用於支撐襯底的單元和用於使用該單元來處理襯底的設備的製作方法

2023-06-12 04:05:01 3

專利名稱：：用於支撐襯底的單元和用於使用該單元來處理襯底的設備的製作方法
技術領域：
：本發明涉及襯底支撐單元(substratesupportingunit)和使用所述單元的襯底處理設備，且更特定來說，本發明涉及能夠容易地移動靜電卡盤單元(electrostaticchuckunit)的襯底支撐單元和使用所述單元的襯底處理設備。
背景技術：
：一般來說，通過使上部襯底與下部襯底彼此結合來製造平板顯示器(flatpaneldisplay)。用於此的襯底結合設備(substratebondingapparatus)包含供應內部空間的腔室(chamber)、安置於所述腔室中以支撐上部襯底的上部靜電卡盤單元、與上部靜電卡盤單元連接以向上部靜電卡盤單元供應電力的第一電源單元(firstpowersupplyunit)、安置於上部靜電卡盤單元的下部部分處以面對上部靜電卡盤單元而支撐下部襯底的下部靜電卡盤單元，以及與下部靜電卡盤單元連接以向下部靜電卡盤單元供應電力的第二電源單元。此處，第一和第二電源單元各自包含金屬軸(metalshaft)和導電線(conductiveline)，所述導電線容納於所述軸中且通過其一端而連接到靜電卡盤單元。第一和第二電源單元的另一端突出到腔室外部且與發電單元(powergenerationunit)連接，發電單元向第一和第二電源單元施加電力。提供密封部件(sealingmember)以封閉第一和第二電源單元的突出到腔室外部的另一端。為了使用襯底結合設備結合上部襯底與下部襯底，首先降低上部靜電卡盤單元，使得上部襯底與下部襯底彼此接近。接著，在X、Y和θ軸方向上旋轉下部靜電卡盤單元，進而使上部襯底與下部襯底對準。進一步降低上部靜電卡盤單元以使得上部襯底與下部襯底緊密接觸。此處，由於第一和第二電源單元的一端分別與上部靜電卡盤單元和下部靜電卡盤單元連接，因此當上部靜電卡盤向下移動時，第一電源單元一起向下移動。而且，當下部靜電卡盤單元旋轉時，第二電源單元一起旋轉。為此，第一和第二電源單元需要分別根據上部和下部靜電卡盤單元的移動而順暢地移動。然而，突出到腔室外部的第一和第二電源單元被密封部件固定，且因此不容易移動。為解決此問題，已將可收縮且可延伸的金屬波紋管(metalbellow)用作封閉第一和第二電源單元的密封部件。然而，由於第一和第二電源單元的軸以及波紋管是由金屬製成，因此軸和波紋管的可移動範圍受限。因此，上部和下部靜電卡盤單元未被第一和第二電源單元以及波紋管順暢地移動。而且，難以根據波紋管的安裝位置和區域來處理金屬(波紋管的材料)。也就是說，波紋管的安裝位置和區域受限。
發明內容本發明提供一種能夠容易地移動靜電卡盤單元的襯底支撐單元和使用所述單元的襯底處理設備。本發明還提供一種襯底支撐單元，其改善向支撐襯底的靜電卡盤單元供應電力的連接部件的移動性，以及使用所述單元的襯底處理設備。根據示範性實施例，一種襯底支撐單元包含靜電卡盤單元，其經配置為可移動的並支撐襯底；以及連接部件，其一端連接到所述靜電卡盤單元以向所述靜電卡盤單元供應電力，所述連接部件經配置以根據所述靜電卡盤單元的移動而靈活地改變形狀，其中所述連接部件包含柔性管，其經配置以界定內部空間；以及導電線，其插入至所述柔性管中且其一端連接到所述靜電卡盤單元。所述靜電卡盤單元可通過上下移動和旋轉中的至少一個而移動。所述柔性管可由絕緣材料製成。所述導電線可由根據所述靜電卡盤單元的移動而靈活地改變形狀的導電材料製成。所述連接部件可改變形狀，使得所述連接部件的兩端之間的距離隨著所述靜電卡盤單元向下移動而增加且隨著所述靜電卡盤單元向上移動而減小。