固晶機進料系統的製作方法

2023-06-02 05:27:41 1

專利名稱：固晶機進料系統的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及半導體封裝設備領域，尤其涉及一種固晶機進料系統。
背景技術：
固晶機是LED裝生產線中的關鍵設備，其固晶過程是點膠機構先在基板的固晶工位上點膠，然後由擺臂(也稱取晶臂)將LED晶粒從晶圓上取出，再將其轉移到已點膠的固晶工位上。當整片基板上所在固晶點都把晶粒固上，基板就從工作檯上取出，並重新放一片空的基板，再開始固晶。固晶前，基板堆放於料盒中，在需要固晶時由人工從料盒中一片片地取出放置於工作檯上並通過夾具固定，固晶完成後，再由人工將工作檯上的基板取出換下一片基板，一個料盒中的所有基板都固晶完成後，再換下一個料盒。由於取、放基板都是人工操作，比較費時。

實用新型內容為解決現有技術中人工取放基板生產效率低的問題，本實用新型提供一種固晶機進料系統，能自動將料盒中的基板放入固晶工作檯並被固定在夾具中以方便固晶，從而提高生產效率。為解決上述技術問題，本實用新型採用的一個技術方案是提供一種固晶機進料系統，包括料盒裝置和上下料工作檯；所述料盒裝置包括左右傳送模組和上下傳送模組；所述左右傳送模組上沿直線依次設置有入料盒位置、料盒工作位置和出料盒位置，左右傳送模組包括用於將料盒從入料盒位置傳至料盒工作位置的入料爪和用於將料盒從料盒工作位置傳至出料盒位置的出料爪；所述上下傳送模組包括對應於所述料盒工作位置設置的固定座、可沿固定座升降的升降平臺及固定於固定座上的推片機構；所述升降平臺的行程最低點位於所述料盒工作位置，用於承載從入料盒位置傳送過來的料盒；所述推片機構包括推桿和推桿驅動裝置，所述推桿由推桿驅動裝置驅動用於將料盒中的基板從料盒中推入上下料工作檯；所述上下料工作檯包括平行間隔設置的底板和面板，底板與面板之間固定設置有傳送帶裝置，所述傳送帶裝置包括兩列平行設置的帶輪傳送機構，兩帶輪傳送機構的主動輪同軸設置並由一馬達驅動同時旋轉，兩帶輪傳送機構的從動輪同軸設置；兩列帶輪傳送機構之間設置有一平行於底板的升降板，所述升降板由一直線驅動機構驅動在底板與面板之間做升降運動；所述傳送帶裝置與所述料盒裝置的推桿相對應，用於傳送從料盒裝置上被推桿推入的基板。其中，所述傳送帶裝置設置有兩組，兩組傳送帶裝置並列排布於底板上，每組傳送帶裝置中的兩帶輪傳送機構之間均設置所述升降板；兩組傳送帶裝置之間通過一直板隔離；所述推桿對應於所述傳送帶裝置亦設置為兩根。其中，所述兩組傳送帶裝置中的四個主動輪均固定安裝於同一根直軸上，四個從動輪亦固定安裝於另一根直軸上，所述直板上設有供所述直軸穿過的通孔。其中，所述底板上安裝有馬達座，所述馬達固定於該馬達座上，馬達的輸出軸上連接有主動同步輪，該主動同步輪通過同步帶與一從動同步輪連接，所述從動同步輪直徑大於所述主動同步輪，所述從動同步輪與所述帶輪傳送機構的主動輪同軸設置。其中，所述直線驅動機構為氣缸。其中，所述入料爪與出料爪間隔設置於一料爪安裝座上，所述料爪安裝座固定安裝於一帶傳動機構的皮帶上。其中，所述料盒工作位置處設置有可上下移動的定位器，料盒到達料盒工作位置時，定位器升起給料盒定位。其中，所述升降平臺上還設置有用於夾緊料盒的壓緊機構。本實用新型的有益效果是區別於現有技術中需要人工從料盒中將基板取出固定，操作慢，效率低，本實用新型提供的固晶機進料系統中，將承載有基板的料盒放置於入料盒位置後，通過入料爪將其送至位於料盒工作位置的升降平臺上，再由推桿及升降平臺的動作配合逐次將基板推入上下料工作檯的傳送帶裝置上，傳送帶將基板傳送至固晶位置，再由升降板的上升將基板夾緊於面板之下，實現基板的固定以方面擺臂進行固晶；固晶完成，升降板下降使基板再落於傳送帶裝置之上，由傳送帶裝置再將其送出。料盒中基板全部固晶完成後，空料盒由升降平臺帶動返回料盒工作位置後再由出料爪送出。通過各部件之間的配合自動將料盒中的基板推入上下料工作檯，在上下料工作檯中固定便於固晶工作的進行，工作效率高，且基板每次被推出的位置固定，保證位置的準確性。通過本實用新型的結構，實現了基板的自動進料，有效提聞了取放基板的效率，提聞生廣效率。

