用於晶片切割設備的過濾裝置的製作方法

2023-05-31 14:17:31 1

專利名稱：用於晶片切割設備的過濾裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及ー種過濾裝置，尤其涉及一種應用在LED晶片、矽晶圓等半導體元件的切割設備上的過濾裝置。
背景技術：
目前，LED晶片及矽晶圓等半導體元件在產出時通常是整片的，必須經過切割才能變成晶片，也才能作為集成電路的零件材料。在切割晶片的過程中，必須在刀具上註上特殊油料，用來潤滑刀具及降溫，讓切割刀具避免發生過熱而斷裂或影響切割的精密度及切割後晶圓(晶片)的質量，並提升加工效率。但因為晶片切割後的殘餘物幾乎都是粉體，而此類粉體，尤其是矽粉等與油料混合後會產生粘稠性，因此切割過程中必須將與混雜於油料中的粉體隨時排除，並注入乾淨的油料，才能持續的加工切割。而對於切割過程所產生的混雜粉體的油料，大多加工廠都是直接收集在切割設備下所設置的廢料桶內 ，然後予以丟棄，這不僅會造成環境汙染，而且由於用來潤滑及降溫的油料，非常的昂貴，因此無形中也増加了加工的成本，並浪費了資源。

實用新型內容本實用新型的目的在於針對現有技術中的不足，提供一種應用於晶片切割設備的過濾裝置，其能有效的對晶片切割所生成之粉體與油料的混合物及產生的粘性汙渣進行過濾處理，實現資源的有效利用，並降低環境汙染。為實現上述發明目的，本實用新型採用了如下技術方案一種用於晶片切割設備的過濾裝置，包括用於容置從工具機排出的髒油的髒油箱，所述髒油箱與設於濾桶內的一根以上濾芯的內腔連通，所述濾桶內環繞濾芯設有至少ー用於容置從濾芯內濾出的乾淨油的空腔，所述空腔與濾芯內腔隔離，且所述空腔還分別經濾桶上設置的至少ー乾淨油出口和至少ー壓縮氣體輸入口與乾淨油箱(m和壓縮氣源連通，同時，所述濾芯的內腔還經濾桶上設置的至少ー粉體及汙渣排放ロ與汙渣箱連通。優選的，所述濾芯豎直設置於濾桶內，且濾芯內腔分別與設置在濾桶頂部和底部的空腔連通，同時濾桶內環繞濾芯還設有與乾淨油出口和壓縮氣體輸入口連通的空腔，所述濾桶頂部和底部的空腔分別與髒油箱和汙渣箱連通。進ー步的，所述髒油箱分別經帶有閥門的管道及帶有閥門的管道與工具機和設於濾桶內的濾芯內腔連通，所述乾淨油出口帶有閥門的管道與乾淨油箱連通，所述壓縮氣體輸入ロ經帶有逆止閥及閥門的管路與壓縮氣源連通，所述粉體及汙渣排放ロ經閥門與汙渣箱連通。優選的，所述髒油箱經泵及帶有閥門的管道與濾芯內腔連通，所述乾淨油箱還經泵及帶有逆止閥的管道與工具機連通。優選的，所述閥門採用氣動閥門和/或電磁閥門。優選的，所述過濾裝置還包括控制單元，所述控制単元分別與前述各閥門連接。[0011]優選的，所述過濾裝置還包括用於監控濾桶內氣壓的壓カ表。優選的，所述汙渣箱還與閥門連通，用以將積蓄於汙渣箱內的粉體及汙渣移除。

