕劑加以利用，因此，也可以將帶子24D一直保留到導軌部形成工序中。在這裡，參照圖27至圖29，對利用帶子24D的導軌部形成工序作簡單說明。在該導軌形成工序中，首先，如圖27所示，從接合在條塊51上的帶子24D上剝下覆蓋膜249，在條塊51的媒體相向面上只留下抗蝕層248。其次，如圖28所示，經曝光用掩膜對抗蝕層248進行曝光，以形成與導軌部圖形相應的光致抗蝕劑掩膜251。之後，如圖29所示，以光致抗蝕劑掩膜251作為蝕刻掩膜，進行例如反應性離子蝕刻、離子銑削等乾式蝕刻，從而形成導軌部71、71。然後，除去光致抗蝕劑掩膜251。
如以上所說明的，按照本實施形式，將支承板22接合在片料塊21中包含所有滑塊部分的一個面的面上，對接合在支承板22上的片料塊21其媒體相向面一側的一列滑塊部分的媒體相向面實施既定的加工，為使媒體相向面已實施既定加工的一列滑塊部分從片料塊21分離而成為條塊51，將片料塊21和支承板22一起切斷。因此，由於不是將條塊51以獨立的狀態固定在媒體相向面加工用夾具上進行媒體相向面的加工的，故而可防止條塊51的變形，高精度製造出特性良好的滑塊。具體地說就是，不僅能夠防止條塊51被加工面的加工精度變差、防止條塊51內形成薄膜磁頭器件的各層(圖形)發生彎曲等變形，而且，能夠對MR器件的電阻值以及MR高度和喉部高度進行高精度控制。並且，還能夠高精度地進行形成導軌部的後續工序。
並且，按照本實施形式，由於不必在每次切斷片料塊21時重複進行片料塊21與支承板22的接合和分離，故生產效率高。此外，由於是處在片料塊21接合在支承板22上、並且切斷工序後的條塊51也接合在支承板22的切片52上的狀態，故作為滑塊製造工序中的中間製造物的片料塊21和條塊51的操作變得容易。即，由於支承板22的寬度大於片料塊21的寬度，因此，即使片料塊21的寬度發生變化，呈接合狀態的片料塊21和支承板22、呈接合狀態的條塊51及支承板22的切片52的寬度將一定，能夠將它們作為寬度一定的物品進行處理。
此外，按照本實施形式，在片料塊21的媒體相向面相反一側上放置有對片料塊21進行輔助性支承的輔助塊23，不僅片料塊21與輔助塊23彼此接合，而且支承板22與輔助塊23也彼此接合，因此，即使在片料塊21上所剩滑塊部分的列數減少時，也能夠使片料塊21保持與片料塊21上所剩滑塊部分的列數較多時同樣的剛性和精度。因此，即使在片料塊21上所剩滑塊部分的列數減少時，也能夠高精度地製造出特性良好的滑塊。
此外，在本實施形式中，支承板22由與片料塊21的主要部分相同的材質形成，因此，能夠避免由於支承板22與片料塊21材質的不同而導致片料塊21變形，能夠以更高的精度製造出特性良好的滑塊。
此外，按照本實施形式，由於處於片料塊21接合在支承板22上、並且切斷工序後的條塊51也接合在支承板22的切片52上的狀態，因此，處理片料塊21和條塊51時可不直接接觸片料塊21和條塊51，減少了因進行處理而導致滑塊質量不良的的可能性，大大提高了滑塊的成品率。
此外，按照本實施形式，切斷片料塊21時，為了保護片料塊21的媒體相向面21a，設置了可覆蓋媒體相向面21a的帶子24，因此，能夠防止切斷片料塊21時水溶性磨削液對磁極部分的腐蝕、媒體相向面21a產生機械損傷(劃痕)以及灰塵附著到媒體相向面21a上等。此外，通過將帶子24粘貼在片料塊21的媒體相向面21a上，還能夠防止在處理切斷後的條塊51時發生條塊51被碰掉一塊(破碎)等不良現象。
此外，按照本實施形式，不需要在每次切斷片料塊21時，在切斷片料塊21之前將片料塊21的媒體相向面21a與專用夾具二者粘接、或在切斷片料塊21後將條塊51從專用夾具中剝離，因此，能夠節省上述粘接與剝離的時間，提高生產效率。
