晶圓傳輸校準裝置的製作方法
2023-06-22 16:44:41
專利名稱：晶圓傳輸校準裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及半導體製造領域，尤其涉及一種晶圓傳輸校準裝置。
背景技術：
在半導體的生產工藝中，經常需要對晶圓進行傳輸。例如，在離子注入設備進行離子注入時，是將晶圓盒(cassette)內的若干片晶圓輪流傳輸至離子注入工藝載盤(disk)上進行離子注入的。在晶圓盒和工藝載盤之間的晶圓傳輸過程的準確性顯得十分重要的，如果出現偏差或出現掉片現象，會造成很大的經濟損失。請參閱圖1至圖3，在整個傳輸過程需要使用晶圓夾持機構實現晶圓的傳輸和固定，例如需要機械臂(arm)與晶圓夾持器(wafer holder)實現晶圓在晶圓盒(cassette)與離子注入工藝載盤(disk)之間的傳輸。具體傳輸過程如下:首先，使用機械臂7從晶圓盒中夾取一片待處理的晶圓1，然後將該待處理的晶圓I交接至晶圓夾持器8上；接著，使用機械臂7從離子注入工藝載盤9上夾取已經處理完成的晶圓1，並將其放回晶圓盒；最後，晶圓夾持器8將待處理晶圓I交接至離子注入工藝載盤9上進行工藝處理，如此形成循環。其中，如圖1所示，機械臂7有3個卡盤12，其有四個工作位置；如圖2所示，晶圓夾持器8有4個卡盤12，其有3個工作位置；如圖3所示，工藝載盤9有三個卡盤12，其只有一個工作位置。三個部件相互作用對晶圓I進行交替傳接，位置的要求需要十分精確。然而，由於晶圓I上述傳輸過程中，是在真空環境下的離子設備內進行，外部很難對晶圓的位置進行控制。目前，對晶圓I的校準方法是，每半年進行一次全方位的校準，或者是在晶圓I傳輸過程中出現掉片的時候對其進行全方位的校準。晶圓I校準一般是由資深設備工程師在傳輸過程中，觀察機械臂7、晶圓夾持器8和工藝載盤9對晶圓I進行傳送時的具體位置。並且，傳送晶圓I的時候，還要對兩個動作交接時候的位置變化進行確認和觀察，如果發生很大問題，應及時更改位置。調節位置的方法為，先通過軟體進行微小調節，當位置變化差距很大的情況下，就應該對硬體的位置進行實質性的調節，再經過晶圓I傳輸進行觀察確認。另外，在傳送進行位置校準時，通常使用鋼製圓片進行，防止在晶圓掉落後不受到影響。上述方法的缺點在於，無法能夠準確的證明具體位置，只能靠經驗和手法來判斷，無法使得每一位工程師都可以進行準確的校準操作。因此，如何提供一種使用方便、並能夠保證傳輸準確性的、高效的的晶圓傳輸校準裝置是本領域技術人員亟待解決的一個技術問題。
實用新型內容本實用新型的目的在於提供一種晶圓傳輸校準裝置，不但使用方便、便捷，而且能夠保證傳輸準確性，使得機械臂、晶圓夾持器和工藝載盤在對晶圓實現準備傳輸，從而確保工藝的穩定性，提聞廣品良率。為了達到上述的目的，本實用新型採用如下技術方案:[0010]—種晶圓傳輸校準裝置,包括一與晶圓相同大小的檢測圓盤、LED顯不板、電路板、光電轉換器、若干光信號發光體以及若干光纖，所述LED顯不板和所述光電轉換器分別與所述電路板連接，所述光信號發光體設置於所述檢測圓盤上由晶圓夾持機構夾持的部位，每種晶圓夾持機構對應一個LED顯示板，所述光纖設置於所述檢測圓盤上，且所述光纖在所述光信號發光體位置設有採光口，且所述光纖分別連接至所述光電轉換器。優選的，在上述的晶圓傳輸校準裝置中，還包括一控制面板，所述LED顯示板、電路板以及光電轉換器集成於所述控制面板內。