促動器、泵和光學掃描器的製作方法

2023-06-10 08:40:31 2

專利名稱：促動器、泵和光學掃描器的製作方法
技術領域：
本發明一般而言涉及構造成利用電潤溼驅動或促動裝置的促動 器、和包括這種促動器的泵及光學掃描器。
背景技術：
電潤溼是一種公知現象，其中當電位差施加在由絕緣層覆蓋的電 極和位於該絕緣層的表面上的液滴之間時，微滴相對於絕緣層表面的 潤溼角或接觸角由於在微滴和絕緣層表面之間的界面張力的變化而改 變。近來，基於電潤溼的與液滴行動的這些變化有關的原理已被應用 於促動器。具體地，採用電潤溼的促動器的驅動電力可以比採用馬達
和壓電促動器的促動器的驅動電力更容易地節省。此外，採用電潤溼 的促動器可以具有比採用馬達和壓電促動器的促動器較不複雜的結 構，這可減小促動器的尺寸。
採用電潤溼的公知裝置、例如在日本專利特開No.2005-185090中 描述的裝置將電潤溼施加到驅動裝置(促動器)，當調節照相機鏡頭的焦 點時驅動該驅動裝置(促動器)。該公知裝置包括第一本體和與該第一 本體對置的第二本體，使得第二本體選擇性地移動靠近該第一本體和 遠離該第一本體；以及位於第一本體和第二本體之間的液滴，使得該 液滴接觸第一本體和第二本體。通過電潤溼改變液體相對於微滴接觸 的本體的表面的潤溼角。因此，改變第一本體和第二本體之間的微滴
的高度，以調節在第一本體和第二結構本體之間的距離。
驅動裝置驅動第一本體和第二本體，使得它們選擇性地移動彼此 靠近和彼此遠離。然而，這樣的驅動裝置不可以總是適於驅動量的細 微調節。

發明內容
因此，已出現對於克服現有技術的這些和其它缺點的促動器、泵、 和光學掃描器的需求。本發明的技術優點是促動器可基於通過使驅動 板變形的電潤溼來促動或驅動裝置，以實現促動器的電力消耗和尺寸 的減小。
根據本發明的實施方案，促動器包括基底，該基底包括絕緣表 面；第一電極，該第一電極位於絕緣表面上；和柔性驅動板，該柔性 驅動板與絕緣表面對置。促動器還包括導電液體，該導電液體位於絕 緣表面和柔性驅動板之間，並且導電液體直接或間接地接觸絕緣表面 和柔性驅動表面。此外，促動器包括電位施加裝置，該電位施加裝置 電聯接到第一電極，並構造成將電位施加到第一電極。
根據本發明的實施方案，在促動器中，當電位施加裝置改變施加 到第一電極的電位時，柔性板變形。
根據本發明的實施方案，在促動器中，當電位施加裝置改變施加 到第一電極的電位時，導電液體相對於絕緣表面的潤溼角和導電液體 相對於絕緣表面的高度改變，這使得柔性驅動板變形，從而改變在柔 性驅動板和絕緣表面之間的距離。通過改變導電液體的高度，柔性驅 動板可在接觸導電液體的位置處變形。
根據本發明的實施方案，在促動器中，可利用電潤溼現象通過改 變導電液體的高度使柔性驅動板變形。採用這樣的結構，可進行促動 器驅動量的精細或細微調節。與已知的促動器例如壓電促動器和小尺
寸馬達相比可減少電力消耗。通過在基底和柔性驅動板之間設置導電 液體、以及設置用於在導電液體和基底的表面之間施加電位差的第一 電極，可以以不複雜的結構使柔性驅動板變形。因此，可減小促動器 的尺寸。
根據本發明的實施方案，促動器可包括位於基底的絕緣表面上以 覆蓋第一電極的絕緣層。導電液體可接觸絕緣層和柔性驅動板。採用 這樣的結構，當電位差施加在設置於絕緣層的表面上的導電液體和由 絕緣層覆蓋的第一電極之間時，可改變導電液體相對於絕緣層的潤溼 角。因此，通過在導電液體和第一電極之間介入絕緣層，與沒有設置 絕緣層的情形相比，可顯著地改變導電液體相對於基底的潤溼角。
根據本發明的實施方案，促動器可包括位於柔性驅動板的與絕緣 表面面對的表面上的第二電極，其中該第二電極持續地接觸導電液體， 並維持在恆定電位。採用這樣的結構，接觸第二電極的導電液體可大 致保持在恆定電位，從而可以使在液滴和第一 電極之間的電位差穩定。 因此，可保證促動器的可靠操作。
根據本發明的實施方案，促動器可包括與第一電極相鄰地位於絕 緣表面上的親液區域。導電液體相對於該親液區域的潤溼角可等於或 小於導電液體相對於絕緣表面的與第一電極對應的區域的潤溼角。採 用這樣的結構，不管施加到第一電極的電位如何，導電液體都可穩定 地停留在親液區域上。因此，可防止當施加到第一電極的電位變化時 可能出現的導電液體的不穩定行為。
根據本發明的實施方案，在促動器中，第一電極可以是環形的且 無間斷。親液區域可位於第一電極內側。當設置第一電極的區域的抗 液性大(即，導電液體相對於該區域的潤溼角大)時，導電液體可停留在 設置於第一電極內側的親液區域上。當降低設置第一電極的區域的抗 液性(潤溼角變小)時，導電液體可在該區域上從親液區域起擴散。採用
這樣的結構，可防止由於當施加到第一電極的電位變化時可能出現的 導電液體的不穩定行為所引起的導電液體離開第一電極的運動。因此， 可使促動器的操作穩定。
根據本發明的實施方案，在促動器中，第一電極可包括位於絕緣 表面上的多個第一電極。採用多個第一電極，可進一步增大柔性驅動 板的變形量。可細微地調節柔性驅動板的變形位置或變形量。
根據本發明的實施方案，在促動器中，可以與位於絕緣表面和柔 性驅動板之間的第一電極中的每個第一電極對應地設置導電液體。電 位施加裝置可同時對第一電極施加相同的電位。採用這樣的結構，相 同的電位可施加到第一電極，以同時將導電液體中的每個導電液體的 高度改變成大致相同的高度。因此，可增大柔性驅動板的總變形量。 當改變一個微滴的高度時由該一個微滴的表面張力施加到柔性驅動板 的力與導電液體的周長成比例。在本發明中，第一電極可被分成多個， 並且可與多個第一電極對應地設置多個導電液體。因此，可增加導電 液體的總周長(例如，導電液體的周長的和)。因此，與電位施加到具有 大面積的一個第一電極並改變對應的一個大導電液體的高度的情形相 比，可增大由導電液體施加到柔性驅動板的力。因此，可增大柔性驅 動板的變形量。