襯底支撐單元可進一步包含第一固定部件和第二固定部件，其用以通過分別部分地接納所述連接部件的一端和另一端來固定所述連接部件。根據另一示範性實施例，一種襯底處理設備包含腔室單元，其經配置以界定內部空間；第一臺和第二臺(table)，其分別可移動地安置於所述腔室單元中以彼此面對且用以支撐襯底；靜電卡盤單元，其可移動地安裝到所述第一臺和所述第二臺中的一個或兩個以通過靜電力來支撐所述襯底；以及連接部件，其安置於所述腔室單元中，使得其一端連接到所述靜電卡盤單元以向所述靜電卡盤單元供應電力，且使得其形狀根據所述靜電卡盤單元的移動而靈活地改變，其中所述連接部件包含經配置以界定內部空間的柔性管，和導電線，其插入至所述柔性管中且其一端連接到所述靜電卡盤單元。所述第一臺和所述第二臺可通過上下移動和旋轉中的至少一個而移動。所述柔性管可由絕緣材料製成。所述導電線可由根據所述靜電卡盤單元的移動而靈活地改變形狀的導電材料製成。從以下結合附圖進行的描述可更詳細地理解示範性實施例，附圖中圖1是根據示範性實施例的襯底處理設備的截面圖。圖2A和圖2B是用於闡釋根據示範性實施例的連接部件的操作的圖。圖3是根據示範性實施例的連接部件的第一修改版本的圖。圖4是根據示範性實施例的連接部件的第二修改版本的圖。圖5是用於闡釋根據示範性實施例的第二電源單元的圖。圖6A到圖6C依序為根據示範性實施例的襯底處理設備的操作的圖。具體實施例方式下文中，將參考各附圖詳細描述具體實施例。然而，本發明可以不同形式體現且不應闡釋為限於本文陳述的實施例。事實上，提供這些實施例以使得本發明將為詳盡且完整的，且將把本發明的範圍完全傳達給所屬領域的技術人員。相同參考標號在圖中始終表示相同元件。圖1是根據示範性實施例的襯底處理設備的截面圖。圖2A和圖2B是用於闡釋根據示範性實施例的連接部件的操作的圖。圖3是根據示範性實施例的第一修改版本的連接部件的圖，且圖4是根據示範性實施例的第二修改版本的連接部件的圖。圖5是用於闡釋根據示範性實施例的第二電源單元的圖。根據實施例的襯底處理設備是用以將一對襯底210和220彼此結合的襯底結合設備。如圖1所示，此襯底處理設備包含腔室單元100，其界定內部空間；上部襯底支撐單元300，其包含安置於腔室單元100中以通過靜電力來支撐上部襯底210的上部襯底支撐器(substratesupporter)310和用以向上部襯底支撐器310供應電力的第一電源320；下部襯底支撐單元500，其包含經安置以面對上部襯底支撐器310以通過靜電力來支撐下部襯底220的下部襯底支撐器510和用以向下部襯底支撐器510供應電力的第二電源520；上部驅動器400，其用以上下移動上部襯底支撐器310；以及下部驅動器600，其用以在X、Y和θ軸方向上旋轉下部襯底支撐器510。腔室單元100包含上部腔室110和下部腔室120，其形成空間以執行上部襯底210與下部襯底220的結合。示範性地，上部腔室110和下部腔室120可分離地彼此連接。雖然未圖示，但可向腔室單元100進一步提供壓力調整單元(pressureadjustingunit)(未圖示)以調整腔室單元100的內部壓力。另外，腔室單元100可進一步包含淨化單元(purgeunit)(未圖示)，其從腔室單元100的內部空間排放雜質。雖然腔室單元100在圖1中具有矩形管形狀，但腔室單元100的形狀不限於此且可根據襯底210和220的形狀而變化。另外，雖然未圖示，但在腔室單元100的一側處形成入口(entrance)(未圖示)以用於上部襯底210和下部襯底220的進入和退出。而且，可進一步提供閘閥(gatevalve)(未圖示)以打開和關閉入口(未圖示)。