此外，即使是需將帶子24相對於片料塊21的媒體相向面21a進行粘貼及剝離的場合，與媒體相向面21a與專用夾具二者以熱固型樹脂或熱塑型粘接劑等結合劑粘接並進行剝離的場合相比，媒體相向面21a上的殘留膠也要少，可清洗性(清洗效率及清洗後的狀態)提高。特別是，使用紫外線固化型帶子或熱剝離型帶子作為帶子24時，可以做到切斷後的媒體相向面21a上基本沒有殘留膠。
此外，通過將帶子24粘接在片料塊21的媒體相向面21a上，可實現以帶子24對條塊51進行保持而不必使用專用夾具，因此，條塊51的處理變得容易，容易實現對切斷後條塊51的自動處理。
本發明並不限於上述實施形式。例如，本發明並不限於薄膜磁頭用滑塊，也可應用於其它用途的滑塊，例如以光記錄方式或光磁記錄方式進行信息的記錄或重放的磁頭(傳感器)用滑塊。
如以上所說明的，按照本發明的滑塊製造方法，將支承部件接合在坯料上包含有所有將成為滑塊的部分的一個面的面上，對接合在支承部件上的坯料的一端側一列將成為滑塊的部分的媒體相向面實施既定的加工，將坯料與支承部件一起切斷，使得媒體相向面已實施既定加工的一列將成為滑塊的部分自坯料分離而成為滑塊集合體，因此，能夠防止滑塊集合體變形，可高精度製造出特性良好的滑塊。並且，由於不必在每次切斷坯料時重複進行坯料與支承部件的接合與分離的操作，因此，不僅生產效率高，而且由於坯料接合在支承部件上，切斷工序後的滑塊集合體也接合在支承部件的切片上，因而，對作為滑塊製造工序中的中間製造物的坯料和滑塊集合體的操作變得容易。
此外，在本發明的滑塊製造方法中，第1工序也可包括將輔助支承坯料的輔助支承部件配置在坯料的另一端側，將坯料的另一端側的面與輔助支承部件二者接合，並將支承部件與輔助支承部件二者接合。在這種場合下，即使坯料上所剩將成為滑塊部分的列數減少，也能夠防止坯料變形，以更高的精度製造出特性良好的滑塊。
此外，在本發明的滑塊製造方法中，也可使支承部件在坯料的各列將成為滑塊的部分的排列方向上的寬度大於坯料的寬度。在這種場合下，可使作為中間製造物的坯料的處理更為容易。
此外，在本發明的滑塊製造方法中，支承部件也可以是由與坯料的主要部分相同的材質形成。在這種場合下，還可防止因支承部件與坯料材質的不同而導致坯料變形，以更高的精度製造出特性良好的滑塊。
此外，按照本發明的滑塊製造用輔件，由於具有為了對坯料上的所有將成為滑塊的部分進行支承而被接合在坯料上包含所有將成為滑塊的部分的一個面的面上、在將坯料一端側的媒體相向面已實施既定加工的一列將成為滑塊的部分自坯料分離而成為滑塊集合體時與坯料一起被切斷的支承部件，因此，能夠防止滑塊集合體變形，高精度製造出特性良好的滑塊。並且，由於不必在每次切斷坯料時重複進行坯料與支承部件的接合與分離的操作，因此，不僅生產效率高，而且由於坯料接合在支承部件上，切斷工序後的滑塊集合體也接合在支承部件的切片上，因而，對作為滑塊製造工序中的中間製造物的坯料和滑塊集合體的處理變得容易。
此外，本發明的滑塊製造用輔件還可以具有為了對坯料進行輔助支承而配置在坯料的另一端側、並與坯料的另一端側的面以及支承部件相接合的輔助支承部件。在這種場合下，即使坯料上所剩的將成為滑塊部分的列數減少，也能夠防止坯料變形，以更高的精度製造出特性良好的滑塊。
此外，在本發明的滑塊製造用輔件中，支承部件在坯料的各列將成為滑塊的部分的排列方向上的寬度也可大於坯料的寬度。在這種場合下，作為中間製造物的坯料的處理變得容易。
此外，在本發明的滑塊製造用輔件中，支承部件也可以是由與坯料的主要部分相同的材質形成。在這種場合下，可進一步防止因支承部件與坯料材質的不同而導致坯料變形，以更高的精度製造出特性良好的滑塊。
此外，在本發明的滑塊製造用輔件中，也可以使支承部件中與坯料相接合的面上形成有供與坯料相接合用粘接劑逃逸的槽。在這種場合下，可進一步提高呈接合狀態的坯料及支承部件的強度。
此外，在本發明的滑塊製造用輔件中，也可以使輔助支承部件中與坯料相接合的面上形成有供與坯料相接合用粘接劑逃逸的槽。在這種場合下，可進一步提高呈接合狀態的坯料及輔助支承部件的強度。