根據本發明的實施方案，在促動器中，電位施加裝置可將電位施 加到第一電極中的一部分，該電位與施加到其它第一電極的電位不同。 採用這樣的結構，通過改變被電位施加裝置施加使柔性驅動板變形的 電位的第一電極(例如，第一電極的位置)或第一電極的數量，可調節使 柔性驅動板接觸導電液體的柔性驅動板的變形位置、或柔性驅動板的 變形量。
根據本發明的實施方案，在促動器中，電位施加裝置可順序地改 變施加到第一電極的電位，以使導電液體沿著絕緣表面移動。採用這200710153296.0
說明書第5/24頁
樣的結構，導電液體可沿著絕緣表面移動，以改變使柔性驅動板接觸 導電液體的柔性驅動板的變形位置。
根據本發明的實施方案，在促動器中，電位施加裝置可改變被同 時施加相同電位的第一電極的數量，以改變導電液體的高度。採用這 樣的結構，可調節柔性驅動板的變形量。
根據本發明的另一實施方案，泵包括流體室，該流體室構造成 在其中存儲流體；和泵體，該泵體具有穿過泵體形成的入口和出口。 入口和出口中的每一個構造成與流體室流體連通。泵還包括構造成改
變流體室的容量的促動器。促動器包括基底，該基底包括絕緣表面； 第一電極，該第一電極位於絕緣表面上；和柔性驅動板，該柔性驅動 板與絕緣表面對置。促動器還包括導電液體，該導電液體位於絕緣 表面和柔性驅動板之間，並且該導電液體直接或間接地接觸絕緣表面 和柔性驅動表面。此外，促動器包括電位施加裝置，該電位施加裝置 電聯接到第一電極，並構造成將電位施加到第一電極。
根據本發明的實施方案，在泵中，可通過改變由電位施加裝置施 加到第一電極的電位來改變導電液體相對於絕緣表面的潤溼角，以改 變設置於基底和柔性驅動板之間的導電液體的高度。當改變導電液體 的高度時，被部分地固定到基底上的柔性驅動板可在接觸導電液體的 位置處變形。通過柔性驅動板的變形，可改變流體室的容量。通過改 變流體室中流體的壓力，流體可經由入口進入到流體室中或可經由出 口從流體室排出。
根據本發明的實施方案，在泵中，閥構造成基於流體室中流體的 壓力選擇性地打開或關閉入口和出口。採用這樣的結構，當流體室中 的壓力降低時，在防止流體從出口回流(例如，進入)的同時，入口可打 開以使流體流入流體室。當流體室中的壓力增大時，在防止流體從入 口回流(例如，流出)的同時，出口可打開以使流體從流體室排出。因此,
從入口流出的流體可被有效地從出口排出。
根據本發明的又一實施方案，光學掃描器包括光反射部和構造成 改變該光反射部的傾斜角的促動器。促動器包括基底，該基底包括 絕緣表面；第一電極，該第一電極位於絕緣表面上；和柔性驅動板， 該柔性驅動板與絕緣表面對置。促動器還包括位於絕緣表面和柔性驅 動板之間的導電液體，並且導電液體直接或間接地接觸絕緣表面和柔 性驅動表面。此外，促動器包括電位施加裝置，該電位施加裝置電聯 接到第一電極，並構造成將電位施加到第一電極。
根據本發明的實施方案，在光學掃描器中，可通過改變由電位施 加裝置施加到第一電極的電位來改變導電液體相對於絕緣表面的潤溼 角，以改變導電液體的高度。當改變導電液體的高度時，部分地固定 到基底上的柔性驅動板可在接觸導電液體的位置處變形。通過柔性驅 動板的變形，可改變固定在柔性驅動板的一端上的光反射部的傾斜。 因此，可改變入射光的偏轉方向(反射方向)。
根據本發明的實施方案，在光學掃描器中，第一電極可包括位於 絕緣表面上的多個第一電極。採用這樣的結構，可作出對柔性驅動板 的變形量或變形位置的精細或細微調節。
根據本發明的實施方案，在光學掃描器中，電位施加裝置可順序 地改變施加到第一電極的電位，以使導電液體沿著絕緣表面移動。採 用這樣的結構，導電液體可沿著第一電極的布置方向移動，以改變柔 性驅動板的變形位置。因此，可作出對光反射部的傾斜的精細或細微 調節。
根據本發明的實施方案，在光學掃描器中，電位施加裝置可改變 被同時施加相同電位的第一電極的數量，以改變導電液體的高度。採 用這樣的結構，電位施加裝置可改變被同時施加相同電位的第一電極
的數量，以改變柔性驅動板的變形量或撓曲量。因此，可作出對光反 射部的傾斜的精細或細微調節。
從本發明的以下詳細說明和附圖，本領域的技術人員將顯而易見 其它目的、特徵、和優點。


為了更完整的理解本發明、由此滿足的需求、和本發明的目的、 特徵及優點，現在結合附圖參考以下說明。
圖1是根據本發明說明性實施方案的噴墨印表機的示意圖。
圖2是圖1的噴墨印表機的泵的垂直剖視圖，其中沒有啟動該泵。 圖3是圖2的泵的沿A-A線的水平剖視圖。 圖4是圖2的泵在泵抽吸空氣時的垂直剖視圖。 圖5是圖2的泵在泵排出空氣時的垂直剖視圖。 圖6是圖1的噴墨印表機的電構造的方框圖。 圖7是根據本發明另一實施方案的泵的垂直剖視圖。 圖S是圖7的泵的沿B-B線的水平剖視圖。 圖9是根據本發明又一實施方案的泵的水平剖視圖。 圖IOA是根據本發明實施方案、處於第一狀態的光學掃描器的垂 直剖視圖。
圖IOB是圖IOA的光學掃描器的沿C-C線的水平剖視圖。
圖IIA是圖IOA的光學掃描器的垂直剖視圖，示出液滴的高度從
圖IOA所示高度減小。
圖IIB是圖IIA的光學掃描器的沿D-D線的水平剖視圖。
圖12A是圖IOA的光學掃描器在第二狀態下的垂直剖視圖。
圖12B是圖12A的光學掃描器的沿E-E線的水平剖視圖。
圖13A是圖IOA的光學掃描器的垂直剖視圖，示出微滴從圖12A
所示的狀態移動到端部。
圖13B是圖13A的光學掃描器的沿F-F線的水平剖視圖。
具體實施例方式
通過參考圖l-13A可理解本發明的實施方案和這些實施方案的特
徵及技術優點，在各個附圖中相似的附圖標記用於相似的對應部分。
參考圖1，描繪了根據本發明實施方案的噴墨印表機100。噴墨打 印機l可包括泵6、例如空氣泵；和滑架2，該滑架2構造成在掃描 方向上往復運動。噴墨印表機1還可包括列印頭1，例如串行列印頭， 該列印頭1安裝在滑架2上，並構造成將噴射到記錄片材P上；和饋 送輥3，該饋送輥3構造成沿由圖1中朝前指示箭頭表示的片材饋送方
