一種用膜組分離回收led生產中排放廢氨氣的裝置製造方法

2023-06-13 04:33:41 5

一種用膜組分離回收led生產中排放廢氨氣的裝置製造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種用膜組分離回收LED生產中排放廢氨氣的裝置，它包括：空溫式氣體冷卻器、精密過濾器、增壓風機、膜分離組件、氨水循環罐、氨水循環泵、板式換熱器、冷凍機組、冷凍水循環泵、飽和氨水罐、飽和氨水輸出泵，所述的空溫式氣體冷卻器出氣口與精密過濾器入口連接，精密過濾器出口連接增壓風機入口，增壓風機出口連接膜分離組件入口，膜分離組件出口連接氨水循環罐入口，氨水循環罐出口處設有氨水循環泵，氨水循環泵設有兩條管路，其中一條管路連接板式換熱器入口，板式換熱器出口連接冷凍機組入口；另一條管路連接飽和氨水罐入口；本實用新型膜組件將LED生產中排放廢氨氣吸收為氨水的吸收率可達到99.9%，氨水濃度可達到25%左右，解決了LED生產中排放廢氨氣的環保問題，且回收利用率高。
【專利說明】—種用膜組分離回收LED生產中排放廢氨氣的裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及LED生產中處理廢氣【技術領域】，特別涉及一種採用親水性中空纖維膜組成的組件分離回收LED生產中排放廢氨氣的裝置。
【背景技術】
[0002](LED)發光二極體在氣相沉積工藝中的主要原材料是超純氨、氮氣、氫氣、MO源。三甲基鎵與氨氣在高溫下氣相沉積生成氮化鎵。
[0003]而為了充分利用價格較貴的MO源，超純氨氣相沉積中需要大大過量，在整個反應過程中的利用率還不到1%，多餘部分的氨氣與載氣氮氣、氫氣一起排出。而氨氣是有害氣體必須加以環保處理，方能合法排放。目前處理LED生產排放廢氣的方法有:一是將排放氨氣用硫酸中和，中和以後廢液排入汙水處理廠再處理；二是採用填料塔將排放氨氣吸收為氨水，氨水低價出售；三是採用降膜吸收塔將排放氨氣吸收成氨水，氨水低價出售；
[0004]由於上述方法中的中和法是轉移汙染，環保問題沒有得到根本解決。而兩個吸收氨水的方法，由於LED排放廢氣中的氨氣濃度只有不到20%，其餘氮氣、氫氣濃度達到了80%左右，造成氨氣在水中的溶解度大大降低，還不到10%，氨水的附加值極低。由於廢氣中的氨氣在水中溶解的降低，在最後達標排放過程中還得使用硫酸進行中和。還是嚴重影響了環境，且回收利用率低下。
實用新型內容
[0005]本實用新型的實用新型目的是為了克服上述【背景技術】的缺點，提供採用親水性中空纖維膜組成的膜組件，將LED生產中排放的氮氣、氫氣、氨氣的混合氣體中的氨氣吸收為氨水，而混合氣體中的氮氣、氫氣由於不親水則在膜的另一則排出，使LED生產廢氣得以回收和淨化的裝置。
[0006]本實用新型的技術方案是:一種用膜組分離回收LED生產中排放廢氨氣的裝置，它包括:空溫式氣體冷卻器、精密過濾器、增壓風機、膜分離組件、氨水循環罐、氨水循環泵、板式換熱器、冷凍機組、冷凍水循環泵、飽和氨水罐、飽和氨水輸出泵，所述的空溫式氣體冷卻器出氣口與精密過濾器入口連接，精密過濾器出口連接增壓風機入口，增壓風機出口連接膜分離組件入口，膜分離組件出口連接氨水循環罐入口，氨水循環罐出口處設有氨水循環泵，氨水循環泵設有兩條管路，其中一條管路連接板式換熱器入口，板式換熱器出口連接冷凍機組入口 ；另一條管路連接飽和氨水罐入口。
[0007]所述的冷凍機組出口處設有冷凍水循環泵，飽和氨水罐出口處設有飽和氨水輸出慄。
[0008]所述的空溫式氣體冷卻器為翅片式空氣汽化器。
[0009]所述的增壓風機為鋁合金增壓風機其壓力值最小為0.0lMPa,最大為0.05MPa。
[0010]所述的膜分離組件採用親水性中空纖維膜。
[0011]所述的冷凍機組的水溫控制範圍為最低為0°C，最高為2°C。[0012]所述的膜分離組件最少為一組，每組膜分離組件都連接氨水循環罐再連接氨水循環泵，氨水循環泵連接板式換熱器。
