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一種在遠端管理集成電路生產線多設備操作命令的方法

2023-06-06 14:42:36

專利名稱:一種在遠端管理集成電路生產線多設備操作命令的方法
技術領域:
本發明涉及一種在遠端管理多設備操作命令的技術,具體的說是一種用於在遠端管理集成電路生產線多設備操作命令的方法。
背景技術:
集成電路產業是一個高度專業化的產業,一般集成電路裝備的生產流程非常複雜,在集成電路裝備的生產線上一般都需要多臺裝備設備參與裝備作業,這些加工設備來自不同廠家,每臺設備的操作和控制命令因廠家的不同而存在很大的差異,由於集成電路裝備設備加工流程的複雜性,設備的控制和操作命令種類繁多,對於操作設備的員工來說仍然存在很大困難,如何在遠端統一而靈活的管理生產線上這些裝備設備,以成為集成電路裝備生產線上一個重要的問題。 常規的操作方式是生產線員工在遠端操作設備時,需要在熟悉生產線內每臺裝備設備的操作和管理命令,或者在操作裝備設備時需要隨時具備設備命令手冊以便對設備進行操作,但在裝備生產線上設備種類繁多,因此導致設備操作命令數據量大,設備操作起來很繁瑣,嚴重影響設備的使用效率。

發明內容
針對現有技術中存在的集成電路生產線上多臺裝備設備操作和管理命令的種類繁多,不同廠商的裝備設備操作和管理命令存在不同等不足之處,本發明要解決的技術問題是提供一種可以靈活而統一的方式在遠端管理生產線上多臺設備操作命令的方法,靈活而統一的管理不同設備的操作和控制命令,節省操作時間,提高生產和維護的效率的在遠端管理集成電路生產線多設備操作命令的方法。為解決上述技術問題,本發明採用的技術方案是一種用於在遠端管理集成電路生產線多設備操作命令的方法,包括遠端設備管理程序、本地設備自動化程序、遠端設備管理程序管理命令配置文件、本地設備自動化程序管理命令配置文件、本地設備自動化程序控制命令配置文件和管理命令和控制命令映射關係配置文件。所述配置文件信息包括命令ID、命令類型、命令名稱、命令參數和命令說明。一種用於在遠端管理集成電路生產線多設備操作命令的方法,包括以下步驟步驟1,啟動遠端設備管理程序的配置窗體;步驟2,在步驟I的配置窗體中對設備操作和管理的命令配置信息進行配置,並保存為配置文件;步驟3,在步驟I的配置窗體中點擊「更新」按鈕或者重新啟動軟體,自動讀取上述配置文件中的信息;遠端設備管理程序根據所讀取的配置文件信息,對配置的命令進行重新設置,將配置信息更新到遠端設備管理程序命令管理界面。步驟4,啟動本地設備自動化程序的配置窗體;
步驟5,在設備命令配置窗體中對設備操作和控制命令信息進行配置,並保存為配置文件;步驟6,在管理命令配置窗體中對按照遠端設備管理程序配置的管理命令配置信息進行配置,並保存為配置文件;步驟7,在步驟4的配置窗體中點擊「更新」按鈕或者重新啟動軟體,自動讀取上述配置文件中的信息;本地設備自動化程序根據所讀取的配置文件信息以及對配置的命令進行重新設置,將配置信息更新到本地設備自動化程序命令管理界面;步驟8,在本地設備自動化程序命令映射窗體裡,對配置的設備控制命令和設備管理命令構建對應關係;步驟9,在本地設備自動化程序映射窗體裡,點擊「映射關係檢測」按鈕,檢查步驟 8構建的映射關係是否正確;步驟10,開啟集成電路生產線裝備設備,即可實現遠端設備對集成電路生產線裝備設備命令的管理。在所述步驟2中,所述配置信息包括管理命令ID、管理命令類型、管理命令名稱信息、管理命令參數以及管理命令描述信息。