功能液滴噴出頭的驅動控制方法及與其有關的方法和裝置的製作方法

2023-06-01 23:51:31

專利名稱：功能液滴噴出頭的驅動控制方法及與其有關的方法和裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及由每單位噴嘴的功能液滴噴出量不相同的多個噴嘴列排列而成的功能液滴噴出頭的驅動控制方法，功能液滴噴出裝置、電光裝置、液晶顯示裝置的製造方法，有機EL裝置的製造方法，電子發射裝置的製造方法，PDP裝置的製造方法，電泳顯示裝置的製造方法，濾色器(Color Filter)的製造方法，有機EL的製造方法，分隔體(Spacer)的形成方法，抗蝕劑(Resist)的形成方法，金屬布線的形成方法，透鏡的形成方法，和光擴散體的形成方法。
背景技術：
現有技術中，已知有利用由每單位噴嘴的功能液滴噴出量(噴嘴的開口徑)不相同的2個噴嘴列排列而成的噴墨頭(Ink Jet Head)的噴墨印表機(Ink Jet Printer)。這種噴墨印表機，由於各噴嘴列的噴嘴配置密度不同，根據這些噴嘴列的組合，能實現多個解析度的列印。
但是，上述噴墨頭在驅動時，是用不同驅動信號對各噴嘴列進行控制的。因此，為噴出油墨而加在的波形(噴出波形)、為防止粘度增大而加載的微弱振動波形(微振動脈衝)、以及為減弱加載噴出波形後壓力產生元件的殘留振動而加載的抑制振動波形(制振脈衝)等，在各噴嘴列中都要準備多個(上述噴墨頭的場合為2個)，分別控制各噴嘴列。然而，由於噴嘴列數增加，在驅動信號生成部(驅動波形生成部)中，必須準備對應於噴嘴列數的驅動波形，並在各自噴嘴列上加載，這就產生了噴墨頭的驅動控制複雜化的問題。
另外，在驅動信號生成部中，雖然也可以考慮通過進行加載在各噴嘴列上的驅動信號的切換，驅動多個噴嘴列的結構，但是這種結構會由於驅動信號的切換時間而導致列印效率低下的問題。

發明內容
本發明的目的在於，鑑於上述問題，提供一種即使在一個功能液滴噴出頭中，排列有每單位噴嘴的功能液滴噴出量不相同的多個噴嘴列的情況下，也不降低列印效率而可以容易地驅動控制的功能液滴噴出頭的驅動控制方法，功能液滴噴出裝置、電光裝置、液晶顯示裝置的製造方法，有機EL裝置的製造方法，電子發射裝置的製造方法，PDP裝置的製造方法，電泳顯示裝置的製造方法，濾色器(Color Filter)的製造方法，有機EL的製造方法，分隔體(Spacer)的形成方法，抗蝕劑(Resist)的形成方法，金屬布線的形成方法，透鏡的形成方法，和光擴散體的形成方法。
本發明的功能液滴噴出頭的驅動控制方法，為由每單位噴嘴的功能液滴噴出量不相同的多個噴嘴列排列而成的功能液滴噴出頭驅動控制方法，其特徵在於，在一個列印周期中，使用具有對應於多個噴嘴列的多個噴出脈衝的單一驅動信號來驅動控制多個噴嘴列。
另外，本發明的功能液滴噴出裝置，為一面使導入有功能液的功能液滴噴出頭相對於工件做相對移動，一面選擇性地噴出功能液滴的功能液滴噴出裝置，其特徵在於，具有由每單位噴嘴的功能液滴噴出量不相同的多個噴嘴列排列而成的功能液滴噴出頭，和用單一驅動信號驅動控制多個噴嘴列的控制裝置，驅動信號在一個列印周期中具有對應於多個噴嘴列的多個噴出脈衝。
根據這些結構，由於使用了由每單位噴嘴的功能液滴噴出量不相同的多個噴嘴列排列而成的功能液滴噴出頭，所以能夠在一個像素內高效率地著落功能液滴，而且能得到均勻的膜厚。另外，由於用單一驅動信號驅動控制功能液滴噴出頭中配置的多個噴嘴列，不需要生成對應於噴嘴列數的驅動信號，能夠使驅動信號的生成處理容易進行。並且，驅動信號在一個列印周期中具有對應於多個噴嘴列的多個噴出脈衝，不需要進行各噴嘴列上加載的驅動信號的切換，故能進行高頻驅動，即能提高列印效率。
在此場合下，優選多個噴出脈衝根據對應的噴嘴列的規格具有互不相同的波形。
根據此結構，由於根據對應的噴嘴列的規格、利用具有互不相同的波形的噴出脈衝驅動各噴嘴列，故不僅能使用具有各種規格(噴嘴開口徑、噴嘴開口的形狀等)的噴嘴，而且能噴出各種重量和粘度的功能液。
在這些場合，在進行用於功能恢復的處理、即從全部噴嘴排棄噴出的衝洗(Flushing)的場合下，優選多個噴嘴列由同一噴出脈衝驅動控制。
另外，在上述場合，優選控制裝置在進行用於功能恢復的處理、即從全部噴嘴排棄噴出的衝洗(Flushing)的場合下，由同一噴出脈衝驅動控制多個噴嘴列。
根據這些結構，衝洗為功能恢復用的處理，噴出的功能液滴的量的調整、噴出精度等要求不那麼高，所以可以利用同一噴出脈衝容易地驅動控制多個噴嘴列。另外，這樣做可使列印周期縮短，在進行衝洗的場合下能用高頻率進行驅動。
在此場合下，優選驅動信號具有使構成各噴嘴的彎液面(Meniscus)的功能液微振動的微振動脈衝，微振動脈衝在一個列印周期中僅有一個波形輸入。
根據此結構，由於通過微振動脈衝使構成彎液面的功能液微振動，能防止噴嘴開口部附近的功能液粘度增大，能良好地保持功能液的噴出狀態。另外，由於微振動脈衝與後面的噴出脈衝數無關而僅輸入一個波形，對列印效率的影響很小。也就是說，例如在驅動每單位噴嘴的功能液滴噴出量不相同的2個噴嘴列的場合下，一般用各自獨立的驅動信號驅動，但在此場合下，在各驅動信號中需要使用防止功能液粘度增大的微振動脈衝。然而，根據此結構，由於用單一驅動信號驅動每單位噴嘴的功能液滴噴出量不相同的2個噴嘴列，故能實現通用化、可使列印周期縮短(列印效率提高)。
在此場合下，優選微振動脈衝在一個列印周期中，在多個噴出脈衝輸入之前輸入。
根據此結構，在一個列印周期中，微振動脈衝由於在噴出脈衝之前輸入，即使在最初的噴出脈衝輸入時，也能夠噴出粘度不增大的正常的功能液。
在這些場合下，優選驅動信號具有用於抑制在與各噴嘴連通的空腔(Cavity)內產生壓力變動的壓力產生元件的殘留振動的制振脈衝，制振脈衝在一個列印周期中，在輸入多個噴出脈衝後輸入，並且具有與前面最後一個輸入的噴出脈衝的波形相對應的波形。
根據此結構，由於具有抑制壓力產生元件的殘留振動的制振脈衝，所以前面最後一個輸入的噴出脈衝對緊接著後面的驅動脈衝沒有影響，能一直進行穩定的功能液的噴出。另外，由於制振脈衝具有與前面最後一個輸入的噴出脈衝波形相對應的波形，能更加切實地抑制殘留振動。
在這些場合下，優選多個噴嘴列由噴出第1功能液滴噴出量的第1噴嘴列、和噴出比第1功能液滴噴出量少的第2功能液滴噴出量的第2噴嘴列組成，第2噴嘴列的噴嘴數為第1噴嘴列的噴嘴數的2倍。
根據此結構，由於功能液滴噴出頭是由每單位噴嘴的功能液滴噴出量不相同的2個噴嘴列組成，所以能夠通過利用具有2個噴出脈衝的驅動信號，在一個像素內容易有效地著落功能液滴。另外，由於噴出比第1噴嘴列少的功能液滴噴出量的第2噴嘴列的噴嘴數為第1噴嘴列的噴嘴數的2倍，可更加無間隙地填滿像素、得到更加均勻的膜厚。
本發明的電光裝置，其特徵在於，利用上述的功能液滴噴出裝置製造。
根據此結構，由於使用由每單位噴嘴的功能液滴噴出量不相同的多個噴嘴列排列而成的功能液滴噴出頭，能夠在一個像素內高效率地著落功能液滴，而且能得到均勻的膜厚，所以能實現更高效優質地製造電光裝置。並且，作為電光裝置，可考慮有液晶顯示裝置，有機EL(Electro-Luminescence電致發光)裝置、電子發射裝置、PDP(PlasmaDisplay Panel等離子顯示) 裝置及電泳顯示裝置。並且，電子發射裝置為包含所謂的FED(Field Emission Display場致發射顯示)裝置的概念。並且，作為電光裝置除金屬布線形成、透鏡形成、抗蝕劑形成及光擴散體形成等外，也可考慮有包括上述顯微鏡用標本(Prparat))形成等的裝置。
本發明的液晶顯示裝置的製造方法，是利用上述功能液滴噴出裝置，在濾色器基板上形成多個濾色器元件(Filter Element)的液晶顯示裝置的製造方法，其特徵在於在功能液滴噴出頭中導入各種顏色的濾色器材料，使功能液滴噴出頭對於基板作相對掃描，選擇性地噴出濾色器材料來形成多個濾色器元件。
本發明的有機EL裝置的製造方法，是利用上述功能液滴噴出裝置在基板上的多個像素(Pixel)中分別形成EL發光層的有機EL裝置的製造方法，其特徵在於在功能液滴噴出頭中導入各種顏色的發光材料，使功能液滴噴出頭相對於基板作相對掃描，選擇性地噴出發光材來形成多個EL發光層。
