取放報警裝置及運輸盒的開關裝置的製作方法
2023-06-02 14:32:46
專利名稱：取放報警裝置及運輸盒的開關裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及半導體製造領域，尤其涉及一種取放報警裝置及運輸盒的開關裝置。
背景技術：
目前，在半導體工藝車間內，經常會使用光罩，在光罩的使用過程中，經常會用到運輸盒的開關裝置。請參閱圖1A 1C，其中，圖IA所示為現有的運輸盒的開關裝置的主視示意圖，圖IB所示為現有的運輸盒的開關裝置的俯視示意圖，圖IC所示為現有的運輸盒的開關裝置的 側視示意圖(光罩準備存放時)。現有的運輸盒的開關裝置，包括支撐框架I、設置於支撐框 架I內的運輸盒以及用於將運輸盒打開的執行機構(未圖示)，所述運輸盒包括底座2和上蓋(未圖示)，所述底座2上設有後側擋片3和與所述後側擋片3相鄰的兩個側面擋片4。當需要向運輸盒中存入光罩10或者從運輸盒中取出光罩10時,執行機構會將整個運輸盒從支撐框架I的上部移動到支撐框架I的底部，然後將上蓋打開並移走，從而露出運輸盒的底座2上的後側擋片3和兩個側面擋片4。假如是存放光罩操作，操作人員會手動將光罩10水平移動到後側擋片3和兩個側面擋片4所限定的位置上空，最後，將光罩10豎直移動到後側擋片3和兩個側面擋片4所限定的範圍內。假如是取出光罩10操作，操作人員抓住光罩10並豎直向上移動到後側擋片3和兩個側面擋片4所限定的位置上空，最後，將光罩10豎直水平移出即可。但是，在使用中發現，由於光罩10的取放(包括取出和存放)操作時，操作人員不能目測到後側擋片3，側面擋片4往往也會忽略，且手動操作很大程度上依賴操作人員的熟練程度和自身的感覺，容易出現誤操作。另外，由於光罩10的下表面覆蓋有一層起保護作用的薄膜101，這層薄膜101很容易在誤操作過程中因碰到後側擋片3或側面擋片4而發生毀損，致使光罩10受到損傷或汙染，以致嚴重影響光罩10的後續製程，降低產品良率。因此，如何提供一種提醒操作人員進行正確的取放工作的取放報警裝置及運輸盒的開關裝置是本領域技術人員亟待解決的一個技術問題。
實用新型內容本實用新型的目的在於提供一種取放報警裝置及運輸盒的開關裝置，可以提醒操作人員進行正確的取放工作，確保光罩或晶圓的安全。為了達到上述的目的，本實用新型採用如下技術方案一種取放報警裝置，用於監控操作人員是否將晶圓或光罩正確取出或存入運輸盒的開關裝置內，所述運輸盒的開關裝置包括支撐框架、設置於支撐框架內的運輸盒以及用於將運輸盒打開的執行機構，所述運輸盒包括底座和上蓋，所述底座上設有後側擋片和與所述後側擋片相鄰的兩個側面擋片，所述取放報警裝置包括一用於監控運輸盒是否打開的打開狀態偵測器、一用於監控晶圓或光罩在取放過程中是否越過後側擋片所在直線的越位偵測器、一報警器以及一復位按鈕，所述復位按鈕、打開狀態偵測器、越位偵測器以及所述報警器依次連接。優選的，在上述的取放報警裝置中，所述打開狀態偵測器是一個具有發射兼接收功能的光傳感器或者是一個接觸傳感器，所述打開狀態偵測器置於當運輸盒處於打開狀態時底座的底部所在的位置的一側。優選的，在上述的取放報警裝置中，所述打開狀態偵測器包括一個具有發射功能的光傳感器和一個具有接收功能的光傳感器，打開狀態偵測器的兩個光傳感器分別設置於當運輸盒處於打開狀態時底座所在的位置的兩側。優選的，在上述的取放報警裝置中，所述越位偵測器採用一個具有發射兼接收功能的光傳感器，所述越位偵測器設置於當運輸盒處於打開狀態時底座上的後側擋片的一偵牝所述越位偵測器發出的檢測光線與所述後側擋片所在的直線平行，且所述越位偵測器發出的檢測光線緊臨所述後側擋片所在的直線的上方。