優選的，在上述的晶圓傳輸校準裝置中，所述控制面板設置於所述檢測圓盤的中心部位。優選的，在上述的晶圓傳輸校準裝置中，還包括一電源，所述電源與所述電路板連接。優選的，在上述的晶圓傳輸校準裝置中，所述電源設置於所述檢測圓盤內。優選的，在上述的晶圓傳輸校準裝置中，所述晶圓夾持機構包括機械臂、晶圓夾持器夾持、工藝載盤中的一種或多種。優選的，在上述的晶圓傳輸校準裝置中，所述晶圓夾持機構通過三個或四個卡盤夾持所述檢測圓盤。優選的，在上述的晶圓傳輸校準裝置中，所述光電轉換器為光電耦合器。本實用新型提供的晶圓傳輸校準裝置，包括一與晶圓相同大小的檢測圓盤、LED顯不板、電路板、光電轉換器、若干光信號發光體以及若干光纖，所述LED顯不板和所述光電轉換器分別與所述電路板連接，所述光信號發光體設置於所述檢測圓盤上由晶圓夾持機構夾持的部位，每種晶圓夾持機構對應一個LED顯示板，所述光纖設置於所述檢測圓盤上，且所述光纖在所述光信號發光體位置設有採光口，且所述光纖分別連接至所述光電轉換器。若光信號發光體被晶圓夾持機構(例如是機械臂或工藝載盤或晶圓夾持器)的卡盤擋住，對應光纖不能接收到光信號，從而使得光電轉換器接收不到光信號，光電轉換器會將該信息傳輸給電路板，電路板會觸動LED顯示板發出光來，從而告知在外面進行操作的設備工程師檢測圓盤(相當於晶圓)的傳輸位置是正確的，如果光纖不能接收到光信號，使得光電轉換器接收到光信號，光電轉換器會將該信息傳輸給電路板，電路板會觸動LED顯示板不發光，從而告知在外面進行操作的設備工程師該檢測圓盤(相當於晶圓)的傳輸位置是錯誤的，需要調整。由此可見，本實用新型不但使用方便、便捷，而且能夠保證傳輸準確性，使得機械臂、晶圓夾持器和工藝載盤在對晶圓實現準備傳輸，從而確保工藝的穩定性，提聞廣品良率。
本實用新型的晶圓傳輸校準裝置由以下的實施例及附圖給出。圖1是機械臂夾持晶圓的結構示意圖；圖2是晶圓夾持器夾持晶圓的結構示意圖；圖3是工藝載盤夾持晶圓的結構示意圖；圖4是本實用新型的晶圓傳輸校準裝置的結構示意圖；圖5是本實用新型的晶圓傳輸校準裝置的光纖分布示意圖；[0026]圖6是本實用新型的晶圓傳輸校準裝置的電路示意圖；圖中，1-晶圓或檢測圓盤，2-LED顯示板，3_電路板，4_光電轉換器，5_光信號發光體，6-光纖，7-機械臂，8-晶圓夾持器，9-工藝載盤，10-控制面板，11-電源，12-卡盤。
具體實施方式
以下將對本實用新型的晶圓傳輸校準裝置作進一步的詳細描述。下面將參照附圖對本實用新型進行更詳細的描述，其中表示了本實用新型的優選實施例，應該理解本領域技術人員可以修改在此描述的本實用新型而仍然實現本實用新型的有益效果。因此，下列描述應當被理解為對於本領域技術人員的廣泛知道，而並不作為對本實用新型的限制。為了清楚，不描述實際實施例的全部特徵。在下列描述中，不詳細描述公知的功能和結構，因為它們會使本實用新型由於不必要的細節而混亂。應當認為在任何實際實施例的開發中，必須作出大量實施細節以實現開發者的特定目標，例如按照有關系統或有關商業的限制，由一個實施例改變為另一個實施例。另外，應當認為這種開發工作可能是複雜和耗費時間的，但是對於本領域技術人員來說僅僅是常規工作。為使本實用新型的目的、特徵更明顯易懂，
以下結合附圖對本實用新型的具體實施方式