本發明的電子發射裝置的製造方法，是利用上述功能液滴噴出裝置在電極上形成多個螢光體的電子發射裝置的製造方法，其特徵在於在功能液滴噴出頭中導入各種顏色的螢光材料，使功能液滴噴出頭對於電極作相對掃描，選擇性地噴出螢光材料來形成多個螢光體。
本發明的PDP裝置的製造方法，是利用上述功能液滴噴出裝置在背面基板上的多個凹部分別形成螢光體的PDP裝置的製造方法，其特徵在於在功能液滴噴出頭中導入各種顏色螢光材料，使功能液滴噴出頭對於背面基板作相對掃描，選擇性地噴出螢光材料來形成多個螢光體。
本發明的電泳顯示裝置的製造方法，是利用上述功能液滴噴出裝置在電極上的多個凹部形成電泳體的電泳顯示裝置的製造方法，其特徵在於在功能液滴噴出頭中導入各種顏色的電泳體材料，使功能液滴噴出頭對於電極作相對掃描，選擇性地噴出電泳體材料來形成多個電泳體。
這樣，通過將上述功能液滴噴出裝置應用於液晶顯示裝置的製造方法、有機EL(Electro-Luminescence)裝置的製造方法、電子發射裝置的製造方法、PDP(Plasma Display Panel)裝置的製造方法、和電泳顯示裝置的製造方法，能迅速、容易、優質地製造電光裝置。並且，功能液滴噴出頭的掃描一般包括主掃描和副掃描，但在由單一功能液滴噴出頭構成的所謂「1行」的場合下，僅有主掃描。另外，電子發射裝置為包含所謂的FED(Field Emission Display)裝置的概念。
本發明的濾色器的製造方法，是利用上述功能液滴噴出裝置，製造在基板上排列多個濾色器元件(Filter Element)而構成的濾色器的濾色器製造方法，其特徵在於在功能液滴噴出頭中導入各種顏色的濾色器材料，使功能液滴噴出頭對於基板作相對掃描，選擇性地噴出濾色器材料來形成多個濾色器元件。
在此場合下，優選形成有覆蓋多個濾色器元件的外塗層(Overcoat)膜，在形成濾色器元件後，在功能液滴噴出頭中導入透光性塗敷(Coating)材料，使功能液滴噴出頭對於基板作相對掃描，選擇性地噴出塗敷材料，形成外塗層膜。
本發明的有機EL的製造方法，是利用上述功能液滴噴出裝置，在基板上排列構成含EL發光層的多個複數個像素(Pixel)的有機EL的製造方法，其特徵在於在功能液滴噴出頭中導入各種顏色的發光材料，使功能液滴噴出頭對於基板作相對掃描，選擇性地噴出發光材來形成多個EL發光層。
在此場合下，優選在多個EL發光層與基板間，對應於EL發光層形成有多個像素電極，在功能液滴噴出頭中導入液態電極材料，使功能液滴噴出頭對於基板作相對掃描，選擇性地噴出液態電極材料來形成多個像素電極。
在此場合下，優選以覆蓋多個EL發光層的狀態形成有對向電極，在EL發光層形成後，在功能液滴噴出頭中導入液態電極材料，使功能液滴噴出頭對於基板作相對掃描，選擇性地噴出液態電極材料來形成對向電極。
本發明的分隔體(Spacer)形成方法，是利用上述功能液滴噴出裝置，在2枚基板間形成構成微小的單元間隔(Cell Gap)的多個粒子狀的分隔體的分隔體形成方法，其特徵在於在功能液滴噴出頭中導入構成分隔體的粒子材料，使功能液滴噴出頭至少對一枚基板作相對掃描，在基板選擇性地噴出粒子材料來形成分隔體。
本發明的金屬布線形成方法，是利用上述功能液滴噴出裝置，在基板上形成金屬布線的金屬布線形成方法，其特徵在於在功能液滴噴出頭中導入液態金屬材料，使功能液滴噴出頭對於基板作相對掃描，選擇性地噴出液態金屬材料來形成金屬布線。
本發明的透鏡形成方法，是利用上述功能液滴噴出裝置，在基板上形成多個微透鏡的透鏡形成方法，其特徵在於在功能液滴噴出頭中導入透鏡材料，使功能液滴噴出頭對於基板作相對掃描，選擇性地噴出透鏡材料來形成多個微透鏡。
本發明的抗蝕劑形成方法，是利用上述功能液滴噴出裝置，在基板上形成任意形狀的抗蝕劑的抗蝕劑形成方法，其特徵在於在功能液滴噴出頭中導入抗蝕劑材料，使功能液滴噴出頭對於基板作相對掃描，選擇性地噴出抗蝕劑材料來形成抗蝕劑。
本發明的光擴散體形成方法，是利用上述功能液滴噴出裝置，在基板上形成多個光擴散體的光擴散體形成方法，其特徵在於在功能液滴噴出頭中導入光擴散材料，使功能液滴噴出頭對於基板作相對掃描，選擇性地噴出光擴散材料來形成多個光擴散體。
這樣，通過將上述功能液滴噴出裝置應用於濾色器的製造方法、有機EL的製造方法、分隔體形成方法、金屬布線形成方法、透鏡形成方法、抗蝕劑形成方法、和光擴散體形成方法，能迅速、容易、優質地製造電光裝置。


圖1是本發明的實施方式的功能液滴噴出裝置的模式平面圖。
圖2是本發明的實施方式的功能液滴噴出頭周邊的模式平面圖。
圖3是表示由本發明的實施方式的功能液滴噴出裝置繪製的像素的一例的圖。
圖4是表示本發明的實施方式的功能液滴噴出頭的機械結構的剖面圖。
圖5是表示本發明的實施方式的功能液滴噴出裝置的控制結構的方框圖。
圖6是表示本發明的實施方式的功能液滴噴出裝置的驅動信號生成部中的內部結構的方框圖。
圖7是表示在本發明的實施方式的功能液滴噴出裝置的驅動信號生成部中，生成驅動波形的過程的圖。
圖8是表示本發明的實施方式的功能液滴噴出頭的電氣結構的方框圖。
圖9是表示本發明的實施方式的在一般列印時的驅動信號的波形圖。
圖10是表示本發明的實施方式的衝洗(Flushing)時的驅動信號的波形圖。
圖11是本發明的實施方式的有機EL裝置的製造方法中的圍堰(Bank)部形成工序(無機物圍堰)的剖面圖。
圖12是本發明的實施方式的有機EL裝置的製造方法中的圍堰(Bank)部形成工序(有機物圍堰)的剖面圖。
圖13是本發明的實施方式的有機EL裝置的製造方法中的等離子處理工序(親水化處理)的剖面圖。
圖14是本發明的實施方式的有機EL裝置的製造方法中的等離子處理工序(疏水化處理)的剖面圖。
圖15是本發明的實施方式的有機EL裝置的製造方法中空穴注入層形成工序(功能液滴噴出)的剖面圖。
圖16是本發明的實施方式的有機EL裝置的製造方法中空穴注入層形成工序(乾燥)的剖面圖。
圖17是本發明的實施方式的有機EL裝置的製造方法中表面改性工序(功能液滴噴出)的剖面圖。
圖18是本發明的實施方式的有機EL裝置的製造方法中表面改性工序(乾燥)的剖面圖。
圖19是本發明的實施方式的有機EL裝置的製造方法中B發光層形成工序(功能液滴噴出)的剖面圖。
圖20是本發明的實施方式的有機EL裝置的製造方法中B發光層形成工序(乾燥)的剖面圖。
圖21是本發明的實施方式的有機EL裝置的製造方法中R、G、B發光層形成工序的剖面圖。
圖22是本發明的實施方式的有機EL裝置的製造方法中對向電極形成工序的剖面圖。
圖23是本發明的實施方式的有機EL裝置的製造方法中密封工序的剖面圖。
圖中1-功能液滴噴出裝置，3-移動機構，4-Y軸操作臺，5-X軸操作臺，7-頭單元，9-副滑架，10-功能液滴噴出頭，10a-第1噴嘴列(大噴嘴列)，10b-第2噴嘴列(小噴嘴列)，11a-大噴嘴，11b-小噴嘴，12-功能液供給機構，13-控制裝置，14-主計算機，40-像素，52a-噴嘴開口部，57-壓力發生室，65-壓力發生元件，75-驅動信號生成部，81-波形數據存儲部，91-移位寄存器，92-閂鎖電路，93-電平移位器，500-有機EL裝置，501-基板，502-電路元件部，504-有機EL元件，510a-空穴注入/輸送層，510b-發光層，W-基板。
具體實施例方式
以下，結合

本發明的功能液滴噴出頭的驅動控制方法，功能液滴噴出裝置，電光裝置、液晶顯示裝置的製造方法，有機EL裝置的製造方法，電子發射裝置的製造方法，PDP裝置的製造方法，電泳顯示裝置的製造方法，濾色器的製造方法，有機EL的製造方法，分隔體形成方法，金屬布線形成方法，透鏡形成方法，抗蝕劑形成方法，和光擴散體的形成方法。
噴墨印表機(Ink Jet Printer)的噴墨頭(Ink Jet Head)，由於能以圓點狀高精度地噴出微小油墨滴(功能液滴)，所以期望通過例如在功能液(噴出對象液)中使用特殊的油墨、發光性或者感光性樹脂等，而在各種零件製造領域得到廣泛應用。另外，本實施方式的功能液滴噴出裝置為，應用於例如液晶顯示裝置、有機EL裝置等所謂平面顯示(FlatDisplay)的製造裝置，從此功能液滴噴出頭噴出濾色材料、發光材料等功能液(噴墨方式)、形成液晶顯示裝置中的R、G、B的濾色器元件、有機EL裝置中的各像素EL發光層及空穴注入層的裝置。