圖1是本實用新型固晶機進料系統一實施例的結構示意圖；圖2是本實用新型固晶機進料系統一實施例使用時的示意圖3是本實用新型固晶機進料系統中料盒裝置的結構示意圖；圖4是圖3中左右傳送模組的結構示意圖；圖5是圖3中上下傳送模組的結構示意圖；圖6是本實用新型固晶機進料系統中上下料工作檯的結構示意圖；圖7是圖6去除面板後的結構示意圖；圖8是圖6所示結構的分解示意圖。標號說明1、料盒裝置；2、上下料工作檯；3、料盒；1-10、左右傳送模組；1_11、入料盒位置；1_12、料盒工作位置；1_13、出料盒位置；1-14、入料爪；1-15、出料爪；1_16、料爪安裝座；1-17、皮帶；1_18、定位器；1-20、上下傳送模組；1_21、固定座；1_22、升降平臺；1_23、推桿；1_24、壓緊機構；
1-25、滑動板；1-26、感應片；1-27、感應器；2-11、底板；2_12、面板；2_13、側板；2_14、直板；2_15、定位器；2-21、馬達座；2_22、馬達；2_23、主動同步輪；2_24、同步帶；2_25、從動同步輪；
2-26、直軸；2-31、主動膠圈輪；2-32、從動膠圈輪；2_33、膠圈；2-41、氣缸；2-42、升降板。
具體實施方式
為詳細說明本實用新型的技術內容、構造特徵、所實現目的及效果，以下結合實施方式並配合附圖詳予說明。請參閱圖1和圖2，本實施方式中，固晶機進料系統包括料盒裝置I和上下料工作檯2，料盒裝置I用於傳送料盒3以及將料盒3中的基板送入上下料工作檯2，上下料工作檯2用於將基板傳送至固晶位置並進行固定以便於擺臂對基板固晶，固晶完成後，上下料工作檯2再將基板傳送出去。通過料盒裝置I與上下料工作檯2的配合，完成固晶機的自動上料過程。 具體地,結合圖1、圖2,並同時參閱圖3至圖5,上述固晶機進料系統上所涉及的料盒裝置I包括左右傳送模組1-10和上下傳送模組1-20。左右傳送模組1-10上沿直線依次設置有入料盒位置1-11、料盒工作位置1-12和出料盒位置1-13，入料盒位置1-11是用於放置準備進行固晶工作的料盒3，料盒工作位置1-12對應於固晶工作檯設置，出料盒位置1-13則用於容納空料盒。在入料盒位置1-11處設有入料爪1-14，該入料爪1-14用於將料盒3從入料盒位置1-11傳至料盒工作位置1-12，在料盒工作位置1-12與出料盒位置1-13的交界處設有出料爪1-15，該出料爪1-15用於將空的料盒從料盒工作位置1-12傳至出料盒位置1-13的出料爪。具體參見圖4，入料爪
1-14和出料爪1-15間隔設置於料爪安裝座1-16上，兩者之間的間隔約為兩個料盒的寬度之和，料爪安裝座1-16固定安裝於一帶傳動機構的皮帶1-17上，由帶傳動機構來帶動入料爪1-14和出料爪1-15的運動，傳送平穩，避免基板倒塌；除帶傳動機構外，也可以由其他能提供直線運動的驅動裝置提供入料爪和出料爪的運動動力。當帶傳動機構的帶輪轉動時，皮帶1-17做直線運動而帶動入料爪1-14與出料爪1-15 —同運動，則入料爪1-14將一新的料盒從入料盒位置1-11推至料盒工作位置1-12時，出料爪1-15也恰將空的料盒從料盒工作位置1-12送至出料 盒位置1-13。上下傳送模組1-20用於帶動料盒3升降並將料盒3中的基板推入固晶工作檯，其包括對應於料盒工作位置1-12設置的固定座1-21、可沿固定座1-21升降的升降平臺1-22及固定於固定座1-21上的推片機構。