作進一步的說明。需說明的是，附圖均採用非常簡化的形式且均使用非精準的比率，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。請參閱圖4飛，其中，圖4是本實用新型的晶圓傳輸校準裝置的結構示意圖；圖5是本實用新型的晶圓傳輸校準裝置的光纖分布示意圖；圖6是本實用新型的晶圓傳輸校準裝置的電路示意圖。這種晶圓傳輸校準裝置，包括一與晶圓相同大小的檢測圓盤1、LED顯不板2、電路板3、光電轉換器4、若干光信號發光體5以及若干光纖6, LED顯不板2和光電轉換器4分別與所述電路板3連接，所述光信號發光體5設置於所述檢測圓盤I上由晶圓夾持機構夾持的部位，每種晶圓夾持機構對應一個LED顯示板2，所述光纖6設置於所述檢測圓盤I上，且所述光纖6在所述光信號發光體5位置設有採光口，且所述光纖6分別連接至所述光電轉換器4。所述檢測圓盤I例如是鋼製圓片。所述晶圓夾持機構可以包括機械臂7、晶圓夾持器夾持8、工藝載盤9中的一種或多種。本實施例中，所述晶圓夾持機構包括機械臂7、晶圓夾持器夾持8以及工藝載盤9。所述晶圓夾持機構通過三個或四個卡盤12夾持所述檢測圓盤，即所述晶圓夾持機構具有三個或四用於夾持所述檢測圓盤的卡盤12。請重點參閱圖5，並請結合圖4，點劃線表示的光纖6用於對應機械臂7的夾持部位，也就是說，所述機械臂7有三個用於夾持所述檢測圓盤的卡盤12 ;實線表示的光纖6對應晶圓夾持器8的夾持部位，也就是說，所述機械臂7有四個用於夾持所述檢測圓盤的卡盤12 ;虛線表示的光纖6對應的工藝載盤9的夾持部位，也就是說，所述機械臂7有三個用於夾持所述檢測圓盤的卡盤12。若光信號發光體5被機械臂7和/或晶圓夾持器8和/或工藝載盤9的卡盤12擋住，對應光纖6沒有接收到光信號，從而使得光電轉換器4接收不到光信號，光電轉換器4會將該信息傳輸給電路板3,電路板3會觸動LED顯不板2發出光來,從而告知在外面進行操作的設備工程師檢測圓盤(相當於晶圓)的傳輸位置是正確的；若光纖6不能接收到光信號，使得光電轉換器4接收到光信號，光電轉換器4會將該信息傳輸給電路板3，電路板3會觸使LED顯示板不發光，從而告知在外面進行操作的設備工程師該檢測圓盤(相當於晶圓)的傳輸位置是錯誤的，需要調整。從而，能夠實現對晶圓傳輸的及時、準確校準，保證傳輸準確性，使得機械臂7、晶圓夾持器8和工藝載盤9在對晶圓實現準備傳輸，從而確保工藝的穩定性，提聞廣品良率。優選的，在上述的晶圓傳輸校準裝置中，還包括一控制面板10，如圖4所示，所述LED顯示板2、電路板3以及光電轉換器4集成於所述控制面板10內。將所述LED顯示板
2、電路板3以及光電轉換器4集成在一起，不但可以縮小整體所需的體積，而且可以有效保護內部部件。優選的，在上述的晶圓傳輸校準裝置中，所述控制面板10設置於所述檢測圓盤I的中心部位。從而可以便於光纖6的鋪設，縮短光纖6的傳輸距離。優選的,請重點參閱圖5,並請結合圖4和圖6,在本實施例中,還包括一電源11,所述電源11與所述電路板3連接。通過電源11可以實現對電路板3的供電，不需要電路板3自帶電源。優選的，在上述的晶圓傳輸校準裝置中，所述電源11設置於所述檢測圓盤I內，不但保護電源11，而且可以減少檢測圓盤I的厚度。本實施例中，所述電源11採用3.5V鎳電池。優選的，在上述的晶圓傳輸校準裝置中，所述光電轉換器4為光電耦合器。綜上所述，本實用新型提供的晶圓傳輸校準裝置，包括一與晶圓相同大小的檢測圓盤、LED顯不板、電路板、光電轉換器、若干光信號發光體以及若干光纖，LED顯不板和光電轉換器分別與所述電路板連接，所述光信號發光體設置於所述檢測圓盤上由機械臂和/或晶圓夾持器夾持和/或工藝載盤的位置，所述光纖設置於所述檢測圓盤上，且所述光纖在所述光信號發光體位置設有採光口，且所述光纖分別連接至所述光電轉換器。