如圖1所示，本實施方式的功能液滴噴出裝置1具有底盤2和作為在底盤2上設置的移動機構3的X軸操作臺5以及與之直交的Y軸操作臺4、在Y軸操作臺4上移動自如地安裝的主滑架(Main Carriage)6，在主滑架6上搭載的頭單元(Head Unit)7。詳細內容將在後面說明，在頭單元7中，通過副滑架(Sub-Carriage)9，搭載有由每單位噴嘴的功能液滴噴出量不相同的多個噴嘴列10a、10b排列而成的功能液滴噴出頭10。另外，作為工件的基板W搭載在X軸操作臺5上。
並且，在功能液滴噴出裝置1中，裝有向功能液滴噴出頭10供給功能液的功能液供給機構12，而且組裝有控制上述移動機構3和功能液滴噴出頭10等的驅動的控制裝置13。而且，在控制裝置13中，連接有生成多種功能液滴噴出頭10的驅動波形數據或噴出圖案數據等用的主計算機(Host Computer)14。
控制裝置13總體控制功能液滴噴出裝置1的構造裝置，而且具有與主計算機14連接的控制部31、控制X軸馬達19並驅動X軸操作臺5、控制Y軸馬達17並驅動Y軸操作臺4。另外，通過接口(第2接口參見圖5)32向功能液滴噴出頭10輸入時鐘信號(CLK)、噴出信號(SI)、閂鎖信號(LAT)、和驅動信號(COM)，驅動控制功能液滴噴出頭10。並且，控制裝置13的詳細情況在後面說明。
並且，雖然在省略了圖示，但在功能液滴噴出裝置1中，組裝有接受功能液滴噴出頭10的定期衝洗(用於恢復功能的自全部噴嘴進行的功能液的排棄噴出)的衝洗單元(Flushing Unit)，擦拭功能液滴噴出頭10的噴嘴面的的擦拭單元，對功能液滴噴出頭10的功能液進行吸引和保管的清潔單元(Clearing Unit)等。
Y軸操作臺4具有構成Y軸方向的驅動系統的、由馬達17驅動的Y軸滑塊16、在其上移動自如地搭載有主滑架6。同樣地，X軸操作臺5具有構成X軸方向驅動部的、由馬達19驅動的X軸滑塊18、在其上移動自如地搭載有由吸附臺等組成的安裝臺(Set Table)20。這樣，基板W以定位狀態安裝在安裝臺20上。
在本實施方式的功能液滴噴出裝置1中，為與基於X軸操作臺5的各功能液滴噴出頭10的移動而同步驅動功能液滴噴出頭10(功能液滴的選擇性噴出)的結構，功能液滴噴出頭10的所謂主掃描是由X軸操作臺5的X軸方向的往復移動來進行的。另外，與之相對應，所謂副掃描是由基於Y軸操作臺4的基板W的Y軸方向往復移動來進行的。這樣，上述掃描中各功能液滴噴出頭10的驅動根據上述主計算機14作成的驅動波形數據以及噴出圖案數據來進行。
另一方面，功能液供給機構12具有向功能液滴噴出頭10(各噴嘴列10a、10b)供給功能液的副儲液箱(Sub-tank)23，還具有圖中未標出的、與副儲液箱23連接的主儲液箱以及將主儲液箱的功能液向副儲液箱23輸送的壓力輸送裝置。主儲液箱的功能液向副儲液箱壓力輸送，在副儲液箱23受壓力的功能液，由功能液滴噴出頭10的泵送作用，向功能液滴噴出頭10輸送。另外，雖然省略了圖示，但是上述壓力輸送裝置也由上述控制裝置13控制。
如圖2所示，頭單元7(Head Unit)由厚不鏽鋼板構成的副滑架9和在副滑架9上高精度定位固定的功能液滴噴出頭10組成。另外，在副滑架9的左右中間位置，作為噴出頭單元7的定位基準，設置著一對基準銷(標誌)26，26(一側圖示省略)。
功能液滴噴出頭10排列著由具有40μm左右的噴嘴開口徑、噴出約30～100pl的功能液滴的噴嘴(大噴嘴11a)組成的第1噴嘴列(大噴嘴列)10a，和由具有20μm左右的噴嘴開口徑、噴出約2～10pl的功能液滴的噴嘴(小噴嘴11b)組成的第2噴嘴列(小噴嘴列)10b，且第2噴嘴列10b的噴嘴數量為第1噴嘴列10a的2倍。
另外，大噴嘴列10a和小噴嘴列10b如下配置小噴嘴11b的噴嘴開口部中心位置在大噴嘴11a的噴嘴開口部52a(參見圖2)的副掃描方向(Y軸方向)的兩端點的切線上，大噴嘴列10a在副掃描方向的噴嘴間隔為750μm左右，小噴嘴列10b在副掃描方向的噴嘴間隔(與大噴嘴11a相鄰且彼此相鄰的小噴嘴11b的間隔)為40μm。
另外，上述功能液滴噴出頭10具有適合於如圖3所示的基板W(像素群)的描繪的配置，此場合的像素尺寸在副掃描方向上具有100μm的大小。即、條件為在功能液滴從具有噴嘴間隔40μm的小噴嘴11b著落的情況下，從2個小噴嘴11b噴出的功能液滴可在像素40內充分著落的大小。另外，在像素40的主掃描方向長度為500μm的場合，優選對於1個像素40，驅動控制使自大噴嘴11a進行5發、自小噴嘴11b進行8發的功能液滴著落。這樣，能發揮同時使用大噴嘴列10a和小噴嘴列10b的2種口徑不相同的噴嘴列的優勢，在像素40內高效率(提高列印效率)地得到均勻的膜厚。
另外，如該圖所示，在描繪由R(紅色)、G(綠色)、B(藍色)等3種顏色的像素40構成的像素群的場合，優選大噴嘴11a的副掃描方向的噴嘴間隔，與同一色的像素間距(Pitch)750μm相等。這樣能更加高效、優質地描繪。並且，在如圖1所示的功能液滴噴出裝置1噴出R(紅色)功能液滴的場合，G(綠色)以及B(藍色)的描繪要在各自的燒成工序完成後進行。
其次，結合圖4來說明功能液滴噴出頭10的機械結構。圖4為表示在功能液滴噴出頭10中排列的大噴嘴11a的剖面的圖。功能液滴噴出頭10由構成油墨流路的基板單元51，和安裝有壓電振動元件65的基座61組成。
基板單元51通過由形成有噴嘴開口部52a的噴嘴板(Nozzle Plate)52，和形成有島部(Island)53a的振動板53挾持流路形成板54而構成，在流路形成板54中形成區劃壓力發生室(空腔)57的通孔、區劃兩側與壓力發生室57連通的2個油墨供給口56的通孔、和區劃分別與油墨供給口56連通的2個油墨室55的通孔。振動板53由可彈性變形的薄板形成，固定在壓電振動元件(壓力發生元件)65的端面。並且，壓電振動元件65採用通過加載電壓而使晶體結構發生形變、可非常高速地進行電能-機械能轉換的壓電元件(PZT)。
另一方面，在基座61上，構成可振動地收容壓電振動元件65的收容室64、支撐基板單元51的開口62，以使壓電振動元件65的前端自開口62露出的狀態將壓電振動元件65固定在固定基板66上。另外，基座61以使振動板53的島部53a與壓電振動元件65接觸的狀態，將基板單元51固定在開口62上，將功能液滴噴出頭10組合在一起。壓電振動元件65的充放電通過FPC(Flexible Print Cable)63進行。
根據這種結構，由後述的驅動信號(COM)的驅動脈衝加載於壓電振動元件65，壓電振動元件65收縮而壓力發生室57膨脹，使共用的油墨室55的油墨經過供給口56向壓力發生室57流入。這樣，壓電振動元件65在給定時間後由於放電伸長、壓力發生室57收縮，壓力發生室57內的功能液被壓縮，功能液滴從噴嘴開口部52a向外部噴出。這樣，壓電振動元件65再次收縮、壓力發生室57膨脹，使油墨室55的新油墨從供給口56向壓力發生室57流入。
並且，壓電振動元件65不僅限於縱振動橫效應的壓電元件，也可以使用撓曲振動型的壓電元件。另外，壓力發生元件不僅限於壓電振動元件65，也可以使用磁變形元件。另外，可以使用由加熱產生的氣泡加壓的液滴噴出方式，即所謂的氣泡(Bubble)噴出方式。即，如果為對應於加載的信號，在壓力發生室57內產生壓力變動的元件，即可以代用。
另外，在這裡，雖然表示出大噴嘴11a的剖面，但小噴嘴11b的剖面也具有相同的結構。然而，小噴嘴11b與大噴嘴11a相比，由於噴嘴開口部52a的開口徑不同，具有壓力發生室(空腔)的體積以及壓電元件(壓力發生元件)65的容量都較小地構成。
其次，就功能液滴噴出裝置1的控制結構，結合圖5的功能方框圖說明。如該圖所示，控制裝置13包括取得主計算機14的各種指令、驅動波形數據以及噴出圖案數據的第1接口71、作為控制處理用的作業域使用的RAM72、存儲包括作為控制處理用控制程序和各種表格(Table)的控制數據的ROM73、發生時鐘信號(CLK)的振蕩電路74、生成驅動功能液滴噴出頭10用的驅動信號(參見圖9)的信號生成部75，向作為移動機構3的X軸馬達19、Y軸馬達17以及功能液滴噴出頭10中輸送數據信號或驅動信號等用的第2接口32、和控制經內部總線76連接的各部的CPU31。