[0013]本實用新型的有益效果是:本實用新型膜組件將LED生產中排放廢氨氣吸收為氨水的吸收率可達到99.9%，氨水濃度可達到25%左右，解決了 LED生產中排放廢氨氣的環保問題，且回收利用率高。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]圖1為本實用新型採用的五組膜分離組件結構示意圖；
[0015]圖2為本實用新型採用單模分離組件結構示意圖；
[0016]其中:1、空溫式氣體冷卻器，2、精密過濾器，3、增壓風機，4、膜分離組件，5、氨水循環罐，6、氨水循環泵，7、板式換熱器，8、冷凍機組，9、冷凍水循環泵，10、飽和氨水罐，11、飽和氨水輸出泵。
【具體實施方式】
[0017]本實施例為一種用膜組分離回收LED生產中排放廢氨氣的裝置，它包括:空溫式氣體冷卻器(I)、精密過濾器(2)、增壓風機(3)、膜分離組件(4)、氨水循環罐(5)、氨水循環泵(6)、板式換熱器(7)、冷凍機組(8)、冷凍水循環泵(9)、飽和氨水罐(10)、飽和氨水輸出泵(11)。
[0018]如圖1所示，空溫式氣體冷卻器(I)為翅片式空氣汽化器其出氣口與精密過濾器
(2)入口連接，精密過濾器(2)出口連接增壓風機(3)入口，增壓風機(3)出口連接膜分離組件(4)入口，所述的膜分離組件(4)採用親水性中空纖維膜，膜分離組件(4)出口連接氨水循環罐(5 )入口，氨水循環罐(5 )出口處設有氨水循環泵(6 )，氨水循環泵(6 )設有兩條管路，其中一條管路連接板式換熱器(7 )入口，板式換熱器(7 )出口連接冷凍機組(8 )入口，所述的冷凍機組(8)出口處設有冷凍水循環泵(9);另一條管路連接飽和氨水罐(10)入口，飽和氨水罐(10)出口處設有飽和氨水輸出泵(11)。
[0019]如圖2所示膜分離組件(4)為一組膜分離組件(4)都連接氨水循環罐(5)再連接氨水循環泵(6)，氨水循環泵(6)連接板式換熱器(J)。
【權利要求】
1.一種用膜組分離回收LED生產中排放廢氨氣的裝置，它包括:空溫式氣體冷卻器、精密過濾器、增壓風機、膜分離組件、氨水循環罐、氨水循環泵、板式換熱器、冷凍機組、冷凍水循環泵、飽和氨水罐、飽和氨水輸出泵，其特徵是所述的空溫式氣體冷卻器出氣口與精密過濾器入口連接，精密過濾器出口連接增壓風機入口，增壓風機出口連接膜分離組件入口，膜分離組件出口連接氨水循環罐入口，氨水循環罐出口處設有氨水循環泵，氨水循環泵設有兩條管路，其中一條管路連接板式換熱器入口，板式換熱器出口連接冷凍機組入口；另一條管路連接飽和氨水罐入口。
2.根據權利要求1所述的一種用膜組分離回收LED生產中排放廢氨氣的裝置，其特徵是所述的冷凍機組出口處設有冷凍水循環泵，飽和氨水罐出口處設有飽和氨水輸出泵。
3.根據權利要求1所述的一種用膜組分離回收LED生產中排放廢氨氣的裝置，其特徵是所述的空溫式氣體冷卻器為翅片式空氣汽化器。
4.根據權利要求1所述的一種用膜組分離回收LED生產中排放廢氨氣的裝置，其特徵是所述的增壓風機為鋁合金增壓風機其壓力值最小為0.0lMPa,最大為0.05MPa。
5.根據權利要求1所述的一種用膜組分離回收LED生產中排放廢氨氣的裝置，其特徵是所述的膜分離組件採用親水性中空纖維膜。
6.根據權利要求1所述的一種用膜組分離回收LED生產中排放廢氨氣的裝置，其特徵是所述的冷凍機組的水溫控制範圍為最低為0°C，最聞為2°C。
7.根據權利要求1所述的一種用膜組分離回收LED生產中排放廢氨氣的裝置，其特徵是所述的膜分離組件最少為一組，每組膜分離組件都連接氨水循環罐再連接氨水循環泵，氨水循環泵連接板式換熱器。
【文檔編號】C01C1/14GK203612973SQ201320720997
【公開日】2014年5月28日 申請日期:2013年11月15日 優先權日:2013年11月15日
【發明者】金向華, 李荷慶 申請人:蘇州金宏氣體股份有限公司