另外，腔室單元100的上部腔室110或下部腔室120可上下移動，使得上部襯底210和下部襯底220移入和移出腔室單元100。在此情況下，可提供用於向上和向下移動上部腔室110和下部腔室120的專用提升部件(elevationmember)(未圖示)。具體來說，上部襯底支撐單元300包含上部襯底支撐器310和多個第一電源320。上部襯底支撐器310包含上部臺311，其鄰近於腔室110的內表面而安置；以及多個上部靜電卡盤單元312，其安裝到上部臺311的下表面以通過靜電力來支撐上部襯底210。第一電源320分別連接到所述多個上部靜電卡盤單元312以向上部靜電卡盤單元312供應電力。雖然本實施例的上部臺311具有矩形板形狀，但上部臺311的形狀不限於此且可根據上部襯底210的形狀而變化。所述多個上部靜電卡盤單元312以矩陣形式固定地安裝到上部臺311的下表面。本實施例的上部靜電卡盤單元312具有矩形板形狀。然而並不限於此，上部靜電卡盤單元312可具有各種其它形狀。另外，雖然未圖示，但上部靜電卡盤單元312中的每一個包含多個陽極電極圖案、多個陰極電極圖案、與陽極電極圖案電連接且輸入有正電的正端子，以及與陰極電極圖案電連接且輸入有負電的負端子。此處，交替地布置正電極圖案與負電極圖案是示範性的。第一電源320向所述上部靜電卡盤單元312供應電力，使得上部靜電卡盤單元312通過靜電力來支撐上部襯底210。第一電源320中的每一個包含連接部件321，其一端連接到上部靜電卡盤單元312且根據上部靜電卡盤單元312的上下移動而靈活地改變形狀；以及第一供電單元(未圖示)，其連接到連接部件321的另一端以向連接部件321施加電力。本實施例的第一供電單元(未圖示)安置於上部腔室110的外部，但不限於此。另外，第一電源320包含第一固定部件32，其中部分地插入連接部件321的鄰近於上部靜電卡盤單元312的下部部分以支撐該連接部件321；第一夾具(clamp)323a，其夾持該連接部件321的一部分，安置於第一固定部件32的上部部分處以進而固定該連接部件321；第二固定部件322b，其中該連接部件321的鄰近於上部腔室110的上部端的上部部分固定該連接部件321；以及第二夾具32北，其夾持該連接部件321的一部分，安置於第二固定部件322b的下部部分處，且進而固定該連接部件321。該連接部件321包含管321a，其界定內部空間且由柔性材料製成；以及導電線321b，其插入管321a中以使得其一端連接到上部靜電卡盤單元312且其另一端連接到第一供電單元(未圖示)。此處，導電線321b劃分為正電極線(positiveelectrodeline)321b-l，其一端與上部靜電卡盤單元312的正端子連接；和負電極線(negativeelectrodeline)321b_2，其一端與上部靜電卡盤單元312的負端子連接。管321a由柔性材料製成為界定內部空間的管道形狀。在上部靜電卡盤單元312上下移動時，對應的力傳輸到管321a，進而改變管321a的形狀。將在稍後更具體地闡釋管321a的形狀改變。此處，管321a的材料具有柔性且在被單獨施加力之前維持其當前形狀是示範性的。此外，管321a由絕緣材料製成是示範性的。為此，根據本實施例的管321a由柔性聚合物製成。然而，不限於此，可應用各種其它材料。如上文提到，正電極線321b-l和負電極線321b-2插入管321a中。因此，雖然未圖示，但管321a包含單獨空間以分別接納正電極線321b-l和負電極線321b-2。導電線321b包含正電極線321b_l和負電極線321b_2。