RAM72具有作為標記(或稱特徵位，Flag)等使用的各種工作區程序塊(Work Area Block)72a、存儲從主計算機14輸送的驅動波形的驅動波形數據程序塊(Data Block)72b、和同樣存儲從主計算機14輸送的噴出圖案數據的噴出圖案數據程序塊(Pattern Data Block)72c，以即使切斷電源也能保持已存儲的數據的形態一直進行備份。
這樣，CPU31，通過第1接口71從主計算機14輸入各種信號、數據，並根據ROM73內的控制程序，處理RAM72內的各種數據的同時，向驅動信號生成部75輸送各種信號，來控制驅動控制功能液滴噴出頭10用的驅動波形的產生。
這裡就信號生成部75的內部結構，結合圖6的功能方框圖說明。驅動信號生成部75包括存儲從CPU31輸入的驅動波形數據的波形數據存儲部81，暫時保持從波形數據存儲部81讀出的驅動波形數據的第1閂鎖電路82，加算第1閂鎖電路82的輸出和後述的第2閂鎖電路84的輸出的加法器83，第2閂鎖電路84，將第2閂鎖電路84的輸出變換成模擬信號的數字/模擬變換器(DAC)86，將變換成的模擬信號放大至壓電元件65的動作電壓的電壓放大器88、和進行對應於放大後的電壓信號的電流供給用的電流放大器89。
波形數據存儲部81將決定驅動信號(COM)的波形的所給定的參數作為波形數據存儲。這樣，驅動信號的波形預先由從CPU31接受的給定參數(時鐘信號101～103、數據信號105、地址信號111～114、復位(Reset)信號121、和允許信號(Enable)122)決定。即，在驅動信號生成部75，在驅動信號(COM)生成之前、表示來自CPU31的電壓變化量的數據信號105和表示該數據信號105的地址的地址信號111～114與時鐘信號101(輸送數據信號用)，同步向波形數據存儲部81輸出，在波形數據存儲部81中接收到的數據(電壓變化量)被寫入地址信號111～114代表的地址。在此，地址A的變化量記為0，地址B的電壓變化量記為ΔV1，和地址C的電壓變化量記為-ΔV2。並且，地址信號111～114，由於是4位(Bit)的信號，故能在波形數據存儲部81中存儲多達16種電壓變化量。另外，各地址數據的最上位，用於表示電壓變化量的增加或減少的符號(+，-)。
在完成向各地址(地址A～C)設定電壓變化量後，例如如圖7所示，地址B向地址信號111～114輸出，由於最初的時鐘信號102，對應於地址B的電壓變化量ΔV1在第1閂鎖電路82中保持。在此狀態，輸出時鐘信號103後，在第2閂鎖電路84的輸出中加上第1閂鎖電路82的輸出後的值被保持在第2閂鎖電路84中。即，一旦選擇了對應於地址信號111～114的電壓變化量，在其後輸出時鐘信號103時，增減第2閂鎖電路84的輸出。
因此，一旦地址A向地址信號111～114輸出，由於最初的時鐘信號102，使對應於地址A的電壓變化量0(電壓維持)在第1閂鎖電路82中被保持，驅動信號的波形保持平坦線狀態。之後，地址A向地址信號111～114輸出，通過最初的時鐘信號102，使電壓變化量-ΔV2在第1閂鎖電路82中保持，對應於時鐘信號103的輸出，電壓按ΔV2逐次遞減。
這樣，通過從CPU31輸出地址信號111～114上時鐘信號102、103，能自由地選擇驅動信號(COM)的波形，在本實施方式中如圖9所示，產生在一個噴出周期內有4個驅動脈衝的驅動信號。
其次，就功能液滴噴出頭10的電氣結構，結合圖8的方框圖進行說明。功能液滴噴出頭10具有對應於噴嘴11a、11b的數量的多個移位寄存器(這裡，僅在圖中表示出與噴嘴11a和噴嘴11b對應的2個)91a、91b，多個閂鎖電路92a、92b，多個電平移位器(Level Shifter)93a、93b，多個開關電路94a、94b，和多個壓電元件65a、65b。噴出信號(SI)與來自振蕩電路74的時鐘信號(CLK)同步，通過第2接口32向移位寄存器91a、91b輸入。這樣，同樣地，通過第2接口32，與輸入的閂鎖信號(LAT)同步，在閂鎖電路92a和92b被閂鎖。被閂鎖的噴出信號(SI)，由電平移位器93a、93b放大至能驅動開關電路94a和94b的電壓，並向開關電路94a和94b供給。在開關電路94a、94b的輸入側，來自驅動信號生成部75的驅動信號(COM)被輸入，輸出側與壓電元件65a、65b連接。
開關電路94a、94b在噴出信號(SI)為「1」的場合，向壓電元件65a、65b供給驅動信號(COM)並產生動作；在噴出信號(SI)為「0」的場合，遮斷不產生動作。因此在通過由如圖9所示的4個驅動脈衝組成的驅動信號驅動功能液滴噴出頭10的場合，通過被閂鎖的閂鎖信號(LAT)，噴出信號(SI)能任意地選擇第1脈衝～第4脈衝。
其次，就構成驅動信號(COM)的各驅動脈衝，結合圖9的波形圖進行說明。如該圖所示，一般列印時的驅動信號(COM)在一個列印周期中，包括為防止功能液粘度增大而輸入的第1脈衝(微振動脈衝)，為從小噴嘴列10b噴出功能液滴而輸入的第2脈衝(噴出脈衝)，為從大噴嘴列10a噴出功能液滴而輸入的第3脈衝(噴出脈衝)，和為抑制壓力產生元件(壓電元件)65的殘留振動而輸入的第4脈衝(制振脈衝)。
第1脈衝(微振動脈衝)，為在一個列印周期中僅輸入1個波形的波形，加載使功能液滴不從各噴嘴11a、11b噴出的大小的電壓。此波形，從電位V0開始(P11)，然後從電位V0以給定電壓斜率(坡度)θU1上升(P12)，最後在給定時間維持比最大電位Vp小的最大電位V1(P13)。之後，以與上升時(充電時)的電壓坡度θU1大致相等的電壓坡度θD1下降到電位V0(P14)。這裡，微振動脈衝的波形以及最大電位V1是根據功能液滴的種類來決定的。這樣，通過微振動脈衝的輸入，使構成各噴嘴11a、11b的彎液面(Meniscus)的功能液振動，能夠防止噴嘴開口部52a附近的功能液粘度增大。因此能保持良好的功能液噴出狀態。
另外，由於微振動脈衝在一個周期中，與之後的噴出脈衝的數量無關而僅輸入一個波形，故對列印效率的影響很小。即，在驅動每單位噴嘴的功能液滴噴出量(噴嘴的開口徑)不相同的2個噴嘴列10a、10b的場合，一般用各自獨立的驅動信號(2COM)進行驅動，而在此場合，在各自的驅動信號中需要使用微振動脈衝。然而，在本實施方式中，由於僅用單一的驅動信號驅動每單位噴嘴的功能液滴噴出量不相同的2個噴嘴列10a、10b，能實現通用化，進而實現列印周期縮短(提高列印效率)。另外，微振動脈衝由於在後述的噴出脈衝(第2脈衝、第3脈衝)之前輸入，所以即使在最初的噴出脈衝輸入時，也能夠噴出粘度不增大的正常的功能液。
其次，第2脈衝(噴出脈衝)，是為從小噴嘴列10b噴出功能液而輸入的波形，其電壓值，在第1脈衝輸入後，在給定的時間維持電壓V0(P15)，以給定的電壓坡度θU2上升(P16)。然後，上升至最大電位Vp，將Vp維持給定時間(P17)後，以給定的電壓坡度θD2下降(P18)。
第2脈衝的電壓值，下降至電位V2(P18)，在給定時間維持電位V2(P19)後，再度以相同電壓坡度θU2下降至電位0(P20)。由於此電位V2的保持時間(P19)與壓力發生室(空腔)57內的功能液的動作時間相一致，由此能防止功能液不穩定地噴出。
其次，第3脈衝(噴出脈衝)，是為從大噴嘴列10a噴出功能液而輸入的波形，其電壓值，在第2脈衝輸入後，在給定的時間維持電壓V0(P21)，以給定的電壓坡度θU3上升(P22)。然後，上升至最大電位V3，並在給定時間維持V3後(P23)，再度以電壓坡度θU4上升(P24)。此電位V3的保持時間(P23)也與第2脈衝的電位V2的保持時間(P19)同樣為用於使壓力發生室57內的功能液的動作時間一致的時間。接著，第3脈衝的電壓值，上升至最大電位Vp，並在給定時間維持最大電位Vp(P25)後，以給定的電壓坡度θD3下降(P26)。
另外，第3脈衝的電壓坡度θU3、θD3，比第2脈衝的電壓坡度θU2、θD2小。並且，第3脈衝的最大電壓Vp保持時間(P25)比第2脈衝的電壓Vp(P17)保持時間長。這些是根據大噴嘴11a、小噴嘴11b各自的每單位噴嘴的功能液滴噴出量，壓力發生室(空腔)57的體積或者壓電元件(壓力產生元件)65的容量來決定的。即，由於大噴嘴11a的每單位噴嘴的功能液滴噴出量比小噴嘴11b的多，壓力發生室(空腔)57的體積、壓電元件(壓力產生元件)65的容量都大，所以與小噴嘴11b相比較，大噴嘴11a的電壓坡度小，液體從油墨室55向壓力發生室57穩定緩慢地吸引，液體在壓力室壓力發生室57內能保持充分吸引(保持時間P25)。接下來，同樣，與小噴嘴11b比較，大噴嘴11a以電壓坡度小的噴出波形(P26)進行噴出。這樣，由於在本實施方式中，根據各噴嘴列10a、10b的規格改變噴出脈衝的波形，不僅能使用具有各種規格(噴嘴開口徑、噴嘴開口形狀等)的噴嘴，而且能噴出各種重量和粘度的功能液。並且，雖然第2脈衝和第3脈衝的最大電位都被定為Vp，但不限於共用電位。