具體參見圖5，固定座1-21豎直設置，其上設有豎直軌道，滑動板1-25滑動安裝於豎直軌道中，升降平臺1-22連接於滑動板1-25下端且兩者垂直，升降平臺1-22的行程最低點位於所述料盒工作位置1-12，用於承載從入料盒位置傳送過來的料盒3，即新的料盒3被入料爪1-14推動至料盒工作位置1-12時是被推入至升降平臺1-22上；固定座1-21背對滑動板1-25的一面固定有一水平座，推片機構安裝於該水平座上，推片機構包括推桿1-23和用於驅動推桿做直線運動的推桿驅動裝置(圖中未標示)，在實施例中，推桿1-23有兩根，且兩根並列設置，在滑動板1-25上設有兩個平行的條形孔，推桿1-23在推桿驅動裝置的驅動下穿過該條形孔將料盒中的基板從料盒中推出升降平臺
1-22至上下料工作檯。推桿1-23設置有兩根，可以在料盒中擺放兩摞基板，可同時推動兩片基板進入上下料工作檯。滑動板1-25側壁上固定安裝有感應片1-26，固定座1-21側壁於不同高度處設置有兩個感應器1-27分別對升降平臺1-22行程最低點和行程最高點進行感應，以便對升降平臺1-22升降運動的控制。為對進入料盒工作位置1-12處的料盒進行限位，在料盒工作位置1-12處設置有可上下移動的定位器1-18，當料盒到達料盒工作位置1-12時，定位器1-18升起給料盒定位。由於基板在料盒3中為層層堆放的狀態，當最上層的基板被推桿1-23推至上下料工作檯後，升降平臺1-22需要上升而使原處於次上層的基板位於推桿1-23的高度處；在推桿1-23推動基板的過程中，由於基板之間的摩擦力，推桿1-23會對料盒也產生向外的推力；當所有基板均推出後，空料盒還需要由升降平臺1-22帶動下降返回料盒工作位置
1-12。在升降及推出料盒的過程中，為防止料盒位置鬆動，在升降平臺1-22上還設置有用於夾緊料盒的壓緊機構1-24，這樣可保證料盒中基板位置的準確性，推桿1-23能順利地將基板推入上下料工作檯。再參閱圖6至圖8，自動上下料工作檯2包括平行間隔設置的底板2-11和面板
2-12，面板2-12上設有兩列缺口陣列用於固晶時擺臂伸入其中，底板2-11和面板2_12之間由兩側板2-13固定支撐。底板2-11與面板2-12之間固定設置有兩組傳送帶裝置，兩組傳送帶裝置並列排布於底板2-11上，兩組傳送帶裝置之間由直板2-14間隔隔離，該兩組傳送帶裝置與料盒裝置中的推桿1-23 —一對應設置，基板被推桿1-23推至傳送帶裝置上再由傳送帶裝置對基板進行傳送。每組傳送帶裝置包括兩列平行設置的帶輪傳送機構，該帶輪傳送機構包括主動膠圈輪2-31、從動膠圈輪2-32和繞接於兩輪上的膠圈2-33 ;在本實施例中，兩組傳送帶裝置中的四個主動膠圈輪2-31均固定安裝於一直軸2-26上，四個從動膠圈輪2-32均固定安裝於另一根直軸2-26上，直板2-14上設有供直軸2-26穿過的通孔，兩組傳送帶裝置的運動同步。相應地，兩根推桿1-23的運動亦同 步，即工作時，料盒中並排排列的兩片基板同時被推桿1-23推入兩組傳送帶裝置的膠圈2-33上，膠圈輪轉動帶動膠圈運動，而將基板從入口位置傳送到固晶位置。主動膠圈輪2-31所在的直軸2-26由馬達2_22驅動旋轉，具體地，底板2_11固定安裝一馬達座2-21上，馬達2-22安裝於該馬達座2-21上，馬達2_22的輸出軸上連接主動同步輪2-23，該主動同步輪2-23通過同步帶2-24與從動同步輪2_25連接，其中從動同步輪2-25直徑大於主動同步輪2-23以獲得更大的驅動力，從動同步輪2-25套接於主動膠圈輪2-31所在的直軸2-26上，這樣當馬達2-22旋轉時，通過主動同步輪2_23、同步帶2_24和從動同步輪2-25構成的同步帶輪機構帶動直軸2-26旋轉，主動膠圈輪2-31隨之旋轉，再通過膠圈2-33帶動從動膠圈輪2-32旋轉。當然，馬達2-22也可以不通過同步帶輪機構的傳動而是直接驅動直軸2-26，例如將馬達2-22與直軸2-26通過聯軸器或花鍵等聯接起來，馬達2-22轉動時直接帶動直軸2-26 —起轉動。每組傳送帶裝置的兩列帶輪傳送機構之間均設置有一平行於底板2-11的升降板
