銷高度檢測用塊的製作方法

2023-06-23 08:38:01 3

專利名稱：銷高度檢測用塊的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種銷高度檢測用塊，確切地說是一種在半導體鍍膜設備用銷在使用一定的時間後，在對其使用高度檢測時，採用的一個測量工具，屬於半導體薄膜沉積應用及製備技術領域。
背景技術：
在現有的半導體鍍膜設備，尤其是12英寸半導體鍍膜設備中， 機械手負責在整個工藝過程中，對晶圓的取放工作。因機械手自身具有一定的厚度，故要求晶圓在工藝前後，必須與加熱基座之間留有一定的間隙，來保證機械手自由伸縮，不會與晶圓或加熱基座相刮碰。現有的半導體鍍膜設備採用不同形式的銷，通過銷提升機構，使銷在晶圓傳輸過程中，對晶圓起到支撐和提升作用。但是因設備產能的需要，除要求銷上、下運行順暢外，還要求晶圓在銷支撐和下降過程中，均能順利平穩的下落，無滑片現象。這就對設備上各銷在晶圓傳輸時，距離加熱基座上表面的高度有嚴格要求，而不是毫無限制的。設備運行一定時間後，需要對其各方面進行全面維護，包括對銷的高度進行檢測。通過測量其實際高度，查看其是否發生變化。以便於及時調整，以免影響設備的正常使用。因加熱基座安裝在反應腔內，不能利用高度尺去測量銷的高度。通常採用的檢測方法，就是將鋼板尺或深度尺直接立於加熱基座的上表面上，對銷的高度進行測量。因鋼板尺或深度尺的材質是鋼，而加熱基座的材質往往是比較軟的鋁或是比較脆的陶瓷，所以在檢測過程中，無論怎樣小心注意，都無法避免鋼尺對加熱基座上表面產生損傷，最終影響加熱基座的使用性能。另外，因銷的上表面是球面，採用鋼板尺測量，讀數時會存在很大的誤差。而深度尺與銷的端面接觸時，二者是相切狀態，銷或深度尺稍有歪斜，也會產生很大的測量誤差。
發明內容本實用新型以解決上述問題為目的，主要解決現有技術存在的測量誤差大及鋼尺對加熱基座上表面易產生損傷的問題，而設計的一種結構簡單的尺寸檢測用工具，它是針對設備上銷的實際高度檢測設計的。為實現上述目的，本實用新型採用下述技術方案銷高度檢測用塊，該檢測用塊適用於在設備維護過程中，對銷的當前高度進行檢測。該檢測用塊由兩部分組成，包括固定基座和測量盤。固定基座分為兩部分，上部分是細軸，下部分為粗軸。細軸頂端設有倒角，以便於測量盤安裝。細軸軸根部設有圓角，與粗軸緩和過渡。同時，細軸具有一定的高度，用於測量過程中對整個檢測塊的動作操作。因設備要求的銷的高度是在一定高度範圍之內的某一個定值，故該檢測用塊的檢測範圍也是與銷的高度位於同一範圍內的多個不同定值。根據結構的設計，粗軸的高度是一個定值，該發明設定的其高度小於所要求的銷的最小高度值。粗軸兩端均設有圓角，防止劃傷加熱基座及測量盤。為避免檢測用塊在與加熱基座接觸後，因材質的不同，會對工藝效果產生影響，故在檢測用塊底面的中間部分設有一直徑小於粗軸直徑的凹槽，用來減少檢測用塊與加熱盤的接觸面積。測量盤分上下兩個面，上表面是操作觀察區，設有起始高度值、各高度區位置標識及各高度區尺寸增長方向標識。下表面是工作區，沿測量盤外圓周設有多個相同形狀但不同深度的凹槽面，與上表面的各高度區位置標識相互對應，各凹槽面深度增長方向與上表面各高度區尺寸增長方向標識一致。凹槽面的深度也是從一定值開始，以相同的步進量，按一定的方向逐步遞增。凹槽面的深度及其數量均可以按照實際需要設定，不是固定的。測量盤中間設有一個軸孔，與固定基座上的細軸相配合，並在下表面端設有倒角，且倒角的尺寸要比細軸根部圓角的尺寸要大。將測量盤的下表面即工作區向下安裝在固定基座細軸上，充分調整測量盤，使整個測量盤的下表面與固定基座粗軸的上端面貼合。因軸孔下端面倒角要比細軸根部圓角大，故測量盤能充分安裝到細軸根部，不會出現安裝不到位的現象。而且測量盤因與固定基座是緊配合，安裝好後二者不會再有相對的位移。