顯然，基於以上說明，本發明的各種形式和變形例能夠得到實施。因此，在權利要求範圍的同等範圍內，以上述最佳實施形式之外的形式也能夠實施本發明。
權利要求
1．一種滑塊的製造方法，以排列有多列將成為具有媒體相向面的滑塊的部分的坯料製造排列有一列將成為滑塊的部分、媒體相向面已實施既定加工的滑塊集合體，其特徵是，包括第1工序及第2工序，在第1工序中，將用來對上述坯料上的所有將成為滑塊的部分進行支承的支承部件接合在上述坯料的包含所有將成為滑塊的部分的一個面的面上，第2工序包含有對接合在上述支承部件上的上述坯料其一端的一列將成為滑塊的部分的媒體相向面實施既定加工的加工工序，以及將上述坯料與上述支承部件一起切斷、以使媒體相向面已實施既定加工的一列將成為滑塊的部分自上述坯料分離而成為上述滑塊集合體的切斷工序，加工工序和切斷工序重複進行。
2．如權利要求1所述的滑塊的製造方法，其特徵是，上述第1工序包括將輔助支承上述坯料的輔助支承部件配置在上述坯料的另一端側，將上述坯料的該端的面與上述輔助支承部件二者接合，並將上述支承部件與上述輔助支承部件二者接合。
3．如權利要求1所述的滑塊的製造方法，其特徵是，上述支承部件在上述坯料的各列將成為滑塊的部分的排列方向上的寬度大於上述坯料的寬度。
4．如權利要求1所述的滑塊的製造方法，其特徵是，上述輔助支承部件在上述坯料的各列將成為滑塊的部分的排列方向上的寬度與上述坯料的寬度相等。
5．如權利要求1所述的滑塊的製造方法，其特徵是，上述支承部件由與上述坯料的主要部分相同的材質形成。
6．如權利要求1所述的滑塊的製造方法，其特徵是，上述加工工序包括媒體相向面的研磨。
7．如權利要求1所述的滑塊的製造方法，其特徵是，上述將成為滑塊的部分包含有薄膜磁頭器件。
8．一種滑塊製造用輔件，用於以排列有多列將成為具有媒體相向面的滑塊的部分的坯料製造排列有一列將成為滑塊的部分、媒體相向面已實施既定加工的滑塊集合體，其特徵是，具有支承部件，該支承部件在為了對上述坯料的所有將成為滑塊的部分進行支承而被接合在上述坯料上包含有所有將成為滑塊的部分的一個面的面上、並在將上述坯料一端的媒體相向面已實施既定加工的一列將成為滑塊的部分自上述坯料分離而成為上述滑塊集合體時，與上述坯料一起被切斷。
9．如權利要求8所述的滑塊製造用輔件，其特徵是，還具有輔助支承部件，該輔助支承部件為了對上述坯料進行輔助支承而配置在上述坯料的另一端側，並與上述坯料的該端的面以及上述支承部件相接合。
10．如權利要求8所述的滑塊製造用輔件，其特徵是，上述支承部件在上述坯料各列將成為滑塊的部分的排列方向上的寬度大於上述坯料的寬度。
11．如權利要求9所述的滑塊製造用輔件，其特徵是，上述輔助支承部件在坯料的各列將成為滑塊的部分的排列方向上的寬度與坯料的寬度相等。
12．如權利要求8所述的滑塊製造用輔件，其特徵是，上述支承部件由與上述坯料的主要部分相同的材質形成。
13．如權利要求8所述的滑塊製造用輔件，其特徵是，上述支承部件中與上述坯料相接合的面上形成有供與上述坯料相接合用粘接劑逃逸的槽。
14．如權利要求9所述的滑塊製造用輔件，其特徵是，上述輔助支承部件中與上述坯料相接合的面上形成有供與上述坯料相接合用粘接劑逃逸的槽。
全文摘要
作為製造排列有一列滑塊部分的條塊的本發明的製造方法,首先,以排列有數列滑塊部分的片料形成片料塊,將片料塊和輔助塊接合在支承板上。然後,反覆實施對接合在支承部件上的片料塊其媒體相向面一側的一列滑塊部分的媒體相向面實施既定加工的加工工序,和將片料塊與支承部件一起切斷,以使媒體相向面已實施既定加工的一列滑塊部分自上述片料塊分離而成為條塊的切斷工序。
文檔編號G11B5/31GK1292546SQ99120600
公開日2001年4月25日 申請日期1999年10月10日 優先權日1998年5月6日
發明者伊藤浩幸, 石﨑和夫 申請人:Tdk株式會社