其次，第4脈衝(制振脈衝)是為抑制壓力產生元件(壓電元件)65的殘留振動而輸入的波形，其電壓值，在第3脈衝輸入後，在給定時間維持電壓V0(P27)，以給定的電壓坡度θU5上升(P28)。然後，上升至最大電位V4，並在給定時間維持V4(P29)後，以給定的電壓坡度θD4下降(P30)。
另外，制振脈衝的波形及最大電壓值V4是根據前面最後一個輸入的噴出脈衝，即第3脈衝的輸入來決定的。另外，有無必要制振，是由頭驅動周期和噴出波形來決定的。(本實施方式中，表示出需要制振的例子)。這樣，由於制振脈衝的輸入，第3脈衝的輸入後留下的、壓力產生元件(壓電元件)65的殘留振動能被抑制，或者能被減弱。因此，由於制振脈衝的輸入，第3脈衝對後面的驅動脈衝沒有影響，通常能進行穩定的功能液噴出。另外，由於制振脈衝具有與前面最後一個輸入的噴出脈衝波形相對應的波形，能更加切實地抑制殘留振動。
接下來，就第1脈衝～第4脈衝的波形選擇進行說明。像前面敘述過的那樣，在第1脈衝～第4脈衝的波形中，噴出信號(SI)通過被閂鎖的閂鎖信號(LAT)，可任意選擇噴出「1」或非噴出「0」(參見圖8)。因此，在第1脈衝輸入前選擇閂鎖信號「1」的場合下，輸入第1脈衝；而選擇閂鎖信號「0」的場合下，不輸入第1脈衝。第2、第3脈衝也同樣。另外，第4脈衝是根據第3脈衝的噴出「1」還是「0」來決定噴出/非噴出。即，由於第4脈衝是抑制在第3脈衝輸入後留下的壓電元件65的殘留振動的脈衝，所以在第4脈衝輸入前不產生閂鎖信號，根據第3脈衝的噴出/非噴出來決定其噴出/非噴出。
並且，本實施方式的場合，由於第2脈衝為向小噴嘴11b輸入的波形，而第3脈衝為向大噴嘴11a輸入的波形，故對於大噴嘴11a，第2脈衝一直是非噴出「0」；而對於小噴嘴11b，第3脈衝一直是非噴出「0」。
另外，圖9所示的驅動信號是表示功能液滴噴出頭10的往動(離去)時情況。而復動(返回)時，其波形不相同。即，復動時，按第1脈衝、第3脈衝、第2脈衝、第4脈衝的順序輸入。第4脈衝的噴出/非噴出由前面輸入的第2脈衝的噴出/非噴出決定，並且其波形為與第2脈衝波形相對應的波形。
另外，在此場合，滑架返回(Carriage Return)時(復動開始時)進行波形切換。波形切換通過如下方式進行，即、將電壓值下降至電位V0(最下電位)，在此將DAC86(參見圖6)的值設定為0(重新設定)，再在波形數據存儲部81將不同的數據(電壓變化量)記入地址，使DAC86再次動作。
這樣在本實施方式中，僅在滑架返回(Carriage Return)時(僅限於進行往復列印的場合)，進行波形切換，在其它階段不需要進行其它波形切換，這樣能提高列印效率。即，由於不用2個驅動信號驅動每單位噴嘴的功能液滴噴出量不相同的2個噴嘴列，雖然用驅動信號切換進行控制的場合，每次輸入驅動信號都需要其切換時間，但是在本實施方式中，由於在單個驅動信號內，具有與各噴嘴列10a、10b相對應的噴出脈衝，每次輸入驅動信號不需要其切換時間，進而提高列印效率。
其次，就衝洗時的驅動信號(COM)，結合圖10的波形圖進行說明。所謂衝洗(Flushing)是用於功能恢復的處理，是為防止功能液粘度增大而在列印開始時定期地從全部噴嘴排棄噴出功能液的動作。因此，噴出的功能液滴的量的調整、噴出精度等要求不那麼高，大噴嘴11a、小噴嘴11b經共用的噴出脈衝使功能液噴出。
如該圖所示，衝洗時的驅動信號具有與上述第3脈衝(噴出脈衝)近似的波形，電壓上升時(充電時)的平坦部分(電壓保持部P41)與壓力發生室57內的功能液的動作時間相一致。這樣，衝洗時，由於用共用的驅動波形驅動大小噴嘴11a、11b，列印周期縮短，所以能高頻進行驅動。並且，在衝洗時噴出的功能液的量，由於大噴嘴11a和小噴嘴11b的噴嘴開口部52a的開口徑、壓電元件65的容量不相同，當然相異。大噴嘴11a比小噴嘴11b排棄噴出更多的功能液。
而且，這樣構成的本實施方式的功能液滴噴出裝置1也可以用於各種電光裝置的製造。這裡，作為電光裝置的一個例子，參見圖11～圖23，對有機EL裝置(有機EL顯示裝置)及其製造方法進行說明。
圖11～圖23，表示含有機EL元件的有機EL裝置的製造過程及其結構。其製造過程包括圍堰(Bank)部形成工序、等離子處理工序、由空穴注入/輸送層形成工序及發光層形成工序構成的發光元件形成工序、對向電極形成工序和密封工序。
在圍堰(Bank)部形成工程中，通過在基板501上預先形成的電路元件部502上及電極511(也稱像素電極)上的給定位置，疊層無機物圍堰層512a和有機物圍堰層512b，來形成具有開口部512g的圍堰(Bank)部512。這樣，在圍堰(Bank)部形成工序中，包含有在電極511的一部分上形成無機物圍堰層512a的工序，和在無機物圍堰層上形成有機物圍堰層512b的工序。
首先，在形成無機物圍堰層512a的工序中，如圖11所示，在電路元件部502的第2層間絕緣膜544b及像素電極511上，形成無機物圍堰層512a。利用例如CVD法、塗層法(Coating)、噴塗(Sputter)法、蒸鍍法等方法在第2層間絕緣膜544b及像素電極511的整個面上形成SiO2、TiO2等無機物膜來形成無機物圍堰層512a。
接下來，用蝕刻等方法將該無機物膜圖案化，並設置對應於電極511的電極面511a的形成位置的下部開口部512c。此時，需要將無機物圍堰層512a與電極511的周邊緣重疊地形成。這樣，通過電極511的周邊緣部(一部分)與無機物圍堰層512a重疊地形成無機物圍堰層512a，能夠控制發光層510b的發光區域。
其次，在形成有機物圍堰層512b的工序中，如圖12所示，在無機物圍堰層512a上形成有機物圍堰層512b。用光蝕刻(Photo Lithography)等技術對有機物圍堰層512b進行蝕刻來形成有機物圍堰層512b的上部開口部512d。上部開口部512d設置在電極面511a及下部開口部512c對應的位置。
上部開口部512d優選如圖12所示，比下部開口部512c寬、比電極面511a狹小地形成。這樣，圍著無機物圍堰層512a的下部開口部512c的第1疊層部512e，比有機物圍堰層512b更向電極511的中央一側延伸出來。這樣做，由於上部開口部512d與下部開口部512c連通，便形成了貫通無機物圍堰層512a和有機物圍堰層512b的開口部512g。
其次，在等離子處理工序中，在圍堰部512表面和像素電極面511a上，形成有親油墨性區域和疏油墨性區域。此等離子處理工序大致區分為預備加熱工序、對圍堰部512的上面(512f)及其開口部512g的壁面、以及像素電極511的電極面511a進行親油墨性加工的親油墨化工序，對有機物圍堰層512b的上面512f及上部開口部512d的壁面進行疏油墨性加工的疏油墨化工序，和冷卻工序等工序。
首先，在預備加熱工序中，將含圍堰部512的基板501加熱至給定溫度。加熱是在例如載有基板501的平臺上安裝加熱器，用此加熱器連同平臺一起加熱基板501。具體地，優選使基板501的預備加熱溫度處於例如70～80℃的溫度範圍。
其次，在親油墨化工序中，在大氣氛圍中進行以氧氣作為處理用氣體的等離子處理(O2等離子處理)。用O2等離子處理，如圖13所示，對像素電極511的電極面511a、無機物圍堰層512a的第1疊層部512e、有機物圍堰層512b的上部開口部512d的壁面以及上面512f進行親油墨處理。由於此親油墨處理，在這些表面上導入羥基使之具有親油墨性。在圖13中，親油墨處理的部分用雙點劃線表示。
其次，在疏油墨化工序中，在大氣氛圍中進行以四氟甲烷作處理用氣體的等離子處理(CF4等離子處理)。用CF4等離子處理，如圖14所示，對上部開口部512d壁面及有機物圍堰層的上面512f進行疏油墨處理。由於此疏油墨處理，在這些表面上導入氟基(-F)使之具有疏油墨性。在圖14中，疏油墨處理的部分用雙點劃線表示。