2-42，升降板2-42安裝於氣缸2-41的活塞軸上，氣缸2_41固定於底板2_11上，升降板2_42由氣缸2-41驅動在底板2-11與面板2-12之間做升降運動。該升降板2_42的長度小於兩直軸2-26之間的間距，升降板2-42的寬度小於倆膠圈2-33的間距，當基板由膠圈2_33傳送至固晶位置時，升降板2-42由氣缸2-41驅動上升，將基板夾緊在面板2-12之下以便開始固晶。氣缸2-41還可以替換為直線電機等可以提供直線運動的驅動機構。本實施例中，上下料工作檯中設置有兩組同步運動的傳送帶裝置，可以一次同時傳送兩片基板，提高效率，兩組傳送帶裝置之間由直板隔開，以免兩組傳送時產生幹涉；事實上，傳送帶裝置可以設置為不同步，即兩組傳送帶裝置的主動膠圈輪分別獨立地固定於軸上，由單獨的馬達進行驅動，且兩組傳送帶裝置的傳送方向也可以設置為相反的，由現場的空間位置決定自由設置。相應地，料盒裝置中的兩根推桿也可以設置為有時序先後，可以由一個推桿驅動裝置通過相應的運動傳遞機構(例如曲軸)驅動或分別由一個單獨的推桿驅動裝置驅動，推桿驅動裝置可以依實際情況選擇諸如直線電機、氣缸等驅動裝置。另外傳送帶裝置也可以僅設置一組，一次只傳送一片基板；相應地，推桿亦設置為一根。固晶機進料系統的工作過程為承載有基板的料盒3進入入料盒位置1-11，入料爪1-14將料盒3傳送至位於料盒工作位置1-12的升降平臺1-22上，定位器2_15升起將料盒3定位在工作位置，壓緊機構1-24將料盒3夾緊於升降平臺1-22上，推桿1_23將最上層的基板推入上下料工作檯2的傳送帶裝置上，升降平臺1-22再上升使原處於次上層的基板與推桿1-23位置相對。馬達2-22轉動帶動膠圈2-33移動，基板從入口處分別通過兩組傳送帶裝置中膠圈2-33的移動而傳送到定位器2-15的位置即固晶位置，然後氣缸2-41驅動升降板2-42上升，將基板夾緊在面板2-12之下，基板上的固晶點與面板2-12上的缺口陣列相對，此時擺臂可以透過面板2-12上的缺口陣列對基板進行固晶。當固晶完畢後，升降板2-42下降，基板再落入膠圈2-33之上，馬達2-22轉動將基板傳送出去。推桿1_23再進行外推將下一組基板推至上下料工作檯上，升降平臺1-22則再次上升，升降平臺1-22上升與推桿外推的動作持續進行直至料盒中所有基板均被推出，而後升降平臺1-22下降返回料盒工作位置1-12，空料盒被出料爪1-15卡住，定位器1-18下降，出料爪1-15將空料盒送至出料盒位置1-13 ;若此時已有另一新的料盒在入料盒位置1-11，則新料盒到料盒工作位置1-12與空料盒到出料盒位置1-13同步進行，新料盒在升降平臺1-22上固定後，升降平臺1-22與推桿1-23重複上述的工作過程。同樣上下料工作檯中，馬達2-22帶動膠圈
2-33移動以及氣缸2-41驅動升降板2-42的運動也一直循環持續。區別於現有技術中需要人工從料盒中將基板取出固定，操作慢，效率低，本實用新型提供的固晶機進料系統中，將承載有基板的料盒放置於入料盒位置後，通過入料爪將其送至位於料盒工作位置的升降平臺上，再由推桿及升降平臺的動作配合逐次將基板推入上下料工作檯的傳送帶裝置上 ，傳送帶將基板傳送至固晶位置，再由升降板的上升將基板夾緊於面板之下，實現基板的固定以方面擺臂進行固晶；固晶完成，升降板下降使基板再落於傳送帶裝置之上，由傳送帶裝置再將其送出。料盒中基板全部固晶完成後，空料盒由升降平臺帶動返回料盒工作位置後再由出料爪送出。通過各部件之間的配合自動將料盒中的基板推入上下料工作檯，在上下料工作檯中固定便於固晶工作的進行，工作效率高，且基板每次被推出的位置固定，保證位置的準確性。通過本實用新型的結構，實現了基板的自動進料，有效提聞了取放基板的效率，提聞生廣效率。以上所述僅為本實用新型的實施例，並非因此限制本實用新型的專利範圍，凡是利用本實用新型說明書及附圖內容所作的等效結構或等效流程變換，或直接或間接運用在其他相關的技術領域，均同理包括在本實用新型的專利保護範圍內。