所述步驟3中,遠端設備管理程序根據所讀取的配置文件信息以及對配置的命令進行重新設置,包括以下步驟步驟a,將配置文件信息寫入內存;步驟b,判斷配置信息是否有效,如果有效,則將內存中的配置信息更新至遠端設備管理程序的命令管理界面;步驟C,如果無效,則不能將配置信息更新到遠端設備管理程序命令管理界面,並給出錯誤提示信息。所述步驟5中,所述配置信息包括設備控制命令ID、設備控制命令類型、設備控制命令名稱、設備控制命令參數以及設備控制命令描述信息。所述步驟6中,所述配置信息包括管理控制命令ID、管理控制命令類型、管理控制命令名稱、管理控制命令參數以及管理控制命令描述信息。所述步驟7中,本地設備自動化程序根據所讀取的配置文件信息以及對配置的命令進行重新設置包括以下步驟步驟a,將配置文件信息寫入內存;步驟b,判斷配置信息是否有效,如果有效,則將內存中的配置信息更新到本地設備自動化程序命令管理界面;步驟C,如果無效,則不能配置信息更新到本地設備自動化程序命令管理界面,並給出錯誤提示信息。所述步驟8中,在配置的設備控制命令和操作管理命令構建對應關係,包括以下步驟步驟a,將用戶在映射窗體裡構建的操作命令與設備控制命令的對應關係寫入內存;步驟b,判斷構建的命令是否有效,如果有效,則將內存中的命令構建信息寫入配置文件;
步驟c,如果無效,則不能將內存中的命令構建信息寫入配置文件,並給出錯誤提不 目息。所述步驟9中,本地設備自動化程序將構建的設備控制與管理命令的對應關係寫入配置信息包括以下步驟步驟a,將構建的設備控制與管理命令對應關係信息寫入內存;步驟b,判斷構建的設備控制與管理命令對應關係信息是否有效,如果有效,則將內存中的設備控制與管理命令對應關係保存到配置信息裡;步驟C,如果無效,則不能將構建的設備控制與管理命令的對應關係信息寫入配置文件,並給出錯誤提示信息。本發明的優點是 1.使用方便。本發明設備控制和管理命令以定義好的格式存儲在配置文件裡,用戶可以在程序配置頁面裡動態的添加、刪除和修改設備控制和管理命令。2.管理靈活。在常規的遠端集成電路生產線裝備設備控制命令管理方法存在單一性,對多臺裝備設備管理不靈活,效率不高。本發明可以實現生產線上不同廠商多臺裝備設備統一管理,在遠端設備命令管理上屏蔽底層不同廠商,不同型號設備操作命令不同而產生的差異性。3.擴展性強。可以對生產線上裝備設備操作命令配置文件進行修改,成為一個新的配置文件,將其應用到其他不同類型的裝備設備上,進而減少設備配置時間。


圖1為本發明方法中遠端設備管理程序自動讀取操作命令配置信息流程圖;圖2為本發明方法中本地設備自動化程序自動讀取操作命令配置信息流程圖;圖3為本發明方法中本地設備自動化程序遠端配置和設備端配置映射建立信息流程圖;圖4為本發明方法中在遠端控制和管理生產線上多臺裝備設備命令流程圖。
具體實施例方式下面根據附圖對本發明作詳細說明。一種用於在遠端管理集成電路生產線多設備操作命令的方法,包括遠端設備管理程序、本地設備自動化程序、遠端設備管理程序管理命令配置文件、本地設備自動化程序管理命令配置文件、本地設備自動化程序控制命令配置文件和管理命令和控制命令映射關係配置文件。所述配置文件信息包括命令ID、命令類型、命令名稱、命令參數和命令說明。一種用於在遠端管理集成電路生產線多設備操作命令的方法,包括以下步驟步驟1,啟動遠端設備管理程序的配置窗體;步驟2,在步驟I的配置窗體中對設備操作和管理的命令配置信息進行配置,並保存為配置文件;步驟3,在步驟I的配置窗體中點擊「更新」按鈕或者重新啟動軟體,自動讀取上述配置文件中的信息;遠端設備管理程序根據所讀取的配置文件信息,對配置的命令進行重新設置,將配置信息更新到遠端設備管理程序命令管理界面。