正電極線321b_l的一端連接到上部靜電卡盤單元312的正端子，而另一端連接到第一供電單元(未圖示)。負電極線321b-2的一端連接到上部靜電卡盤單元312的負端子，而另一端連接到第一供電單元(未圖示)。此處，正電極線321b-l和負電極線321b-2突出到上部腔室110的外部且連接到第一供電單元(未圖示)。因此，安裝第一外殼(housing)3以封閉正電極線321b-l和負電極線321b-2的突出部分(protrudingparts)。薄導電線可用作正電極線321b_l和負電極線321b-2，使得正電極線321b-l和負電極線321b-2能夠根據上部靜電卡盤單元312的上下移動而靈活地改變形狀。示範性地，正電極線321b-l和負電極線321b-2的一端在暴露在管321a之外的狀態下連接到上部靜電卡盤單元312。由於導電線321b如此插入柔性管321a中，因此該連接部件321的移動性與現有技術相比可增加。下文中，將參考圖2A和圖2B來描述根據示範性實施例的連接部件的操作。為了上部襯底210與下部襯底220之間的結合，首先，使用上部驅動器400向下移動上部襯底支撐器310以使得上部襯底210與下部襯底220彼此靠近地安置。在向下移動上部襯底支撐器310之前，該連接部件321的部分可維持如圖2A所示的螺旋形狀。當上部襯底支撐器310被上部驅動器400向下移動時，該連接部件321的螺旋部分逐漸拉直。換句話說，當上部驅動器400向下移動時，該連接部件321的形狀變為直線，使得其兩端之間的距離逐漸增加，如圖2B所示。因此，由於該連接部件321的形狀根據上部靜電卡盤單元312的上下移動而改變，因此上部靜電卡盤單元312能夠容易地移動。另外，由於該連接部件321的形狀靈活地改變，因此可在位置和區域未受限制的情況下安裝該連接部件321。不限於以上描述，該連接部件321的形狀可根據上部靜電卡盤單元312的上下移動而以各種方式改變。舉例來說，在向下移動上部襯底支撐器310之前，該連接部件321的部分可具有如圖3所示的曲折形狀。而且，在向下移動上部襯底支撐器310之前，該連接部件321的部分可具有如圖4所示的半圓形形狀。將了解，除了圖3和圖4所示的第一和第二修改版本以外，可應用各種其它形狀。參考圖1和圖5，下部襯底支撐單元500包含下部襯底支撐器510和多個第二電源520。下部襯底支撐器510包含下部臺511，其鄰近於下部腔室120的內表面而安置；以及多個下部靜電卡盤單元512，其安裝到下部臺511的上表面以通過靜電力來支撐下部襯底220。第二電源520向下部靜電卡盤單元512供應電力。雖然未圖示，但進一步提供第二供電單元(未圖示)以向第二電源520施加電力。此處，根據示範性實施例，將下部臺511形成為與上部臺311相同的形狀。所述多個下部靜電卡盤單元512以矩陣形式固定地安裝到下部臺511的上表面。另外，雖然未圖示，但下部靜電卡盤單元512包含多個陽極電極圖案、多個陰極電極圖案、與陽極電極圖案電連接且輸入有正電的正端子，以及與陰極電極圖案電連接且輸入有負電的負端子。第二電源520具有與上文描述的第一電源320相同的結構，且因此將僅簡要地闡釋。第二電源520中的每一個包含連接部件521，其一端連接到下部靜電卡盤單元512且根據下部靜電卡盤單元512的旋轉而靈活地改變形狀；以及第二供電單元(未圖示)，其連接到連接部件521的另一端以向連接部件521施加電力。此處，第二供電單元(未圖示)安置於下部腔室120的外部。連接部件521包含管521a，其界定內部空間且由柔性材料製成；以及導電線521b，其插入管521a中以使得其一端連接到下部靜電卡盤單元512且其另一端連接到第二供電單元(未圖示)。更示範性地，管521a由絕緣材料製成。