其次，在冷卻工序中，將為等離子處理而加熱的基板501冷卻至室溫或噴墨工序(功能液滴噴出工序)的管理溫度。通過將等離子處理後的基板501冷卻至室溫或規定溫度(例如進行噴墨工序的管理溫度)，能夠使後面的空穴注入/輸送層形成工序在一定溫度下進行。
其次，在發光元件形成工序中，用在像素電極511上形成空穴注入/輸送層及發光層來形成發光元件。發光元件形成工序包括4項工序，即在各像素電極上噴出空穴注入/輸送層形成用的第1組成物的第1功能液滴噴出工序，乾燥噴出的第1組成物、在像素電極上形成空穴注入/輸送層的空穴注入/輸送層形成工序，在空穴注入/輸送層上噴出形成發光層用的第2組成物的第2功能液滴噴出工序，和乾燥噴出的第2組成物、在空穴注入/輸送層上形成發光層的發光層形成工序。
首先，在第1功能液滴噴出工序中，由噴墨法(功能液滴噴出法)，在電極面511a上噴出含空穴注入/輸送層形成材料的第1組成物。在第1功能液滴噴出工序以後的工序，優選用無水、無氧的氮氣氣氛、氬氣氛圍氣等惰性氣體氛圍中進行。(並且，僅在像素電極上形成空穴注入/輸送層的場合下，與有機物圍堰層相鄰而形成的空穴注入/輸送層不形成)。
如圖15所示，噴墨頭(功能液滴噴出頭10)H中填充含空穴注入/輸送層形成材料的第1組成物，使噴墨頭H的噴出噴嘴與位於下部開口部512c內的電極面511a相互面對，噴墨頭H和基板501在作相對移動的同時，從噴出噴嘴在電極面511a上噴出平均1滴的液量受到控制的第1組成物液滴510c。
這裡採用的第1組成物可使用將例如聚亞甲基二氧噻吩(PEDOT，Poly-Ethylene Dioxy Thiophene)等聚噻吩的衍生物與聚苯乙烯磺酸(PSS，Poly Styrene Sulfon Acid)等的混合物溶於極性溶劑形成的組成物。極性溶劑可以舉出例如異丙醇(IPA，Iso-Propyl Alcohol)、正丁醇(N-Butanol)、γ-丁內酯(γ-Butylrolacton)、N-甲基吡咯烷酮(N-Methyl Pyrrolidone)、1，3-二甲基-2-咪唑啉酮(DMI，1，3-Dimethyl-2-Imidazolinone)及其衍生物，卡比醇醋酸酯(CarbitolAcetate)、丁基卡比醇醋酸酯(Carbitol Acetate)等、和乙二醇醚(GlycolEther)類等。並且，空穴注入/輸送層形成材料可用與R、G、B的各發光層510b相同的材料，每一發光層也可用不同材料。
如圖15所示，噴出的第1組成物液滴510c在親油墨處理後的電極面511a及第1疊層部512e上擴展開來，在下部、上部開口部512c、512d內鋪滿。在電極面511a上噴出的第1組成物的量，由下部、上部開口部512c、512d的大小、要形成的空穴注入/輸送層的厚度、在第1組成物中的空穴注入/輸送層形成材料的濃度決定。另外，第1組成物液滴510c也可以不一次噴出，而分數次在同一電極面511a上噴出。
接下來的空穴注入/輸送層形成工序中，如圖16所示，通過對噴出後的第1組成物進行乾燥處理及熱處理，將第1組成物中所含極性溶劑蒸發掉，在電極面511a上形成空穴注入/輸送層510a。在進行乾燥處理時，在第1組成物液滴510c中含有的極性溶劑的蒸發主要發生在無機物圍堰層512a及有機物圍堰層512b的附近，隨極性溶劑的蒸發，空穴注入/輸送層形成材料被濃縮而析出。
這樣，如圖16所示，通過乾燥處理，電極面511a上的極性溶劑也發生蒸發，由此在電極面511a上形成由空穴注入/輸送層形成材料組成的平坦部510a。由於電極面511a上極性溶劑的蒸發速度大致均勻，空穴注入/輸送層的形成材料在電極面511a上均勻地濃縮，而形成均勻厚度的平坦部510a。
在接下來的第2功能液滴噴出工序中，用噴墨法(功能液滴噴出法)，使含發光層形成材料的第2組成物在空穴注入/輸送層510a上噴出。在該第2功能液滴噴出工序中，為防止空穴注入/輸送層510a的再溶解，作為在發光層形成時使用的第2組成物的溶劑，使用不溶解空穴注入/輸送層510a的非極性溶劑。
然而，一方面，由於空穴注入/輸送層510a對非極性溶劑的親和性低，即使含非極性溶劑的第2組成物在空穴注入/輸送層510a上噴出，空穴注入/輸送層510a與發光層510b也不能緊密接合，或者有可能不能均勻塗敷發光層510b。在此，為了提高空穴注入/輸送層510a表面對非極性溶劑及發光材料的親和性，優選在發光層形成前進行表面改性工序。
在此，首先說明表面改性工序。表面改性工序是用與發光層形成時使用的第2組成物的非極性溶劑相同或類似的溶劑作為表面改性用溶劑，用噴墨法(功能液滴噴出法)、旋轉塗敷法(Spin-Coating)或者浸漬法(Dip)在空穴注入/輸送層510a上塗敷後乾燥完成。
例如，用噴墨法塗敷，如圖17所示，噴墨頭H中填充表面改性用溶劑，使噴墨頭H的噴出噴嘴正對著基板(即空穴注入/輸送層510a形成後的基板)、一面使噴墨頭H與空穴注入/輸送層510a作相對移動，一面從噴出噴嘴H向空穴注入/輸送層510a上噴出表面改性溶劑510d。然後，如圖18所示，對表面改性溶劑510d進行乾燥。
在接下來的第2功能液滴噴出工序中，用噴墨法(功能液滴噴出法)，使含發光層形成材料的第2組成物在空穴注入/輸送層510a上噴出。如圖19所示，在噴墨頭H中填充含藍色(B)發光層形成材料的第2組成物，使噴墨頭H的噴嘴正對位於下部、上部開口部512c、512d內的空穴注入/輸送層510a，一面使噴墨頭H與空穴注入/輸送層510a作相對移動，一面從噴出噴嘴噴出平均一滴的液量受到控制的第2組成物滴510e、向空穴注入/輸送層510a上噴出該第2組成物滴510e。
作為發光層形成材料，可以使用聚芴(Poly Fluorene)的高分子衍生物，聚對苯撐亞甲基(Poly Para Phenylene Vinylene)的衍生物，聚苯撐(Poly Phenylene)的衍生物，聚乙烯咔唑(Poly Vinyl Carbazile)，聚噻吩(Poly Thiophene)的衍生物，苝(Perylene)系色素，香豆素(Coamarin)系色素，諾丹明(Rhodamin)系色素，或者在上述高分子材料中摻雜(dope)有機EL材料使用。例如，可以使用蛇麻素(Lupulin)、苝(Perylene)、9，10-二苯基蒽(9，10-Diphenyl Anthracene)，四苯基丁二烯Tetra-Phenyl Butadiene)，指甲紅(Nail Red)、香豆素6(Coamarin6)、和喹吖啶酮(Quinacridone)等進行摻雜。
非極性溶劑優選對空穴注入/輸送層510a不溶解的溶劑，例如，可使用環己基苯(Cyclo-hexyl Benzene)，二氫苯並呋喃(Dihydro BenzeneFuran)，三甲苯(Trimethyl Benzene)，和四甲苯(Tetra-methyl Benzene)等。在發光層510b的第2組成物中使用這樣的非極性溶劑，不會再溶解空穴注入/輸送層510a而塗敷第2組成物。
如圖19所示，噴出的第2組成物510e，在空穴注入/輸送層510a上擴展開來並在下部、上部開口部512c、512d內鋪滿。在第2組成物510e也可以不一次噴出，而是分數次在同一電極面511a上噴出。在此場合，各次中的第2組成物的量可以相同，也可以改變各次中的第2組成物的量。
在接下來的發光層形成工序中，在噴出第2組成物後進行乾燥處理和熱處理、在空穴注入/輸送層510a上形成發光層510b。乾燥處理是通過對噴出的第2組成物進行乾燥處理、蒸發除去第2組成物中所含非極性溶劑、形成如圖20所示的藍色(B)發光層510b。
接著，如圖21所示，與藍色(B)發光層510b的情況一樣，形成紅色(R)發光層510b，最後形成綠色(G)發光層510b。並且，發光層510b的形成順序，不限於上述順序，無論什麼樣的順序都可以。例如也可以根據發光層材料來決定形成(順序)。
接下來在對向電極形成工序中，如圖22所示，在發光層510b及有機物圍堰層512b的整個面上形成陰極503(對向電極)。並且，陰極503也可以數種材料疊層形成。例如，在靠發光層近的一側優選形成功函數小的材料，例如可使用Ca、Ba等，而且隨材料不同，有時在下層形成薄的LiF層較好。另外在上部側(密封側)，優選比下部功函數高的材料。這些陰極(陰極層)503的形成方法優選例如蒸鍍法、噴塗(Sputter)法、CVD法，尤其是蒸鍍法，能防止由於發光層510b的熱而引起的損傷。