優選的，在上述的取放報警裝置中，所述越位偵測器包括一個具有發射功能的光·傳感器和一個具有接收功能的光傳感器，越位偵測器的兩個光傳感器分別設置於當運輸盒處於打開狀態時底座上的後側擋片的兩側，兩個光傳感器之間的檢測光線與所述後側擋片所在的直線平行，且兩個光傳感器之間的檢測光線緊臨所述後側擋片所在的直線的上方。優選的，在上述的取放報警裝置中，還包括至少一個行徑路線違規偵測器，當所述行徑路線違規偵測器為一個時，所述行徑路線違規偵測器與所述越位偵測器並聯後的兩端分別與所述打開狀態偵測器和所述報警器連接；當所述行徑路線違規偵測器為兩個以上時，各個行徑路線違規偵測器與所述越位偵測器並聯後的兩端分別與所述打開狀態偵測器和所述報警器連接。優選的，在上述的取放報警裝置中，所述行徑路線違規偵測器的數量是一個，所述行徑路線違規偵測器設置於其中一側的側面擋片的外側方，且所述行徑路線違規偵測器設置於所述兩個側面擋片的前端的前方，所述行徑路線違規偵測器採用光傳感器，所述行徑路線違規偵測器發出的檢測光線豎直向上。優選的，在上述的取放報警裝置中，所述行徑路線違規偵測器的數量是兩個，兩個行徑路線違規偵測器分別設置於兩個側面擋片的外側方，且兩個行徑路線違規偵測器分別設置於側面擋片的前端的前方，所述行徑路線違規偵測器採用光傳感器，兩個行徑路線違規偵測器發出的檢測光線均豎直向上。優選的，在上述的取放報警裝置中，所述報警器是警示燈或者警示喇叭。本實用新型還公開了一種運輸盒的開關裝置，包括運輸盒以及用於將運輸盒打開的驅動機構，所述運輸盒包括底座和上蓋，所述底座上設有後側擋片和一對相對的側面擋片，所述運輸盒的開關裝置還包括如上所述的取放報警裝置。本實用新型提供的取放報警裝置及運輸盒的開關裝置，通過設置一用於監控運輸盒是否打開的打開狀態偵測器、一用於監控晶圓或光罩在取放過程中是否越過後側擋片所在直線的越位偵測器、一報警器以及一復位按鈕，所述復位按鈕、打開狀態偵測器、越位偵測器以及所述報警器依次連接，只有當底座處於打開狀態時，越位偵測器會進行工作，一旦晶圓或光罩在取放過程中越過後側擋片所在直線，則越位偵測器就會通知報警器報警，從而可以通知操作人員取放過程中出現誤操作，此時操作人員需要將晶圓或光罩取出，檢測晶圓或光罩是否因該誤操作而被後側擋片損壞，如果發生損壞，更換晶圓或光罩後繼續取放工作，如果沒有發生損壞，繼續取放工作。從而，可以保證晶圓或光罩的取放操作正確，確保完好無損的晶圓或光罩被放入運輸盒中進行後續的工藝製程，從而可以提高產品的良率。此外，本實用新型通過設置至少一個行徑路線違規偵測器，當所述行徑路線違規偵測器為一個時，所述行徑路線違規偵測器與所述越位偵測器並聯後的兩端分別與所述打開狀態偵測器和所述報警器連接；當所述行徑路線違規偵測器為兩個以上時，各個行徑路線違規偵測器與所述越位偵測器並聯後的兩端分別與所述打開狀態偵測器和所述報警器連接。通過將行徑路線違規偵測器設置在違規線路上，一旦監測到晶圓或光罩，就可以通過報警器發出操作人員誤操作的警報，從而促使操作人員取出晶圓或光罩是否被後側擋片或側面擋片損壞，從而進一步確保晶圓或光罩的取放工作正確，進一步提聞廣品良率。
本實用新型的取放報警裝置及運輸盒的開關裝置由以下的實施例及附圖給出。圖IA為現有的運輸盒的開關裝置的主視示意圖。圖IB為現有的運輸盒的開關裝置的俯視示意圖。圖IC為現有的運輸盒的開關裝置的側視示意圖。圖2A為本實用新型實施例一的運輸盒的開關裝置的主視示意圖。圖2B為本實用新型實施例一的運輸盒的開關裝置的俯視示意圖。圖2C為本實用新型實施例一的運輸盒的開關裝置的原理圖。圖2D為本實用新型實施例一的取放報警裝置的工作流程邏輯圖。圖3A為本實用新型實施例二的運輸盒的開關裝置的主視示意圖。圖2B為本實用新型實施例二的運輸盒的開關裝置的俯視示意圖。圖3C為本實用新型實施例二的運輸盒的開關裝置的原理圖。圖3D為本本實用新型實施例二的取放報警裝置的工作流程邏輯圖。圖中，1、11、21-支撐框架，2、12、22-底座，3、13、23-後側擋片，4、14、24-側面擋片，15,25-打開狀態偵測器，16,26-越位偵測器，17,27-復位按鈕，18,28-警示燈，19、29-行徑路線違規偵測器，10-光罩，101-薄膜。