向饋送記錄片材p。
列印頭1可經由管5連接到墨盒4,該墨盒4構造成在其中存儲 墨。墨盒4可位於列印頭1上方。墨可以從墨盒4供應到列印頭1。打 印頭1連同滑架2 —起沿掃描方向移動，以通過從位於列印頭1下側 的噴嘴噴射墨而在片材P上形成圖像。形成有圖像的片材P由饋送輥3 沿供片材方向饋送，以從噴墨印表機100排出片材P。
泵6可經由管7連接到墨盒4的進氣部。當噴墨印表機100不在 從列印頭1的噴嘴噴射墨時，泵6可用來將墨盒4中的內部壓力調節 到小於大氣壓力，使得墨不可能由於列印頭1和墨盒4之間的高度差 而從噴嘴洩漏。
參考圖2-6，泵6可在其中限定有空氣室14，並且可包括泵體 10，該泵體IO具有構造成與空氣室14流體連通的入口 15和出口 16; 和促動器11，該促動器11構造成選擇性地改變空氣室14的容量。
泵體IO可包括圓形底板12和連接到底板12的上表面上的底圓柱 形殼構件13。殼構件13包圍底板12上方的空間。底板12和殼構件 13的內部在其中限定空氣室14。殼構件13的上壁具有貫穿該上壁的 入口 15和出口 16。管7連接到入口 15，而空氣室14構造成經由管7
與存儲墨的墨盒4的內部空間流體連通。出口16對外部打開，而空氣 室14構造成經由出口 16與空氣流體連通。
底板12和殼構件13可包括合成樹脂材料例如聚醯亞胺、矽酮、 和/或金屬。多個驅動電極20可位於底板12的上表面上，並且至少底 板12的上表面可包括構造成隔離驅動電極20的絕緣表面。當底板12 整體地由絕緣材料形成時，可能不需要特殊的表面處理。然而，如果 底板12不是由絕緣材料形成，則可能理想的是將底板12的上表面處 理成具有絕緣性能。例如，當底板12包括矽酮時，矽氧化膜可形成在 底板12的上表面上。當底板12包括金屬時，包括絕緣材料的薄膜可 形成在底板12的上表面上。
入口閥構件17可在殼構件13的上壁上位於入口 15附近，並且可 構造成沿垂直方向移動。入口閥構件17構造成基於空氣室14中壓力 的變化來選擇性地打開和關閉入口 15。當入口閥構件17接觸位於殼構 件13的上壁的下表面處的閥座13a時，入口閥構件17從殼構件13的 內側關閉入口 15。入口閥構件17可被推壓件(未示出)沿關閉入口 15 的方向向上偏壓。
出口閥構件18可在殼構件13的上壁上位於出口 16附近，並且可 構造成沿垂直方向移動。出口閥構件18構造成基於空氣室14中壓力 的變化來選擇性地打開和關閉出口 16。當出口閥構件18接觸位於殼構 件13的上壁的上表面處的閥座13b時，出口閥構件17從殼構件13的 外側關閉出口 16。出口閥構件18可被推壓件(未示出)沿關閉出口 16 的方向向下偏壓。
當空氣室14的容量通過促動器11的啟動而增加、並且空氣室14 中的內部壓力降低時，入口閥構件17由於在空氣室14和墨盒之間的 壓力差而克服推壓件的推壓力離開閥座13a向下移動，使得入口 15打 開。當空氣室14的容量減小並且空氣室14中的內部壓力增大時，出
口閥構件18由於在空氣室14和空氣之間的壓力差而克服推壓件的推 壓力離開閥座13b向上移動，使得出口16打開。
促動器ll可包括泵體10的作為基底的底板12;多個驅動電極 20，所述多個驅動電極20位於底板12的上表面上；絕緣層21,該絕 緣層21位於底板12的上表面上以便覆蓋驅動電極20;驅動板22，該 驅動板22位於距絕緣層21—定距離處；導電液滴23，這些導電液滴 23位於絕緣層21和驅動板22之間；和驅動器IC24，該驅動器IC24 構造成將電位施加到驅動電極20。
如圖3所示，每個驅動電極20可具有無縫圓形形狀。驅動電極 20可以在底板12的上表面上定位成使得相鄰驅動電極20的中心之間 的距離大致相同。例如，六個驅動電極20可位於一個驅動電極20周 圍，然而，本領域的技術人員將容易理解的是可使用任何數量的驅動 電極20。驅動電極20可通過絲網印刷或濺射設置在底板12的上表面 上。
驅動電極20可連接到驅動器IC24，並且可通過驅動器IC24將驅 動電位或地電位施加到驅動電極20上。除了位於驅動電極20內側的 圓形區域25以外，絕緣層21覆蓋底板12的上表面。底板12的上表 面從圓形區域25暴露。接觸絕緣層21的液滴23相對於絕緣層21的 表面的潤溼角0可大於接觸底板12的上表面的微滴23相對於底板12 的上表面的潤溼角0，例如，絕緣層21可以比圓形區域25疏液，並且 可具有比圓形區域25大的抗液性。
當驅動電位通過驅動器IC24施加到驅動電極20時，微滴23相對 於絕緣層21的與驅動電極20對應的區域的潤溼角0由於電潤溼而減 小。此時，絕緣層21的抗液性降低到與底板12的上表面的抗液性大 致相同的水平。
絕緣層21可包括合成樹脂材料，該合成樹脂材料包括氟基樹脂，
例如PTFE(聚四氟乙烯)。絕緣層21可以是具有比底板12的上表面大 的抗液性的薄層。絕緣層21可通過如下方式形成通過例如旋塗將合 成樹脂材料的薄膜完全塗敷到底板12的上表面上，然後通過雷射加工 從驅動電極20內側的區域去除該薄膜。
驅動板22可具有盤形形狀，該盤形形狀具有與底板12大致相同 的面積。驅動板22可包括合成樹脂材料，例如聚醯亞胺。驅動板22 的下表面面對形成在底板12的上表面上的絕緣層21。驅動板22的外 周可固定到殼構件13的周壁上。泵體10中的空氣室14的下端可由驅 動板22的上表面限定。驅動板22可具有公共電極26，該公共電極26 大致完全位於驅動板22的與底板12的上表面面對的下表面上。公共 電極26可連接到驅動器IC24，並且可維持在地電位。
導電微滴23可位於與驅動電極20對應的位置中。微滴23可接觸 驅動板22的下表面和底板12的絕緣表面，並且可位於底板12和驅動 板22之間。微滴23可維持與公共電極26接觸，使得微滴23可經由 公共電極26維持在地電位。
