一種潔淨廠房微振動檢測的方法
2023-06-27 01:51:01
一種潔淨廠房微振動檢測的方法
【專利摘要】本發明公開一種潔淨廠房微振動檢測的方法,包括拾振器,將所述拾振器固定在靜電地板上,然後利用無塵膠帶穿過拾振器的頂面,並在拾振器的兩側通過斜拉的方式與靜電地板粘接,所述拾振器兩側的無塵膠帶與靜電地板之間的傾角不大於60度,所述無塵膠帶的寬度不小於拾振器寬度的五分之一,並且所述無塵膠帶為勻長結構的膠帶。本發明所述的潔淨廠房微振動檢測的方法,可以保證拾振器的穩定性,能提高振動數據的測量精度。
【專利說明】一種潔淨廠房微振動檢測的方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種潔淨廠房微振動檢測的方法,涉及微電子【技術領域】,具體應用於拾振器設備上。
【背景技術】
[0002]拾振器是將振動信號變為化學的、機械的或(最常用的)電學的信號,且所得信號的強度與所檢測的振動量成比例的換能裝置。按檢測量的不同,可以分為加速度計、速度拾振器和位移拾振器等幾種。按能量轉化的原理來分,又有質量彈簧式、壓電式、電動式、電磁式等許多種類。在振動測量中,目前最廣泛應用的是壓電式加速計,因為它具有測量頻段寬、動態範圍大、體積小、重量輕、結構簡單、使用方便等諸多優點。另外,加速計與適當的電路網絡配合,即可給出相應振動的速度和位移值。
[0003]微電子加工技術對潔淨室潔淨環境和振動環境要求越來越高,潔淨度的提高使得室內風速也越來越大。傳統的微振動檢測方法是將拾振器平放在靜電地板上,沒有考慮氣流對拾振器的影響。機械振動檢測時為了固定振動傳感器,採用磁鐵底座將傳感器與被測構件固定。現代潔淨廠房地板都是防靜電的鋁製地板(無法使用磁鐵底座),室內生產環境對振動操作的要求較高(不能採用產生微小顆粒的材料)。無塵膠帶是潔淨室內能用於固定物體的材料之一。
【發明內容】
[0004]潔淨室內精密設備對微振動環境要求很高,為了檢測潔淨室內的振動環境,需要用高精度的伺服式拾振器,這種儀器調平後受室內的氣流影響會造成振動數據不精確,為了解決上述問題,本發明提供一種潔淨廠房微振動檢測的方法。
[0005]本發明的目的是通過以下技術方案來實現:
[0006]一種潔淨廠房微振動檢測的方法,包括拾振器,將所述拾振器固定在靜電地板上,然後利用無塵膠帶穿過拾振器的頂面,並在拾振器的兩側通過斜拉的方式與靜電地板粘接,所述拾振器兩側的無塵膠帶與靜電地板之間的傾角不大於60度,所述無塵膠帶的寬度不小於拾振器寬度的五分之一,並且所述無塵膠帶為勻長結構的膠帶。
[0007]所述拾振器每一側延伸出的無塵膠帶與靜電地板之間的粘接長度不小於拾振器寬度的三分之二。
[0008]所述拾振器的底部設有三個支腳,三個所述支腳呈等腰三角形分布。
[0009]所述無塵膠帶的中心線與三個所述支腳構成的等腰三角形的中心線重合。
[0010]每個所述支腳呈圓柱狀,並且支腳的底部為錐面結構,支腳中部和上部具有減振結構。
[0011]本發明所述的潔淨廠房微振動檢測的方法,可以保證拾振器的穩定性,能提高振動數據的測量精度。【專利附圖】
【附圖說明】
[0012]下面根據附圖和實施例對本發明作進一步詳細說明。
[0013]圖1是本發明實施例所述的拾振器的安裝結構示意圖。
[0014]圖2是本發明實施例所述的拾振器的安裝結構示意圖。
[0015]圖3是圖2中的局部放大示意圖。
【具體實施方式】
[0016]如圖1-3所示,本發明實施例所述的一種潔淨廠房微振動檢測的方法,包括拾振器1,將所述拾振器固定在靜電地板上,然後利用無塵膠帶2穿過拾振器I的頂面,並在拾振器I的兩側通過斜拉的方式與靜電地板3粘接,所述拾振器兩側的無塵膠帶與靜電地板之間的傾角不大於60度,所述無塵膠帶2的寬度不小於拾振器I寬度的五分之一,並且所述無塵膠帶2為勻長結構的膠帶。
[0017]所述拾振器I每一側延伸出的無塵膠帶2與靜電地板之間的粘接長度不小於拾振器I寬度的三分之二。
[0018]所述拾振器I的底部設有三個支腳3,三個所述支腳3呈等腰三角形分布。
[0019]所述無塵膠帶2的中心線與三個所述支腳3構成的等腰三角形的中心線重合。
[0020]每個所述支腳呈圓柱狀,並且支腳的底部為錐面結構,支腳中部和上部具有減振結構。
[0021]本發明所述的潔淨廠房微振動檢測的方法,可以保證拾振器的穩定性,能提高振動數據的測量精度。
【權利要求】
1.一種潔淨廠房微振動檢測的方法,包括拾振器,其特徵在於,將所述拾振器固定在靜電地板上,然後利用無塵膠帶穿過拾振器的頂面,並在拾振器的兩側通過斜拉的方式與靜電地板粘接,所述拾振器兩側的無塵膠帶與靜電地板之間的傾角不大於60度,所述無塵膠帶的寬度不小於拾振器寬度的五分之一,並且所述無塵膠帶為勻長結構的膠帶。
2.如權利要求1所述的一種潔淨廠房微振動檢測的方法,其特徵在於,所述拾振器的底部設有三個支腳,三個所述支腳呈等腰三角形分布。
3.如權利要求1所述的一種潔淨廠房微振動檢測的方法,其特徵在於,所述拾振器每一側延伸出的無塵膠帶與靜電地板之間的粘接長度不小於拾振器寬度的三分之二。
4.如權利要求2所述的一種潔淨廠房微振動檢測的方法,其特徵在於,所述無塵膠帶的中心線與三個所述支腳構成的等腰三角形的中心線重合。
5.如權利要求2所述的一種潔淨廠房微振動檢測的方法,其特徵在於,每個所述支腳呈圓柱狀,並且支腳的底部為錐面結構,支腳中部和上部具有減振結構。
【文檔編號】G01H1/00GK103630228SQ201310018382
【公開日】2014年3月12日 申請日期:2013年1月18日 優先權日:2013年1月18日
【發明者】鄭佳明, 王立, 左中傑 申請人:中電投工程研究檢測評定中心