權利要求1.一種固晶機進料系統，其特徵在於，包括料盒裝置和上下料工作檯； 所述料盒裝置包括左右傳送模組和上下傳送模組；所述左右傳送模組上沿直線依次設置有入料盒位置、料盒工作位置和出料盒位置，左右傳送模組包括用於將料盒從入料盒位置傳至料盒工作位置的入料爪和用於將料盒從料盒工作位置傳至出料盒位置的出料爪；所述上下傳送模組包括對應於所述料盒工作位置設置的固定座、可沿固定座升降的升降平臺及固定於固定座上的推片機構；所述升降平臺的行程最低點位於所述料盒工作位置，用於承載從入料盒位置傳送過來的料盒；所述推片機構包括推桿和推桿驅動裝置，所述推桿由推桿驅動裝置驅動用於將料盒中的基板從料盒中推入上下料工作檯； 所述上下料工作檯包括平行間隔設置的底板和面板，底板與面板之間固定設置有傳送帶裝置，所述傳送帶裝置包括兩列平行設置的帶輪傳送機構，兩帶輪傳送機構的主動輪同軸設置並由一馬達驅動同時旋轉，兩帶輪傳送機構的從動輪同軸設置；兩列帶輪傳送機構之間設置有一平行於底板的升降板，所述升降板由一直線驅動機構驅動在底板與面板之間做升降運動；所述傳送帶裝置與所述料盒裝置的推桿相對應，用於傳送從料盒裝置上被推桿推入的基板。
2.根據權利要求1所述的固晶機進料系統，其特徵在於所述傳送帶裝置設置有兩組，兩組傳送帶裝置並列排布於底板上，每組傳送帶裝置中的兩帶輪傳送機構之間均設置所述升降板；兩組傳送帶裝置之間通過一直板隔離； 所述推桿對應於所述傳送帶裝置亦設置為兩根。
3.根據權利要求2所述的固晶機進料系統，其特徵在於所述兩組傳送帶裝置中的四個主動輪均固定安裝於同一根直軸上，四個從動輪亦固定安裝於另一根直軸上，所述直板上設有供所述直軸穿過的通孔。
4.根據權利要求1-3任一項所述的固晶機進料系統，其特徵在於所述底板上安裝有馬達座，所述馬達固定於該馬達座上，馬達的輸出軸上連接有主動同步輪，該主動同步輪通過同步帶與一從動同步輪連接，所述從動同步輪直徑大於所述主動同步輪，所述從動同步輪與所述帶輪傳送機構的主動輪同軸設置。
5.根據權利要求1-3任一項所述的固晶機進料系統，其特徵在於所述直線驅動機構為氣缸。
6.根據權利要求1所述的固晶機進料系統，其特徵在於所述入料爪與出料爪間隔設置於一料爪安裝座上，所述料爪安裝座固定安裝於一帶傳動機構的皮帶上。
7.根據權利要求1或6所述的固晶機進料系統，其特徵在於所述料盒工作位置處設置有可上下移動的定位器，料盒到達料盒工作位置時，定位器升起給料盒定位。
8.根據權利要求1或6所述的固晶機進料系統，其特徵在於所述升降平臺上還設置有用於夾緊料盒的壓緊機構。
專利摘要本實用新型公開了一種固晶機進料系統，包括料盒裝置和上下料工作檯，料盒裝置包括用於傳送料盒的左右傳送模組和用於逐次將料盒上的基板推入上下料工作檯的上下傳送模組；上下料工作檯包括間隔設置的底板和面板，兩板之間設有用於承接基板並傳送的傳送帶裝置，傳送帶裝置包括兩列平行設置的帶輪傳送機構，兩列帶輪傳送機構之間設置有一平行於底板的升降板，升降板由一直線驅動機構驅動在底板與面板之間做升降運動。本實用新型自動將料盒中的基板推入上下料工作檯，在上下料工作檯中基板由升降板與面板固定，便於固晶工作的進行，工作效率高，通過本實用新型的結構，實現了基板的自動進料，有效提高了取放基板的效率，提高生產效率。
文檔編號H01L33/00GK202871761SQ20122040439
公開日2013年4月10日 申請日期2012年8月15日 優先權日2012年8月15日
發明者梁國康, 梁國城, 唐軍成, 盧炳昌 申請人:先進光電器材(深圳)有限公司