為此，根據本實施例的管521a由柔性聚合物製成。然而並不限於此，可應用各種其它材料。導電線521b包含正電極線521b-l和負電極線521b-2。正電極線521b-l的一端連接到下部靜電卡盤單元512的正端子，而另一端連接到第二供電單元(未圖示)。負電極線521b-2的一端連接到下部靜電卡盤單元512的負端子，而另一端連接到第二供電單元(未圖示)。此處，正電極線521b-l和負電極線521b-2的另一端突出到下部腔室120的下部部分且連接到第二供電單元(未圖示)。因此，安裝第二外殼524以封閉正電極線521b-l和負電極線521b-2的突出部分。根據本實施例的下部襯底支撐單元500在X、Y和θ軸方向上旋轉以進而使待結合的上部襯底210與下部襯底220對準。具體來說，下部臺511通過下部驅動器600而在Χ、Υ和θ軸方向上旋轉，安裝到下部臺511的上表面的所述多個下部靜電卡盤單元512在Χ、Υ和θ軸方向上旋轉。根據下部靜電卡盤單元512的旋轉，第二電源520的連接部件521的形狀改變。也就是說，在下部靜電卡盤單元512旋轉時，旋轉力傳輸到連接部件521，進而改變連接部件521的形狀。由於連接部件521的形狀因此將根據下部靜電卡盤單元512的旋轉而改變，則可容易地旋轉下部靜電卡盤單元512。根據實施例，所述多個上部靜電卡盤單元312安裝到上部臺311，且所述多個下部靜電卡盤單元512安裝到下部臺511。然而，不限於上述實施例，靜電卡盤單元312和512可安裝到上部臺311和下部臺511中的任一個。舉例來說，僅所述多個上部靜電卡盤單元312可安裝到上部臺311的下表面，同時從下部臺511的上表面省略下部靜電卡盤單元512。在此情況下，下部臺511可進一步包含能夠支撐下部襯底220的專用支撐部件，例如使用真空吸附力(vacuumabsorptionforce)來支撐下部襯底220的真空調整器(vacuumadjuster)。而且，可在相反情況下提供專用支撐部件。另外，根據本實施例，上部襯底支撐器310上下移動且下部襯底支撐器510在X、Y和θ軸方向上旋轉以用於上部襯底210與下部襯底220之間的結合。然而，上部襯底支撐器310可在Χ、Υ和θ軸方向上旋轉而下部襯底支撐器510可上下移動。而且，上部襯底支撐器310和下部襯底支撐器510兩個均可上下移動和在X、Y和θ軸方向上旋轉。在以上闡釋的實施例中，所述多個陽極電極圖案和陰極電極圖案分別形成於上部靜電卡盤單元312和下部靜電卡盤單元512處。然而，上部靜電卡盤單元312和下部靜電卡盤單元512的配置不限於此且可以各種方式修改。舉例來說，陽極電極圖案可形成於上部靜電卡盤單元312中的一些處，而陰極電極圖案形成於上部靜電卡盤單元312中的其餘處。在此情況下，具有陽極電極圖案的上部靜電卡盤單元312與具有陰極電極圖案的上部靜電卡盤單元312交替布置。根據以上實施例，多個上部靜電卡盤單元312安裝到上部臺311的下表面。另外，陽極電極圖案可形成於下部靜電卡盤單元512中的一些處，而陰極電極圖案形成於下部靜電卡盤單元512中的其餘處。在此情況下，具有陽極電極圖案的下部靜電卡盤單元512與具有陰極電極圖案的下部靜電卡盤單元512交替布置。另外，根據實施例，所述多個上部靜電卡盤單元312和所述多個下部靜電卡盤單元512分別安裝到上部臺311和下部臺511。然而，不同於所述實施例，可提供單個上部靜電卡盤單元312和下部靜電卡盤單元512。根據以上實施例，正電極線321b_l和負電極線321b_2兩個接納於連接部件321的一個管321a中。然而，可提供兩個管321a以單獨接納正電極線321b_l和負電極線321b-2。