步驟4,啟動本地設備自動化程序的配置窗體;步驟5,在設備命令配置窗體中對設備操作和控制命令信息進行配置,並保存為配置文件;步驟6,在管理命令配置窗體中對按照遠端設備管理程序配置的管理命令配置信息進行配置,並保存為配置文件;步驟7,在步驟4的配置窗體中點擊「更新」按鈕或者重新啟動軟體,自動讀取上述配置文件中的信息;本地設備自動化程序根據所讀取的配置文件信息以及對配置的命令進行重新設置,將配置信息更新到本地設備自動化程序命令管理界面;步驟8,在本地設備自動化程序命令映射窗體裡,對配置的設備控制命令和設備管理命令構建對應關係;步驟9,在本地設備自動化程序映射窗體裡,點擊「映射關係檢測」按鈕,檢查步驟8構建的映射關係是否正確;步驟10,開啟集成電路生產線裝備設備,即可實現遠端設備對集成電路生產線裝備設備命令的管理。在所述步驟2中,所述配置信息包括管理命令ID、管理命令類型、管理命令名稱信息、管理命令參數以及管理命令描述信息。所述步驟3中,遠端設備管理程序根據所讀取的配置文件信息以及對配置的命令進行重新設置,包括以下步驟步驟a,將配置文件信息寫入內存;步驟b,判斷配置信息是否有效,如果有效,則將內存中的配置信息更新至遠端設備管理程序的命令管理界面;步驟C,如果無效,則不能將配置信息更新到遠端設備管理程序命令管理界面,並給出錯誤提示信息。所述步驟5中,所述配置信息包括設備控制命令ID、設備控制命令類型、設備控制命令名稱、設備控制命令參數以及設備控制命令描述信息。所述步驟6中,所述配置信息包括管理控制命令ID、管理控制命令類型、管理控制命令名稱、管理控制命令參數以及管理控制命令描述信息。所述步驟7中,本地設備自動化程序根據所讀取的配置文件信息以及對配置的命令進行重新設置包括以下步驟步驟a,將配置文件信息寫入內存;步驟b,判斷配置信息是否有效,如果有效,則將內存中的配置信息更新到本地設備自動化程序命令管理界面;步驟C,如果無效,則不能配置信息更新到本地設備自動化程序命令管理界面,並給出錯誤提示信息。所述步驟8中,在配置的設備控制命令和操作管理命令構建對應關係,包括以下步驟步驟a,將用戶在映射窗體裡構建的操作命令與設備控制命令的對應關係寫入內存;
步驟b,判斷構建的命令是否有效,如果有效,則將內存中的命令構建信息寫入配直文件;步驟C,如果無效,則不能將內存中的命令構建信息寫入配置文件,並給出錯誤提不 目息。所述步驟9中,本地設備自動化程序將構建的設備控制與管理命令的對應關係寫入配置信息包括以下步驟步驟a,將構建的設備控制與管理命令對應關係信息寫入內存;步驟b,判斷構建的設備控制與管理命令對應關係信息是否有效,如果有效,則將內存中的設備控制與管理命令對應關係保存到配置信息裡;步驟C,如果無效,則不能將構建的設備控制與管理命令的對應關係信息寫入配置 文件,並給出錯誤提示信息。如圖1所示,遠端設備管理程序自動讀取操作命令配置信息流程如下。配置裝備設備管理命令;將配置文件信息寫入內存;判斷配置的管理命令是否有效,其中包括判斷配置的控制命令類型是否為空、控制命令ID是否為空、控制命令名稱信息是否為空和控制命令英文名稱信息是否為空;如果判斷配置的管理命令無效,則遠端設備管理程序給出錯誤提示信息,用戶修改錯誤後可以繼續進行驗證;如果判斷配置的管理命令有效,則將在遠端設備管理程序命令管理頁面顯示出用戶配置的管理命令。如圖2所示,本地設備自動化程序自動讀取操作命令配置信息流程如下。配置本地設備自動化程序設備端控制命令;配置本地設備自動化程序管理端操作命令;將配置文件信息寫入內存;判斷配置的設備端控制命令是否有效,其中包括判斷控制命令ID是否為空、控制命令ID是否唯一、配置的控制命令類型是否為空、控制命令名稱信息是否為空、控制命令名稱息是否存在重名、和控制命令英文名稱息是否為空;如果判斷配置的設備端控制命令無效,則本地設備自動化程序給出錯誤提示信息,用戶修改錯誤後可以繼續進行驗證;如果判斷配置的設備端控制命令有效,則將在本地設備自動化程序本地設備命令管理頁面顯示出用戶配置的設備控制命令。