具體實施方式
以下將對本實用新型的取放報警裝置及運輸盒的開關裝置作進一步的詳細描述。下面將參照附圖對本實用新型進行更詳細的描述，其中表示了本實用新型的優選實施例，應該理解本領域技術人員可以修改在此描述的本實用新型而仍然實現本實用新型的有利效果。因此，下列描述應當被理解為對於本領域技術人員的廣泛知道，而並不作為對本實用新型的限制。為了清楚，不描述實際實施例的全部特徵。在下列描述中，不詳細描述公知的功能和結構，因為它們會使本實用新型由於不必要的細節而混亂。應當認為在任何實際實施例的開發中，必須作出大量實施細節以實現開發者的特定目標，例如按照有關系統或有關商業的限制，由一個實施例改變為另一個實施例。另外，應當認為這種開發工作可能是複雜和耗費時間的，但是對於本領域技術人員來說僅僅是常規工作。為使本實用新型的目的、特徵更明顯易懂，
以下結合附圖對本實用新型的具體實施方式
作進一步的說明。需說明的是，附圖均採用非常簡化的形式且均使用非精準的比率，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。實施例一請參閱圖2A至圖2C，其中，圖2A為本實用新型實施例一的運輸盒的開關裝置的主視示意圖，圖2B為本實用新型實施例一的運輸盒的開關裝置的俯視示意圖，圖2C為本實用新型實施例一的運輸盒的開關裝置的原理圖。本實施例提供了一種運輸盒的開關裝置，包括支撐框架11以及設置於支撐框架11內的運輸盒以及用於將運輸盒打開的執行機構(未圖示)，所述運輸盒包括底座12和上蓋(未圖示)，所述底座12上設有後側擋片13和一對相對的側面擋片14，所述運輸盒的開關 裝置還包括一取放報警裝置，所述取放報警裝置用於監控操作人員是否將晶圓或光罩(未圖示)正確取出或存入運輸盒的開關裝置內，具體的，所述取放報警裝置包括一用於監控運輸盒是否打開的打開狀態偵測器15、一用於監控晶圓或光罩在取放過程中是否越過後側擋片14所在直線的越位偵測器16、一報警器18以及一復位按鈕17，所述復位按鈕17、打開狀態偵測器15、越位偵測器16以及所述報警器18依次連接。只有當底座12處於打開狀態時，打開狀態偵測器15會觸發，使得越位偵測器16進入工作，一旦晶圓或光罩在取放過程中越過後側擋片13所在直線，則越位偵測器16就會通知報警器18報警，從而可以通知操作人員取放過程中出現誤操作，此時操作人員需要將晶圓或光罩取出，檢測晶圓或光罩是否因該誤操作而被後側擋片13損壞，如果發生損壞，則更換晶圓或光罩後繼續取放工作，如果沒有發生損壞，繼續取放工作，從而，可以保證晶圓或光罩的取放操作正確，確保完好無損的晶圓或光罩被存放進運輸盒中進行後續的工藝製程，進而，可以提聞廣品的良率。較佳的，在本實施例中，所述打開狀態偵測器15採用一個具有發射兼接收功能的光傳感器，所述打開狀態偵測器15置於當運輸盒處於打開狀態時底座12的底部所在的位置的一側。一旦打開狀態偵測器15接收到自己發射的檢測光線被底座12反射回來，打開狀態偵測器15就會通知越位傳感器16進行工作。當然，所述打開狀態偵測器15也可以是一個接觸傳感器，所述打開狀態偵測器15置於當運輸盒處於打開狀態時底座12的底部所在的位置的一側，當運輸盒處於打開狀態時，底座12的的底部與接觸傳感器發生接觸來觸發打開狀態偵測器。