另外，氟化鋰(LiF)可以僅在發光層510上形成，也可僅在藍色(B)發光層510b上形成。在此場合，其它紅色(R)發光層及綠色(G)發光層510b、510b與由LiF組成的上部陰極層503b連接。另外在陰極503的上部優選用蒸鍍法、噴塗(Sputter)法、CVD法等形成Al膜、Ag膜等。另外，在陰極503上，也可以設置防止氧化用的SiO2、SiN等保護層。
最後，在如圖23所示的密封工序中，在氮氣、氬氣、氦氣等惰性氣氛中，在有機EL元件504上疊層密封用基板505。密封工序，優選在氮氣、氬氣、氦氣等惰性氣氛中進行。若在大氣中進行，則在陰極503中有針孔(Pinhole)等缺陷的情況下，水、氧氣等可能會從此缺陷部分侵入陰極503，造成陰極503氧化。接著，最後，在柔性(Flexible)基板的布線上連接陰極503的同時，將電路元件部502的布線連接在驅動IC上，便得到本實施方式的有機EL裝置500。
並且，在像素電極511及陰極(對向電極)503的形成中，可以採用基於噴墨頭H的噴墨方式。即，在噴墨頭H中分別導入液體電極材料，將其從噴墨頭H噴出，分別形成像素電極511及陰極503(含乾燥工序)。
同樣地，本實施方式的功能液滴噴出裝置1，能應用於電子發射裝置的製造方法、PDP裝置的製造方法、和電泳顯示裝置的製造方法等。
在電子發射裝置的製造方法中，在功能液滴噴出頭10中導入R、G、B各種顏色螢光材料，使功能液滴噴出頭10進行主、副掃描，選擇性地噴出螢光材料，在電極上形成多個螢光體。並且，電子發射裝置是含FED(電場發射顯示)的上位概念。
PDP裝置的製造方法中，在功能液滴噴出頭10中導入R、G、B各種顏色螢光材料，使功能液滴噴出頭10進行主、副掃描，選擇性地噴出螢光材料，在背面基板上的多個凹部分別形成螢光體。
在電泳顯示裝置的製造方法中，在功能液滴噴出頭10中導入各種顏色的電泳材料，使功能液滴噴出頭10進行主、副掃描，選擇性地噴出油墨材料，在電極上多個凹部分別形成電泳體。由帶電粒子和染料組成的電泳體優選封入微膠囊(Microcapsule)。
另一方面，本實施方式的功能液滴噴出裝置1也可應用於間隔體形成方法、金屬布線形成方法、透鏡形成方法、抗蝕劑形成方法和光擴散體形成方法等，在此不一一列舉。
間隔體形成方法是在2枚基板間形成構成微小的單元間隙(CellGap)的多個粒子狀的間隔體的方法，在功能液滴噴出頭10中導入構成間隔體的粒子材料，使功能液滴噴出頭10進行主、副掃描，選擇性地噴出粒子材料，至少在一方的基板上形成間隔體。用於在例如在上述液晶顯示裝置、電泳顯示裝置中的2枚基板間形成單元間隙(Cell Gap)的場合，當然也可以應用於其它需要該種微小間隔的半導體製造技術。
在金屬布線形成方法中，在功能液滴噴出頭10中導入液態金屬材料，使功能液滴噴出頭10進行主、副掃描，選擇性地噴出液態金屬材料，在基板上形成金屬布線。例如，能夠應用於在上述液晶顯示裝置中連接驅動器(Driver)和各電極的金屬布線，上述有機EL裝置中連接TFT等和各電極的金屬布線。另外，此方法除應用於這種平面顯示器(Flat Display)外，當然也可以應用於一般的半導體製造技術。
在透鏡形成方法中，在功能液滴噴出頭10中導入透鏡材料，使功能液滴噴出頭10進行主、副掃描，選擇性地噴出透鏡材料，在透明基板上形成多個微透鏡。例如，本方法能應用於上述FED裝置中的光束(Beam)收束用器件。另外，不用說，本方法也可應用於其它各種光學器件。
在抗蝕劑形成方法中，在功能液滴噴出頭10中導入抗蝕劑材料，使功能液滴噴出頭10進行主、副掃描，選擇性地噴出抗蝕劑材料，在基板上形成任意形狀的光抗蝕劑(Photo-resist)。例如，本方法可應用於上述各種顯示裝置中的圍堰的形成，而且在作為半導體製造技術主體的光蝕刻(Photo-Lithography)方法中，廣泛應用於光抗蝕劑的塗敷。
光擴散體形成方法，是在基板上形成多個光擴散體的光擴散體形成方法，在功能液滴噴出頭10中導入光擴散材料，使功能液滴噴出頭10進行主、副掃描，選擇性地噴出光擴散材料，形成多個光擴散體。此場合當然也可應用於各種光學器件。
如以上說明的那樣，本發明的功能液滴噴出頭的驅動控制方法及功能液滴噴出裝置1，由於使用了由每單位噴嘴功能液滴噴出量不相同的多個噴嘴列排列而成的功能液滴噴出頭10，所以使液滴能在一個像素內有效地著落，而且能得到均勻的膜厚。另外，由於用單一驅動信號(COM)驅動控制功能液滴噴出頭10中排列的多個噴嘴列，故不需要產生對應於噴嘴列數的驅動信號。即，由於用單一驅動信號(COM)驅動控制一個功能液滴噴出頭10，使驅動信號容易進行。並且，控制功能液滴噴出頭10的驅動信號，在一個列印周期中，具有對應於多個噴嘴列的多個噴出脈衝，在驅動信號生成部中，不需要進行各噴嘴列中施加的驅動信號的切換，所以能進行高頻驅動，即，能提高列印效率。
另外，由於對應於相應的噴嘴列的規格、用具有互不相同波形的噴出脈衝驅動各噴嘴列，所以不僅能使用具有各種規格(噴嘴開口徑、噴嘴開口的形狀等)的噴嘴，而且能噴出各種重量和粘度的功能液。
另外，在進行作為恢復功能用的處理的衝洗時，由於噴出的功能液滴的量的調整、噴出粘度等要求不那麼高，經同一噴出脈衝就能容易驅動控制多個噴嘴列。這樣的結構可使列印周期縮短，在進行衝洗的場合下能用高頻率進行驅動。
另外，由於通過驅動信號中含有的微振動脈衝使構成彎液面(Meniscus)的功能液微振動，故能防止噴嘴開口部附近的功能液粘度增大，能良好地保持功能液的噴出狀態。另外，由於微振動脈衝與之後的噴出脈衝數無關而僅輸入一個波形，所以能夠減小對列印效率的影響。並且，由於微振動脈衝在噴出脈衝之前輸入，即使在最初的噴出脈衝輸入時，也能夠噴出粘度不增大的正常的功能液。
另外，由於驅動信號有用於抑制壓力產生元件65的殘留振動的制振脈衝，所以前面最後一個輸入的噴出脈衝對後面的驅動脈衝沒有影響，能一直進行穩定的功能液噴出。另外，由於制振脈衝具有與前面最後一個輸入的噴出脈衝的波形相對應的波形，能更加切實地抑制殘留振動。
另外，由於功能液滴噴出頭10是由每單位噴嘴的功能液滴噴出量不相同的2個噴嘴列10a、10b組成，所以通過用具有2個噴出脈衝(第2脈衝、3第脈衝)的驅動信號，容易地在一個像素40內有效地著落功能液滴(參見圖3)。另外，由於第2噴嘴列(小噴嘴列)10b的數量為第1噴嘴列(大噴嘴列)10a的噴嘴數的2倍，故可更加無間隙地填滿像素40、由此得到更加均勻的膜厚。
另一方面，由於本發明的電光裝置是用由每單位噴嘴功能液滴噴出量不相同的多個噴嘴列排列而成的功能液滴噴出頭10製造的，故在1個像素40內能得到更加均勻的膜厚。
另外，根據液晶顯示裝置的製造方法、有機EL裝置的製造方法、電子發射裝置的製造方法、PDP裝置的製造方法及電泳顯示裝置的製造方法、濾色器(Color Filter)的製造方法、有機EL的製造方法、分隔體(Spacer)形成方法、金屬布線形成方法、透鏡形成方法、抗蝕劑(Resist)形成方法、和光擴散體的形成方法，利用由每單位噴嘴的功能液滴噴出量不相同的多個噴嘴列排列而成的功能液滴噴出頭10，所以能製造優良的電光裝置。
並且，在上述例中，大噴嘴11a和小噴嘴11b噴出同種功能液，但也可以噴出不同種類或顏色的功能液。根據此構成，能利用1個功能液滴噴出頭10噴出重量、粘度等不同的功能液，所以能夠利用一個功能液滴噴出頭10能製造如上述的電光裝置等，擴大規格用途。
另外，在上述說明中，以大噴嘴11a和小噴嘴11b分別排列1列的功能液滴噴出頭10為例進行了說明，但也可以為每單位噴嘴的功能液滴噴出量不相同的噴嘴列以3列、4列等多列排列的形態。另外，在此場合，可以共用防止粘度增大用的微振動脈衝。並且，在衝洗時也可以共用噴出脈衝。然而，用於抑制殘留振動的制振脈衝，優選對應於驅動信號中含有的噴出脈衝的波形、最大電位等適當地輸入。
如上所述，根據本發明的功能液滴噴出頭的驅動控制方法及功能液滴噴出裝置，即使在一個功能液滴噴出頭中，每單位噴嘴的功能液滴噴出量不相同的多個噴嘴列排列的情況下，也能夠不降低列印效率而容易地進行驅動控制。