判斷配置的管理端控制命令是否有效,其中包括判斷管理命令ID是否為空、管理命令ID是否唯一、配置的管理命令類型是否為空、管理命令名稱信息是否為空、管理命令名稱息是否存在重名、和管理命令英文名稱息是否為空;如果判斷配置的管理端控制命令無效,則本地設備自動化程序給出錯誤提示信息,用戶修改錯誤後可以繼續進行驗證;如果判斷配置的管理端控制命令有效,則將在本地設備自動化程序本地設備命令管理頁面顯示出用戶配置的設備管理命令。如圖3所示,本地設備自動化程序遠端配置和設備端配置映射建立信息流程如下。獲取本地設備自動化程序配置的設備端控制命令;獲取本地設備自動化程序配置的管理端操作命令;構建設備端的控制命令和管理端的操作命令對應關係;判斷構建的設備端控制命令與管理端的操作命令對應關係是否成功;如果構建命令對應關係失敗,則給出錯誤信息提示,用戶可以重新進行構建設備端控制命令與管理端的操作命令對應關係;如果構建命令對應關係成功,則本地設備自動化程序將構建的設備端控制命令與管理端的操作命令對應關係保存到配置文件中。 如圖4所示,為本發明方法中在遠端控制和管理生產線上多臺裝備設備命令流程如下。遠端設備管理程序連接本地設備自動化程序;如果連接失敗,遠端設備管理程序提示檢查網絡配置錯誤;如果連接成功,遠端設備管理管理程序想本地設備自動化程序發送命令;本地設備自動化程序接收到命令後,會查詢構建的設備操作命令和設備控制命令對應關係;查詢成功後將設備管理命令轉換成為設備控制命令;本地設備自動化程序想生產線裝備設備發送控制命令;生產線裝備設備接收控制命令;生產線裝備設備執行控制命令。
權利要求
1.一種用於在遠端管理集成電路生產線多設備操作命令的方法,其特徵在於 包括遠端設備管理程序、本地設備自動化程序、遠端設備管理程序管理命令配置文件、本地設備自動化程序管理命令配置文件、本地設備自動化程序控制命令配置文件和管理命令和控制命令映射關係配置文件; 所述配置文件信息包括命令ID、命令類型、命令名稱、命令參數和命令說明。
2.按照權利要求1所述的一種用於在遠端管理集成電路生產線多設備操作命令的方法,其特徵在於, 包括以下步驟 步驟1,啟動遠端設備管理程序的配置窗體; 步驟2,在步驟I的配置窗體中對設備操作和管理的命令配置信息進行配置,並保存為配置文件; 步驟3,在步驟I的配置窗體中點擊「更新」按鈕或者重新啟動軟體,自動讀取上述配置文件中的信息;遠端設備管理程序根據所讀取的配置文件信息,對配置的命令進行重新設置,將配置信息更新到遠端設備管理程序命令管理界面。
步驟4,啟動本地設備自動化程序的配置窗體; 步驟5,在設備命令配置窗體中對設備操作和控制命令信息進行配置,並保存為配置文件; 步驟6,在管理命令配置窗體中對按照遠端設備管理程序配置的管理命令配置信息進行配置,並保存為配置文件; 步驟7,在步驟4的配置窗體中點擊「更新」按鈕或者重新啟動軟體,自動讀取上述配置文件中的信息;本地設備自動化程序根據所讀取的配置文件信息以及對配置的命令進行重新設置,將配置信息更新到本地設備自動化程序命令管理界面; 步驟8,在本地設備自動化程序命令映射窗體裡,對配置的設備控制命令和設備管理命令構建對應關係; 步驟9,在本地設備自動化程序映射窗體裡,點擊「映射關係檢測」按鈕,檢查步驟8構建的映射關係是否正確; 步驟10,開啟集成電路生產線裝備設備,即可實現遠端設備對集成電路生產線裝備設備命令的管理。
3.按照權利要求2所述一種用於在遠端管理集成電路生產線多設備操作命令的方法,其特徵在於 在所述步驟2中,所述配置信息包括管理命令ID、管理命令類型、管理命令名稱信息、管理命令參數以及管理命令描述信息。
