氦質譜檢漏儀接收器的製作方法

2023-06-20 12:13:41 2

專利名稱：氦質譜檢漏儀接收器的製作方法
技術領域：
氦質譜檢漏儀接收器技術領域本發明涉及一種氦質譜檢漏儀的接收器。
技術背景氦質譜檢漏儀的主要指標靈敏度，也稱最小可檢測漏率。其測量方法是用一氦氣標準漏孔Qo，接在檢漏儀上產生的信號強度S，假設測量系統的噪聲N， 那麼儀器的靈敏度Q-QoXN/S。 S/N稱為信噪比。同樣的漏孔產生的信號越強， 靈敏度就越髙，而測量系統的噪聲越大，靈敏度就越低。為此，提高儀器靈敏 度的方法就是增大信號強度和降低噪聲。檢漏儀中除了要檢測的氦離子以外，通常有真空中殘餘氣體碰撞產生的雜 散離子或電子進入接收器，為了減少幹擾，在入口處裝有一抑制電極，並加上 200-400V電壓。因為接收極連接的微電流放大器的反饋電阻是IOUQ，阻抗很 高，抑制極和引線上的交流紋波會通過分布電容進入接收電極，形成測量噪聲。發明內容本發明的目的在於提供一種可以減少測量噪聲的氦質譜檢漏儀接收器。 為實現上述發明目的，本實用新型採用了如下技術方案 一種氦質譜檢漏儀的接收器，檢漏儀接收器包括抑制電極(1)及引線(6)、 接收極(3)，其中抑制電極(1)及引線(6)與接收極(3)之間由屏蔽極2隔離。 接收極(3)採用金屬材料，所述金屬材料產生二次電子的效率很高。 接收極(3)為鋁或鈹青銅。在我們的設計中，抑制電極的引線6從離子源的插頭進入，與接收器的其它引線分開，經過屏蔽極2側面的小孔，插到抑制極上。抑制電極及引線與接 收極之間由屏蔽極隔離，使測量噪聲由原來3-4mv減少為不足lmv。本發明的另一個發明點是，接收電極通常用不鏽鋼材料製成，而我們選用 的是產生二次電子效率很高的金屬材料，如鋁或鈹青銅，落入一個正離子可以 打出l-2個電子，對正電流而可增加l-2倍的離子流強度。由於採用了上述改進措施，可以使儀器的靈敏度指標提高4-5倍。


以下結合附圖對本發明進行說明，其中 圖1是氦質譜檢漏儀的接收器的示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖和實例對本發明進一步說明。圖1為氦質譜檢漏儀接收器的示意圖。其中1為抑制電極，加200-400V 電壓；2為屏蔽極；3是接收極；4是放大器的反饋電阻1011 Q ; 5是微電流放大 器，6是抑制極的引入線。抑制電極1和引線6單獨對地屏蔽2。經測量，噪聲由原來的3-4mv減少為小於lmv，從而降低了抑制電極引線對 接收極的幹擾。
權利要求1.一種氦質譜檢漏儀的接收器，檢漏儀接收器包括抑制電極(1)及引線(6)、接收極(3)，其中抑制電極(1)及引線(6)與接收極(3)之間由屏蔽極(2)隔離。
2. 根據權利要求1所述的一種氦質譜檢漏儀的接收器，其特徵在於，接收 極(3)採用金屬材料。
3. 根據權利要求2所述的一種氦質譜檢漏儀的接收器，其特徵在於，接收 極(3)為鋁或鈹青銅。
專利摘要一種氦質譜檢漏儀的接收器，檢漏儀接收器包括抑制電極(1)及引線(6)、接收極(3)，其中抑制電極(1)及引線(6)與接收極(3)之間由屏蔽極(2)隔離。其中接收極(3)採用金屬材料，如鋁或鈹青銅。
文檔編號G01M3/02GK201170749SQ200820128268
公開日2008年12月24日 申請日期2008年7月14日 優先權日2008年7月14日
發明者黃慶文 申請人:北京中科科儀技術發展有限責任公司