另外，根據本發明的電光裝置、液晶顯示裝置的製造方法、有機EL裝置的製造方法、電子發射裝置的製造方法、PDP裝置的製造方法、電泳顯示裝置的製造方法、濾色器(Color Filter)的製造方法、有機EL的製造方法、分隔體(Spacer)形成方法、金屬布線形成方法、透鏡形成方法、抗蝕劑(Resist)形成方法、和光擴散體形成方法，利用上述由每單位噴嘴的功能液滴噴出量不相同的多個噴嘴列構成的功能液滴噴出頭，能迅速、容易地製造優良的電光裝置。
權利要求
1.一種功能液滴噴出頭的驅動控制方法，為由每單位噴嘴的功能液滴噴出量不相同的多個噴嘴列排列而成的功能液滴噴出頭的驅動控制方法，其特徵在於在一個列印周期中，使用具有對應於所述多個噴嘴列的多個噴出脈衝的單一驅動信號來驅動控制所述多個噴嘴列。
2.根據權利要求1所述的功能液滴噴出頭的驅動控制方法，其特徵在於所述多個噴出脈衝根據對應的噴嘴列的規格，具有互不相同的波形。
3.根據權利要求1所述的功能液滴噴出頭的驅動控制方法，其特徵在於在進行功能恢復用的處理、即從全部噴嘴進行排棄噴出的衝洗的場合下，所述多個噴嘴列由同一噴出脈衝來驅動控制。
4.根據權利要求1所述的功能液滴噴出頭的驅動控制方法，其特徵在於所述驅動信號具有使構成各噴嘴的彎液面的功能液微振動的微振動脈衝，所述微振動脈衝在所述一個列印周期中僅輸入一個波形。
5.根據權利要求4所述的功能液滴噴出頭的驅動控制方法，其特徵在於所述微振動脈衝，在所述一個列印周期中，在所述多個噴出脈衝輸入之前輸入。
6.根據權利要求1所述的功能液滴噴出頭的驅動控制方法，其特徵在於所述驅動信號具有用於抑制在與各噴嘴連通的空腔內產生壓力變動的壓力產生元件的殘留振動的制振脈衝，所述制振脈衝在所述一個列印周期中，在所述多個噴出脈衝輸入後輸入，並且具有與前面最後一個輸入的所述噴出脈衝的波形相對應的波形。
7.根據權利要求1所述的功能液滴噴出頭的驅動控制方法，其特徵在於所述多個噴嘴列由噴出第1功能液滴噴出量的第1噴嘴列、和噴出比所述第1功能液滴噴出量少的第2功能液滴噴出量的第2噴嘴列構成，所述第2噴嘴列的噴嘴數為所述第1噴嘴列的噴嘴數的2倍。
8.一種功能液滴噴出裝置，為使導入有功能液的功能液滴噴出頭一面相對於工件相對移動，一面選擇性地噴出功能液滴的功能液滴噴出裝置，其特徵在於具有由每單位噴嘴的功能液滴噴出量不相同的多個噴嘴列排列而成的功能液滴噴出頭、和用單一驅動信號驅動控制所述多個噴嘴列的控制裝置，所述驅動信號在一個列印周期中具有對應於所述多個噴嘴列的多個噴出脈衝。
9.根據權利要求8所述的功能液滴噴出裝置，其特徵在於所述多個噴出脈衝根據對應的噴嘴列的規格，具有互不相同的波形。
10.根據權利要求8所述的功能液滴噴出裝置，其特徵在於所述控制裝置，在進行功能恢復用的處理、即從全部噴嘴進行排棄噴出的衝洗的場合下，利用同一噴出脈衝驅動控制所述多個噴嘴列。
11.一種電光裝置，其特徵在於利用權利要求8所述的功能液滴噴出裝置製造。
12.一種液晶顯示裝置的製造方法，為利用權利要求8所述的功能液滴噴出裝置、在濾色器基板上形成多個濾色器元件的液晶顯示裝置的製造方法，其特徵在於在所述功能液滴噴出頭中導入各種顏色的濾色器材料，使所述功能液滴噴出頭對於所述基板作相對掃描，選擇性地噴出所述濾色器材料來形成多個所述濾色器元件。
13.一種有機EL裝置的製造方法，為利用權利要求8所述的功能液滴噴出裝置、在基板上的多個像素中分別形成EL發光層的有機EL裝置的製造方法，其特徵在於在所述功能液滴噴出頭中導入各種顏色的發光材料，使所述功能液滴噴出頭對於所述基板作相對掃描，選擇性地噴出所述發光材料來形成多個所述EL發光層。
14.一種電子發射裝置的製造方法，為利用權利要求8所述的功能液滴噴出裝置、在電極上形成多個螢光體的電子發射裝置的製造方法，其特徵在於在所述功能液滴噴出頭中導入各種顏色的螢光材料，使所述功能液滴噴出頭對於所述電極作相對掃描，選擇性地噴出所述螢光材料來形成多個所述螢光體。
15.一種PDP裝置的製造方法，為利用權利要求8所述的功能液滴噴出裝置、在背面基板上的多個凹部分別形成螢光體的PDP裝置的製造方法，其特徵在於在所述功能液滴噴出頭中導入各種顏色的螢光材料，使所述功能液滴噴出頭對於所述背面基板作相對掃描，選擇性地噴出所述螢光材料來形成多個所述螢光體。
16.一種電泳顯示裝置的製造方法，為利用權利要求8所述的功能液滴噴出裝置、在電極上的多個凹部形成電泳體的電泳顯示裝置的製造方法，其特徵在於在所述功能液滴噴出頭中導入各種顏色的電泳體材料，使所述功能液滴噴出頭對於所述電極作相對掃描，選擇性地噴出所述電泳體材料來形成多個所述電泳體。
17.一種濾色器的製造方法，為利用權利要求8所述的功能液滴噴出裝置、製造將多個濾色器元件在基板上排列形成的濾色器的濾色器的製造方法，其特徵在於在所述功能液滴噴出頭中導入各種顏色的濾色器材料，使所述功能液滴噴出頭對於所述基板作相對掃描，選擇性地噴出所述濾色器材料來形成多個所述濾色器元件。
18.根據權利要求17所述的濾色器的製造方法，其特徵在於形成有覆蓋所述多個濾色器元件的外塗層膜，在形成所述濾色器元件後，在所述功能液滴噴出頭中導入透光性塗敷材料，使所述功能液滴噴出頭對於所述基板作相對掃描，選擇性地噴出所述塗敷材料，形成所述外塗層膜。
19.一種有機EL的製造方法，為利用權利要求8所述的功能液滴噴出裝置、將含EL發光層的多個像素在基板上排列而成的有機EL的製造方法，其特徵在於在所述功能液滴噴出頭中導入各種顏色的發光材料，使所述功能液滴噴出頭對於所述基板作相對掃描，選擇性地吐所述出發光材料來形成多個所述EL發光層。
20.根據權利要求19所述的有機EL的製造方法，其特徵在於在多個所述EL發光層與所述基板間，對應於所述EL發光層形成有多個像素電極，在所述功能液滴噴出頭中導入液態電極材料，使所述功能液滴噴出頭對於所述基板作相對掃描，選擇性地噴出所述液態電極材料來形成多個所述像素電極。
21.根據權利要求20所述的有機EL的製造方法，其特徵在於覆蓋多個所述EL發光層地形成有對向電極，在形成所述EL發光層後，在所述功能液滴噴出頭中導入所述液態電極材料，使所述功能液滴噴出頭對於所述基板作相對掃描，選擇性地噴出所述液態電極材料來形成所述對向電極。
22.一種分隔體形成方法，為利用權利要求8所述的功能液滴噴出裝置、在2枚基板間形成構成微小的單元間隔的多個粒子狀的分隔體的分隔體形成方法，其特徵在於在所述功能液滴噴出頭中導入構成分隔體的粒子材料，使所述功能液滴噴出頭至少對一枚所述基板作相對掃描，在所述基板上選擇性地噴出所述粒子材料來形成所述分隔體。
23.一種金屬布線形成方法，為利用權利要求8所述的功能液滴噴出裝置、在基板上形成金屬布線的金屬布線形成方法，其特徵在於在所述功能液滴噴出頭中導入液態金屬材料，使所述功能液滴噴出頭對於所述基板作相對掃描，選擇性地噴出所述液態金屬材料來形成所述金屬布線。
24.一種微透鏡形成方法，為利用權利要求8所述的功能液滴噴出裝置、在基板上形成多個微透鏡的微透鏡形成方法，其特徵在於在所述功能液滴噴出頭中導入透鏡材料，使所述功能液滴噴出頭對於所述基板作相對掃描，選擇性地噴出所述透鏡材料來形成多個所述微透鏡。
25.一種抗蝕劑形成方法，為利用權利要求8所述的功能液滴噴出裝置、在基板上形成任意形狀的抗蝕劑的抗蝕劑形成方法，其特徵在於在所述功能液滴噴出頭中導入抗蝕劑材料，使所述功能液滴噴出頭對於所述基板作相對掃描，選擇性地噴出所述抗蝕劑材料來形成所述抗蝕劑。
26.一種光擴散體形成方法，為利用權利要求8所述的功能液滴噴出裝置、在基板上形成多個光擴散體的光擴散體形成方法，其特徵在於在所述功能液滴噴出頭中導入光擴散材料，使所述功能液滴噴出頭對於所述基板作相對掃描，選擇性地噴出所述光擴散材料來形成多個所述光擴散體。
全文摘要
一種功能液滴噴出頭的驅動控制方法，該方法為由每單位噴嘴的功能液滴噴出量不相同的多個噴嘴列排列而成的功能液滴噴出頭的驅動控制方法，在一個列印周期中，使用具有對應於多個噴嘴列的多個噴出脈衝的單一驅動信號來驅動控制多個噴嘴列。這樣，即使在一個功能液滴噴出頭中，排列有每單位噴嘴的功能液滴噴出量不相同的多個噴嘴列的情況下，也能夠不降低列印效率而容易地驅動控制。
文檔編號H01J11/42GK1532052SQ20041002879
公開日2004年9月29日 申請日期2004年3月18日 優先權日2003年3月18日
發明者臼田秀範 申請人:精工愛普生株式會社