此時，粗軸的固定高度值與測量盤上凹槽面的不同深度值相組合，共同組成位於一高度範圍之內的多個不同高度的固定尺寸值。 檢測時，將安裝好的檢測用塊輕輕的放置在加熱基座上，將最低高度區靠近銷，目測當前銷的高度與該凹槽面的高度是否相近。若二者高度相近，則使銷對準該處高度區的位置標識，輕輕放下，且使檢測塊固定基座的下表面與加熱基座的上表面貼合平穩。如果銷的端面與凹槽面二者之間仍然存在間隙，則說明此處的銷的高度已經不滿足當前設備的使用要求，需要重新調整後才能使用；如果銷的端面與凹槽面二者之間沒有任何間隙，則說明此時的凹槽高度值正好是銷的當前高度值。若放下時，固定基座無法放平穩，則說明銷的高度已經超過該凹槽面的高度。需要拿起測量塊，並將其沿高度增加的方向轉動到第二個高度區後，再觀察此時凹槽面與銷端面的相對位置如果銷與凹槽面之間有部分間隙，則可斷定此時銷的高度介於這兩個凹槽高度的之間。如果銷的端面仍然高出該凹槽面，則繼續旋轉檢測用塊，直至能得到該處的高度範圍值為止。如果銷的高度高出檢測盤上最深的凹槽面，則說明該銷的高度也已不滿足設備的使用要求，需要重新調整。本發明的有益效果是該檢測用塊可以直接對當前銷的高度進行準確測量，能精確到小數點後一位，滿足設備對銷使用高度的精度要求。不必採用鋼板尺或深度尺等測量工具，從而避免鋼板尺或是深度尺的金屬表面與鋁或陶瓷加熱基座上表面的直接接觸，以保證加熱基座上表面不會被損傷，保護加熱基座。能使整個檢測過程簡易、快捷，檢測結果也相對準確。該檢測用塊具有結構簡單、小巧方便、加工容易及成本低的特點。

圖I是本發明的結構示意圖。圖2是圖I的剖視示意圖。圖3是圖I的俯視示意圖。圖4是圖I的仰視示意圖。
具體實施方式
實施例參照附圖1-4，該銷高度檢測用塊由測量盤I和固定基座2兩部分組成。測量盤分上下兩個面，上表面5是操作觀察區，設有起始高度值17、各高度區尺寸增長方向標識18及6個高度區位置標識A16、B19、C20、D21、E22、F23。下表面6是工作區，沿測量盤外圓周設有6個相同形狀但不同深度的凹槽面G24、H25、I 26、J 27、K28、L29，與上表面5的6個高度區位置標識A16、B19、C20、D21、E22、F23相互對應，6個凹槽面深度增長方向與上表面各高度區尺寸增長方向標識18 —致。6個凹槽面G24、H25、I26、J27、K28、L29的深度從O. 5mm開始，以O. Imm為增量，按順時針方向遞增至1mm。固定基座分為兩段，上部分是細軸3，下部分為粗軸10。細軸頂端設有倒角4，以便於測量盤安裝。細軸3軸根部設有圓角14，與粗軸10緩和過渡。同時，細軸具有一定的高度，用於測量過程中對整個檢測塊的動作操作。假定設備要求的銷的高度是在10. 5-llmm之間的某一個定值，因該檢測用塊的檢測範圍也是位於該內的多個不同定值，根據結構的設計，粗軸10的高度是一個定值，且其高度小於所要求的銷的最小高度10. 5mm，故該發明設定的粗軸高度是10mm。粗軸10兩端均設有圓角7，以防止劃傷加熱基座或測量盤。為避免檢測用塊在與加熱基座接觸後，因材質的不同，會對工藝效果產生影響，故在檢測用塊底面的中間部分設有一直徑小於粗軸直徑的凹槽15，用來減少檢測用塊與加熱盤的接觸面積。測量盤中間設有一個軸孔13，與固定基座上的細軸3相配合，並在下表面端設有倒角12，且倒角12的尺寸要比細軸根部圓角14的尺寸要大。將測量盤的下表面6即工作區向下安裝在固定基座細軸3上，充分調整測量盤1，使整個測量盤I的下表面6與固定基座粗軸10的上端面8貼合。因軸孔13下端面倒角12要比細 軸根部圓角14大，故測量盤I能充分安裝到細軸3根部，不會出現安裝不到位的現象。而且測量盤I因與固定基座2是緊配合，安裝好後二者不會再有相對的位移。粗軸10的固定高度與測量盤I上的6個凹槽面G24、H25、I 26, J 27、K28、L29的不同深度相組合，共同組成10. 