圖I是本實用新型一優選實施例的結構示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖及ー優選實施例對本實用新型的技術方案作進ー步的說明。參閱圖I系一種可應用於矽晶圓切割設備上的過濾裝置，其工作過程如下工具機髒油通過管道Lll與氣動閥門P-41進入髒油箱4#』再藉由泵M2將髒油通過管道L12及氣動閥門P-Il進入濾桶2#，濾桶內裝置數根濾芯，髒油從濾桶頂部直接輸入濾芯內部(如箭頭a所示方向)，此時濾桶底部閥P-43處關閉狀態，髒油由濾芯的內部開始過濾(自濾芯內部向外部滲濾)，乾淨的油經氣動閥門P-42及出油ロ處連接的管道L21進入乾淨油箱1#，再由泵Ml經由管道L22及逆止閥P-12抽入工具機使用。矽粉及粘性汙渣會慢慢累積在濾芯內部及濾桶底部，當濾桶內達到設定壓カ時(由壓カ表P-2上可以查看壓力)，閥P-43自動打開，此時壓縮氣體經由高壓空氣管L3通過逆止閥P-13及電磁閥P-3進入濾桶，將這些矽粉及汙渣排放至汙渣箱3#進行收集，同時實現濾芯的反衝洗，當汙渣箱3#滿後打開閥門P-44將這些矽粉及汙渣移除。優選的，前述各類泵體、氣動閥門、電磁閥等器件還可通過如PLC、單片機、計算機系統等進行控制，並由此類控制設備依照操作人員的設定及壓力表P-2等的反饋信號而對前述器件的運行狀態進行調整，從而實現該過濾裝置的自動化運作，進ー步提高工作效率，減少對人力資源的需求。附及，前述電磁閥、氣動閥等亦可以本領域技術人員習用的有助於自動化控制的其它類型閥門進行替換。該過濾裝置結構簡單，便於安裝維護，易於操作，可有效的對油汙混合且已產生粘性的汙渣(即廢矽粉及油料混合物)予以過濾處理，實現油料的回收利用，減少汙染物的排放，不僅有利於環保，更能大幅降低廠家的運營成本。以上僅是本實用新型的具體應用範例，對本實用新型的保護範圍不構成任何限制。凡採用等同變換或者等效替換而形成的技術方案，均落在本實用新型權利保護範圍之內。
權利要求1.一種用於晶片切割設備的過濾裝置，包括用於容置從工具機排出的髒油的髒油箱(4#)，其特徵在於，所述髒油箱m與設於濾桶(2#)內的一根以上濾芯的內腔連通，所述濾桶(2#)內環繞濾芯設有至少ー用於容置從濾芯內濾出的乾淨油的空腔，所述空腔與濾芯內腔隔離，且所述空腔還分別經濾桶(2#)上設置的至少ー乾淨油出口和至少ー壓縮氣體輸入口與乾淨油箱(W)和壓縮氣源連通，同時，所述濾芯的內腔還經濾桶(2#)上設置的至少ー粉體及汙渣排放ロ與汙渣箱(3#)連通。
2.根據權利要求I所述的用於晶片切割設備的過濾裝置，其特徵在於，所述濾芯豎直設置於濾桶(2#)內，且濾芯內腔分別與設置在濾桶(2#)頂部和底部的空腔連通，同時濾桶(2#)內環繞濾芯還設有與乾淨油出口和壓縮氣體輸入口連通的空腔，所述濾桶(2#)頂部和底部的空腔分別與髒油箱(4#)和汙渣箱(3#)連通。
3.根據權利要求I所述的用於晶片切割設備的過濾裝置，其特徵在於，所述髒油箱(4#)分別經帶有閥門(P-41)的管道(Lll)及帶有閥門(P-Il)的管道(L12)與工具機和設於濾桶(2#)內的濾芯內腔連通，所述乾淨油出口帶有閥門(P-42)的管道(L21)與乾淨油箱(1#)連通，所述壓縮氣體輸入口經帶有逆止閥(P-13)及閥門(P-3)的管路(L3)與壓縮氣源連通，所述粉體及汙渣排放ロ經閥門(P-43)與汙渣箱(3#)連通。
4.根據權利要求3所述的用於晶片切割設備的過濾裝置，其特徵在於，所述髒油箱(4#)經泵(M2)及帶有閥門(P-Il)的管道(L12)與濾芯內腔連通，所述乾淨油箱(W)還經泵(Ml)及帶有逆止閥(P-12)的管道(L22)與工具機連通。
5.根據權利要求3-4中任一項所述的用於晶片切割設備的過濾裝置，其特徵在於，所述閥門(P-41)、閥門(P-42)、閥門(P-43)、閥門(P-Il)以及閥門(P-3)採用氣動閥門和/或電磁閥門。
6.根據權利要求3-4中任一項所述的用於晶片切割設備的過濾裝置，其特徵在於，所述過濾裝置還包括控制單元，所述控制単元分別與閥門(P-41)、閥門(P-42)、閥門(P-43)、閥門(P-Il)以及閥門(P-3)連接。
7.根據權利要求1-4中任一項所述的用於晶片切割設備的過濾裝置，其特徵在於，所述過濾裝置還包括用於監控濾桶內氣壓的壓カ表(P-2)。
8.根據權利要求1-4中任一項所述的用於晶片切割設備的過濾裝置，其特徵在於，所述汙渣箱(3#)還與閥門(P-44)連通。
專利摘要本實用新型公開了一種用於晶片切割設備的過濾裝置，包括用於容置從工具機排出的髒油的髒油箱，該髒油箱與設於濾桶內的一根以上濾芯的內腔連通，該濾桶內環繞濾芯設有至少一用於容置從濾芯內濾出的乾淨油的空腔，該空腔與濾芯內腔隔離，且該空腔還分別經濾桶上設置的至少一乾淨油出口和至少一壓縮氣體輸入口與乾淨油箱和壓縮氣源連通，同時，該濾芯的內腔還經濾桶上設置的至少一粉體及汙渣排放口與汙渣箱連通。優選的，該過濾裝置還可包括用於對該裝置中的各電動、氣動等組件進行控制的控制單元。本實用新型結構簡單、易於操作維護，能有效的含粉體的汙油及粘性汙渣進行處理，實現資源的有效利用，並降低環境汙染，利於環境保護。
文檔編號B01D35/02GK202592570SQ20122026133
公開日2012年12月12日 申請日期2012年6月5日 優先權日2012年6月5日
發明者鄭添全 申請人:蘇州永添設備有限公司, 鄭添全