導電微滴23可包括水、水-甘油-鹽混合物或基本上只包含離子的 離子液體(環境溫度熔鹽)。離子液體通常是非揮發性的，並且即使當它 暴露於空氣相當大的時間量時也不會容易地蒸發。
驅動電極20內側的圓形區域25可不由絕緣層21覆蓋，並且底板 12的上表面可從圓形區域25暴露。微滴23相對於圓形區域25的潤溼 角0可小於微滴23相對於周圍的絕緣層21的潤溼角。通過對驅動電 極20施加驅動電位所引起的在驅動電極20和微滴23之間的電位差， 降低覆蓋驅動電極20的絕緣層21的抗液性，使得微滴23相對於絕緣 層21的與驅動電極20對應的區域的潤溼角0變成與微滴23的相對於 圓形區域25的潤溼角0大致相同。
微滴23相對於圓形區域25的潤溼角0可小於或等於微滴23相對 於絕緣層21的與驅動電極20相對應的區域的潤溼角^，而不管驅動電 位是否施加到驅動電極20。圓形區域25可以是微滴23能夠穩定停留 的親液區域，使得微滴23可停留在驅動電極20內側的對應圓形區域 25處。
當控制器8確定需要驅動泵6時，驅動器IC24基於從噴墨印表機 100的控制器8輸入的控制信號將驅動電位或地電位施加到驅動電極 20。施加到驅動電極20的電位的變化改變微滴23相對於絕緣層21的 潤溼角0,使得可改變微滴23的高度。驅動器IC24可使公共電極26 維持在地電位。
附圖中的符號"+ "表示驅動電位被施加到驅動電極20，而附圖 中的字母"GND"表示驅動電極20維持在地電位。
當驅動器IC24將與地電位不同的驅動電位施加到驅動電極20時， 電位差施加在微滴23之間，並且基於電位差改變在微滴23和絕緣層 21之間的界面張力。當電位差增大時，微滴23相對於絕緣層21的潤 溼角0由於電潤溼而減小。
通過在兩個不同電位之間、例如在驅動電位和地電位之間切換施 加到驅動電極20的電位，可容易地改變絕緣層21的表面的抗液性， 即微滴23的潤溼角0。通過驅動器IC24施加到驅動電極20的兩個不 同電位中的一個電位可以是地電位，從而可採用單個電源。因此，可 簡化驅動器IC24的結構。
施加到驅動電極20的驅動電位可以是將絕緣層21的抗液性降低 到與親液圓形區域25相同水平的電位。因此，驅動電位可以是比地電 位大的正電位或比地電位小的負電位。
當絕緣層21的與驅動電極20相對應的區域的抗液性降低到與圓 形區域25的抗液性相同的水平時，位於圓形區域25上的微滴23可在 絕緣層21的與驅動電極20對應的區域上擴散開，如圖4所示。因此， 微滴23接觸底板12的上表面的面積可增大，並且微滴23的高度可減 小。當微滴23的高度減小時，將微滴23的表面張力向下施加到位於 微滴23和驅動板22之間的接觸部分，使得該接觸部分可向下移動。 因此，驅動板22凹入地變形，這增大了空氣室14的容量。
當施加到驅動電極20的電位從驅動電位改變到地電位時，沒有電 位差施加在驅動電極20和微滴23之間，使得覆蓋驅動電極20的絕緣 層21的抗液性返回到它的初始狀態並變得大於圓形區域25的抗液性。 因此，在絕緣層21的與驅動電極20相對應的區域上擴散開的微滴23 停留在圓形區域25的內部，如圖5所示，以便減小在微滴23和底板 12的上表面之間的接觸面積。因此，微滴23的高度增加，並且在驅動 板22和微滴23之間的接觸部向上變形，以將驅動板22放回到水平狀 態並減小空氣室14的容量。
為了增大空氣室14的容量，驅動電位可同時施加到所有驅動電極 20。為了減小空氣室14的容量，地電位可同時施加到所有驅動電極20。 因此，可選擇性地減小或增大所有微滴23的高度。在微滴23和驅動 板22之間的所有接觸部可同時向下或向上變形。因此，在驅動電位維 持相對低的同時，可增大驅動板22的變形程度，即空氣室14的容量 的變化。
即使當位於底板12的上表面上的驅動電極20的數量為一個驅動 電極、並且微滴23的數量為一個微滴時，通過充分地增大驅動電極20 的面積、並充分地增大與驅動電極20對應的微滴23的體積從而足以 從下方支撐驅動板22，驅動板22也可隨著一個微滴23的髙度的變化 而變形。由於微滴23的表面張力而施加到位於驅動板22和微滴23之
間的接觸部上的力與接觸部的周長成比例。因此，當位於底板12的上 表面上的驅動電極20被分成多個驅動電極、並且多個微滴23定位成 與驅動電極20相對應時，如圖3所示，與當一個微滴23定位成與一 個驅動電極20相對應時相比，可增大接觸驅動板22的微滴23的總周 長。因此，在驅動電位維持相對低的同時，從多個微滴23施加到驅動 板22的力可儘可能地增大以使驅動板22變形。
親液圓形區域25可與驅動電極20相鄰地定位，在該親液圓形區 域25處，微滴23的潤溼角0隨著施加到驅動電極20的電位的變化而 變化。因此，例如當電位變化時，微滴23不可以自由地在底板12的 上表面上移動離開對應的驅動電極20的區域。因此，可使微滴23的 行動穩定。此外，具有無切口或間斷的環形形狀的親液圓形區域25可 位於驅動電極20內側。因此，與一個驅動電極20相對應的微滴23不 可以移動到與相鄰的其它驅動電極20相對應的區域。因此，可維持促 動器11的穩定操作。
微滴23可接觸位於驅動板22的下表面上的公共電極26。微滴23 可與公共電極26—起維持在地電位。因此，可防止可歸因於施加到微 滴23的電位的波動的在微滴23和驅動電極20之間的電位差的波動。 因此，可以可靠地啟動促動器11。
控制器8可控制噴墨印表機100的各種操作，例如從列印頭1噴 墨、通過饋送輥3供應片材、和通過泵6進行的背壓調節。控制器8 可包括CPU(中央處理單元)、構造成存儲用於控制印表機IOO的程序及 數據的ROM(只讀存儲器)、和構造成臨時存儲用於由CPU處理的數據 的RAM(隨機存取存儲器)。
控制器8控制列印頭1和構造成驅動饋送輥3的饋送馬達30，以 基於從數據輸入裝置200例如個人電腦輸入的圖像數據在片材P上形 成圖像。為了防止當不執行列印時由於施加到墨通道的背壓而引起墨