當然，所述打開狀態偵測器15也可以包括一個具有發射功能的光傳感器和一個具有接收功能的光傳感器，打開狀態偵測器15的兩個光傳感器分別設置於當運輸盒處於打開狀態時底座所在的位置的兩側。一旦，打開狀態偵測器15的具有接收功能的光傳感器接收不到具有發射功能的光傳感器發出的檢測光線，打開狀態偵測器15就會通知越位傳感器16進行工作。較佳的，在本實施例中，所述越位偵測器16包括一個具有發射功能的光傳感器和一個具有接收功能的光傳感器，越位偵測器16的兩個光傳感器分別設置於當運輸盒處於打開狀態時底座12上的後側擋片13的兩側，兩個光傳感器之間的檢測光線與所述後側擋片13所在的直線平行，且兩個光傳感器之間的檢測光線緊臨所述後側擋片13所在的直線的上方。一旦，所述越位偵測器16的兩傳感器之間的檢測光線被晶圓或光罩阻隔，越位偵測器16就會通知報警器18報警。當然，所述越位偵測器16也可以採用一個具有發射兼接收功能的光傳感器，所述越位偵測器16設置於當運輸盒處於打開狀態時底座上的後側擋片的一側，所述越位偵測器16發出的檢測光線與所述後側擋片所在的直線平行，且所述越位偵測器16發出的檢測光線緊臨所述後側擋片所在的直線的上方。一旦，越位偵測器16接收到被晶圓或者光罩反射回的檢測光線，越位偵測器16就會通知報警器18報警。優選的，所述報警器18是警示燈或者警示喇叭，本實施例中，所述報警器18是警示燈。請參閱圖2D，並請結合圖2A至圖2C，其中，圖2D為本實用新型實施例一的取放報警裝置的工作流程邏輯圖，本實施例的監控方法包括如下步 驟第SI步，報警器18處於待命狀態；第S2步，判斷打開狀態偵測器15是否觸發，即打開狀態偵測器15監控運輸盒的底座12是否到達打開狀態的位置；如果是，即檢測到運輸盒的底座12達到打開狀態的位置，則進行第S31步，即，通知越位偵測器16進入監控晶圓或光罩的工作；否則，返回第S2步並且進行第S32步，即，越位偵測器和行徑路線偵測器關閉；在第S31步之後，進行第S4步，判斷越位偵測器16是否觸發即判斷越位偵測器15是否監控到晶圓或光罩；如果是，進行第S5步即報警器18報警；否則，返回第S4步；在第S5步之後，進行第S6步即判斷復位按鈕17是否復位，如果是，返回第SI步，形成循環；否則，返回第S5步。實施例二請參閱圖3A至3C，其中，圖3A為本實用新型實施例二的運輸盒的開關裝置的主視示意圖，圖2B為本實用新型實施例二的運輸盒的開關裝置的俯視示意圖，圖3C為本實用新型實施例二的運輸盒的開關裝置的原理圖。本實施例和實施一的區別在於所述取放報警裝置還包括至少一個行徑路線違規偵測器29，當所述行徑路線違規偵測器29為一個時，所述行徑路線違規偵測器29與所述越位偵測器26並聯後的兩端分別與所述打開狀態偵測器25和所述報警器28連接；當所述行徑路線違規偵測器29為兩個以上時，各個行徑路線違規偵測器29與所述越位偵測器並聯後的兩端分別與所述打開狀態偵測器25和所述報警器28連接。通過將行徑路線違規偵測器29設置在所需要監測的違規線路上，一旦監測到晶圓或光罩出現在違規線路上，行徑路線違規偵測器29就會通過報警器28發出操作人員誤操作的警報，從而促使操作人員取出晶圓或光罩並檢測晶圓或光罩是否被後側擋片23或側面擋片24損壞，從而進一步確保晶圓或光罩的取放工作正確，進一步提高產品良率。本實施例中，所述行徑路線違規偵測器29的數量是一個，所述行徑路線違規偵測器29設置於其中一側的側面擋片24的外側方，且所述行徑路線違規偵測器29設置於所述兩個側面擋片24的前端的前方，所述行徑路線違規偵測器29採用光傳感器，所述行徑路線違規偵測器29發出的檢測光線豎直向上。一旦，所述行徑路線違規偵測器29發出的檢測光線的檢測光線被晶圓或光罩反射回來，其就會通知報警器報警。當然，在上述的取放報警裝置及運輸盒的開關裝置中，所述行徑路線違規偵測器的數量任意多個，各個行徑路線違規偵測器分別設置於各個所需監測的違規線路上。