舉例來說，假定如上所述，陽極電極圖案形成於上部靜電卡盤單元312中的一些處且陰極電極圖案形成於上部靜電卡盤單元312中的其餘處，則該連接部件321(其中正電極線321b-l接納於管321a中)連接到具有陽極電極圖案的上部靜電卡盤單元312。該連接部件321(其中負電極線321b-2接納於管321a中)連接到具有陰極電極圖案的上部靜電卡盤單元321。圖6A到圖6C依序為根據示範性實施例的襯底處理設備的操作的圖。下文中，將參考圖6A到圖6C依序闡釋襯底處理設備的操作。首先，通過所述多個第一電源320將電力施加於所述多個上部靜電卡盤單元312。將上部襯底210放置於所述多個上部靜電卡盤單元312上。此處舉例來說，上部襯底210在上面可包含共同電極(未圖示)和彩色濾光片(colorfilter)圖案(未圖示)。上部襯底210通過上部靜電卡盤單元312的靜電力而支撐在上部靜電卡盤單元312上。此處，第一電源320的連接部件321的部分在上部靜電卡盤單元312如圖1所示向下移動之前可具有螺旋形狀。另外，通過所述多個第二電源520而將電力施加於所述多個下部靜電卡盤單元512。接著，將下部襯底220放置於所述多個下部靜電卡盤單元512上。此處舉例來說，下部襯底220可包含薄膜電晶體(thinfilmtransistor)(未圖示)和像素電極(pixelelectrode)(未圖示)。下部襯底220通過下部靜電卡盤單元512的靜電力而支撐在下部靜電卡盤單元512上。接著，將例如密封劑(sealant)等密封部件施加於下部襯底220的周邊邊緣，且將液晶(liquidcrystal)滴落到下部襯底220上。參考圖6A，支撐上部襯底210的上部襯底支撐器310被上部驅動器400向下移動，使得上部襯底210和下部襯底220彼此結合。此處，示範性地，上部襯底支撐器310向下移動，使得上部襯底210和下部襯底220彼此接近。當上部襯底支撐器310如此向下移動時，與上部靜電卡盤單元312連接的第一電源320的連接部件321的形狀改變。換句話說，在上部襯底支撐器310向下移動時，連接部件321的形狀以連接部件321的兩端之間的距離與初始狀態相比增加的方式而改變。如圖6B所示，下部襯底支撐器510在X、Y和θ軸方向上由下部驅動器600旋轉，進而將上部襯底210對準於下部襯底220。當下部襯底支撐器510在X、Y和θ軸方向上旋轉時，第二電源520的第二連接部件521的形狀由下部襯底支撐器510的下部靜電卡盤單元512的旋轉力來改變。也就是說，第二電源520的連接部件521的形狀改變為與在下部襯底支撐器510旋轉之前連接部件521的初始形狀不同的形狀。接著，如圖6C所示，上部襯底支撐器310由上部驅動器400進一步向下移動，使得上部襯底210和下部襯底220彼此緊密接觸。當上部襯底支撐器310如此向下移動時，第一電源320的連接部件321的形狀改變。也就是說，在上部襯底支撐器310進一步向下移動時，連接部件321的兩端之間的距離逐漸增加。根據本實施例，連接部件321的形狀最終變為直線。另外，上部襯底210和下部襯底220通過使沿著下部襯底220的周邊邊緣施加的密封部件固化而彼此結合。因此，由於與上部靜電卡盤單元312連接的第一電源320的連接部件321的形狀根據上部靜電卡盤單元312的向下移動而靈活地改變，因此上部靜電卡盤單元312可容易向下移動。此外，由於第二電源520的連接部件521的形狀根據下部靜電卡盤單元512的向下移動而靈活地改變，因此下部靜電卡盤單元512可容易向下移動。雖然，已關於用作實例的襯底結合設備而闡釋實施例，但本發明不限於此，而是可應用於向運動的靜電卡盤單元供應電力的各種其它電源。