從列印頭1的噴嘴洩漏，控制器8控制泵6的促動器11，以利用泵6 排出墨盒4中的空氣。因此，可降低墨盒4的內部壓力。
當控制器8不對驅動器IC24輸出用於驅動泵6的控制信號時，驅 動器IC24可將所有驅動電極20維持在地電位，如圖2和3所示。因 為沒有電位差施加在微滴23和對應的驅動電極20之間，所以絕緣層 21的抗液性可大於圓形區域25的抗液性。每個微滴23位於對應的圓 形區域25上。在該狀態下，驅動板22是大致水平的且平行於底板12 的上表面。入口閥構件和出口閥構件17和18通過推壓件被分別壓靠 在閥座13a和13b上，並關閉入口 15和出口 16。
當控制器8確定應降低墨盒4的內部壓力(墨通道的背壓)時，控制 器8對泵6的促動器11的驅動器IC24輸出用於驅動泵6的控制信號。
例如當新墨盒4安裝在印表機100中時，或者在從泵6的上次操 作起預定時間量流逝之後，由於空氣從入口 15或出口 16進入而預期 墨盒4的內部壓力增大時，控制器8可確定應降低墨盒4的內部壓力。 控制器8可構造成基於來自可位於印表機100中以檢測墨盒4的內部 壓力的檢測裝置的輸出來確定是否應驅動泵6。
當控制器8對驅動器IC24輸出控制信號時，驅動器IC24將驅動 電位同時施加到所有驅動電極20,如圖4所示。然後，同時降低在與 驅動電極20相對應的所有區域處的絕緣層21的抗液性。結果，與驅 動電極20相對應地設置的微滴23減小它們的高度。因此，向下的力 從微滴23施加到位於微滴23和驅動板22之間的接觸部，以使驅動板 22凹入地變形。
此時，空氣室14的容量增加了驅動板22變形的量，使得空氣室 14中的壓力降低。因此，由於在空氣室14和墨盒4之間的壓力差，所 以入口閥構件17克服推壓件的推壓力離開閥座13a向下移動以打開入
口 15。因此，墨盒4中的空氣通過入口 15流入空氣室14中。大氣壓 力大於空氣室14的內部壓力，使得出口 16被出口閥構件18關閉。因 此，可防止空氣經過出口 16進入(回流)。
在從對所有驅動電極20施加驅動電位起預定量的時間流逝之後， 驅動器IC24可將被施加到所有驅動電極20的電位改變成地電位，如 圖5所示。然後，絕緣層21的與驅動電極20相對應的所有區域具有 比圓形區域25的抗液性大的抗液性。因此，與驅動電極20相對應的 微滴23從與驅動電極20相對應的區域返回到圓形區域25並增加它們 的高度。因此，向上的力從微滴23施加到在微滴23和驅動板22之間 的接觸部，以將驅動板22放置在初始的水平狀態。
此時，空氣室14的容量被恢復(減小)，並且空氣室14中的壓力增 加。因此，由於在空氣室14和大氣壓力之間的壓力差，所以出口閥構 件18克服推壓件的推壓力離開閥座13b向上移動以打開出口 16。因此， 空氣室14中的空氣通過出口 16被排出到外部。空氣室14的內部壓力 大於墨盒4的內部壓力，使得入口 15被入口閥構件17關閉。因此， 可防止空氣通過入口 15流動(回流)到墨盒4。
採用泵6的上述操作，墨盒4中的空氣通過空氣室14被排出到外 部，使得墨盒4的內部壓力減小。泵6根據從控制器8到驅動器IC24 的控制信號的輸入的操作可被執行若干次。泵6的操作次數可預先確 定，或者可基於墨盒4的內部壓力由控制器8設定成合適的次數。
現在將說明根據本發明的實施方案的泵6的實例。在一個實例中， 泵體10和促動器11的規格如下
空氣室內徑；20mm，高度；3mm 驅動板材料；聚醯亞胺，厚度5(Him
驅動電極內徑(圓形區域的外徑)；0.3mm,外徑；0.5mm;電極 的數量800 驅動板和絕緣層之間的距離0.15mm 微滴的表面張力45mN/m
在泵6中，當位於圓形區域25上的微滴23在絕緣層21的與驅動 電極20相對應的區域上擴散開時，微滴23的直徑可從0.3mm改變至 0.5mm。此時，微滴23的高度可從0.15mm改變至0.05mm。驅動板22 可變形大約O.lmm。驅動板22的單次變形可使空氣室14的容量增加 大約30mm3 。
擴散的微滴23的總周長通過0.5xl(TS(微滴的直徑)x7rx80O(電極的 數量)-1.2mm獲得。因此，從微滴23施加到驅動板22的力通過1.2m(擴 散的微滴周長的和)x45mN/m(微滴的表面張力^5.4xl(^N獲得。因此， 出現在空氣室14中的壓力是5."10—2/((10xl0—3)2XT)=170Pa。因此，泵 6的單次操作可造成近似17mmH20的細微壓力變化。
採用本發明的該實施方案的泵6,通過利用電潤溼改變微滴23相 對於絕緣層21的潤溼角夂可使驅動板22隨著微滴高度的變化而變形。 驅動板22的該細微變形使得空氣室14中的細微壓力變化成為可能。 因此，可對噴墨印表機100的墨通道中的背壓作細微調節。
利用電潤溼使驅動板22變形。因此，與公知的壓電促動器相比較 可減少電力消耗。此外，可通過例如設置位於底板12和驅動板22之 間的微滴23、以及位於微滴23和底板12的上表面之間的驅動電極20 來以較不複雜的結構使驅動板22變形。該較不複雜的結構可導致促動 器ll的尺寸減小，繼而導致泵6的尺寸減小。底板12和驅動板22不 彼此直接接觸，使得可減少或大致消除由驅動泵6所引起的噪音。
參考圖7-9，說明了根據本發明其它實施方案的泵6A和6B。泵 6A和6B可類似於泵6。因此，關於泵6A和6B僅討論泵6A及6B與 泵6之間的差異。
參考圖7和8，在泵6A中，圓形電極40可位於驅動電極20內部 的圓形區域25上。驅動電極20和圓形電極40可覆蓋有絕緣層21。等 於驅動電位的電位可持續地通過驅動器IC24施加到圓形電極40。這使 得微滴23相對於絕緣層21的潤溼角0能夠在對應的圓形區域25處連 續地減小。此外，圓形區域25可變成親液的，使得微滴23可位於對 應的圓形區域25上。