例如行徑路線違規偵測器的數量可以是兩個，兩個行徑路線違規偵測器分別設置於兩個側面擋片的外側方，且兩個行徑路線違規偵測器分別設置於側面擋片的前端的前方，所述行徑路線違規偵測器採用光傳感器，兩個行徑路線違規偵測器發出的檢測光線均豎直向上。請參閱圖3E，並請結合圖3A至3B，圖3E為本實用新型實施例二的取放報警裝置的工作流程邏輯圖，本實施例的監控方法包括如下步驟第SI』步，報警器28待命；第S2』步，判斷打開狀態偵測器25是否觸發，即判斷打開狀態偵測器25監控運輸盒的底座22是否到達打開狀態的位置；如果打開狀態偵測器25觸發即檢測到運輸盒的底座22達到打開狀態的位置，則進行第S31』步，即，通知越位偵測器26和行徑路線偵測器29進入監控晶圓或光罩的工作；否則，返回第S2步並且進行第S32步，S卩，越位偵測器26和行徑路線偵測器29關閉；在第S31』步之後，進行第S4』步，判斷越位偵測器26和行徑路線偵測器29是否 觸發即判斷越位偵測器26和行徑路線偵測器29是否有任一個監控到晶圓或光罩；如果是，進行第S5』步即報警器28報警，如果否，返回第S4步；在第S5步之後，進行第S6』步即判斷復位按鈕27是否復位，如果是，返回第SI，步，形成循環；如果否，返回第S5』步。綜上所述，本實用新型提供的取放報警裝置及運輸盒的開關裝置，通過設置一用於監控運輸盒是否打開的打開狀態偵測器、一用於監控晶圓或光罩在取放過程中是否越過後側擋片所在直線的越位偵測器、一報警器以及一復位按鈕，所述復位按鈕、打開狀態偵測器、越位偵測器以及所述報警器依次連接，只有當底座處於打開狀態時，越位偵測器會進行工作，一旦晶圓或光罩在取放過程中越過後側擋片所在直線，則越位偵測器就會通知報警器報警，從而可以通知操作人員取放過程中出現誤操作，此時操作人員需要將晶圓或光罩取出，檢測晶圓或光罩是否因該誤操作而被後側擋片損壞，如果發生損壞，更換晶圓或光罩後繼續取放工作，如果沒有發生損壞，繼續取放工作。從而，可以保證晶圓或光罩的取放操作正確，確保完好無損的晶圓或光罩被放入運輸盒中進行後續的工藝製程，從而可以提高廣品的良率。此外，本實用新型通過設置至少一個行徑路線違規偵測器，當所述行徑路線違規偵測器為一個時，所述行徑路線違規偵測器與所述越位偵測器並聯後的兩端分別與所述打開狀態偵測器和所述報警器連接；當所述行徑路線違規偵測器為兩個以上時，各個行徑路線違規偵測器與所述越位偵測器並聯後的兩端分別與所述打開狀態偵測器和所述報警器連接。通過將行徑路線違規偵測器設置在違規線路上，一旦監測到晶圓或光罩，就可以通過報警器發出操作人員誤操作的警報，從而促使操作人員取出晶圓或光罩是否被後側擋片或側面擋片損壞，從而進一步確保晶圓或光罩的取放工作正確，進一步提聞廣品良率。顯然，本領域的技術人員可以對本實用新型進行各種改動和變型而不脫離本實用新型的精神和範圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬於本實用新型權利要求及其等同技術的範圍之內，則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內。
權利要求1.一種取放報警裝置，用於監控操作人員是否將晶圓或光罩正確取出或存入運輸盒的開關裝置內，所述運輸盒的開關裝置包括支撐框架、設置於所述支撐框架內的運輸盒以及用於將運輸盒打開的執行機構，所述運輸盒包括底座和上蓋，所述底座上設有後側擋片和與所述後側擋片相鄰的兩個側面擋片，其特徵在於，所述取放報警裝置包括一用於監控運輸盒是否打開的打開 狀態偵測器、一用於監控晶圓或光罩在取放過程中是否越過後側擋片所在直線的越位偵測器、一報警器以及一復位按鈕，所述復位按鈕、打開狀態偵測器、越位偵測器以及所述報警器依次連接。