5mm到Ilmm之間6個不同高度的固定測量尺寸。檢測時，將安裝好的檢測用塊輕輕的放置在加熱基座上，將最低凹槽G24靠近銷，目測當前銷的高度與凹槽面G24的高度即10. 5mm是否相近。若二者高度相近，則使銷對準該處高度區位置標識A16，輕輕放下，且使檢測塊固定基座I的下表面9與加熱基座的上表面貼合平穩。如果銷的端面與凹槽面G24 二者之間仍然存在間隙，則說明此處的銷的高度已經小於當前設備的使用要求，需要重新調整後才能使用。如果銷的端面與凹槽面G24二者之間沒有任何間隙，則說明此時的凹槽高度值正好是銷的當前高度值，即銷的高度為10. 5mm。若放下時，固定基座2無法放平穩，則說明銷的高度已經超過凹槽面G24的高度，需要拿起測量塊，並將其沿高度增加的方向轉動，與第二個高度區位置標識B19對準後，放下。若固定基座2平穩貼合到加熱基座上表面上，則觀察此時凹槽面H25與銷端面的相對位置。如果銷與凹槽面H25之間有部分間隙，則可斷定此時銷的高度介於這兩個凹槽的高度值之間，即銷的高度介於10. 5mm與10. 6mm之間。如果銷的端面仍然高出凹槽面H25，則繼續旋轉檢測用塊，直至能得到該處的高度範圍值為止。如果銷的高度高出檢測盤上最深的凹槽面L29即11mm，則說明該銷的高度已超出設備的使用要求，也需要重新調整。該檢測用塊可以採用不同的材質，如鋁、尼龍等，其材料的選用，可根據設備的自身要求而定。測量盤的形狀及各處的高度尺寸設置，可根據實際的需要而定，並不是一成不變的。
權利要求1.一種銷高度檢測用塊，其特徵在於該檢測用塊由兩部分組成，包括固定基座和測量盤，固定基座分為兩部分，上部分是細軸，下部分為粗軸，檢測用塊底面的中間部分設有一直徑小於粗軸直徑的凹槽；測量盤分上下兩個面，上表面是操作觀察區，下表面是工作區，沿測量盤外圓周設有相同形狀但不同深度的凹槽面，與上表面的各高度區位置標識相互對應，凹槽面的深度從一定值開始，以相同的步進量按一定的方向遞增，凹槽面的深度及其數量均可以按照實際需要設定，其深度增長方向與上表面各高度區尺寸增長方向標識一致，將測量盤的下表面即工作區向下安裝在固定基座細軸上，調整測量盤，使整個測量盤的下表面與固定基座粗軸的上端面貼合，測量盤中間設有一個軸孔，與固定基座上的細軸相配合。
2.如權利要求I所述的銷高度檢測用塊，其特徵在於所述的粗軸的高度是一個定值，其小於所要求的銷的最小高度值，並與測量盤上凹槽面的不同深度值相組合，共同組成位於一高度範圍之內的多個不同的固定尺寸值，其端面均制有圓角。
3.如權利要求I所述的銷高度檢測用塊，其特徵在於所述的細軸頂端制有倒角，細軸軸根部制有圓角，與粗軸緩和過渡。
4.如權利要求I所述的銷高度檢測用塊，其特徵在於所述的軸孔其在下表面端設有倒角，且倒角的尺寸要比細軸根部圓角的尺寸要大。
專利摘要銷高度檢測用塊，主要解決現有技術存在的測量誤差大及鋼尺對加熱基座上表面易產生損傷的問題。它由兩部分組成，包括固定基座和測量盤。固定基座分為兩部分，上部分是細軸，下部分為粗軸。檢測用塊底面的中間部分設有一直徑小於粗軸直徑的凹槽；測量盤分上下兩個面，上表面是操作觀察區，下表面是工作區，沿測量盤外圓周設有多個相同形狀但不同深度的凹槽面，與上表面的各高度區位置標識相互對應，其深度增長方向與上表面各高度區尺寸增長方向標識一致。將測量盤的下表面即工作區向下安裝在固定基座細軸上，調整測量盤，使整個測量盤的下表面與固定基座粗軸的上端面貼合，測量盤中間設有一個軸孔，與固定基座上的細軸相配合。本實用新型能使整個檢測過程簡易、對加熱基座上表面無損傷、檢測結果也相對準確。
文檔編號G01B5/02GK202793252SQ20122044591
公開日2013年3月13日 申請日期2012年9月3日 優先權日2012年9月3日
發明者凌復華, 吳鳳麗, 國建花, 姜崴 申請人:瀋陽拓荊科技有限公司