與施加到驅動電極20的電位相反的電位可通過驅動器IC24施加 到圓形電極40。更具體地說，當地電位被施加到驅動電極20時，該驅 動電位可被施加到圓形電極40。此時，微滴23可僅位於對應的圓形區 域25上，並且微滴23可相對較高。當該驅動電位被施加到驅動電極 20時，地電位可被施加到圓形電極40。此時，微滴23可僅位於對應 的驅動電極20上。如果環形驅動電極20的面積大於圓形電極40的面 積，則微滴23接觸絕緣層21的面積增大，使得微滴23的高度可減小。 因此，驅動板22可隨著微滴23高度的變化而變形。
參考圖9，在本發明的另一實施方案中，泵6B可包括促動器IIB， 並且驅動電極20B可具有正方形形狀，且可在相鄰驅動電極20B之間 等距離的情況下沿兩個彼此垂直的方向設置在底板12的上表面上。在 該實施方案中，驅動器IC24可選擇性地將驅動電位或地電位施加到驅 動電極20B中的每個驅動電極20B。覆蓋驅動電極20B的絕緣層21可 設置在底板12的上表面的全部區域上。微滴23例如五個微滴接觸絕 緣層21的表面。
相對於一個微滴23而言通過驅動器IC24被施加相同電位的驅動 電極20B的數量可基於從控制器8輸出的控制信號改變。更具體地說, 相對於一個微滴23而言，驅動器IC24可將驅動電位施加到彼此相鄰 的四個驅動電極20B，如圖9中的交叉陰影線所指示。相對於一個微滴 23而言被施加驅動電位的驅動電極20B的數量可以是任何數量的驅動
電極20B。因此，可改變微滴23將液體施加到絕緣層21的面積。採用 這樣的結構，可逐漸地或細微地改變微滴23的高度，使得可微調驅動 板22的變形程度即空氣室14的容量的變化。
此外，從驅動器IC24施加到驅動電極20的電位不局限於兩個電 位。當使用三個或更多的電位時，可以以三個或更多步驟改變微滴23 相對於絕緣層21的與驅動電極20相對應的區域的潤溼角0。
另外，微滴23可直接接觸對應的驅動電極20而無需設置絕緣層 21。當不設置絕緣層21時，對驅動電極20施加驅動電位可造成電潤 溼，從而減小微滴23相對於驅動電極2O的表面的潤溼角0。因此，驅 動板22仍然可以隨著微滴高度的變化而變形。
參考圖IOA和IOB，光學掃描器50可包括光反射部51,該光 反射部51構造成反射入射光；和促動器52，該促動器52構造成改變 光反射部51的傾斜角。可改變光反射部51的傾斜角，以便改變入射 光的反射方向並沿預定方向偏轉光。
促動器52還可包括基底55，該基底55可至少在其上表面上絕 緣；多個驅動電極60，所述多個驅動電極60位於基底55的上表面上； 絕緣層61，該絕緣層61位於基底55的上表面上以覆蓋驅動電極60; 驅動板62，該驅動板62與絕緣層61對置且分離；導電液滴63，該導 電液滴63位於絕緣層61和驅動板62之間；和電位施加裝置例如驅動 器IC64,該電位施加裝置構造成將電位施加到驅動電極60。
基底55可以是矩形板件。基底55可包括合成樹脂材料例如聚醯 亞胺、矽酮、或金屬。驅動電極60可定位在基底55的上表面上，使 得基底55的上表面應該是絕緣表面或者應該被處理成具有絕緣性能。
至少一個驅動電極例如多個驅動電極60例如八個驅動電極可具
有矩形形狀，並且可沿絕緣基底55的縱向方向定位在該絕緣基底55 的上表面的端部上。驅動電極60可沿著基底55的縱向方向等間距地 定位。布線圖案可從每個驅動電極60畫到基底55的下表面，並且驅 動電極60可經由布線圖案連接到驅動器IC64。絕緣層61可位於基底 55的上表面上以覆蓋驅動電極60，並且絕緣層61可包括包含氟基樹 脂的合成樹脂材料。
驅動板62可以是具有與基底55大致相同的平面形狀的矩形板件。 光反射部51可構造成反射從上方入射的光，並且可連接到驅動板62 的上表面的自由端。驅動板62的與它的自由端相反的基端可固定到支 撐構件65上，該支撐構件65連接到基底55的上表面上。驅動板62 可經由支撐構件65固定到基底55上，並且可與絕緣層61對置。驅動 板62可包括一種材料，該材料足夠柔性以允許驅動板62變形，但足 夠剛性以允許驅動板62容易並迅速地改變光反射部51的傾斜角。例 如，驅動板62可包括矽酮。
導電微滴63可位於絕緣層61和驅動板62之間。公共電極(未示 出)可位於驅動板62的下表面上。微滴63可經由公共電極維持在地電 位。
基於從控制光學掃描器50的掃描器控制器70輸出的控制信號， 驅動器IC64將驅動電位或地電位施加到驅動電極60。
當改變施加到驅動電極60的電位時，可改變微滴63相對於絕緣 層61的潤溼角0。絕緣層61的抗液性的變化可使得微滴63的高度改 變，或可使得微滴63在絕緣層61上移動，這可使得驅動板63變形。 此外，驅動板62在它的自由端處的運動可改變連接到驅動板62的端 部的光反射部51的傾斜角。因此，可改變入射光的其中光被光反射部 51的表面反射的反射方向。
掃描器控制器70可包括CPU(中央處理單元)、構造成存儲用於控 制光學掃描器50的程序及數據的ROM(只讀存儲器)、和構造成臨時存 儲用於由CPU處理的數據的RAM(隨機存取存儲器)。掃描器控制器70 可調節光反射部51的傾斜角，以在控制促動器52的驅動器IC64的同 時沿預定偏轉方向反射入射光。
當期望改變入射光的偏轉方向時，掃描器控制器70對驅動器IC64 輸出控制信號，以改變施加到所述多個驅動電極60中的一部分的電位。
例如，掃描器控制器70可控制驅動器IC64以改變被施加驅動電 位的驅動電極60的數量。當改變微滴63的高度時，驅動板62的自由 端可移動，因此可改變入射光的反射方向。
例如，在圖IOA和10B中，驅動電位可被施加到兩個驅動電極60， 如圖IOB中陰影所示，所述兩個驅動電極60大致位於布置成排的驅動 電極60的中間，並且地電位可被施加到其它驅動電極60。絕緣層61 的抗液性可在與被施加驅動電位的兩個驅動電極60相對應的區域處局 部地降低。因此，在與所述兩個驅動電極60相對應的區域處，微滴63 在絕緣層61上擴散。此時，驅動板62可以是大致水平的且平行於基 底55的上表面。因此，當光從上方朝光反射部51入射時，光被向上 反射。