2.根據權利要求I所述的取放報警裝置，其特徵在於，所述打開狀態偵測器是一個具有發射兼接收功能的光傳感器或者是一個接觸傳感器，所述打開狀態偵測器置於當運輸盒處於打開狀態時底座的底部所在的位置的一側。
3.根據權利要求I所述的取放報警裝置，其特徵在於，所述打開狀態偵測器包括一個具有發射功能的光傳感器和一個具有接收功能的光傳感器，打開狀態偵測器的兩個光傳感器分別設置於當運輸盒處於打開狀態時底座所在的位置的兩側。
4.根據權利要求I所述的取放報警裝置，其特徵在於，所述越位偵測器採用一個具有發射兼接收功能的光傳感器，所述越位偵測器設置於當運輸盒處於打開狀態時底座上的後側擋片的一側，所述越位偵測器發出的檢測光線與所述後側擋片所在的直線平行，且所述越位偵測器發出的檢測光線緊臨所述後側擋片所在的直線的上方。
5.根據權利要求I所述的取放報警裝置，其特徵在於，所述越位偵測器包括一個具有發射功能的光傳感器和一個具有接收功能的光傳感器，越位偵測器的兩個光傳感器分別設置於當運輸盒處於打開狀態時底座上的後側擋片的兩側，兩個光傳感器之間的檢測光線與所述後側擋片所在的直線平行，且兩個光傳感器之間的檢測光線緊臨所述後側擋片所在的直線的上方。
6.根據權利要求I所述的取放報警裝置，其特徵在於，還包括至少一個行徑路線違規偵測器，當所述行徑路線違規偵測器為一個時，所述行徑路線違規偵測器與所述越位偵測器並聯後的兩端分別與所述打開狀態偵測器和所述報警器連接；當所述行徑路線違規偵測器為兩個以上時，各個行徑路線違規偵測器與所述越位偵測器並聯後的兩端分別與所述打開狀態偵測器和所述報警器連接。
7.根據權利要求6所述的取放報警裝置，其特徵在於，所述行徑路線違規偵測器的數量是一個，所述行徑路線違規偵測器設置於其中一側的側面擋片的外側方，且所述行徑路線違規偵測器設置於所述兩個側面擋片的前端的前方，所述行徑路線違規偵測器採用光傳感器，所述行徑路線違規偵測器發出的檢測光線豎直向上。
8.根據權利要求6所述的取放報警裝置，其特徵在於，所述行徑路線違規偵測器的數量是兩個，兩個行徑路線違規偵測器分別設置於兩個側面擋片的外側方，且兩個行徑路線違規偵測器分別設置於側面擋片的前端的前方，所述行徑路線違規偵測器採用光傳感器，兩個行徑路線違規偵測器發出的檢測光線均豎直向上。
9.根據權利要求I所述的取放報警裝置，其特徵在於，所述報警器是警示燈或者警示喇叭。
10.一種運輸盒的開關裝置，包括運輸盒以及用於將所述運輸盒打開的驅動機構，所述運輸盒包括底座和上蓋，所述底座上設有後側擋片和一對相對的側面擋片，其特徵在於，所述運輸盒的開關 裝置還包括如權利要求I、中任意一項所述的取放報警裝置。
專利摘要本實用新型公開了一種取放報警裝置及運輸盒的開關裝置，取放報警裝置，用於監控操作人員是否將晶圓或光罩正確取出或存入運輸盒的開關裝置內，所述運輸盒的開關裝置包括支撐框架、設置於支撐框架內的運輸盒以及用於將運輸盒打開的執行機構，所述運輸盒包括底座和上蓋，所述底座上設有後側擋片和與所述後側擋片相鄰的兩個側面擋片，所述取放報警裝置包括一用於監控運輸盒是否打開的打開狀態偵測器、一用於監控晶圓或光罩在取放過程中是否越過後側擋片所在直線的越位偵測器、一報警器以及復位按鈕，所述復位按鈕、打開狀態偵測器、越位偵測器以及所述報警器依次連接。還公開了一種運輸盒的開關裝置。本實用新型可以提醒操作人員進行正確的取放工作，確保光罩或晶圓的安全。
文檔編號G08B21/00GK202632470SQ20122031673
公開日2012年12月26日 申請日期2012年7月2日 優先權日2012年7月2日
發明者盧子軒, 楊曉松, 吳根興, 張宇, 楊駿 申請人:中芯國際集成電路製造(上海)有限公司