若光信號發光體由機械臂和/或工藝載盤和/或晶圓夾持器的卡盤擋住，對應光纖沒有接收到光信號，光電轉換器會將該信息傳輸給電路板，電路板會觸動LED顯板發出光來,從而告知在外面進行操作的設備工程師檢測圓盤(相當於晶圓)的傳輸位置是正確的；若光纖不能接收到光信號，使得光電轉換器接收到光信號，光電轉換器會將該信息傳輸給電路板，電路板會觸使LED顯示板不發光，從而告知在外面進行操作的設備工程師該檢測圓盤(相當於晶圓)的傳輸位置是錯誤的，需要調整。從而，能夠實現對晶圓傳輸的及時、準確校準，保證傳輸準確性，使得機械臂、晶圓夾持器和工藝載盤在對晶圓實現準備傳輸，從而確保工藝的穩定性，提聞廣品良率。顯然，本領域的技術人員可以對本實用新型進行各種改動和變型而不脫離本實用新型的精神和範圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬於本實用新型權利要求及其等同技術的範圍之內，則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內。
權利要求1.一種晶圓傳輸校準裝置，其特徵在於，包括一與晶圓相同大小的檢測圓盤、LED顯示板、電路板、光電轉換器、若干光信號發光體以及若干光纖，所述LED顯不板和所述光電轉換器分別與所述電路板連接，所述光信號發光體設置於所述檢測圓盤上由晶圓夾持機構夾持的部位，每種晶圓夾持機構對應一個LED顯示板，所述光纖設置於所述檢測圓盤上，且所述光纖在所述光信號發光體位置設有採光口，且所述光纖分別連接至所述光電轉換器。
2.根據權利要求1所述的晶圓傳輸校準裝置，其特徵在於，還包括一控制面板，所述LED顯示板、電路板以及光電轉換器集成於所述控制面板內。
3.根據權利要求2所述的晶圓傳輸校準裝置，其特徵在於，所述控制面板設置於所述檢測圓盤的中心部位。
4.根據權利要求3所述的晶圓傳輸校準裝置，其特徵在於，還包括一電源，所述電源與所述電路板連接。
5.根據權利要求4所述的晶圓傳輸校準裝置，其特徵在於，所述電源設置於所述檢測圓盤內。
6.根據權利要求1所述的晶圓傳輸校準裝置，其特徵在於，所述晶圓夾持機構包括機械臂、晶圓夾持器夾持、工藝載盤中的一種或多種。
7.根據權利要求1所述的晶圓傳輸校準裝置，其特徵在於，所述晶圓夾持機構通過三個或四個卡盤夾持所述檢測圓盤。
8.根據權利要求1 7中任意一項所述的晶圓傳輸校準裝置，其特徵在於，所述光電轉換器為光電稱合器。
專利摘要本實用新型提供的晶圓傳輸校準裝置，包括一與晶圓相同大小的檢測圓盤、LED顯示板、電路板、光電轉換器、若干光信號發光體以及若干光纖，所述LED顯示板和所述光電轉換器分別與所述電路板連接，所述光信號發光體設置於所述檢測圓盤上由晶圓夾持機構夾持的部位，每種晶圓夾持機構對應一個LED顯示板，所述光纖設置於所述檢測圓盤上，且所述光纖在所述光信號發光體位置設有採光口，且所述光纖分別連接至所述光電轉換器。本實用新型不但使用方便、便捷，而且能夠保證傳輸準確性，使得機械臂、晶圓夾持器和工藝載盤在對晶圓實現準備傳輸，從而確保工藝的穩定性，提高產品良率。
文檔編號H01L21/677GK203055882SQ20122074881
公開日2013年7月10日 申請日期2012年12月31日 優先權日2012年12月31日
發明者許鶡 申請人:中芯國際集成電路製造(北京)有限公司