如圖IIA所示，當驅動電位還被施加到與大致位於中間的兩個驅 動電極60相鄰的驅動電極60時，絕緣層61的抗液性降低的區域可朝 著所述相鄰的電極中的每個電極擴展，使得微滴63在絕緣層61的與 被施加驅動電位的四個驅動電極60相對應的區域上擴散開。因此，在 微滴63和絕緣層61之間的接觸區域增大，並且微滴63的高度減小。 此外，向下的力被施加到位於驅動板62和微滴63之間的接觸部，使 得驅動板62變形。因此，驅動板62的自由端向下移動，並且入射光 朝著圖IIA中的右上方向被反射。
掃描器控制器70可控制驅動器IC64以選擇性地改變被施加驅動 電位的驅動電極60。因此，微滴63可沿著基底55的上表面移動以使 驅動板62的自由端移動，並且可改變入射光的反射方向。
只要被施加驅動電位的驅動電極60的數量保持不變，當被施加驅 動電位的驅動電極60中的至少一個驅動電極60切換到另一驅動電極 60時，通過微滴63的表面張力施加到驅動板22的向下的力不會顯著 改變。然而，驅動板62的基端可固定到基底55上。因此，儘管只要 被施加驅動電位的驅動電極60的數量保持恆定，則由微滴63施加在 驅動板62上的向下的力就可保持恆定，但是，當位於微滴63和驅動 板62之間的接觸部移動離開驅動板62的固定基端並靠近驅動板62的 自由端時，驅動板62彎曲的量可增加。因此，通過改變被施加驅動電 位的驅動電極60，微滴63可沿著驅動電極60的布置方向在絕緣層61 上移動，並且驅動板62的自由端可彎曲以改變光反射部51的傾斜角。
例如，如圖12A和12B所示，驅動電位可通過驅動器IC64施加 到驅動電極60的一部分上，例如位於驅動板62的基端側上的四個驅 動電極60,例如位於圖12A和12B中左側上的四個電極60，而地電位 可施加到其它驅動電極60，例如位於驅動板62的自由端側上的電極 60。然後微滴63可在絕緣層61的與所述多個驅動電極60例如位於驅 動板62的基端側上的四個電極相對應的部分上擴散。
在圖12A和12B中，當驅動器IC64將被施加電位的驅動電極60 從位於驅動板62的基端側上的所述多個電極切換到位於驅動板62的 自由端側上的所述多個驅動電極時，最初位於驅動板62的基端側上的 微滴63移動到驅動板62的自由端側。
如果同時改變施加到所有驅動電極60的電位，則微滴63的行為 可能變得不穩定。因此，被施加驅動電位的驅動電極60可順序地移位
到在與驅動板62的自由端對應的位置中的下一驅動電極60，而不改變 被施加驅動電位的驅動電極60的數量，例如當驅動電位被施加到下一 驅動電極60時，地電位被施加到最靠近驅動板62的基端側定位且當 前接受驅動電位的驅動電極60。例如，在圖12A中，有八個驅動電極 60，並且從驅動板62的基端起的第五個驅動電極60的電位可從地電 位改變成驅動電位，並且最靠近驅動板62的基端定位的第一驅動電極 60的電位可從驅動電位改變成地電位。因此，絕緣層61中抗液性降低 的區域可以朝著驅動板62的自由端移位一個驅動電極60，並且微滴 63可朝著驅動板62的自由端移動。該過程可持續直到施加到每個驅動 電極62的電位被切換即從驅動電位切換到地電位或反之。
此外，掃描器控制器70可控制驅動器IC64，以改變被施加驅動 電位的電極數量、和被施加驅動電位的那些電極的位置，以更精確地 調節使驅動板62變形的量，例如反射方向被改變的量。
另外，掃描器控制器70可控制驅動器IC64基於驅動板62的共振 頻率改變施加到驅動電極60的驅動電位，以使驅動板62共振，這可 增大驅動板62的變形。
在本發明的示例性實施方案中，促動器52可具有以下規格 驅動板材料；矽酮，長度；50(Him，寬度；30^1111，厚度；10^im。 微滴的表面張力45mN/m。
例如，當微滴63接觸驅動板62的下表面的區域的直徑為30pm 時，微滴63的總周長可通過30xlO—XF9.4xl0—Sm獲得。因此，由微 滴63的表面張力施加到驅動板62的向下的力F可通過 F=9.4xl(T5mx45xlO—3N/m(微滴的表面張力)-4.2xl 0—6N-0.43mg獲得。
驅動板62可在一端固定，且可以是懸臂的。當力F施加到驅動板 62的自由端時，自由端的變形量可通過
5=F"/3EI=FlJ/3E(bhj/12)=((0.43xl0—&)x(500xlO_y)/(3x7200x(30xlO") x(10xl0_3)3/12)=lxl0—3mm-l.(Him獲得，其中E-矽酮驅動板62的彈性 係數。因此，驅動板62的設置光反射部51的自由端可變形lpm。
在光學掃描器50中，可利用電潤溼改變微滴63相對於絕緣層61 的潤溼角0，以改變微滴63的高度。可選擇地，微滴63可沿著絕緣層 61移動以使驅動板62變形。因此，可細微且精確地移動位於驅動板 62上的光反射部51。因此，入射光的反射方向可以被細微且精確地調 節至預定偏轉方向。此外，相對於公知的促動器而言可減小由促動器 52消耗的電力的量，並且相對於公知的促動器和光學掃描器而言可分 別減小促動器52和光學掃描器50的尺寸。
儘管已結合各種實例結構和說明性實施方案描述了本發明，但本 領域的技術人員將理解，在不偏離本發明的範圍的情況下，可作出上 述結構和實施方案的其它變體和變型。通過考慮在此公開的本發明的 說明書或實踐，其它結構和實施方案對於本領域的技術人員將是顯而 易見的。本說明書和描述的實例意圖是說明性的，本發明的真實範圍 由所附權利要求限定。
權利要求
1.一種促動器，包括基底，該基底包括絕緣表面；第一電極，該第一電極位於該絕緣表面上；柔性驅動板，該柔性驅動板與絕緣表面對置；導電液體，該導電液體位於絕緣表面和柔性驅動板之間，其中導電液體直接或間接地接觸絕緣表面和柔性驅動表面；和電位施加裝置，該電位施加裝置電聯接到第一電極，並構造成將電位施加到第一電極。