4.按照權利要求2所述一種用於在遠端管理集成電路生產線多設備操作命令的方法,其特徵在於 所述步驟3中,遠端設備管理程序根據所讀取的配置文件信息以及對配置的命令進行重新設置,包括以下步驟 步驟a,將配置文件信息寫入內存; 步驟b,判斷配置信息是否有效,如果有效,則將內存中的配置信息更新至遠端設備管理程序的命令管理界面;步驟C,如果無效,則不能將配置信息更新到遠端設備管理程序命令管理界面,並給出錯誤提示信息。
5.按照權利要求2所述一種用於在遠端管理集成電路生產線多設備操作命令的方法,其特徵在於 所述步驟5中,所述配置信息包括設備控制命令ID、設備控制命令類型、設備控制命令名稱、設備控制命令參數以及設備控制命令描述信息。
6.按照權利要求2所述一種用於在遠端管理集成電路生產線多設備操作命令的方法,其特徵在於 所述步驟6中,所述配置信息包括管理控制命令ID、管理控制命令類型、管理控制命令名稱、管理控制命令參數以及管理控制命令描述信息。
7.按照權利要求2所述一種用於在遠端管理集成電路生產線多設備操作命令的方法,其特徵在於 所述步驟7中,本地設備自動化程序根據所讀取的配置文件信息以及對配置的命令進行重新設置包括以下步驟 步驟a,將配置文件信息寫入內存; 步驟b,判斷配置信息是否有效,如果有效,則將內存中的配置信息更新到本地設備自動化程序命令管理界面; 步驟C,如果無效,則不能配置信息更新到本地設備自動化程序命令管理界面,並給出錯誤提示信息。
8.按照權利要求2所述一種用於在遠端管理集成電路生產線多設備操作命令的方法,其特徵在於 所述步驟8中,在配置的設備控制命令和操作管理命令構建對應關係,包括以下步驟 步驟a,將用戶在映射窗體裡構建的操作命令與設備控制命令的對應關係寫入內存; 步驟b,判斷構建的命令是否有效,如果有效,則將內存中的命令構建信息寫入配置文件; 步驟C,如果無效,則不能將內存中的命令構建信息寫入配置文件,並給出錯誤提示信肩、O
9.按照權利要求1所述一種用於在遠端管理集成電路生產線多設備操作命令的方法,其特徵在於 所述步驟9中,本地設備自動化程序將構建的設備控制與管理命令的對應關係寫入配置信息包括以下步驟 步驟a,將構建的設備控制與管理命令對應關係信息寫入內存; 步驟b,判斷構建的設備控制與管理命令對應關係信息是否有效,如果有效,則將內存中的設備控制與管理命令對應關係保存到配置信息裡; 步驟C,如果無效,則不能將構建的設備控制與管理命令的對應關係信息寫入配置文件,並給出錯誤提示信息。
全文摘要
本發明公開一種用於在遠端管理集成電路生產線多設備操作命令的方法,包括遠端設備管理程序、本地設備自動化程序、遠端設備管理程序管理命令配置文件、本地設備自動化程序管理命令配置文件、本地設備自動化程序控制命令配置文件和管理命令和控制命令映射關係配置文件;所述配置文件信息包括命令ID、命令類型、命令名稱、命令參數和命令說明。本發明設備控制和管理命令以定義好的格式存儲在配置文件裡,用戶可以在程序配置頁面裡動態的添加、刪除和修改設備控制和管理命令。可以對生產線上裝備設備操作命令配置文件進行修改,成為一個新的配置文件,將其應用到其他不同類型的裝備設備上,進而減少設備配置時間。
文檔編號H04L12/24GK103001797SQ201210457339
公開日2013年3月27日 申請日期2012年11月15日 優先權日2012年11月15日
發明者王宏, 周鵬, 林躍, 康凱 申請人:瀋陽中科博微自動化技術有限公司

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