如上所述，根據示範性實施例，可通過在柔性管中插入導電線來改善連接部件的移動性。因此，由於連接部件的形狀在靜電卡盤單元上下移動或旋轉時靈活地變化，因此靜電卡盤單元可容易移動。另外，可在安裝位置和區域未受限制的情況下安裝該連接部件。此外，由於管不向外突出，因此用以封閉該管的專用波紋管是不必要的。因此，擴展了腔室外的空間，進而促進了設備的維護和修理。雖然已參考具體實施例描述了襯底支撐單元和使用所述單元的襯底處理設備，但其不限於此。因此，所屬領域的技術人員將容易了解，在不脫離由所附權利要求書界定的本發明的精神和範圍的情況下可對其做出各種修改和改變。權利要求1.一種襯底支撐單元，其包括靜電卡盤單元，其經配置為可移動的並支撐襯底；以及連接部件，其一端連接到所述靜電卡盤單元以向所述靜電卡盤單元供應電力，所述連接部件經配置以根據所述靜電卡盤單元的移動而靈活地改變形狀，其特徵在於所述連接部件包括柔性管，其經配置以界定內部空間；以及導電線，其插入至所述柔性管中且其一端連接到所述靜電卡盤單元。2.根據權利要求1所述的襯底支撐單元，其特徵在於所述靜電卡盤單元通過上下移動和旋轉中的至少一個而移動。3.根據權利要求1所述的襯底支撐單元，其特徵在於所述柔性管由絕緣材料製成。4.根據權利要求1所述的襯底支撐單元，其特徵在於所述導電線由根據所述靜電卡盤單元的移動而靈活地改變形狀的導電材料製成。5.根據權利要求1至權利要求4中任一權利要求所述的襯底支撐單元，其特徵在於所述連接部件改變形狀，使得所述連接部件的兩端之間的距離隨著所述靜電卡盤單元向下移動而增加且隨著所述靜電卡盤單元向上移動而減小。6.根據權利要求1所述的襯底支撐單元，其進一步包括第一固定部件和第二固定部件，用以通過分別部分地接納所述連接部件的一端和另一端來固定所述連接部件。7.一種襯底處理設備，其包括腔室單元，其經配置以界定內部空間；第一臺和第二臺，其分別可移動地安置於所述腔室單元中以彼此面對且用以支撐襯底；靜電卡盤單元，其可移動地安裝到所述第一臺和所述第二臺中的一個或兩個以通過靜電力來支撐所述襯底；以及連接部件，其安置於所述腔室單元中，使得其一端連接到所述靜電卡盤單元以向所述靜電卡盤單元供應電力，且使得其形狀根據所述靜電卡盤單元的移動而靈活地改變，其特徵在於所述連接部件包括經配置以界定內部空間的柔性管，和導電線，其插入至所述柔性管中且其一端連接到所述靜電卡盤單元。8.根據權利要求7所述的襯底處理設備，其特徵在於所述第一臺和所述第二臺通過上下移動和旋轉中的至少一個而移動。9.根據權利要求7所述的襯底處理設備，其特徵在於所述柔性管由絕緣材料製成。10.根據權利要求7所述的襯底處理設備，其特徵在於所述導電線由根據所述靜電卡盤單元的移動而靈活地改變形狀的導電材料製成。全文摘要本發明公開一種襯底支撐單元，其包含靜電卡盤單元，其經配置為可移動的並支撐襯底；以及連接部件，其一端連接到靜電卡盤單元以向靜電卡盤單元供應電力，連接部件經配置以根據靜電卡盤單元的移動而靈活地改變形狀。連接部件包含柔性管，其經配置以界定內部空間；以及導電線，其插入至柔性管中且其一端連接到靜電卡盤單元。由於導電線插入柔性管中，因此該連接部件的移動性增加。因此，連接到靜電卡盤單元的連接部件的形狀根據靜電卡盤單元的上下移動或旋轉而靈活地改變。因此，靜電卡盤單元可順暢地移動。另外，由於連接部件的形狀是柔性的，因此可在無位置和區域限制的情況下安裝該連接部件。文檔編號H01L21/683GK102184880SQ20101062411公開日2011年9月14日申請日期2010年12月29日優先權日2009年12月30日發明者尹靑龍,辛在爀,金光壽,金容錫申請人:Ap系統股份有限公司