2. 根據權利要求1的促動器，其中當所述電位施加裝置改變施加 到所述第一電極的電位時，所述柔性板變形。
3. 根據權利要求l的促動器，其中當所述電位施加裝置改變施加 到所述第一電極的電位時，改變所述導電液體相對於所述絕緣表面的 潤溼角和所述導電液體相對於所述絕緣表面的高度，這使得所述柔性 驅動板變形，從而改變在所述柔性驅動板和所述絕緣表面之間的距離。
4. 根據權利要求l的促動器，還包括位於所述絕緣表面上以覆蓋 所述第一電極的絕緣層，其中所述導電液體接觸所述絕緣層和所述柔 性驅動板。
5. 根據權利要求1的促動器，還包括位於所述柔性驅動板的與所 述絕緣表面面對的表面上的第二電極，其中所述第二電極持續地接觸 所述導電液體，並被維持在恆定電位。
6. 根據權利要求3的促動器，還包括與所述第一電極相鄰地位於 所述絕緣表面上的親液區域，其中所述導電液體相對於所述親液區域 的潤溼角小於或等於所述導電液體相對於所述絕緣表面的與所述第一電極對應的區域的潤溼角。
7. 根據權利要求6的促動器，其中所述第一電極是環形的且無間 斷，並且所述親液區域位於所述第一電極內側。
8. 根據權利要求1的促動器，其中所述第一電極包括位於所述絕 緣表面上的多個第一電極。
9. 根據權利要求8的促動器，其中與位於所述絕緣表面和所述柔 性驅動板之間的所述多個第一電極中的每個第一電極相對應地設置所 述導電液體，並且所述電位施加裝置同時對所述多個第一電極中的每 個第一電極施加相同的電位。
10. 根據權利要求8的促動器，其中所述電位施加裝置構造成將 第一電位施加到所述多個第一電極中的至少一個第一電極、並將第二 電位施加到所述多個電極中的其它電極，其中該第一電位不同於該第 二電位。
11. 根據權利要求9的促動器，其中所述電位施加裝置構造成順 序地改變施加到所述多個第一電極的電位，從而使所述導電液體沿著 所述絕緣表面移動。
12. 根據權利要求1的促動器，其中所述電位施加裝置構造成順 序地改變施加到所述第一電極的電位，從而使所述導電液體沿著所述 絕緣表面移動，使所述柔性驅動板變形。
13. 根據權利要求10的促動器，其中所述電位施加裝置構造成改 變被施加所述第一電位的所述多個第一電極的數量和被施加所述第二 電位的所述多個第一電極的數量，從而改變所述液滴的高度。
14. 一種泵，包括流體室，該流體室構造成在其中存儲流體；泵體，該泵體具有穿過泵體形成的入口和出口，其中入口和出口 中的每一個構造成與該流體室流體連通；和促動器，該促動器構造成改變流體室的容量，其中該促動器包括基底，該基底包括絕緣表面；第一電極，該第一電極位於該絕緣表面上；柔性驅動板，該柔性驅動板與絕緣表面對置；導電液體，該導電液體位於絕緣表面和柔性驅動板之間，其中導 電液體直接或間接地接觸絕緣表面和柔性驅動表面；和電位施加裝置，該電位施加裝置電聯接到第一電極，並構造成將 電位施加到第一電極。
15. 根據權利要求14的泵，其中當所述電位施加裝置改變施加到 所述第一電極的電位時，所述柔性板變形。
16. 根據權利要求14的泵，其中當所述電位施加裝置改變施加到 所述第一電極的電位時，改變所述導電液體相對於所述絕緣表面的潤 溼角和所述導電液體相對於所述絕緣表面的高度，這使得所述柔性驅 動板變形，從而改變在所述柔性驅動板和所述絕緣表面之間的距離， 從而改變所述流體室的容量。
17. 根據權利要求14的泵，還包括閥，該閥構造成基於所述流體 室中流體的壓力選擇性地打開和關閉所述入口和所述出口。
18. —種光學掃描器，包括 光反射部；和促動器，該促動器構造成改變該光反射部的傾斜角，其中該促動 器包括基底，該基底包括絕緣表面；第一電極，該第一電極位於該絕緣表面上； 柔性驅動板，該柔性驅動板與絕緣表面對置；導電液體，該導電液體位於絕緣表面和柔性驅動板之間，其中導 電液體直接或間接地接觸絕緣表面和柔性驅動表面；和電位施加裝置，該電位施加裝置電聯接到第一電極，並構造成將 電位施加到第一電極。
19. 權利要求18的光學掃描器，其中當所述電位施加裝置改變施 加到所述第一電極的電位時，所述柔性板變形。
20. 根據權利要求18的光學掃描器，其中當所述電位施加裝置改 變施加到所述第一電極的電位時，改變所述導電液體相對於所述絕緣 表面的潤溼角和所述導電液體相對於所述絕緣表面的高度，這使得所 述柔性驅動板變形，從而改變在所述柔性驅動板和所述絕緣表面之間 的距離，從而改變所述光反射部的傾斜角。
21. 根據權利要求18的光學掃描器，其中所述第一電極包括位於 所述絕緣表面上的多個第一電極。
22. 根據權利要求21的光學掃描器，其中所述電位施加裝置構造 成將第一電位施加到所述多個第一電極中的至少一個第一電極、並將 第二電位施加到所述多個電極中的其它電極，其中該第一電位不同於 該第二電位。
23. 根據權利要求22的光學掃描器，其中所述電位施加裝置構造 成順序地改變施加到所述多個第一電極的電位，從而使所述導電液體 沿著所述絕緣表面移動。
全文摘要
促動器、泵和光學掃描器。促動器包括基底，它包括絕緣表面；第一電極，它位於絕緣表面上；柔性驅動板，它與絕緣表面對置；導電液體，它位於絕緣表面和柔性驅動板之間，且直接或間接接觸絕緣表面和柔性驅動表面；和電位施加裝置，它電聯接到第一電極，並構造成將電位施加到第一電極。基於通過使驅動板變形的電潤溼來促動或驅動裝置，以實現促動器的電力消耗和尺寸的減小。泵包括流體室，該流體室構造成在其中存儲流體；泵體，該泵體具有穿過泵體形成的入口和出口，其中入口和出口中的每一個構造成與該流體室流體連通；和構造成改變流體室的容量的該促動器。光學掃描器包括光反射部；和構造成改變該光反射部的傾斜角的該促動器。
文檔編號G02B26/02GK101187730SQ20071015329
公開日2008年5月28日 申請日期2007年9月29日 優先權日2006年9月29日
發明者菅原宏人 申請人:兄弟工業株式會社